JP6900621B2 - ウェハレベルパッケージにおけるシリカ貫通電極の銅配線材に用いる銅電気めっき液及び電気めっき方法 - Google Patents
ウェハレベルパッケージにおけるシリカ貫通電極の銅配線材に用いる銅電気めっき液及び電気めっき方法 Download PDFInfo
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Description
本発明は、材料領域に属し、特にウェハレベルパッケージにおけるシリカ貫通電極の銅配
線材に用いる銅電気めっき液及び電気めっき方法に関する。
線材に用いる銅電気めっき液及び電気めっき方法に関する。
集積回路製造技術が数十ナノ段階に入ると，より細い金属相互接続配線の容量抵抗遅延が
無視できなくなった。電気抵抗率がより低い銅と誘電率がより低い低誘電率媒質を採用す
ることにより、相互接続配線のＲＣ遅延を低減させることが業界では一般的である。ＩＢ
Ｍは１９９７年に相互接続技術の重大な変革-銅とダマスカスのプロセス-を発表しました
。現在では国際的な銅配線技術の配線に採用されている組み込み技術に応用されている。
このプロセスはブラインドホールの中に空洞がなく亀裂がない銅充填を堆積でき、チップ
が三次元方向に積層され密度が最も大きく、チップの相互接続配線が最も短く、外形寸法
が最小で、チップ速度と低消費電力の性能を改善できる。
無視できなくなった。電気抵抗率がより低い銅と誘電率がより低い低誘電率媒質を採用す
ることにより、相互接続配線のＲＣ遅延を低減させることが業界では一般的である。ＩＢ
Ｍは１９９７年に相互接続技術の重大な変革-銅とダマスカスのプロセス-を発表しました
。現在では国際的な銅配線技術の配線に採用されている組み込み技術に応用されている。
このプロセスはブラインドホールの中に空洞がなく亀裂がない銅充填を堆積でき、チップ
が三次元方向に積層され密度が最も大きく、チップの相互接続配線が最も短く、外形寸法
が最小で、チップ速度と低消費電力の性能を改善できる。
電気めっきはスーパーＴＳＶ銅の相互接続配線を完成させる主なプロセスである。超ＴＳ
Ｖ電気めっき銅は、ウエハ面の銅の厚さの均一性と電流密度の不均一な微小局部領域が、
差の極めて大きい電流密度を同時に伝送することができることを要求しており、さらに集
積回路の特徴的なサイズの継続的な縮小と、アスペクト比が増大し、ブラインドホールの
充填効果とめっき層の品質は電気めっき液の化学性能に大きく依存する。有機添加剤は電
気めっき液の性能を改善する上で非常に重要な要素であり、充填性能は添加剤の成分と濃
度と密接に関係しており、添加剤に関する研究は銅電気めっきプロセスの重点の一つであ
る。
Ｖ電気めっき銅は、ウエハ面の銅の厚さの均一性と電流密度の不均一な微小局部領域が、
差の極めて大きい電流密度を同時に伝送することができることを要求しており、さらに集
積回路の特徴的なサイズの継続的な縮小と、アスペクト比が増大し、ブラインドホールの
充填効果とめっき層の品質は電気めっき液の化学性能に大きく依存する。有機添加剤は電
気めっき液の性能を改善する上で非常に重要な要素であり、充填性能は添加剤の成分と濃
度と密接に関係しており、添加剤に関する研究は銅電気めっきプロセスの重点の一つであ
る。
現在では、スーパーＴＳＶ銅の相互接続材料の研究開発技術の難点は、ブラインドホール
内の銅電気めっきは、ホールの壁とホールの底の厚さが一致するなどの壁成長を示すこと
であり、時間が長くなるにつれて、ブラインドホール内に銅材料が徐々に閉じていき、ブ
ラインドホール内に空洞ができ、隙間などの欠陥が生じ、高周波信号伝送性能に深刻な影
響を与え、この問題を解決するための最良の方法はスーパーＴＳＶ銅相互接続材が、ホー
ルの底から下から上の方向に成長させ、時間と電流密度を調節することによって銅電気め
っきの相互接続材料の高さを制御し、最終的に高い効率の密封導通の銅材料に達すること
である。
内の銅電気めっきは、ホールの壁とホールの底の厚さが一致するなどの壁成長を示すこと
であり、時間が長くなるにつれて、ブラインドホール内に銅材料が徐々に閉じていき、ブ
ラインドホール内に空洞ができ、隙間などの欠陥が生じ、高周波信号伝送性能に深刻な影
響を与え、この問題を解決するための最良の方法はスーパーＴＳＶ銅相互接続材が、ホー
ルの底から下から上の方向に成長させ、時間と電流密度を調節することによって銅電気め
っきの相互接続材料の高さを制御し、最終的に高い効率の密封導通の銅材料に達すること
である。
上記の技術の不足に対して、本発明は、ウェハレベルパッケージにおけるシリカ貫通電極
の銅配線材に用いる銅電気めっき液及び電気めっき方法を提供し、従来のＳｕｐｅｒ−Ｔ
ＳＶの充填における空隙や隙間等の問題を解決できた。有効的に空隙による信号伝送の不
安定、大抵抗、電力消費過大などの欠陥を有効的に防止することができ、付き回り性がよ
く、表面の光沢と均一性も良好などの特徴を有することができ、より確実的な電子製品を
製造できる。
の銅配線材に用いる銅電気めっき液及び電気めっき方法を提供し、従来のＳｕｐｅｒ−Ｔ
ＳＶの充填における空隙や隙間等の問題を解決できた。有効的に空隙による信号伝送の不
安定、大抵抗、電力消費過大などの欠陥を有効的に防止することができ、付き回り性がよ
く、表面の光沢と均一性も良好などの特徴を有することができ、より確実的な電子製品を
製造できる。
上記の目的を実現するために、本発明は、ウエハレベルパッケージにおけるシリカ貫通電
極(Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶ)の銅配線材に用いる銅電気めっき液であって、下記濃度の成分：
硫酸銅五水和物：１００〜２５０ｇ／Ｌ
濃硫酸：４０〜８０ｇ／Ｌ
塩素イオン：３０〜５０ｍｇ／Ｌ
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：１〜５ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：５０〜１００ｍｇ／Ｌ
フェナジン染料：４０〜８０ｍｇ／Ｌ
ＤＩ純水：残量
を含むものであり、
上記成分を均一に混合することにより制作され、
ウェハチップに対して電気めっきを行う前に、予処理液により真空処理を行うことと、前
記予処理液はＤＩ純水として、ウェハチップを電気めっきハンガーにより取り付けて、真
空装置内でＤＩ純水によって５〜１０ｍｉｎバキュームすることと、バキュームした後、
該銅電気めっき液中において電気めっきを行うことと、を含むものである、
ことを特徴とする銅電気めっき液を提供する。
極(Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶ)の銅配線材に用いる銅電気めっき液であって、下記濃度の成分：
硫酸銅五水和物：１００〜２５０ｇ／Ｌ
濃硫酸：４０〜８０ｇ／Ｌ
塩素イオン：３０〜５０ｍｇ／Ｌ
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：１〜５ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：５０〜１００ｍｇ／Ｌ
フェナジン染料：４０〜８０ｍｇ／Ｌ
ＤＩ純水：残量
を含むものであり、
上記成分を均一に混合することにより制作され、
ウェハチップに対して電気めっきを行う前に、予処理液により真空処理を行うことと、前
記予処理液はＤＩ純水として、ウェハチップを電気めっきハンガーにより取り付けて、真
空装置内でＤＩ純水によって５〜１０ｍｉｎバキュームすることと、バキュームした後、
該銅電気めっき液中において電気めっきを行うことと、を含むものである、
ことを特徴とする銅電気めっき液を提供する。
好ましくは、前記ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルは、濃度が６０〜８０ｍｇ
／Ｌとするものであり、溝液表面張力を低減させ、湿潤効果を向上させ、Ｓｕｐｅｒ−Ｔ
ＳＶのブランドビア内のシード層に整然と銅層を電気めっきする機能を発揮するものとす
る。
／Ｌとするものであり、溝液表面張力を低減させ、湿潤効果を向上させ、Ｓｕｐｅｒ−Ｔ
ＳＶのブランドビア内のシード層に整然と銅層を電気めっきする機能を発揮するものとす
る。
好ましくは、前記フェナジン染料は濃度が６０〜８０ｍｇ／Ｌとするものであり、該フェ
ナジン染料は添加剤系において重要なものであり、電流密度が大きい領域に付着すること
で、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶのブランドビアの孔口における電位を低減させ、電流密度がより
低いブランドビアの孔底に銅を電気めっきするようにでき、ボトムアップ成長形態を構成
する機能を発揮するものとする。
ナジン染料は添加剤系において重要なものであり、電流密度が大きい領域に付着すること
で、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶのブランドビアの孔口における電位を低減させ、電流密度がより
低いブランドビアの孔底に銅を電気めっきするようにでき、ボトムアップ成長形態を構成
する機能を発揮するものとする。
好ましくは、前記硫酸銅五水和物は濃度が２００〜２４０ｇ／Ｌとするものであり、電気
めっき液の銅イオンの主なソースであり、前記濃硫酸は濃度が４０〜６０ｇ／Ｌとするも
のであり、電気めっき液の導電性を向上できる。
めっき液の銅イオンの主なソースであり、前記濃硫酸は濃度が４０〜６０ｇ／Ｌとするも
のであり、電気めっき液の導電性を向上できる。
好ましくは、前記塩素イオンは濃度が４０〜５０ｍｇ／Ｌとするものであり、塩素イオン
は、二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または複数種から提供され、ウ
ェハ表面の光沢と平坦性を向上でき、銅層の質を改善することができ、前記３−Ｓ−イソ
チオ尿素プロパンスルホナートは濃度が２〜４ｍｇ／Ｌとするものであり、銅電気めっき
を加速させる効果があり、銅層表面を明るくさせる機能を発揮させるものとする。
は、二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または複数種から提供され、ウ
ェハ表面の光沢と平坦性を向上でき、銅層の質を改善することができ、前記３−Ｓ−イソ
チオ尿素プロパンスルホナートは濃度が２〜４ｍｇ／Ｌとするものであり、銅電気めっき
を加速させる効果があり、銅層表面を明るくさせる機能を発揮させるものとする。
上記の目的を実現するために、本発明は、銅電気めっき液のウエハレベルパッケージＳｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材に用いる電気めっき方法であって、
ウェハチップを陰極電気めっき用ハンガーに掛け、予処理液であるＤＩ純水によりバキュ
ーム処理を行うことであって、予処理液による処理は、ＤＩ純水をブランドビア内に進入
させ、真空負圧によってウェハチップのブランドビア内の空気を排出させることにより、
ブランドビアの底部に気泡が引っ掛かった現象によって電気めっきの効果に影響を与える
ことを防止することと、
バキューム処理後のウェハチップを銅電気めっき液溝中に配置して攪拌して、循環させて
、揺れることにより、銅電気めっき液の流動を加速させ、電気めっき液における銅イオン
およびＳｕｐｅｒ−ＴＳＶのブランドビア中の電気めっき液を絶えずに交換させることに
より、電気めっき液をスルーホールの孔壁に十分な銅イオンを供給させることと、
電気めっき交換が終わると、電源をオンにさせて電気めっきを行うことであって、Ｓｕｐ
ｅｒ−ＴＳＶのブランドビアのアスペクトに基づいて電流密度および時間を調整すること
と、
ことを含むことを特徴とする電気めっき方法を提供する。
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材に用いる電気めっき方法であって、
ウェハチップを陰極電気めっき用ハンガーに掛け、予処理液であるＤＩ純水によりバキュ
ーム処理を行うことであって、予処理液による処理は、ＤＩ純水をブランドビア内に進入
させ、真空負圧によってウェハチップのブランドビア内の空気を排出させることにより、
ブランドビアの底部に気泡が引っ掛かった現象によって電気めっきの効果に影響を与える
ことを防止することと、
バキューム処理後のウェハチップを銅電気めっき液溝中に配置して攪拌して、循環させて
、揺れることにより、銅電気めっき液の流動を加速させ、電気めっき液における銅イオン
およびＳｕｐｅｒ−ＴＳＶのブランドビア中の電気めっき液を絶えずに交換させることに
より、電気めっき液をスルーホールの孔壁に十分な銅イオンを供給させることと、
電気めっき交換が終わると、電源をオンにさせて電気めっきを行うことであって、Ｓｕｐ
ｅｒ−ＴＳＶのブランドビアのアスペクトに基づいて電流密度および時間を調整すること
と、
ことを含むことを特徴とする電気めっき方法を提供する。
好ましくは、バキューム処理の時間は５〜１０ｍｉｎとし、電気めっきの交換時間は５〜
１０ｍｉｎとし、電気めっき際における電流密度は０．１〜０．３Ａ／ｄｍ２とし、その
温度は１５〜３５℃とし、攪拌速率は１００〜２００ｒ／ｍｉｎとする。
１０ｍｉｎとし、電気めっき際における電流密度は０．１〜０．３Ａ／ｄｍ２とし、その
温度は１５〜３５℃とし、攪拌速率は１００〜２００ｒ／ｍｉｎとする。
好ましくは、電気めっきの交換時間は５〜１０ｍｉｎとして、電気めっき液における主要
成分をＳｕｐｅｒ−ＴＳＶのブランドビア内に進入させるためであり、攪拌速率が電気め
っき液におけるイオンの交換速度に影響を与える。
成分をＳｕｐｅｒ−ＴＳＶのブランドビア内に進入させるためであり、攪拌速率が電気め
っき液におけるイオンの交換速度に影響を与える。
好ましくは、前記電流密度は０．１〜０．３Ａ／ｄｍ２として、ボトムアップ成長形態を
呈するためであり、電流密度は、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶの充填効果を左右するものであり、
電流密度が過小であれば充填不可能となり、電流密度が過大であればＳｕｐｅｒ−ＴＳＶ
の孔口が塞がれるので、ブランドビアのアスペクトに基づいて電流密度を決める。
呈するためであり、電流密度は、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶの充填効果を左右するものであり、
電流密度が過小であれば充填不可能となり、電流密度が過大であればＳｕｐｅｒ−ＴＳＶ
の孔口が塞がれるので、ブランドビアのアスペクトに基づいて電流密度を決める。
好ましくは、前記予処理は、さらに噴出処理および超音波処理を含む。
本発明の有利な効果に関して、従来の技術と比較して、本発明に係るウェハレベルパッケ
ージにおけるシリカ貫通電極の銅配線材に用いる銅電気めっき液及び電気めっき方法は下
記の有利な効果がある。
ージにおけるシリカ貫通電極の銅配線材に用いる銅電気めっき液及び電気めっき方法は下
記の有利な効果がある。
１）該銅電気めっき液は、硫酸銅五水和物、濃硫酸、塩素イオン、３−Ｓ−イソチオ尿素
プロパンスルホナート（３−Ｓ−ｉｓｏｔｈｉｕｒｏｎｉｕｍ ｐｒｏｐａｎｅｓｕｌｆ
ｏｎｉｃ ａｃｉｄ ｓｏｄｉｕｍ ｓａｌｔ）、ポリオキシエチレンノニルフェニルエ
ーテル、フェナジン染料を含む。銅電気めっき液は、その交換時間は５〜１０ｍｉｎとし
、電流密度は０．１〜０．３Ａ／ｄｍ２とし、温度は１５〜３５℃とし、攪拌速率は１０
０〜２００ｒ／ｍｉｎとする。上記成分によりウエハレベルパッケージＳｕｐｅｒ−ＴＳ
Ｖ銅配線材に用いる銅電気めっき液を形成する。小さい電流密度だけで、Ｓｕｐｅｒ−Ｔ
ＳＶ（Ｔｈｒｏｕｇｈ−Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｖｉａ：シリカ貫通電極）がボトムアップ成長
するようにでき、従来のＳｕｐｅｒ−ＴＳＶの充填における空隙や隙間等の問題を解決で
きた。有効的に空隙による信号伝送の不安定、大抵抗、電力消費過大などの欠陥を有効的
に防止することができ、付き回り性がよく、表面の光沢と均一性も良好などの特徴を有す
ることができ、より確実的な電子製品を製造できる。
２）ウェハチップを電気めっき前に予処理液によるバキューム処理の時間が、５〜１０ｍ
ｉｎとすることにより、ＤＩ純水をブランドビア内に進入させ、真空負圧によってウェハ
チップのブランドビア内の空気を排出させることにより、ブランドビアの底部に気泡が引
っ掛かった現象によって電気めっきの効果に影響を与えることを防止することができる。
３）本開示にかかるＳｕｐｅｒ−ＴＳＶに用いる銅電気めっき液は、アスペクト比が５：
１〜１０：１のビアを充填でき、ボトムアップ形態成長が可能となる。例えばブランドビ
アの直径・孔深は、それぞれ３０×２００μｍ、３０×１５０μｍ、２０×２００μｍ、
２０×１５０μｍ、１０×１００μｍなどとできている。ウエハレベルパッケージＳｕｐ
ｅｒ−ＴＳＶ材は、３Ｄパッケージの異形構成による集積に適応することができる。Ｓｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材とポチにより上下積層チップ間の垂直導通が可能であって、導電
ワイヤによる三次元体積の代わりとなっている。それにより、マイクロエレクトロニクス
チップのパッケージは、三次元サイズで最小限までの封止や接続を実現することができる
。ＴＳＶ技術を利用することにより、チップの相互接続の長さを減少させ、配線プロセス
の遅延を大きく低減させ、それにより、さらに演算速度を向上し、配線プロセスの抵抗も
低下させて、回路の電力消費も大幅に低減させた。
プロパンスルホナート（３−Ｓ−ｉｓｏｔｈｉｕｒｏｎｉｕｍ ｐｒｏｐａｎｅｓｕｌｆ
ｏｎｉｃ ａｃｉｄ ｓｏｄｉｕｍ ｓａｌｔ）、ポリオキシエチレンノニルフェニルエ
ーテル、フェナジン染料を含む。銅電気めっき液は、その交換時間は５〜１０ｍｉｎとし
、電流密度は０．１〜０．３Ａ／ｄｍ２とし、温度は１５〜３５℃とし、攪拌速率は１０
０〜２００ｒ／ｍｉｎとする。上記成分によりウエハレベルパッケージＳｕｐｅｒ−ＴＳ
Ｖ銅配線材に用いる銅電気めっき液を形成する。小さい電流密度だけで、Ｓｕｐｅｒ−Ｔ
ＳＶ（Ｔｈｒｏｕｇｈ−Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｖｉａ：シリカ貫通電極）がボトムアップ成長
するようにでき、従来のＳｕｐｅｒ−ＴＳＶの充填における空隙や隙間等の問題を解決で
きた。有効的に空隙による信号伝送の不安定、大抵抗、電力消費過大などの欠陥を有効的
に防止することができ、付き回り性がよく、表面の光沢と均一性も良好などの特徴を有す
ることができ、より確実的な電子製品を製造できる。
２）ウェハチップを電気めっき前に予処理液によるバキューム処理の時間が、５〜１０ｍ
ｉｎとすることにより、ＤＩ純水をブランドビア内に進入させ、真空負圧によってウェハ
チップのブランドビア内の空気を排出させることにより、ブランドビアの底部に気泡が引
っ掛かった現象によって電気めっきの効果に影響を与えることを防止することができる。
３）本開示にかかるＳｕｐｅｒ−ＴＳＶに用いる銅電気めっき液は、アスペクト比が５：
１〜１０：１のビアを充填でき、ボトムアップ形態成長が可能となる。例えばブランドビ
アの直径・孔深は、それぞれ３０×２００μｍ、３０×１５０μｍ、２０×２００μｍ、
２０×１５０μｍ、１０×１００μｍなどとできている。ウエハレベルパッケージＳｕｐ
ｅｒ−ＴＳＶ材は、３Ｄパッケージの異形構成による集積に適応することができる。Ｓｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材とポチにより上下積層チップ間の垂直導通が可能であって、導電
ワイヤによる三次元体積の代わりとなっている。それにより、マイクロエレクトロニクス
チップのパッケージは、三次元サイズで最小限までの封止や接続を実現することができる
。ＴＳＶ技術を利用することにより、チップの相互接続の長さを減少させ、配線プロセス
の遅延を大きく低減させ、それにより、さらに演算速度を向上し、配線プロセスの抵抗も
低下させて、回路の電力消費も大幅に低減させた。
本発明をより明確に説明するために、以下に図面を用いて本発明をさらに詳細に説明する
。
。
ウエハレベルパッケージにおけるシリカ貫通電極(Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶ)の銅配線材に用い
る銅電気めっき液であって、下記濃度の成分：
硫酸銅五水和物：１００〜２５０ｇ／Ｌ
濃硫酸：４０〜８０ｇ／Ｌ
塩素イオン：３０〜５０ｍｇ／Ｌ
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：１〜５ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：５０〜１００ｍｇ／Ｌ
フェナジン染料：４０〜８０ｍｇ／Ｌ
ＤＩ純水：残量
を含むものであり、
上記成分を均一に混合することにより制作され、
ウェハチップに対して電気めっきを行う前に、予処理液により真空処理を行うことと、前
記予処理液はＤＩ純水として、ウェハチップを電気めっきハンガーにより取り付けて、真
空装置内でＤＩ純水によって５〜１０ｍｉｎバキュームすることと、バキュームした後、
該銅電気めっき液中において電気めっきを行うことと、を含むものである、
ことを特徴とする銅電気めっき液である。これ以外にも前処理の操作には噴射（シャワー
）、超音波などのプロセスが含まれるが、これに限られない。
る銅電気めっき液であって、下記濃度の成分：
硫酸銅五水和物：１００〜２５０ｇ／Ｌ
濃硫酸：４０〜８０ｇ／Ｌ
塩素イオン：３０〜５０ｍｇ／Ｌ
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：１〜５ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：５０〜１００ｍｇ／Ｌ
フェナジン染料：４０〜８０ｍｇ／Ｌ
ＤＩ純水：残量
を含むものであり、
上記成分を均一に混合することにより制作され、
ウェハチップに対して電気めっきを行う前に、予処理液により真空処理を行うことと、前
記予処理液はＤＩ純水として、ウェハチップを電気めっきハンガーにより取り付けて、真
空装置内でＤＩ純水によって５〜１０ｍｉｎバキュームすることと、バキュームした後、
該銅電気めっき液中において電気めっきを行うことと、を含むものである、
ことを特徴とする銅電気めっき液である。これ以外にも前処理の操作には噴射（シャワー
）、超音波などのプロセスが含まれるが、これに限られない。
本実施例において、前記ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルは、濃度が６０〜８
０ｍｇ／Ｌとするものであり、溝液表面張力を低減させ、湿潤効果を向上させ、Ｓｕｐｅ
ｒ−ＴＳＶのブランドビア内のシード層に整然と銅層を電気めっきする機能を発揮するも
のとする。
０ｍｇ／Ｌとするものであり、溝液表面張力を低減させ、湿潤効果を向上させ、Ｓｕｐｅ
ｒ−ＴＳＶのブランドビア内のシード層に整然と銅層を電気めっきする機能を発揮するも
のとする。
本実施例において、前記フェナジン染料は濃度が６０〜８０ｍｇ／Ｌとするものであり、
チアジン染料（アジメチルブルー（Ｍｅｔｈｙｌｅｎｅ Ｂｌｕｅ））、ジフェニルメタ
ン染料（オーラミンＯ（Ａｕｒａｍｉｎｅ Ｏ））、フタロシアニン染料（アルシンブル
ー（Ａｌｃｉａｎ Ｂｌｕｅ））の中の一種またはそれらの組み合わせで使用されてもよ
く、該フェナジン染料は、添加剤系において最も重要なものであり、電流密度が大きい領
域に付着することで、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶのブランドビアの孔口における電位を低減させ
、電流密度がより低いブランドビアの孔底に銅を電気めっきするようにでき、ボトムアッ
プ成長形態を構成する機能を発揮するものとする。
チアジン染料（アジメチルブルー（Ｍｅｔｈｙｌｅｎｅ Ｂｌｕｅ））、ジフェニルメタ
ン染料（オーラミンＯ（Ａｕｒａｍｉｎｅ Ｏ））、フタロシアニン染料（アルシンブル
ー（Ａｌｃｉａｎ Ｂｌｕｅ））の中の一種またはそれらの組み合わせで使用されてもよ
く、該フェナジン染料は、添加剤系において最も重要なものであり、電流密度が大きい領
域に付着することで、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶのブランドビアの孔口における電位を低減させ
、電流密度がより低いブランドビアの孔底に銅を電気めっきするようにでき、ボトムアッ
プ成長形態を構成する機能を発揮するものとする。
本実施例において、前記硫酸銅五水和物は濃度が２００〜２４０ｇ／Ｌとするものであり
、電気めっき液の銅イオンの主なソースであり、前記濃硫酸は濃度が４０〜６０ｇ／Ｌと
するものであり、電気めっき液の導電性を向上できる。
、電気めっき液の銅イオンの主なソースであり、前記濃硫酸は濃度が４０〜６０ｇ／Ｌと
するものであり、電気めっき液の導電性を向上できる。
本実施例において、前記塩素イオンは濃度が４０〜５０ｍｇ／Ｌとするものであり、塩素
イオンは、二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または複数種から提供さ
れ、ウェハ表面の光沢と平坦性を向上でき、銅層の質を改善することができ、前記３−Ｓ
−イソチオ尿素プロパンスルホナートは濃度が２〜４ｍｇ／Ｌとするものであり、銅電気
めっきを加速させる効果があり、銅層表面を明るくさせる機能を発揮させるものとする。
イオンは、二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または複数種から提供さ
れ、ウェハ表面の光沢と平坦性を向上でき、銅層の質を改善することができ、前記３−Ｓ
−イソチオ尿素プロパンスルホナートは濃度が２〜４ｍｇ／Ｌとするものであり、銅電気
めっきを加速させる効果があり、銅層表面を明るくさせる機能を発揮させるものとする。
三次元積層技術の接続（導電）能力を高めるために、本発明は、ウェハレベルパッケージ
におけるシリカ貫通電極の銅配線材に用いる銅電気めっき液を提供し、従来のＳｕｐｅｒ
−ＴＳＶの充填における空隙や隙間等の問題を解決できた。有効的に空隙による信号伝送
の不安定、大抵抗、電力消費過大などの欠陥を有効的に防止することができ、付き回り性
がよく、表面の光沢と均一性も良好などの特徴を有することができ、より確実的な電子製
品を製造できる。
におけるシリカ貫通電極の銅配線材に用いる銅電気めっき液を提供し、従来のＳｕｐｅｒ
−ＴＳＶの充填における空隙や隙間等の問題を解決できた。有効的に空隙による信号伝送
の不安定、大抵抗、電力消費過大などの欠陥を有効的に防止することができ、付き回り性
がよく、表面の光沢と均一性も良好などの特徴を有することができ、より確実的な電子製
品を製造できる。
本発明において、濃硫酸は、酸性環境を提供するもので、電気めっき液の付きまわり性と
分散性にとっては必要不可欠である。銅イオンは、めっき層銅堆積の主なソースである。
塩素イオンは、二水和塩化銅から提供されてもよく、銅堆積の均一性を向上できる。３−
Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナートは、光沢剤であり、銅電気めっき層表面の光沢度
を増加できるとともに、電気銅電気めっきの堆積速度を上げることもできる。ポリオキシ
エチレンノニルフェニルエーテルは、湿潤剤であり、表面張力を低減でき、Ｓｕｐｅｒ−
ＴＳＶブランドビアの孔底の湿潤に寄与する。フェナジン染料は、抑制剤であり、ある範
囲内でその濃度が高いほど、より低い電流密度の領域へ電場領域が移るので、孔底が肉厚
くなり、それでＳｕｐｅｒ−ＴＳＶが典型的ボトムアップ成長を呈することができる。
分散性にとっては必要不可欠である。銅イオンは、めっき層銅堆積の主なソースである。
塩素イオンは、二水和塩化銅から提供されてもよく、銅堆積の均一性を向上できる。３−
Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナートは、光沢剤であり、銅電気めっき層表面の光沢度
を増加できるとともに、電気銅電気めっきの堆積速度を上げることもできる。ポリオキシ
エチレンノニルフェニルエーテルは、湿潤剤であり、表面張力を低減でき、Ｓｕｐｅｒ−
ＴＳＶブランドビアの孔底の湿潤に寄与する。フェナジン染料は、抑制剤であり、ある範
囲内でその濃度が高いほど、より低い電流密度の領域へ電場領域が移るので、孔底が肉厚
くなり、それでＳｕｐｅｒ−ＴＳＶが典型的ボトムアップ成長を呈することができる。
上記の目的を実現するために、本発明は、銅電気めっき液のウエハレベルパッケージＳｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材に用いる電気めっき方法であって、
ウェハチップを陰極電気めっき用ハンガーに掛け、予処理液であるＤＩ純水によりバキュ
ーム処理を行うことであって、予処理液による処理は、ＤＩ純水をブランドビア内に進入
させ、真空負圧によってウェハチップのブランドビア内の空気を排出させることにより、
ブランドビアの底部に気泡が引っ掛かった現象によって電気めっきの効果に影響を与える
ことを防止することと、
バキューム処理後のウェハチップを銅電気めっき液溝中に配置して攪拌して、循環させて
、揺れることにより、銅電気めっき液の流動を加速させ、電気めっき液における銅イオン
およびＳｕｐｅｒ−ＴＳＶのブランドビア中の電気めっき液を絶えずに交換させることに
より、電気めっき液をスルーホールの孔壁に十分な銅イオンを供給させることと、めっき
交換の過程は銅めっき溶液中の銅イオン、添加剤とシリカ貫通電極のブラインドホールが
水溶液において分子が自由拡散すること、
電気めっき交換が終わると、電源をオンにさせて電気めっきを行うことであって、Ｓｕｐ
ｅｒ−ＴＳＶのブランドビアのアスペクトに基づいて電流密度および時間を調整すること
と、
ことを含むことを特徴とする電気めっき方法を提供する。
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材に用いる電気めっき方法であって、
ウェハチップを陰極電気めっき用ハンガーに掛け、予処理液であるＤＩ純水によりバキュ
ーム処理を行うことであって、予処理液による処理は、ＤＩ純水をブランドビア内に進入
させ、真空負圧によってウェハチップのブランドビア内の空気を排出させることにより、
ブランドビアの底部に気泡が引っ掛かった現象によって電気めっきの効果に影響を与える
ことを防止することと、
バキューム処理後のウェハチップを銅電気めっき液溝中に配置して攪拌して、循環させて
、揺れることにより、銅電気めっき液の流動を加速させ、電気めっき液における銅イオン
およびＳｕｐｅｒ−ＴＳＶのブランドビア中の電気めっき液を絶えずに交換させることに
より、電気めっき液をスルーホールの孔壁に十分な銅イオンを供給させることと、めっき
交換の過程は銅めっき溶液中の銅イオン、添加剤とシリカ貫通電極のブラインドホールが
水溶液において分子が自由拡散すること、
電気めっき交換が終わると、電源をオンにさせて電気めっきを行うことであって、Ｓｕｐ
ｅｒ−ＴＳＶのブランドビアのアスペクトに基づいて電流密度および時間を調整すること
と、
ことを含むことを特徴とする電気めっき方法を提供する。
本実施例において、バキューム処理の時間は５〜１０ｍｉｎとし、電気めっきの交換時間
は５〜１０ｍｉｎとし、電気めっき際における電流密度は０．１〜０．３Ａ／ｄｍ２とし
、その温度は１５〜３５℃とし、攪拌速率は１００〜２００ｒ／ｍｉｎとする。
は５〜１０ｍｉｎとし、電気めっき際における電流密度は０．１〜０．３Ａ／ｄｍ２とし
、その温度は１５〜３５℃とし、攪拌速率は１００〜２００ｒ／ｍｉｎとする。
本実施例において、電気めっきの交換時間は５〜１０ｍｉｎとして、電気めっき液におけ
る主要成分をＳｕｐｅｒ−ＴＳＶのブランドビア内に進入させるためであり、攪拌速率が
電気めっき液におけるイオンの交換速度に影響を与える。
る主要成分をＳｕｐｅｒ−ＴＳＶのブランドビア内に進入させるためであり、攪拌速率が
電気めっき液におけるイオンの交換速度に影響を与える。
本実施例において、前記電流密度は０．１〜０．３Ａ／ｄｍ２として、ボトムアップ成長
形態を呈するためであり、電流密度は、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶの充填効果を左右するもので
あり、電流密度が過小であれば充填不可能となり、電流密度が過大であればＳｕｐｅｒ−
ＴＳＶの孔口が塞がれるので、ブランドビアのアスペクトに基づいて電流密度を決める。
形態を呈するためであり、電流密度は、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶの充填効果を左右するもので
あり、電流密度が過小であれば充填不可能となり、電流密度が過大であればＳｕｐｅｒ−
ＴＳＶの孔口が塞がれるので、ブランドビアのアスペクトに基づいて電流密度を決める。
本発明の有利な効果に関して、従来の技術と比較して、本発明に係るウェハレベルパッケ
ージにおけるシリカ貫通電極の銅配線材に用いる銅電気めっき液及び電気めっき方法は下
記の有利な効果がある。
ージにおけるシリカ貫通電極の銅配線材に用いる銅電気めっき液及び電気めっき方法は下
記の有利な効果がある。
１）該銅電気めっき液は、硫酸銅五水和物、濃硫酸、塩素イオン、３−Ｓ−イソチオ尿素
プロパンスルホナート（３−Ｓ−ｉｓｏｔｈｉｕｒｏｎｉｕｍ ｐｒｏｐａｎｅｓｕｌｆ
ｏｎｉｃ ａｃｉｄ ｓｏｄｉｕｍ ｓａｌｔ）、ポリオキシエチレンノニルフェニルエ
ーテル、フェナジン染料を含む。銅電気めっき液は、その交換時間は５〜１０ｍｉｎとし
、電流密度は０．１〜０．３Ａ／ｄｍ２とし、温度は１５〜３５℃とし、攪拌速率は１０
０〜２００ｒ／ｍｉｎとする。上記成分によりウエハレベルパッケージＳｕｐｅｒ−ＴＳ
Ｖ銅配線材に用いる銅電気めっき液を形成する。小さい電流密度だけで、Ｓｕｐｅｒ−Ｔ
ＳＶ（Ｔｈｒｏｕｇｈ−Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｖｉａ：シリカ貫通電極）がボトムアップ成長
するようにでき、従来のＳｕｐｅｒ−ＴＳＶの充填における空隙や隙間等の問題を解決で
きた。有効的に空隙による信号伝送の不安定、大抵抗、電力消費過大などの欠陥を有効的
に防止することができ、付き回り性がよく、表面の光沢と均一性も良好などの特徴を有す
ることができ、より確実的な電子製品を製造できる。
２）ウェハチップを電気めっき前に予処理液によるバキューム処理の時間が、５〜１０ｍ
ｉｎとすることにより、ＤＩ純水をブランドビア内に進入させ、真空負圧によってウェハ
チップのブランドビア内の空気を排出させることにより、ブランドビアの底部に気泡が引
っ掛かった現象によって電気めっきの効果に影響を与えることを防止することができる。
３）本開示にかかるＳｕｐｅｒ−ＴＳＶに用いる銅電気めっき液は、アスペクト比が５：
１〜１０：１のビアを充填でき、ボトムアップ形態成長が可能となる。例えばブランドビ
アの直径・孔深は、それぞれ３０×２００μｍ、３０×１５０μｍ、２０×２００μｍ、
２０×１５０μｍ、１０×１００μｍなどとできている。ウエハレベルパッケージＳｕｐ
ｅｒ−ＴＳＶ材は、３Ｄパッケージの異形構成による集積に適応することができる。Ｓｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材とポチにより上下積層チップ間の垂直導通が可能であって、導電
ワイヤによる三次元体積の代わりとなっている。それにより、マイクロエレクトロニクス
チップのパッケージは、三次元サイズで最小限までの封止や接続を実現することができる
。ＴＳＶ技術を利用することにより、チップの相互接続の長さを減少させ、配線プロセス
の遅延を大きく低減させ、それにより、さらに演算速度を向上し、配線プロセスの抵抗も
低下させて、回路の電力消費も大幅に低減させた。
プロパンスルホナート（３−Ｓ−ｉｓｏｔｈｉｕｒｏｎｉｕｍ ｐｒｏｐａｎｅｓｕｌｆ
ｏｎｉｃ ａｃｉｄ ｓｏｄｉｕｍ ｓａｌｔ）、ポリオキシエチレンノニルフェニルエ
ーテル、フェナジン染料を含む。銅電気めっき液は、その交換時間は５〜１０ｍｉｎとし
、電流密度は０．１〜０．３Ａ／ｄｍ２とし、温度は１５〜３５℃とし、攪拌速率は１０
０〜２００ｒ／ｍｉｎとする。上記成分によりウエハレベルパッケージＳｕｐｅｒ−ＴＳ
Ｖ銅配線材に用いる銅電気めっき液を形成する。小さい電流密度だけで、Ｓｕｐｅｒ−Ｔ
ＳＶ（Ｔｈｒｏｕｇｈ−Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｖｉａ：シリカ貫通電極）がボトムアップ成長
するようにでき、従来のＳｕｐｅｒ−ＴＳＶの充填における空隙や隙間等の問題を解決で
きた。有効的に空隙による信号伝送の不安定、大抵抗、電力消費過大などの欠陥を有効的
に防止することができ、付き回り性がよく、表面の光沢と均一性も良好などの特徴を有す
ることができ、より確実的な電子製品を製造できる。
２）ウェハチップを電気めっき前に予処理液によるバキューム処理の時間が、５〜１０ｍ
ｉｎとすることにより、ＤＩ純水をブランドビア内に進入させ、真空負圧によってウェハ
チップのブランドビア内の空気を排出させることにより、ブランドビアの底部に気泡が引
っ掛かった現象によって電気めっきの効果に影響を与えることを防止することができる。
３）本開示にかかるＳｕｐｅｒ−ＴＳＶに用いる銅電気めっき液は、アスペクト比が５：
１〜１０：１のビアを充填でき、ボトムアップ形態成長が可能となる。例えばブランドビ
アの直径・孔深は、それぞれ３０×２００μｍ、３０×１５０μｍ、２０×２００μｍ、
２０×１５０μｍ、１０×１００μｍなどとできている。ウエハレベルパッケージＳｕｐ
ｅｒ−ＴＳＶ材は、３Ｄパッケージの異形構成による集積に適応することができる。Ｓｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材とポチにより上下積層チップ間の垂直導通が可能であって、導電
ワイヤによる三次元体積の代わりとなっている。それにより、マイクロエレクトロニクス
チップのパッケージは、三次元サイズで最小限までの封止や接続を実現することができる
。ＴＳＶ技術を利用することにより、チップの相互接続の長さを減少させ、配線プロセス
の遅延を大きく低減させ、それにより、さらに演算速度を向上し、配線プロセスの抵抗も
低下させて、回路の電力消費も大幅に低減させた。
以下、本発明に係る実施例を説明する。
実施例１
下記濃度の成分を含む。
硫酸銅五水和物：２００ｇ／Ｌ；
濃硫酸：５０ｇ／Ｌ
塩素イオン：５０ｍｇ／Ｌ（二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または
複数種から提供される）
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：４ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：６０ｍｇ／Ｌ
フェナジン染料：８０ｍｇ／Ｌ
電気めっき液の調整過程は下記の通りである。
１Ｌの電気めっき液を例とするが、水３００ｍｌに、順に、硫酸銅五水和物２００ｇ、濃
硫酸５０ｇ、二水和塩素化銅（塩化銅二水和物）０．１１４ｇ、３−Ｓ−イソチオ尿素プ
ロパンスルホナート０．００４ｇ、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル０．０６
ｇ、フェナジン染料０．０８ｇを添加して、攪拌して溶解させて、それから再び液位１Ｌ
となるように水を補充する。
本実施例の銅電気めっき液による電気めっきのプロセスパラメータは下記の通りである。
予処理のバキューム処理：１０ｍｉｎ
電気めっき液の交換時間：１０ｍｉｎ
温度：２５±２℃
電流密度：０．３Ａ／ｄｍ２
攪拌速率：２００ｒ／ｍｉｎ
また、電気めっき交換がおわると、電源をオンにさせて電気めっきを行う。電気めっき時
間が６０ｍｉｎまたは１５０ｍｉｎとする。
これによって、ブランドビアの直径が３０μｍ、ブランドビアの深さが２００μｍのＳｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材が得られる。ウェハの切断面の模様は、図１と図２に示される。
図１は６０ｍｉｎとする場合の電気めっきを示す図である。図２は１５０ｍｉｎとする場
合の電気めっきを示す図である。図１と図２に示す模様によれば、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶは
、ボトムアップ成長形態を呈する電気めっきのものとなり、孔内が完全に充填され、孔内
に空隙や隙間がなかったと分かった。チップ積層際の信号伝送性を向上できると考えられ
る。
実施例１
下記濃度の成分を含む。
硫酸銅五水和物：２００ｇ／Ｌ；
濃硫酸：５０ｇ／Ｌ
塩素イオン：５０ｍｇ／Ｌ（二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または
複数種から提供される）
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：４ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：６０ｍｇ／Ｌ
フェナジン染料：８０ｍｇ／Ｌ
電気めっき液の調整過程は下記の通りである。
１Ｌの電気めっき液を例とするが、水３００ｍｌに、順に、硫酸銅五水和物２００ｇ、濃
硫酸５０ｇ、二水和塩素化銅（塩化銅二水和物）０．１１４ｇ、３−Ｓ−イソチオ尿素プ
ロパンスルホナート０．００４ｇ、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル０．０６
ｇ、フェナジン染料０．０８ｇを添加して、攪拌して溶解させて、それから再び液位１Ｌ
となるように水を補充する。
本実施例の銅電気めっき液による電気めっきのプロセスパラメータは下記の通りである。
予処理のバキューム処理：１０ｍｉｎ
電気めっき液の交換時間：１０ｍｉｎ
温度：２５±２℃
電流密度：０．３Ａ／ｄｍ２
攪拌速率：２００ｒ／ｍｉｎ
また、電気めっき交換がおわると、電源をオンにさせて電気めっきを行う。電気めっき時
間が６０ｍｉｎまたは１５０ｍｉｎとする。
これによって、ブランドビアの直径が３０μｍ、ブランドビアの深さが２００μｍのＳｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材が得られる。ウェハの切断面の模様は、図１と図２に示される。
図１は６０ｍｉｎとする場合の電気めっきを示す図である。図２は１５０ｍｉｎとする場
合の電気めっきを示す図である。図１と図２に示す模様によれば、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶは
、ボトムアップ成長形態を呈する電気めっきのものとなり、孔内が完全に充填され、孔内
に空隙や隙間がなかったと分かった。チップ積層際の信号伝送性を向上できると考えられ
る。
実施例２
下記濃度の成分を含む。
硫酸銅五水和物：２２０ｇ／Ｌ；
濃硫酸：６０ｇ／Ｌ
塩素イオン：５０ｍｇ／Ｌ（二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または
複数種から提供される）
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：２ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：６０ｍｇ／Ｌ
ジフェニルメタン染料：６０ｍｇ／Ｌ
電気めっき液の調整過程は下記の通りである。
１Ｌの電気めっき液を例とするが、水３００ｍｌに、順に、硫酸銅五水和物２２０ｇ、濃
硫酸６０ｇ、二水和塩素化銅（塩化銅二水和物）０．１１４ｇ、３−Ｓ−イソチオ尿素プ
ロパンスルホナート０．００２ｇ、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル０．０６
ｇ、ジフェニルメタン染料０．０６ｇを添加して、攪拌して溶解させて、それから再び液
位１Ｌとなるように水を補充する。
本実施例の銅電気めっき液による電気めっきのプロセスパラメータは下記の通りである。
予処理のバキューム処理：１０ｍｉｎ
電気めっき液の交換時間：１０ｍｉｎ
温度：２５±２℃
電流密度：０．２５Ａ／ｄｍ２
攪拌速率：１５０ｒ／ｍｉｎ
また、電気めっき交換がおわると、電源をオンにさせて電気めっきを行う。電気めっき時
間が８０ｍｉｎまたは１５０ｍｉｎとする。
これによって、ブランドビアの直径が３５μｍ、ブランドビアの深さが１７５μｍのＳｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材が得られる。ウェハの切断面の模様は、図３と図４に示される。
図３と図４に示す模様によれば、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶは、孔内が完全に充填され、孔内に
空隙や隙間がなかったと分かった。チップ積層際の信号伝送性を向上できると考えられる
。
下記濃度の成分を含む。
硫酸銅五水和物：２２０ｇ／Ｌ；
濃硫酸：６０ｇ／Ｌ
塩素イオン：５０ｍｇ／Ｌ（二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または
複数種から提供される）
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：２ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：６０ｍｇ／Ｌ
ジフェニルメタン染料：６０ｍｇ／Ｌ
電気めっき液の調整過程は下記の通りである。
１Ｌの電気めっき液を例とするが、水３００ｍｌに、順に、硫酸銅五水和物２２０ｇ、濃
硫酸６０ｇ、二水和塩素化銅（塩化銅二水和物）０．１１４ｇ、３−Ｓ−イソチオ尿素プ
ロパンスルホナート０．００２ｇ、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル０．０６
ｇ、ジフェニルメタン染料０．０６ｇを添加して、攪拌して溶解させて、それから再び液
位１Ｌとなるように水を補充する。
本実施例の銅電気めっき液による電気めっきのプロセスパラメータは下記の通りである。
予処理のバキューム処理：１０ｍｉｎ
電気めっき液の交換時間：１０ｍｉｎ
温度：２５±２℃
電流密度：０．２５Ａ／ｄｍ２
攪拌速率：１５０ｒ／ｍｉｎ
また、電気めっき交換がおわると、電源をオンにさせて電気めっきを行う。電気めっき時
間が８０ｍｉｎまたは１５０ｍｉｎとする。
これによって、ブランドビアの直径が３５μｍ、ブランドビアの深さが１７５μｍのＳｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材が得られる。ウェハの切断面の模様は、図３と図４に示される。
図３と図４に示す模様によれば、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶは、孔内が完全に充填され、孔内に
空隙や隙間がなかったと分かった。チップ積層際の信号伝送性を向上できると考えられる
。
実施例３
下記濃度の成分を含む。
硫酸銅五水和物：２４０ｇ／Ｌ；
濃硫酸：５０ｇ／Ｌ
塩素イオン：４０ｍｇ／Ｌ（二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または
複数種から提供される）
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：４ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：６０ｍｇ／Ｌ
フェナジン染料：７０ｍｇ／Ｌ
電気めっき液の調整過程は下記の通りである。
１Ｌの電気めっき液を例とするが、水３００ｍｌに、順に、硫酸銅五水和物２４０ｇ、濃
硫酸５０ｇ、二水和塩素化銅（塩化銅二水和物）０．０９１ｇ、３−Ｓ−イソチオ尿素プ
ロパンスルホナート０．００４ｇ、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル０．０６
ｇ、フェナジン染料０．０７ｇを添加して、攪拌して溶解させて、それから再び液位１Ｌ
となるように水を補充する。
本実施例の銅電気めっき液による電気めっきのプロセスパラメータは下記の通りである。
予処理のバキューム処理：１０ｍｉｎ
電気めっき液の交換時間：１０ｍｉｎ
温度：２５±２℃
電流密度：０．１８Ａ／ｄｍ２
攪拌速率：２００ｒ／ｍｉｎ
また、電気めっき交換がおわると、電源をオンにさせて電気めっきを行う。電気めっき時
間が３０ｍｉｎまたは１８０ｍｉｎとする。
これによって、ブランドビアの直径が２０μｍ、ブランドビアの深さが２００μｍのＳｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材が得られる。ウェハの切断面の模様は、図５と図６に示される。
図５と図６に示す模様によれば、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶは、ボトムアップ成長形態を呈する
電気めっきのものとなり、孔内が完全に充填され、孔内に空隙や隙間がなかったと分かっ
た。チップ積層際の信号伝送性を向上できると考えられる。
下記濃度の成分を含む。
硫酸銅五水和物：２４０ｇ／Ｌ；
濃硫酸：５０ｇ／Ｌ
塩素イオン：４０ｍｇ／Ｌ（二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または
複数種から提供される）
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：４ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：６０ｍｇ／Ｌ
フェナジン染料：７０ｍｇ／Ｌ
電気めっき液の調整過程は下記の通りである。
１Ｌの電気めっき液を例とするが、水３００ｍｌに、順に、硫酸銅五水和物２４０ｇ、濃
硫酸５０ｇ、二水和塩素化銅（塩化銅二水和物）０．０９１ｇ、３−Ｓ−イソチオ尿素プ
ロパンスルホナート０．００４ｇ、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル０．０６
ｇ、フェナジン染料０．０７ｇを添加して、攪拌して溶解させて、それから再び液位１Ｌ
となるように水を補充する。
本実施例の銅電気めっき液による電気めっきのプロセスパラメータは下記の通りである。
予処理のバキューム処理：１０ｍｉｎ
電気めっき液の交換時間：１０ｍｉｎ
温度：２５±２℃
電流密度：０．１８Ａ／ｄｍ２
攪拌速率：２００ｒ／ｍｉｎ
また、電気めっき交換がおわると、電源をオンにさせて電気めっきを行う。電気めっき時
間が３０ｍｉｎまたは１８０ｍｉｎとする。
これによって、ブランドビアの直径が２０μｍ、ブランドビアの深さが２００μｍのＳｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材が得られる。ウェハの切断面の模様は、図５と図６に示される。
図５と図６に示す模様によれば、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶは、ボトムアップ成長形態を呈する
電気めっきのものとなり、孔内が完全に充填され、孔内に空隙や隙間がなかったと分かっ
た。チップ積層際の信号伝送性を向上できると考えられる。
実施例４
下記濃度の成分を含む。
硫酸銅五水和物：２４０ｇ／Ｌ；
濃硫酸：５０ｇ／Ｌ
塩素イオン：４０ｍｇ／Ｌ（二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または
複数種から提供される）
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：２ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：６０ｍｇ／Ｌ
フェナジン染料：６０ｍｇ／Ｌ
電気めっき液の調整過程は下記の通りである。
１Ｌの電気めっき液を例とするが、水３００ｍｌに、順に、硫酸銅五水和物２４０ｇ、濃
硫酸５０ｇ、二水和塩素化銅（塩化銅二水和物）０．０９１ｇ、３−Ｓ−イソチオ尿素プ
ロパンスルホナート０．００２ｇ、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル０．０６
ｇ、フェナジン染料０．０６ｇを添加して、攪拌して溶解させて、それから再び液位１Ｌ
となるように水を補充する。
本実施例の銅電気めっき液による電気めっきのプロセスパラメータは下記の通りである。
予処理のバキューム処理：１０ｍｉｎ
電気めっき液の交換時間：１０ｍｉｎ
温度：２５±２℃
電流密度：０．２Ａ／ｄｍ２
攪拌速率：１５０ｒ／ｍｉｎ
また、電気めっき交換がおわると、電源をオンにさせて電気めっきを行う。電気めっき時
間が９０ｍｉｎまたは１５０ｍｉｎとする。
これによって、ブランドビアの直径が２０μｍ、ブランドビアの深さが１５０μｍのＳｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材が得られる。ウェハの切断面の模様は、図７と図８に示される。
図７と図８に示す模様によれば、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶは、ボトムアップ成長形態を呈する
電気めっきのものとなり、孔内が完全に充填され、孔内に空隙や隙間がなかったと分かっ
た。チップ積層際の信号伝送性を向上できると考えられる。
下記濃度の成分を含む。
硫酸銅五水和物：２４０ｇ／Ｌ；
濃硫酸：５０ｇ／Ｌ
塩素イオン：４０ｍｇ／Ｌ（二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または
複数種から提供される）
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：２ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：６０ｍｇ／Ｌ
フェナジン染料：６０ｍｇ／Ｌ
電気めっき液の調整過程は下記の通りである。
１Ｌの電気めっき液を例とするが、水３００ｍｌに、順に、硫酸銅五水和物２４０ｇ、濃
硫酸５０ｇ、二水和塩素化銅（塩化銅二水和物）０．０９１ｇ、３−Ｓ−イソチオ尿素プ
ロパンスルホナート０．００２ｇ、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル０．０６
ｇ、フェナジン染料０．０６ｇを添加して、攪拌して溶解させて、それから再び液位１Ｌ
となるように水を補充する。
本実施例の銅電気めっき液による電気めっきのプロセスパラメータは下記の通りである。
予処理のバキューム処理：１０ｍｉｎ
電気めっき液の交換時間：１０ｍｉｎ
温度：２５±２℃
電流密度：０．２Ａ／ｄｍ２
攪拌速率：１５０ｒ／ｍｉｎ
また、電気めっき交換がおわると、電源をオンにさせて電気めっきを行う。電気めっき時
間が９０ｍｉｎまたは１５０ｍｉｎとする。
これによって、ブランドビアの直径が２０μｍ、ブランドビアの深さが１５０μｍのＳｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材が得られる。ウェハの切断面の模様は、図７と図８に示される。
図７と図８に示す模様によれば、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶは、ボトムアップ成長形態を呈する
電気めっきのものとなり、孔内が完全に充填され、孔内に空隙や隙間がなかったと分かっ
た。チップ積層際の信号伝送性を向上できると考えられる。
実施例５
下記濃度の成分を含む。
硫酸銅五水和物：２２０ｇ／Ｌ；
濃硫酸：６０ｇ／Ｌ
塩素イオン：４５ｍｇ／Ｌ（二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または
複数種から提供される）
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：４ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：８０ｍｇ／Ｌ
フタロシアニン染料：６０ｍｇ／Ｌ
電気めっき液の調整過程は下記の通りである。
１Ｌの電気めっき液を例とするが、水３００ｍｌに、順に、硫酸銅五水和物２２０ｇ、濃
硫酸６０ｇ、二水和塩素化銅（塩化銅二水和物）０．１０２ｇ、３−Ｓ−イソチオ尿素プ
ロパンスルホナート０．００４ｇ、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル０．０８
ｇ、フタロシアニン染料０．０６ｇを添加して、攪拌して溶解させて、それから再び液位
１Ｌとなるように水を補充する。
本実施例の銅電気めっき液による電気めっきのプロセスパラメータは下記の通りである。
予処理のバキューム処理：１０ｍｉｎ
電気めっき液の交換時間：１０ｍｉｎ
温度：２５±２℃
電流密度：０．１５Ａ／ｄｍ２
攪拌速率：２００ｒ／ｍｉｎ
また、電気めっき交換がおわると、電源をオンにさせて電気めっきを行う。電気めっき時
間が１２０ｍｉｎとする。
これによって、ブランドビアの直径が１０μｍ、ブランドビアの深さが１００μｍのＳｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材が得られる。ウェハの切断面の模様は、図９に示される。図９に
示す模様によれば、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶは、ボトムアップ成長形態を呈する電気めっきの
ものとなり、孔内が完全に充填され、孔内に空隙や隙間がなかったと分かった。チップ積
層際の信号伝送性を向上できると考えられる。
下記濃度の成分を含む。
硫酸銅五水和物：２２０ｇ／Ｌ；
濃硫酸：６０ｇ／Ｌ
塩素イオン：４５ｍｇ／Ｌ（二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または
複数種から提供される）
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：４ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：８０ｍｇ／Ｌ
フタロシアニン染料：６０ｍｇ／Ｌ
電気めっき液の調整過程は下記の通りである。
１Ｌの電気めっき液を例とするが、水３００ｍｌに、順に、硫酸銅五水和物２２０ｇ、濃
硫酸６０ｇ、二水和塩素化銅（塩化銅二水和物）０．１０２ｇ、３−Ｓ−イソチオ尿素プ
ロパンスルホナート０．００４ｇ、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル０．０８
ｇ、フタロシアニン染料０．０６ｇを添加して、攪拌して溶解させて、それから再び液位
１Ｌとなるように水を補充する。
本実施例の銅電気めっき液による電気めっきのプロセスパラメータは下記の通りである。
予処理のバキューム処理：１０ｍｉｎ
電気めっき液の交換時間：１０ｍｉｎ
温度：２５±２℃
電流密度：０．１５Ａ／ｄｍ２
攪拌速率：２００ｒ／ｍｉｎ
また、電気めっき交換がおわると、電源をオンにさせて電気めっきを行う。電気めっき時
間が１２０ｍｉｎとする。
これによって、ブランドビアの直径が１０μｍ、ブランドビアの深さが１００μｍのＳｕ
ｐｅｒ−ＴＳＶ銅配線材が得られる。ウェハの切断面の模様は、図９に示される。図９に
示す模様によれば、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶは、ボトムアップ成長形態を呈する電気めっきの
ものとなり、孔内が完全に充填され、孔内に空隙や隙間がなかったと分かった。チップ積
層際の信号伝送性を向上できると考えられる。
スーパーTSV（Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶ）めっき時には、めっき時間によって、スーパーTSVの
ブラインドホール内の銅層の厚さが一致しないため、時間を調整して厚さを制御する必要
があり、上記の具体的な実施例においてめっき時間が異なる。
ブラインドホール内の銅層の厚さが一致しないため、時間を調整して厚さを制御する必要
があり、上記の具体的な実施例においてめっき時間が異なる。
上記5つの実施例を総合すると、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶは、ボトムアップ成長形態を呈する
電気めっきのものとなり、従来のＳｕｐｅｒ−ＴＳＶの充填における空隙や隙間等の問題
を解決できた。有効的に空隙による信号伝送の不安定、大抵抗、電力消費過大などの欠陥
を有効的に防止することができ、付き回り性がよく、表面の光沢と均一性も良好などの特
徴を有することができ、より確実的な電子製品を製造できる。この5枚の図は5つの異なる
奥行き比のホール型を表している。ホール型によって必要な添加物濃度、電流密度及び時
間が異なるので、ここではホール型毎の最適な実験パラメータを列挙して実証した。前の
5つの実施例では、各データは2つの時間に分けられている。その目的は、Ｓｕｐｅｒ−Ｔ
ＳＶ電気めっきの過程において、ボトムアップ成長形態を呈して、底から上に成長し、同
時にＳｕｐｅｒ−ＴＳＶ電気めっきが完了した後、隙間がないことを証明するためである
。
電気めっきのものとなり、従来のＳｕｐｅｒ−ＴＳＶの充填における空隙や隙間等の問題
を解決できた。有効的に空隙による信号伝送の不安定、大抵抗、電力消費過大などの欠陥
を有効的に防止することができ、付き回り性がよく、表面の光沢と均一性も良好などの特
徴を有することができ、より確実的な電子製品を製造できる。この5枚の図は5つの異なる
奥行き比のホール型を表している。ホール型によって必要な添加物濃度、電流密度及び時
間が異なるので、ここではホール型毎の最適な実験パラメータを列挙して実証した。前の
5つの実施例では、各データは2つの時間に分けられている。その目的は、Ｓｕｐｅｒ−Ｔ
ＳＶ電気めっきの過程において、ボトムアップ成長形態を呈して、底から上に成長し、同
時にＳｕｐｅｒ−ＴＳＶ電気めっきが完了した後、隙間がないことを証明するためである
。
以上の開示は、本発明の発明者のサンプルに係る実施例に過ぎず、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、いかなる分野の技術者も考えることができる変化は、本発明の保護範
囲に含まれるべきである。
れるものではなく、いかなる分野の技術者も考えることができる変化は、本発明の保護範
囲に含まれるべきである。
Claims (5)
- ウエハレベルパッケージにおけるシリカ貫通電極(Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶ)の銅配線材に用い
る銅電気めっき液であって、下記濃度の成分：
硫酸銅五水和物：１００〜２５０ｇ／Ｌ
濃硫酸：４０〜８０ｇ／Ｌ
塩素イオン：３０〜５０ｍｇ／Ｌ
３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナート：１〜５ｍｇ／Ｌ
ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル：５０〜１００ｍｇ／Ｌ
フェナジン染料：４０〜８０ｍｇ／Ｌ
ＤＩ純水：残量
を含むものであり、
上記成分を均一に混合することにより制作され、
ウェハチップに対して電気めっきを行う前に、予処理液により真空処理を行うことと、前
記予処理液はＤＩ純水として、ウェハチップを電気めっきハンガーにより取り付けて、真
空装置内でＤＩ純水によって５〜１０ｍｉｎバキュームすることと、バキュームした後、
該銅電気めっき液中において電気めっきを行うことと、を含むものである、
ことを特徴とする銅電気めっき液。 - 前記ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルは、濃度が６０〜８０ｍｇ／Ｌとするも
のであり、溝液表面張力を低減させ、湿潤効果を向上させ、Ｓｕｐｅｒ−ＴＳＶのブラン
ドビア内のシード層に整然と銅層を電気めっきする機能を発揮するものとすることを特徴
とする請求項１に記載の銅電気めっき液。 - 前記フェナジン染料は濃度が６０〜８０ｍｇ／Ｌとするものであり、該フェナジン染料は
添加剤系において重要なものであり、電流密度が大きい領域に付着することで、Ｓｕｐｅ
ｒ−ＴＳＶのブランドビアの孔口における電位を低減させ、電流密度がより低いブランド
ビアの孔底に銅を電気めっきするようにでき、ボトムアップ成長形態を構成する機能を発
揮するものとすることを特徴とする請求項１に記載の銅電気めっき液。 - 前記硫酸銅五水和物は濃度が２００〜２４０ｇ／Ｌとするものであり、電気めっき液の銅
イオンの主なソースであり、
前記濃硫酸は濃度が４０〜６０ｇ／Ｌとするものであり、電気めっき液の導電性を向上で
きる、
ことを特徴とする請求項１に記載の銅電気めっき液。 - 前記塩素イオンは濃度が４０〜５０ｍｇ／Ｌとするものであり、塩素イオンは、二水和塩
化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または複数種から提供され、ウェハ表面の光
沢と平坦性を向上でき、銅層の質を改善することができ、
前記３−Ｓ−イソチオ尿素プロパンスルホナートは濃度が２〜４ｍｇ／Ｌとするものであ
り、銅電気めっきを加速させる効果があり、銅層表面を明るくさせる機能を発揮させるも
のとする、
ことを特徴とする請求項１に記載の銅電気めっき液
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