JP6899062B1 - Icボードのスルーホールを充填するための電気銅めっき液およびその電気めっき方法 - Google Patents
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Abstract
Description
電気銅めっき液およびその電気めっき方法に関する。
確実な方法でチップと基板の高密度相互接続(HDI)を実現することができる。IC搭
載ボードはPCBの小型化技術分野の最高レベルであり、ICチップとPCBの間の接続
を提供する。これらの接続は導電性の銅の配線とスルーホールの電気ネットワークによっ
て実現される。電子製品の小型化、速度と携帯性において、スルーホールの相互接続する
ことは重要な要素である。過去数十年間において、配線密度は大幅に増加しており、薄い
チップ材料、精密で細い配線幅、より小さい直径のスルーホールと盲ホールなどの現在の
プリント回路の設計要求を満たすために、IC基板上のスルーホールめっきの開発がマイ
クロエレクトロニクス分野の人気のあるテーマとなっている。
スルーホール充填メッキなどの技術が含まれる。この中で、ホール隠し樹脂はスルーホー
ル壁に一層などの壁の導電性銅を堆積させ、穴の中の余剰空間を穴埋め用インクで充填し
、スルーホールを充填する目的を達成する。この方法の利点は低コストであるにあり、し
かしながら1層の導電性銅だけでは信号伝送面積が小さいため,電力の大きな信号伝送に
対して放熱が大きな問題となる。積層ホール隠しとは、ブラインドビアホール(有底ホー
ル)を電気めっきした後に機械的に薄くすることをいい、露出した銅金属を積圧する方法
で重ねて銅の導電リンクを形成することをさす。この方法は複雑すぎて、複数の技術を組
み合わせて、時間がかかる。スルーホール充填めっきは新しい技術であり、このプロセス
は銅の導電面積を高め、放熱と信号伝達を増加させることが目的であり、プロセスステッ
プを減らすことができ、将来的にはホール隠し樹脂に取って代わる積層ホール隠しの必要
な技術である。
の間に隙間がないようにするかということにあり、隙間があれば大電流が通ると、電気伝
導放熱によってスルーホールの中が空洞が膨張し、回線の故障などの問題が発生する。こ
のような状況を避けるために、最も重要なポイントはスルーホール内部の銅金属を優先的
にスルーホール中心位置に堆積させて「蝶型(X型)」を形成し、さらに二つのブライン
ドビアホールを形成して充填することにより、空洞の形成を防ぐことができる。このため
、難点は,適切な添加剤と適切なめっきパラメータを選択するによるこの「蝶型」が形成
され,さらにスルーホール内に空洞や隙間などの欠陥が生じることを防止することである
。また、大部分のメーカーはパルス電源めっき装置を採用するため、大幅に設備のコスト
が高まっている。また、銅も厚いため、その後、機械的に薄くする必要があり、これによ
って、生産コストと時間が増加する。本発明の最大の改善は、この技術的な欠陥を解決し
、直流電源を採用し、生産コストを減少させることにある。スルーホールの中間成長傾向
は「蝶型」であり、空洞や隙間などの欠陥がなく、続いて完全に銅ホールを充填し、表面
銅は比較的薄いため、直接後続のプロセスを行うことができ、表面銅を薄くする必要がな
い。
るための電気銅めっき液及びその電気めっき方法を提供する。該電気めっき液は、従来の
ICボードのスルーホール電気めっき工程における穴や隙間という欠陥、パルス電源設備
による高コスト、表面銅が厚くて多数回の機械的肉薄化加工が必要となることなど、を克
服することができ、穴による信号伝送の不安定、大抵抗、電力消費過大などの欠陥を有効
的に防止することができ、より確実的な電子製品を製造できる。
の電気銅めっき液であって、
下記濃度の成分:
メチルスルホン酸銅:180〜240g/L
メチルスルホン酸:40〜70g/L
塩素イオン:30〜50mg/L
3−チオール−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(MPS):2〜5mg/L
ジヘキシルスルホコハク酸ナトリウム:40〜100mg/L
ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC):100〜180mg/L
DI純水:残量
を含むものであり、
上記成分を均一に混合することにより制作され、
ICボードに対して電気めっきを行う前に、予処理液により噴出処理を行うこと、前記予
処理液がDI純水とし、ICボードを陰極電気めっきハンガーに固定し、陽極が両側燐銅
陽極とし、予処理液により陰極ICボードにDI純水噴出処理を行い、該処理が終了する
とこの電気銅めっき液中で電気めっきを行うこと、電気めっきの過程では、電気銅めっき
液によって、ICボードのスルーホール内の銅金属を優先的にスルーホールの中心位置に
堆積させて、蝶型を形成することにより、2個のブラインドビアホールを形成するように
なり、それらを充填して、それにより穴の形成を防止すること、該電気めっき液により、
深さが300μm、直径が130μm、中間幅が90μmのスルーホールを完全的に充填
することができ、表面銅厚さが8.5μmとなることを含む、
ことを特徴とする前記電気銅めっき液を提供する。
160mg/Lとするもので、ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)、ヤヌス
グリーン染料、ジフェニルメタン染料及びフタロシアニン染料の中の一種または多種類の
組み合わせで使用され、該ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)は添加剤系に
おいて、ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)の物質上で窒素元素を含むこと
で、集中的に高電位領域に付着可能となり、ICボードにおける導電物質は表面銅とスル
ーホール内となり、またスルーホールの中心位置が低電位領域となることで、銅金属を快
速的にスルーホール内まで充填することができるようになり、それにより蝶型を形成する
。
2〜4mg/Lとするもので、該添加剤の成分において硫黄物質を含むことで、導電層表
面およびスルーホール内部まで付着することができ、抑制力が低い抑制剤としながら、電
気銅めっきを加速するとともに、ICボード表面を明るくさせる機能を発揮する。
るもので、ICボードの表面銅およびスルーホール内の表面張力を低減させ、湿潤効果を
向上させ、銅金属を整然とICボードのスルーホール内に電気めっきさせる機能を発揮す
る。
めっき液の銅イオンの主なソースとなり、メチルスルホン酸はその濃度が40〜60g/
Lとするもことにより、電気めっき液の導電性を向上することができ、塩素イオンはその
濃度が40〜50mg/Lとする。
の電気銅めっき液の電気めっき方法であって、
ICボードを陰極電気めっきハンガーに固定し、ただし陽極が両側燐銅陽極とし、予処理
液により陰極ICボードに対してDI純水噴出処理を行うこと、噴出処理を行うのは、D
I純水をスルーホール内に進入させて、噴出による圧力にて、ICボードのスルーホール
内の空気を排出させることにより、空気により気泡がスルーホールの中心位置に掛けられ
ることで電気めっき効果を影響することを防止するためであること、また、スルーホール
内に気泡が掛けられたとした場合、気泡により遮断層が形成され、スルーホール内にそれ
ぞれ両方向である2個のブラインドビアホールが形成されるようになり、電気めっき液の
成分における添加剤によりホール内においてスルーホールの電気めっき効果を実現しなく
なること、
噴出処理後のICボードを電気銅めっき液の溝中に配置して攪拌して、循環させて、揺れ
ることにより、電気銅めっき液の流動を加速させ、電気めっき液における銅イオンおよび
添加剤をICボードのスルーホールに進入しやすくさせて、電気めっき液からスルーホー
ル内に十分な銅イオンおよび添加剤を提供することができること、添加剤の主な成分が、
硫黄または窒素含有の有機物とすることにより、高電位の位置である両側の表面銅および
ホール口の位置に付着することができ、これら位置において金属銅の成長を抑制すること
ができ、スルーホールの中心位置において優先的に電気めっきさせることができるように
なり、その結果、蝶型を形成することができること、電気銅めっき液において絶えず流れ
て十分に提供される金属銅イオンおよび添加剤を双側表面銅の付近とスルーホールのホー
ル口位置に補足させることで、電気めっき効果がより均一となるようになり、それにより
銅イオンと添加剤の消耗が速すぎることによりスルーホール内に蝶型を形成できず穴や薄
暗くなるなどを発生することを防止できること、
上記の準備処理が終わると、電源をオンにさせて電気めっきを行って、ICボードのスル
ーホールの直径および深さにしたがって、電流密度と電気めっき時間を調整すること、
を含むことを特徴とする前記電気めっき方法を提供する。
ルを充填するための電気銅めっき液およびその電気めっき方法は下記の有利な効果がある
。
3−チオール−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(MPS)、ジヘキシルスルホコハク
酸ナトリウム、ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)が含まれる。ニトロブル
ーテトラゾリウム塩化物(NTBC)を含むので、ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(
NTBC)の物質上では窒素元素を含んで、集中的に高電位の領域に付着可能になる。I
Cボードにおける導電物質が、表面銅とスルーホールホール内へとなって、またスルーホ
ールの中心位置が低電位領域となるので、快速的に銅金属をスルーホール内まで充填して
、「蝶型」を形成することができる。その結果、深さが300μm、直径が130μm、
中間幅が90μmのスルーホールを完全的に充填することができるようになる。その場合
、表面銅の厚さが8.5μmとなる。
内に穴や隙間がなく、表面銅が薄い(8.5μm)ICボードのスルーホールが得られる
。穴による信号伝送の不安定、大抵抗、電力消費過大などの欠陥を効果的に防止すること
ができる。より確実的な電子製品を製造できるようになる。また、完全的に充填した銅の
ホールを制作でき、表面銅が薄いので、そのまま以降の工程に続くことができ、表面銅の
薄肉加工がいらなくなる。ようするに、本発明の電気めっき液により、チップパッケージ
製品の導電性能、熱性能と確実性を向上することが可能となる。
。
下記濃度の成分:
メチルスルホン酸銅:180〜240g/L
メチルスルホン酸:40〜70g/L
塩素イオン:30〜50mg/L
3−チオール−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(MPS):2〜5mg/L
ジヘキシルスルホコハク酸ナトリウム:40〜100mg/L
ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC):100〜180mg/L
DI純水:残量
を含むものであり、
上記成分を均一に混合することにより制作され、
ICボードに対して電気めっきを行う前に、予処理液により噴出処理を行うこと、前記予
処理液がDI純水とし、ICボードを陰極電気めっきハンガーに固定し、陽極が両側燐銅
陽極とし、予処理液により陰極ICボードにDI純水噴出処理を行い、該処理が終了する
とこの電気銅めっき液中で電気めっきを行うこと、電気めっきの過程では、電気銅めっき
液によって、ICボードのスルーホール内の銅金属を優先的にスルーホールの中心位置に
堆積させて、蝶型を形成することにより、2個のブラインドビアホールを形成するように
なり、それらを充填して、それにより穴の形成を防止すること、該電気めっき液により、
深さが300μm、直径が130μm、中間幅が90μmのスルーホールを完全的に充填
することができ、表面銅厚さが8.5μmとなることを含む、
ことを特徴とする前記電気銅めっき液である。
20〜160mg/Lとするもので、ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)、
ヤヌスグリーン染料、ジフェニルメタン染料及びフタロシアニン染料の中の一種または多
種類の組み合わせで使用され、該ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)は添加
剤系において、ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)の物質上で窒素元素を含
むことで、集中的に高電位領域に付着可能となり、ICボードにおける導電物質は表面銅
とスルーホール内となり、またスルーホールの中心位置が低電位領域となることで、銅金
属を快速的にスルーホール内まで充填することができるようになり、それにより蝶型を形
成する。
濃度が2〜4mg/Lとするもので、該添加剤の成分において硫黄物質を含むことで、導
電層表面およびスルーホール内部まで付着することができ、抑制力が低い抑制剤としなが
ら、電気銅めっきを加速するとともに、ICボード表面を明るくさせる機能を発揮する。
Lとするもので、ICボードの表面銅およびスルーホール内の表面張力を低減させ、湿潤
効果を向上させ、銅金属を整然とICボードのスルーホール内に電気めっきさせる機能を
発揮する。
っき液の銅イオンの主なソースとなり、メチルスルホン酸はその濃度が40〜60g/L
とするもことにより、電気めっき液の導電性を向上することができ、塩素イオンはその濃
度が40〜50mg/Lとするもので、塩素イオンが、二水和塩化銅、塩化ナトリウムま
たは塩酸の中の一種または複数種から提供され、ICボードの表面銅およびホール内の銅
金属の明るさと平坦性を向上することができ、ICボード電気めっきの質量を改善するこ
とができる。
るための電気銅めっき液の電気めっき方法であって、
ICボードを陰極電気めっきハンガーに固定し、ただし陽極が両側燐銅陽極とし、予処理
液により陰極ICボードに対してDI純水噴出処理を行うこと、噴出処理を行うのは、D
I純水をスルーホール内に進入させて、噴出による圧力にて、ICボードのスルーホール
内の空気を排出させることにより、空気により気泡がスルーホールの中心位置に掛けられ
ることで電気めっき効果を影響することを防止するためであること、また、スルーホール
内に気泡が掛けられたとした場合、気泡により遮断層が形成され、スルーホール内にそれ
ぞれ両方向である2個のブラインドビアホールが形成されるようになり、電気めっき液の
成分における添加剤によりホール内においてスルーホールの電気めっき効果を実現しなく
なること、
噴出処理後のICボードを電気銅めっき液の溝中に配置して攪拌して、循環させて、揺れ
ることにより、電気銅めっき液の流動を加速させ、電気めっき液における銅イオンおよび
添加剤をICボードのスルーホールに進入しやすくさせて、電気めっき液からスルーホー
ル内に十分な銅イオンおよび添加剤を提供することができること、添加剤の主な成分が、
硫黄または窒素含有の有機物とすることにより、高電位の位置である両側の表面銅および
ホール口の位置に付着することができ、これら位置において金属銅の成長を抑制すること
ができ、スルーホールの中心位置において優先的に電気めっきさせることができるように
なり、その結果、蝶型を形成することができること、電気銅めっき液において絶えず流れ
て十分に提供される金属銅イオンおよび添加剤を双側表面銅の付近とスルーホールのホー
ル口位置に補足させることで、電気めっき効果がより均一となるようになり、それにより
銅イオンと添加剤の消耗が速すぎることによりスルーホール内に蝶型を形成できず穴や薄
暗くなるなどを発生することを防止できること、
上記の準備処理が終わると、電源をオンにさせて電気めっきを行って、ICボードのスル
ーホールの直径および深さにしたがって、電流密度と電気めっき時間を調整すること、
を含むことを特徴とする前記電気めっき方法を提供する。
電気めっきする際における電流密度が1〜1.5A/dm2とし、温度が25〜35℃と
し、攪拌速率が100〜200r/minとする。
イオンおよび添加剤をICボードのスルーホール内に進入させるためである。
スルーホールの充填効果を決定し、電流密度が過小や過大である場合、スルーホール内等
における壁成長や両端における突起成長を引き起こやすく、それによりスルーホール内に
隙間が形成されるようになり、適当に電流密度を調整することにより、蝶型という性能指
標を満足するという条件下で、生産の時間を節約することができ、前記電気めっき温度は
25〜35℃とするように、適当に温度を増加することにより、ICボードのスルーホー
ルのホール充填にかかる電気めっき効率を向上することができ、前記攪拌速率は100〜
200r/minの間において、攪拌速率は電気めっき液における銅イオンおよび添加剤
の交換速度に影響を与える。
めの電気銅めっき液およびその電気めっき方法は下記の有利な効果がある。
3−チオール−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(MPS)、ジヘキシルスルホコハク
酸ナトリウム、ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)が含まれる。ニトロブル
ーテトラゾリウム塩化物(NTBC)を含むので、ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(
NTBC)の物質上では窒素元素を含んで、集中的に高電位の領域に付着可能になる。I
Cボードにおける導電物質が、表面銅とスルーホールホール内へとなって、またスルーホ
ールの中心位置が低電位領域となるので、快速的に銅金属をスルーホール内まで充填して
、「蝶型」を形成することができる。その結果、深さが300μm、直径が130μm、
中間幅が90μmのスルーホールを完全的に充填することができるようになる。その場合
、表面銅の厚さが8.5μmとなる。
内に穴や隙間がなく、表面銅が薄い(8.5μm)ICボードのスルーホールが得られる
。穴による信号伝送の不安定、大抵抗、電力消費過大などの欠陥を効果的に防止すること
ができる。より確実的な電子製品を製造できるようになる。また、完全的に充填した銅の
ホールを制作でき、表面銅が薄いので、そのまま以降の工程に続くことができ、表面銅の
薄肉加工がいらなくなる。ようするに、本発明の電気めっき液により、チップパッケージ
製品の導電性能、熱性能と確実性を向上することが可能となる。
実施例1
下記成分とした。
メチルスルホン酸銅:220g/L
メチルスルホン酸:50g/L
塩素イオン:50mg/L(、二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種また
は複数種から提供される)
3−チオール−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(MPS):4mg/L
ジヘキシルスルホコハク酸ナトリウム:60mg/L
ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC):50mg/L
電気めっき液1Lを例とした。水300mlに、順次にメチルスルホン酸銅220g、メ
チルスルホン酸50g、二水和塩素化銅(塩化銅二水和物)0.114g、3−チオール
−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(MPS)0.004g、ジヘキシルスルホコハク
酸ナトリウム0.06g、ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)0.05gを
加える。ついでに、攪拌して溶解させる。そして、液位を1Lにさせるように水を補充し
た。
、下記とした。
噴出時間:5min
電気めっき液交換時間:5min
温度:35±2℃
電流密度:1A/dm2
攪拌速率:200r/min
攪拌時間:120min
ール材が得られた。ボードの切断面の模様が、図1に示されるものとなった。図1に示す
模様から、ICボードのスルーホールの成長過程が良くなかったが、スルーホールの内部
に空洞が出現していることがわかった。それにより、信号伝送の不安定、大抵抗、電力消
費過大などの欠陥が生じる。
下記成分とした。
メチルスルホン酸銅:200g/L
メチルスルホン酸:50g/L
塩素イオン:50mg/L(、二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種また
は複数種から提供される)
3−チオール−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(MPS):4mg/L
ジヘキシルスルホコハク酸ナトリウム:60mg/L
ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC):120mg/L
電気めっき液1Lを例とした。水300mlに、順次にメチルスルホン酸銅200g、メ
チルスルホン酸50g、二水和塩素化銅(塩化銅二水和物)0.114g、3−チオール
−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(MPS)0.004g、ジヘキシルスルホコハク
酸ナトリウム0.06g、ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)0.12gを
加える。ついでに、攪拌して溶解させる。そして、液位を1Lにさせるように水を補充し
た。
、下記とした。
噴出時間:5min
電気めっき液交換時間:5min
温度:35±2℃
電流密度:1A/dm2
攪拌速率:200r/min
攪拌時間:60min
ール材が得られた。ボードの切断面の模様が、図2に示されるものとなった。図2に示す
模様から、ICボードのスルーホールの成長過程は良好で、スルーホールの中間の突起が顕
著であり、空洞が発生する恐れがない。
下記成分とした。
メチルスルホン酸銅:220g/L
メチルスルホン酸:60g/L
塩素イオン:50mg/L(、二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種また
は複数種から提供される)
3−チオール−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(MPS):2mg/L
ジヘキシルスルホコハク酸ナトリウム:60mg/L
ジフェニルメタン染料:140mg/L
電気めっき液1Lを例とした。水300mlに、順次にメチルスルホン酸銅220g、メ
チルスルホン酸60g、二水和塩素化銅(塩化銅二水和物)0.114g、3−チオール
−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(MPS)0.002g、ジヘキシルスルホコハク
酸ナトリウム0.06g、ジフェニルメタン染料0.14gを加える。ついでに、攪拌し
て溶解させる。そして、液位を1Lにさせるように水を補充した。
、下記とした。
噴出時間:5min
電気めっき液交換時間:10min
温度:25±2℃
電流密度:1.2A/dm2
攪拌速率:150r/min
攪拌時間:120min
ール材が得られた。ボードの切断面の模様が、図3に示されるものとなった。図3に示す
模様から、ICボードのスルーホールはすでに「蝶型」となっており、空洞の発生はなく、
チップパッケージ製品の導電性、熱性能、信頼性を高めることができる。
下記成分とした。
メチルスルホン酸銅:240g/L
メチルスルホン酸:50g/L
塩素イオン:40mg/L(、二水和塩化銅、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種また
は複数種から提供される)
3−チオール−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(MPS):4mg/L
ジヘキシルスルホコハク酸ナトリウム:60mg/L
ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC):160mg/L
電気めっき液1Lを例とした。水300mlに、順次にメチルスルホン酸銅240g、メ
チルスルホン酸50g、二水和塩素化銅(塩化銅二水和物)0.091g、3−チオール
−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(MPS)0.004g、ジヘキシルスルホコハク
酸ナトリウム0.06g、ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)0.16gを
加える。ついでに、攪拌して溶解させる。そして、液位を1Lにさせるように水を補充し
た。
、下記とした。
噴出時間:10min
電気めっき液交換時間:10min
温度:30±2℃
電流密度:1.5A/dm2
攪拌速率:200r/min
攪拌時間:240min
ール材が得られた。ボードの切断面の模様が、図4に示されるものとなった。図4に示す
模様から、ICボードのスルーホールの充填が完了し、空洞や隙間などの不良現象がなく、
表面は滑らかで、表面銅は薄く、チップのパッケージ製品の導電性、熱性能と信頼性を高
めることができる。
と結論付けられる。従来のICボードのスルーホール電気めっき工程における穴や隙間と
いう欠陥、パルス電源設備による高コスト、表面銅が厚くて多数回の機械的肉薄化加工が
必要となることなど、を克服することができ、穴による信号伝送の不安定、大抵抗、電力
消費過大などの欠陥を有効的に防止することができ、より確実的な電子製品を製造できる
。
かなる当業者が考えることができる変化は本発明の保護範囲に含まれるべきである。
Claims (4)
- ICボードのスルーホールを充填するための電気銅めっき液であって、
下記濃度の成分:
メチルスルホン酸銅:180〜240g/L
メチルスルホン酸:40〜70g/L
塩素イオン:30〜50mg/L
3−チオール−1−プロパンスルホン酸ナトリウム(MPS):2〜5mg/L
ジヘキシルスルホコハク酸ナトリウム:40〜100mg/L
ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC):100〜180mg/L
DI純水:残量
を含むものであり、
上記成分を均一に混合することにより制作され、
ICボードに対して電気めっきを行う前に、予処理液により噴出処理を行うこと、前記予
処理液がDI純水とし、ICボードを陰極電気めっきハンガーに固定し、陽極が両側燐銅
陽極とし、予処理液により陰極ICボードにDI純水噴出処理を行い、該処理が終了する
とこの電気銅めっき液中で電気めっきを行うこと、電気めっきの過程では、電気銅めっき
液によって、ICボードのスルーホール内の銅金属を優先的にスルーホールの中心位置に
堆積させて、2個のブラインドビアホールを形成するようになり、それらを充填して、そ
れにより穴の形成を防止すること、該電気めっき液により、深さが300μm、直径が1
30μm、中間幅が90μmのスルーホールを完全的に充填することができ、表面銅厚さ
が8.5μmとなることを含む、
ことを特徴とする電気銅めっき液。 - 前記ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)はその濃度が120〜160mg/
Lとするもので、ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)、ヤヌスグリーン染料
、ジフェニルメタン染料及びフタロシアニン染料の中の一種または多種類の組み合わせで
使用され、該ニトロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)は添加剤系において、ニト
ロブルーテトラゾリウム塩化物(NTBC)の物質上で窒素元素を含むことで、集中的に
高電位領域に付着可能となり、ICボードにおける導電物質は表面銅とスルーホール内と
なり、またスルーホールの中心位置が低電位領域となることで、銅金属を快速的にスルー
ホール内まで充填することができる、ことを特徴とする請求項1に記載の電気銅めっき液
。 - ジヘキシルスルホコハク酸ナトリウムはその濃度が60〜80mg/Lとするもので、I
Cボードの表面銅およびスルーホール内の表面張力を低減させ、湿潤効果を向上させ、銅
金属を整然とICボードのスルーホール内に電気めっきさせる機能を発揮するものとする
ことを特徴とする請求項1に記載の電気銅めっき液。 - メチルスルホン酸銅はその濃度が200〜240g/Lとするもので、電気めっき液の銅
イオンの主なソースとなり、
メチルスルホン酸はその濃度が40〜60g/Lとするもことにより、電気めっき液の導
電性を向上することができ、
塩素イオンはその濃度が40〜50mg/Lとするもので、塩素イオンが、二水和塩化銅
、塩化ナトリウムまたは塩酸の中の一種または複数種から提供され、ICボードの表面銅
およびホール内の銅金属の明るさと平坦性を向上することができ、ICボード電気めっき
の質量を改善することができる、
ことを特徴とする請求項1に記載の電気銅めっき液。
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