JP6875799B2 - 窒化アルミニウム焼結体 - Google Patents
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Description
直接窒化法により得られた窒化アルミニウム(Ca成分:9ppm(質量基準)、Mg成分:8ppm(質量基準)、酸素:1.3質量%、遷移金属:34ppm(質量基準))を、温度を1950℃、プレス圧を6MPaの条件下で、2時間ホットプレス焼結し、焼結後50℃/分の降温速度で降温し窒化アルミニウム焼結体を得た。
1.体積抵抗率
得られた窒化アルミニウム焼結体に対し、厚みを2mmに加工後、株式会社ダイアインスツルメンツ社製高抵抗率計ハイレスターを用い、プローブ:UR−100、印加電圧:1000Vを印加して体積抵抗率を測定した。測定結果を表1に示す。
2.熱伝導率
得られた窒化アルミニウム焼結体に対し、Φ10mm、厚み2mmに加工後、JIS R1611に従い、レーザーフラッシュ法にて熱伝導率を測定した。測定結果を表1に示す。
窒化アルミニウムを、直接窒化法、Ca成分:0.9ppm(質量基準)、Mg成分:6ppm(質量基準)、酸素:0.98質量%、遷移金属:41ppm(質量基準)のものに変更したこと以外は実施例1と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。また、得られた窒化アルミニウム焼結体の体積抵抗率を実施例1と同様にして測定した。測定結果を表1に示す。
実施例2において、窒化アルミニウムに、酸化アルミニウムを10質量%となるように添加して焼結したこと、焼結温度を50℃下げたこと以外は実施例1と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。また、得られた窒化アルミニウム焼結体の体積抵抗率を実施例1と同様にして測定した。測定結果を表1に示す。
実施例2において、窒化アルミニウムに、イットリアを5質量%となるように添加して焼結したこと、及び焼結温度を70℃下げたこと以外は実施例1と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。また、得られた窒化アルミニウム焼結体の体積抵抗率を実施例1と同様にして測定した。測定結果を表1に示す。
間接窒化法による窒化アルミニウム(Ca成分:200ppm)、酸素:0.80質量%、遷移金属:10ppmに、イットリアを3質量%となるように添加して焼結したこと、及び焼結温度を100℃下げたこと以外は実施例1と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。また、得られた窒化アルミニウム焼結体の体積抵抗率を実施例1と同様にして測定した。測定結果を表1に示す。
直接窒化法による窒化アルミニウム(Ca成分:200ppm)、酸素:0.95質量%、遷移金属:4.6ppmのものに変更したこと、及び焼結温度を100℃下げたこと以外は比較例1と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。また、得られた窒化アルミニウム焼結体の体積抵抗率を実施例1と同様にして測定した。測定結果を表1に示す。
直接窒化法による窒化アルミニウム(Ca成分200ppm)に、焼結温度を100℃下げたこと、Al2O3を1%添加したこと以外は比較例2と同様にして窒化アルミニウム焼結体を得た。また、得られた窒化アルミニウム焼結体の体積抵抗率を実施例1と同様にして測定した。測定結果を表1に示す。
これに対して、比較例1〜3はいずれもカルシウム含有率が高く体積抵抗率の低下を招いていることが分かる。
一方、実施例1〜3は、比較例2〜3と比較して、熱伝導率の上昇が抑えられていることが分かる。なお、実施例4及び比較例1は、イットリアを添加したため熱伝導率が高くなっている。
Claims (4)
- カルシウムの含有率が質量基準で0ppmより大きく10ppm以下であり、マグネシウムの含有率が質量基準で0ppmより大きく20ppm以下であり、酸素の含有率が0.9〜1.4質量%であり、かつCr,Mn,Fe,Co,Ni,Ti,Cu,W,及びMoからなる群より選ばれる少なくとも一種の遷移金属成分の合計が質量基準で34〜100ppmであることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
- 請求項1に記載の窒化アルミニウム焼結体において、酸素の含有率が0.9〜1.4質量%であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
- 請求項1又は2に記載の窒化アルミニウム焼結体において、さらに、アルミニウム酸化物及びアルミニウム水酸化物のうちの少なくとも1種を10質量%以下含むことを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の窒化アルミニウム焼結体において、さらにイットリアを含むことを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
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