JP2009212425A - 静電チャック - Google Patents
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Abstract
【解決手段】窒化アルミニウム焼結体からなる基材と、基材の内部または表面に配された静電電極と、を備える静電チャックであって、前記窒化アルミニウム焼結体の曲げ強度が500MPa以上、粒内破壊率が70%以上である静電チャック。前記窒化アルミニウム焼結体の200℃の体積抵抗率が1×1013Ωcm以下である。
【選択図】図2
Description
作製した静電チャックの素材から3×4×40mmの素材を切り出し、3点曲げ強度(JISR1601準拠)を測定した。
曲げ強度を測定した試料の断面をSEM観察で写真をとり、30×30μmの測定範囲10箇所について、粒内破壊している部分の面積(粒内破壊面積)を測定した。各箇所について、測定面積(30×30=900μm2)に対する粒内破壊面積の割合を算出し、10箇所の平均値を粒内破壊率とした。
[パーティクル数]
測定は真空チャンバー内に作製した静電チャックを設置し、発熱抵抗に電荷を印加して200℃まで昇温し、さらに双極型の静電電極に400Vの電荷を印加してシリコンウエハを吸着し、1分間吸着後にシリコンウエハの吸着面を光学顕微鏡で観察して粒子数を測定した。10mm2の範囲を10箇所測定し、5〜10μmの大きさのパーティクルについて単位面積(1mm2)あたりの個数で評価した。
蛍光X線装置(島津社製:μEDX-1300)を用いて残量イットリウム成分(表2においてYと表記した)の含有量を測定した。
蛍光X線装置(島津社製:μEDX-1300)を用いてチタン成分を測定し、そこから窒化チタニウム量を換算して窒化チタニウム(表2においてTiNと表記した)の含有量を求めた。
X線光電子分光分析装置(ESCA:日本電子社製:JPS-9010MC)で試料の断面を測定し、酸素原子(表2においてOと表記した)含有量を測定した。
体積抵抗率は、作成した静電チャックからモリブデン製の静電電極を含まない窒化アルミニウムのみの部分を60×60×2mmの大きさに切り出し、大気中で200℃に加熱して三端子法(JISC2141準拠)により測定した。
実施例1〜5および比較例1〜5の各測定結果を表2に示す。
11、21、31:基材
11a、21a、31a:吸着面
12、22、32:静電電極
33:基台
34:発熱抵抗体
Claims (5)
- 窒化アルミニウム焼結体からなる基材と、基材の内部または表面に配された静電電極と、を備える静電チャックであって、
前記窒化アルミニウム焼結体の曲げ強度が500MPa以上、
粒内破壊率が70%以上である静電チャック。 - 前記窒化アルミニウム焼結体の200℃の体積抵抗率が1×1013Ωcm以下である請求項1の静電チャック。
- 前記窒化アルミニウム焼結体の希土類元素の含有量が0.1質量%以下である請求項1または2の静電チャック。
- 前記窒化アルミニウム焼結体の窒化チタニウム含有量が3〜10質量%である請求項1〜3の静電チャック。
- 前記窒化アルミニウム焼結体の酸素原子含有量が2.0質量%以下である請求項1〜4の静電チャック。
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