JP6867712B2 - Oledスタック膜の品質査定のためのシステム、デバイス、および方法 - Google Patents
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Description
本明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
(項目1)
コンピュータ可読命令をその上に記憶している、非一過性のコンピュータ可読媒体であって、
前記コンピュータ可読命令は、プロセッサによって実行されたときに、
ピクセルウェルのための膜の堆積層の捕捉画像を表す、データを受信することと、
前記ピクセルウェル内の前記堆積層を表す、フィルタにかけられたデータを取得するように、前記受信されたデータをフィルタにかけることと、
前記堆積層内の勾配を表す、処理されたデータを取得するように、前記受信されたデータまたは前記フィルタにかけられたデータのうちの少なくとも1つに勾配関数を適用することと、
前記処理されたデータに依存する出力を生成することであって、前記出力は、前記堆積層が最低限の品質基準を表す閾値を満たすかどうかを示す、ことと、
を前記プロセッサに行わせる、非一過性のコンピュータ可読媒体。
(項目2)
前記命令は、実行されたときにさらに、選択された画像特性を強調するように、強調されたデータを生成するように、そして前記勾配関数を前記強調されたデータに適用して前記処理されたデータを取得するように、前記プロセッサに前記フィルタにかけられたデータを処理させる、項目1に記載の非一過性のコンピュータ可読媒体。
(項目3)
前記命令は、実行されたときにさらに、画像データをグレースケールデータに変換することによって、前記プロセッサに前記強調されたデータを生成させる、項目2に記載の非一過性のコンピュータ可読媒体。
(項目4)
前記勾配関数は、ソーベルフィルタ、プリューウィットフィルタ、およびキルシュフィルタから成る群から選択される、フィルタを備える、項目1に記載の非一過性のコンピュータ可読媒体。
(項目5)
前記勾配関数は、高域通過フィルタを備える、項目1に記載の非一過性のコンピュータ可読媒体。
(項目6)
前記命令は、実行されたときにさらに、勾配値の合計を生じるように、前記プロセッサに、前記処理されたデータによって表される個々の勾配値の絶対値をともに合計させ、前記閾値は、数値であり、前記命令は、実行されたときにさらに、前記プロセッサに、前記合計が前記数値を超えるかどうかに依存する出力を生成させる、項目1に記載の非一過性のコンピュータ可読媒体。
(項目7)
前記命令は、実行されたときにさらに、前記プロセッサに、前記処理されたデータによって表される前記勾配値に関する統計的尺度を判定させ、前記命令は、実行されたときにさらに、前記プロセッサに、前記統計的尺度が第2の閾値を超えるかどうかに依存する出力を生成させる、項目6に記載の非一過性のコンピュータ可読媒体。
(項目8)
前記勾配値のそれぞれは、前記フィルタにかけられたデータの隣接ピクセル間の強度差に対応する、項目6に記載の非一過性のコンピュータ可読媒体。
(項目9)
前記命令は、実行されたときにさらに、前記プロセッサに、前記処理されたデータに関する統計的尺度を判定させ、前記命令は、実行されたときにさらに、前記プロセッサに、前記統計的尺度が前記閾値を超えるかどうかに依存する出力を生成させる、項目1に記載の非一過性のコンピュータ可読媒体。
(項目10)
前記勾配関数は、行列演算子を備え、前記命令は、実行されたときにさらに、前記プロセッサに、前記フィルタにかけられたデータによって表される画像データ値を用いて前記行列演算子の値を畳み込み積分することによって、前記勾配関数を前記フィルタにかけられたデータに適用させる、項目1に記載の非一過性のコンピュータ可読媒体。
(項目11)
前記命令は、実行されたときにさらに、前記捕捉画像を生成するようにカメラを制御するものである、項目1に記載の非一過性のコンピュータ可読媒体。
(項目12)
前記命令は、実行されたときにさらに、インクジェットプリントヘッドを輸送するように適合される運動システムを制御するもの、および前記運動システムによって搬送されるカメラから前記捕捉画像を受信するものである、項目1に記載の非一過性のコンピュータ可読媒体。
(項目13)
装置であって、
基板上のピクセルウェル内に堆積させられる層を包含する、画像データを捕捉するカメラと、
少なくとも1つのプロセッサと、
前記プロセッサに動作可能に連結されるコンピュータ可読媒体であって、前記コンピュータ可読媒体は、その上に記憶されたコンピュータ可読命令を有し、前記コンピュータ可読命令は、前記少なくとも1つのプロセッサによって実行されるときに、
前記カメラから前記画像データを受信することと、
前記ピクセルウェル内の堆積層を表す、フィルタにかけられたデータを取得するように、前記画像データをフィルタにかけることと、
処理されたデータを取得するように、前記受信されたデータまたは前記フィルタにかけられたデータのうちの少なくとも1つに勾配関数を適用することと、
前記処理されたデータに応じて、前記堆積層が最低限の品質基準を表す少なくとも1つの閾値を満たすかどうかを示す、出力を生成することと、
を前記装置に行わせる、コンピュータ可読媒体と、
を備える、装置。
(項目14)
前記命令は、実行されたときにさらに、選択された画像特性を強調するように、強調されたデータを生成するように、そして前記勾配関数を前記強調されたデータに適用して前記処理されたデータを取得するように、前記システムに前記フィルタにかけられたデータを処理させる、項目13に記載の装置。
(項目15)
前記命令は、実行されたときにさらに、画像データをグレースケールデータに変換することによって、前記システムに前記強調されたデータを生成させる、項目14に記載の装置。
(項目16)
前記勾配関数は、ソーベルフィルタ、プリューウィットフィルタ、およびキルシュフィルタから成る群から選択される、フィルタを備える、項目13に記載の装置。
(項目17)
前記勾配関数は、高域通過フィルタを備える、項目13に記載の装置。
(項目18)
前記命令は、実行されたときにさらに、前記装置に、前記処理されたデータに関する統計的尺度を判定させ、前記命令は、実行されたときにさらに、前記装置に、前記統計的尺度が前記閾値を超えるかどうかに依存する出力を生成させる、項目13に記載の装置。
(項目19)
前記勾配値のそれぞれは、前記フィルタにかけられたデータの隣接ピクセル間の強度差に対応する、項目18に記載の装置。
(項目20)
前記勾配関数は、行列演算子を備え、前記命令は、実行されたときにさらに、前記装置に、前記フィルタにかけられたデータによって表される画像データ値を用いて行列演算子の値を畳み込み積分することによって、前記勾配関数を前記フィルタにかけられたデータに適用させる、項目13に記載の装置。
(項目21)
前記命令は、実行されたときにさらに、プリンタを制御するものである、項目13に記載の装置。
(項目22)
前記命令は、実行されたときにさらに、インクジェットプリントヘッドを輸送するように適合される運動システムを制御するもの、および前記カメラから前記捕捉画像を受信させるものであり、前記カメラは、前記運動システムによって搬送される、項目13に記載の装置。
(項目23)
表示パネルのピクセルウェル内に堆積させられる材料の層が所定の品質基準を満たすかどうかを判定する方法であって、
前記層の捕捉画像を受信するステップと、
堆積層を表す、フィルタにかけられたデータを取得するように、前記捕捉画像をフィルタにかけるステップと、
処理されたデータを取得するように、前記受信されたデータまたは前記フィルタにかけられたデータのうちの少なくとも1つに勾配関数を適用するステップと、
前記処理されたデータに応じて、前記ウェル内の前記堆積層が前記所定の品質基準を満たすかどうかを示す、出力を生成するステップと、
を含む、方法。
(項目24)
前記表示パネルは、有機発光ダイオード(「OLED」)表示パネルである、項目23に記載の方法。
(項目25)
前記層は、有機発光材料層を形成するものである、項目23に記載の方法。
(項目26)
表示パネルのピクセルウェル内に堆積させられる材料の層の捕捉画像を受信する、記憶装置と、
前記層を表す、フィルタにかけられたデータを取得するように、前記捕捉画像をフィルタにかけるための手段と、
処理されたデータを取得するように、前記受信されたデータまたは前記フィルタにかけられたデータのうちの少なくとも1つに勾配関数を適用するための手段と、
前記処理されたデータに応じて、堆積層が最低限の品質基準を表す少なくとも1つの閾値を満たすかどうかを示す、出力を生成するための手段と、
を備える、装置。
(項目27)
カメラと、前記カメラから前記捕捉画像を受信するための手段とを備える、項目26に記載の装置。
(項目28)
プリンタと、表示パネルに対して前記カメラを移動させて前記捕捉画像を生成するために、前記プリンタの輸送機構を制御するための手段とを備える、項目27に記載の装置。
これらの勾配フィルタは、撮像された層内の垂直および水平な非連続性の両方を強調することに留意されたい。
に従って、処理されたデータの反転バージョン(勾配値)を2進値に変換し、標的画像と組み合わせることができる。この方程式は、本質的に、反転勾配行列(すなわち、処理されたデータ)の上にマスクを位置付け、マスクおよびピクセルウェル場所が正確に整合させられる、2つの間の相対的位置付けの最大結果を生じる。つまり、上記の演算がブール「and」演算を適用したため、かつマスクが白(「1」)または黒(「0」)のいずれかである入力を有するため、「and」演算は、2つが精密に整合させられる最大値を生じるであろう。マスクの適正な位置が確認され、次いで、ピクセルウェルの領域のみに対応する勾配値を単離するために、処理された(勾配)データとともにマスクするように使用される。
Claims (24)
- 基板を処理する方法であって、前記方法は、
前記基板の複数のピクセル構造の各々上に膜を形成することと、
前記複数のピクセル構造の各々に対して、
前記膜のデジタル画像を取得することであって、前記デジタル画像は、所定の寸法の
領域を包含する、ことと、
前記ピクセル構造に対応する画像データを分離することと、
前記分離された画像データを処理することにより、前記分離された画像データ内の勾
配を強調することと、
前記分離された画像データの勾配値を決定することと、
前記勾配値に基づいて前記膜に欠陥があるかを決定することと
を実行することと
を含む、方法。 - 前記所定の寸法の領域は、複数のピクセル構造を包含し、前記画像データを分離することは
、前記デジタル画像をマスクすることを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記膜は、固体材料である、請求項1に記載の方法。
- 前記ピクセル構造に対応する画像データを分離することは、前記画像データに境界検出関数
を適用することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記境界検出関数を適用することは、勾配関数を使用することを含む、請求項4に記載
の方法。 - 前記勾配関数を使用することは、マスクを生成することを含み、前記画像データを分離
することは、前記画像データに前記マスクを適用することをさらに含む、請求項5に記載
の方法。 - 前記画像データを分離することは、前記画像データにマスクを適用することを含み、前
記分離された画像データを処理することは、前記分離された画像データの色値を別の特性
に変換することを含み、前記分離された画像データの勾配値を決定することは、前記変換
されたデータに勾配関数を適用することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記画像データを分離することは、前記画像データにマスクを適用することを含み、前
記分離された画像データを処理することは、前記分離された画像データの勾配を強調する
ことを含み、前記分離された画像データの勾配値を決定することは、前記強調されたデー
タに勾配関数を適用することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記分離された画像データの勾配値を決定することは、前記分離された画像データに勾
配フィルタおよび勾配関数を適用することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記膜に欠陥があるかを決定することは、前記勾配値に誤差尺度を適用することを含む
、請求項1に記載の方法。 - 前記誤差尺度は、複数の前記ピクセル構造について決定される勾配値の統計的尺度である、
請求項10に記載の方法。 - 基板を処理する方法であって、前記方法は、
前記基板の複数のピクセル構造の各々上に膜を形成することと、
前記複数のピクセル構造の各々に対して、
カメラを使用して前記膜のデジタル画像を取得することであって、前記デジタル画像
は、所定の寸法の領域を包含する、ことと、
前記デジタル画像の画像データをマスクすることにより、前記ピクセル構造に対応する画
像データを分離することと、
前記分離された画像データを処理することにより、前記分離された画像データ内の勾
配を強調することと、
前記強調された画像データの勾配値を決定することと、
前記勾配値に基づいて前記膜に欠陥があるかを決定することと
を実行することと
を含む、方法。 - 前記所定の寸法の領域は、複数のピクセル構造を包含し、前記ピクセル構造に対応する前記画像データを分離することは、前記画像データに境界検出関数を適用することを含む、請求項
12に記載の方法。 - 前記境界検出関数を適用することは、勾配関数を使用することを含む、請求項13に記
載の方法。 - 前記勾配関数を使用することは、マスクを生成することを含み、前記マスクは、前記画
像データをマスクするのに使用される、請求項14に記載の方法。 - 前記分離された画像データを処理することは、前記分離された画像データの色値を別の
特性に変換することを含み、前記分離された画像データの勾配値を決定することは、前記
変換されたデータに勾配関数を適用することを含む、請求項12に記載の方法。 - 前記分離された画像データを処理することは、前記分離された画像データの勾配を強調
することを含み、前記分離された画像データの勾配値を決定することは、前記強調された
データに勾配関数を適用することを含む、請求項12に記載の方法。 - 前記分離された画像データの勾配値を決定することは、前記分離された画像データに勾
配フィルタおよび勾配関数を適用することを含む、請求項12に記載の方法。 - 前記膜に欠陥があるかを決定することは、複数の前記ピクセル構造について決定される勾配
値の統計的尺度を前記勾配値に適用することを含む、請求項18に記載の方法。 - 基板を処理する方法であって、前記方法は、
前記基板の複数のピクセル構造の各々上に膜を形成することと、
前記複数のピクセル構造の各々に対して、
カメラを使用して前記膜のデジタル画像を取得することであって、前記デジタル画像
は、所定の寸法の領域を包含する、ことと、
前記デジタル画像の画像データをマスクすることにより、前記ピクセル構造に対応する画
像データを分離することと、
前記分離された画像データを処理することにより、前記分離された画像データ内の勾
配を強調することと、
前記強調された画像データの勾配値を決定することと、
前記勾配値を、前記強調された画像データの勾配値の統計的尺度と比較することと、
前記比較に基づいて前記膜に欠陥があるかを決定することと
を実行することと
を含む、方法。 - 前記統計的尺度は、合計または標準偏差である、請求項20に記載の方法。
- 前記合計は、無符号である、請求項21に記載の方法。
- 前記デジタル画像は、前記カメラから直接取得される、請求項21に記載の方法。
- 前記分離された画像データの勾配値を決定することは、前記分離された画像データに、
ソーベルマスク、プリューウィットマスク、およびキルシュマスクから成る群から選択さ
れる勾配フィルタおよび勾配関数を適用することを含む、請求項21に記載の方法。
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