JP2020030057A - 電子部品の検査装置および電子部品の検査方法 - Google Patents
電子部品の検査装置および電子部品の検査方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
本発明の実施の形態1について、図面を用いて以下に説明する。図1は、実施の形態1に係る電子部品の検査装置100の全体構成図である。
次に、実施の形態2に係る電子部品の検査装置100Aについて説明する。図7は、実施の形態2に係る電子部品の検査装置100Aの全体構成図である。なお、実施の形態2において、実施の形態1で説明したものと同一の構成要素については同一符号を付して説明は省略する。
次に、実施の形態3に係る電子部品の検査装置100Bについて説明する。図8は、実施の形態3に係る電子部品の検査装置100Bの全体構成図である。図9は、検査装置100Bが備える自動交換装置50の構成図である。なお、実施の形態3において、実施の形態1,2で説明したものと同一の構成要素については同一符号を付して説明は省略する。
次に、実施の形態4に係る電子部品の検査装置について説明する。図10は、実施の形態4において各電子部品1の欠陥10a〜10cの起点11a〜11cを説明するための説明図である。図11は、実施の形態4において複数の仮想領域12a〜12cが交わった領域13の起点14を説明するための説明図である。なお、実施の形態4において、実施の形態1〜3で説明したものと同一の構成要素については同一符号を付して説明は省略する。
次に、実施の形態5に係る電子部品の検査装置100Cについて説明する。図12は、実施の形態5に係る電子部品の検査装置100Cの全体構成図である。なお、実施の形態5において、実施の形態1〜4で説明したものと同一の構成要素については同一符号を付して説明は省略する。
Claims (8)
- ステージに載置されて処理された電子部品の検査装置であって、
前記ステージから搬送された前記電子部品の裏面の画像を撮像する裏面撮像用カメラと、
前記裏面撮像用カメラにより撮像された複数の前記電子部品の裏面の画像から各前記電子部品の裏面の欠陥を抽出する画像処理部と、
前記画像処理部により抽出された各前記電子部品の裏面の欠陥の起点に仮想領域を設けて、異なる前記電子部品について複数の前記仮想領域が交わった領域の起点を前記仮想領域内に含む前記電子部品の個数に基づいて、前記ステージの表面の良否を判定する制御部と、
を備える、電子部品の検査装置。 - 前記制御部は、異なる前記電子部品について複数の前記仮想領域が交わった領域の起点を前記仮想領域内に含む前記電子部品の個数と閾値とを比較して、前記ステージの表面の良否を判定する、請求項1記載の電子部品の検査装置。
- 前記制御部は、前記画像処理部により裏面の画像が抽出された全ての前記電子部品の個数に対する、異なる前記電子部品について複数の前記仮想領域が交わった領域の起点を前記仮想領域内に含む前記電子部品の個数の割合と閾値とを比較して、前記ステージの表面の良否を判定する、請求項1記載の電子部品の検査装置。
- 前記裏面撮像用カメラおよび前記画像処理部を複数備え、
前記ステージは複数であり、
各前記裏面撮像用カメラおよび各前記画像処理部は各前記ステージに対応して設けられる、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の電子部品の検査装置。 - 前記制御部により前記ステージの表面が不良と判定された場合に、当該ステージを別のステージに交換する交換部をさらに備える、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の電子部品の検査装置。
- 前記制御部は、前記画像処理部により抽出された各前記電子部品の裏面の欠陥の大きさに応じて各前記仮想領域に比率を乗算する、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の電子部品の検査装置。
- 前記ステージの表面の画像を撮像するステージ撮像用カメラをさらに備える、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の電子部品の検査装置。
- ステージに載置されて処理された電子部品の検査方法であって、
(a)前記ステージから搬送された前記電子部品の裏面の画像を撮像する工程と、
(b)撮像された複数の前記電子部品の裏面の画像から各前記電子部品の裏面の欠陥を抽出する工程と、
(c)抽出された各前記電子部品の裏面の欠陥の起点に仮想領域を設けて、異なる前記電子部品について複数の前記仮想領域が交わった領域の起点を前記仮想領域内に含む前記電子部品の個数に基づいて、前記ステージの表面の良否を判定する工程と、
を備える、電子部品の検査方法。
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