JP6856699B2 - 容器の乾燥及び分析試験のためのシステム及び方法 - Google Patents
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Description
(a)アンプルと乾燥システムとの間に入口接続部及び出口接続部を作り出す工程であって、前記入口接続部及び前記出口接続部のそれぞれが、前記アンプルと前記乾燥システムとの間での流体流れ連通を提供する工程、
(b)前記アンプルを乾燥する工程、
(c)前記アンプルにおいて少なくとも1つの試験を実施する工程であって、前記少なくとも1つの試験が、含水量試験、粒子試験、差圧試験、及びアンプルリーク試験からなる群より選択される工程、
(d)工程(c)で実施した前記少なくとも1つの試験のそれぞれについて、少なくとも1つのセンサを使用して品質制御データを収集する工程、
(e)工程(a)の後に工程(b)〜(d)、並びに、工程(b)の後に工程(c)及び(d)を実施する工程、及び
(f)工程(a)〜(d)で、前記入口接続部と前記出口接続部を維持する工程とを含む、方法。
(b)(i)前記アンプルをアンプル乾燥ボックスに挿入すること、
(b)(ii)加熱された精製パージガスの源と流体流れ連通した前記入口接続部を提供すること、
(b)(iii)前記アンプルを前記加熱された精製パージガスでパージすること、
(b)(iv)前記加熱された精製パージガスを圧力循環すること、及び
(b)(v)加熱されたクリーンドライエアの対流を使用して、前記アンプル乾燥ボックスを加熱することをさらに含む、態様1〜4のいずれか1つに記載の方法。
(b)(vi)前記入口接続部と前記加熱された精製パージガスの源との間での流体流れ連通を遮断すること、
(b)(vii)真空ポンプと流体流れ連通した前記出口接続部を設置すること、
(b)(viii)前記加熱された精製パージガスの源と流体流れ連通した前記入口接続部を設置すること、
(b)(ix)工程(b)(v)と同時に又は工程(b)(v)の後に、工程(b)(vi)を実施すること、及び
(b)(x)工程(b)(vii)の後に工程(b)(viii)を実施することをさらに含む、態様5に記載の方法。
(b)(xi)工程(b)(vi)〜(b)(viii)を少なくとも2回実施することをさらに含む、態様7に記載の方法。
(c)(i)前記アンプルの出口と差圧試験分析器との間での流体流れ連通を可能とする工程、及び
(c)(ii)前記アンプルの出口ポートが精製パージガスの供給部と流体流れ連通している場合に、前記アンプルの出口ポートと前記精製パージガスの供給部との間の差圧を測定する工程を含む、態様1〜8のいずれか1つに記載の方法。
(c)(i)ヘリウム源と流体流れ連通した前記アンプルの出口ポートを設置する工程、
(c)(ii)ヘリウム検出器と流体流れ連通した前記アンプルの入口ポートを設置する工程、及び
(c)(iii)工程(c)(i)〜(c)(ii)が実施されている間、前記ヘリウム検出器を使用してヘリウムリーク速度を測定する工程を含む、態様1〜9のいずれか1つに記載の方法。
(c)(iv)空気中で1体積%以上のヘリウムの濃度までアンプル乾燥ボックスをヘリウムで充填する工程をさらに含む、態様10に記載の方法。
密封可能な内部容積を提供すること、加熱されたクリーンドライエアの源及びボックスベントのそれぞれとの流体流れ連通を選択的に可能にすること、及び前記密封可能な内部容積内に入口ポート及び出口ポートを有するアンプルを収容することに適合した乾燥ボックスと、
前記入口ポートと、ヘリウムリーク検出器及びインラインヒーターを有する精製パージガスの源のそれぞれとの間での流体流れ連通を選択的に可能にするのに適合した少なくとも1つの入口導管及び少なくとも1つの入口マニフォールドバルブを含む入口マニフォールドと、
前記出口ポートと、少なくとも1つの品質制御分析器、真空ポンプ、ヘリウム源、及び出口ベントのそれぞれとの間での流体流れ連通を選択的に可能にするように構成された少なくとも1つの出口導管及び少なくとも1つの出口マニフォールドバルブを含む出口マニフォールドと、
含水量分析器、粒子分析器、差圧試験分析器、及びヘリウムリーク調査分析器からなる群より選択される品質制御分析器と、
前記加熱されたクリーンドライエアの源、前記ボックスベント、前記精製パージガスの源、前記インラインヒーター、前記入口マニフォールドバルブ、前記出口マニフォールドバルブ、前記アンプルの入口ポート、前記アンプルの出口ポート、前記品質制御分析器、前記真空ポンプ、及び前記出口ベントを制御するのに適合した少なくとも1つのコントローラとを含む、システム。
本発明の実施形態は、以下で説明するようなアンプルを乾燥及び試験するために使用することができる。典型的にステンレス鋼又は他の金属合金の構造を有するアンプルは、半導体、太陽光発電、光学、ディスプレイ、及び電子産業のための様々な固体及び液体の有機金属前駆体又は有機シラン前駆体を収容するのに使用される。多くの種類の材料の構造及び設計タイプが一般的に使用される。このタイプのアンプルは、米国特許第6,526,824号及び同第7,124,913号明細書に記載され、これらの開示は参照することにより本明細書に組み込まれる。
ADACSの実施形態の外観図は図1及び図2に提供される。図1を参照すると、例示のADACSシステム100が示される。この例において、2つの堤部(banks)又は乾燥ボックス101、103があり、それぞれは6つのアンプルを囲うためのものであるが、他の配置が可能である。1つの実施形態において、ADACSは、以下の構成要素:少なくとも1つのアンプル;アンプル堤部の乾燥構成要素;含水量分析構成要素;脱硫分析構成要素;差圧試験構成要素;及びリーク調査構成要素のうちの1つ又は複数で構成される。当該構成要素は、管、ポンプ、センサ、バルブ及び分析計器を通じて統合される。図示した実施形態において、品質制御分析計器、センサ及びコントローラは、計器パネル105、107に位置する。真空ポンプ109及び液体トラップ部111はまた、システムハウジングに取り付けられる。
アンプルを製品で再充填して再利用することができる前に残留水分を除去するために効率的及び信頼性のある乾燥プロセスが要求される。乾燥は、加熱、高純度不活性ガスパージ、及び圧力循環と組み合わせて行われる。乾燥プロセスは、レベルセンサ及びバルブシートを含むアンプル構成要素の最大の許容可能な動作温度を可能とする。本明細書で使用される場合、圧力循環という用語は、調整可能な事前選択された上側圧力に達するまで、陽圧下でパージガスを輸送することを言い表し、その時、圧力を調整可能な事前選択された下側圧力に低減することができる。高圧条件及び低圧条件が、交互の順序で、選択された反復回数繰り返される。
図3を参照すると、各アンプル内のパージガスの含水量調査は、乾燥プロセスの完了後に水分感応性分析器344を使用して行われる。含水量分析器は第1の試料ライン342と流体連通しており、当該第1の試料ラインは、制御バルブ340の作動により流出ガスシステム324と選択的に流体連通する。含水量分析器は、好ましくは、1.2体積ppb(十億分率)(ppbv)未満の検出制限まで、不活性ガス流内の残留含水量を検出することができる。適切なモニタは当業者によく知られており、限定されないが、容量センサ、水分感応性振動結晶、及びキャビティーリングダウン分光を挙げることができる。全てのアンプル320は、高純度不活性ガスでパージされ、入口ラインバルブ318及び出口ラインバルブ322を使用して分離されたままである。そして、収容された高純度不活性ガスの含水量調査は、含水量分析器344を使用して行われる。各アンプルは、出口マニフォールド314を通じて一度にアンプル出口ライン322に含水量分析器を開くことで、含水量について個々に調査される。各アンプル320からの試料ガスは、マニフォールド324を通じて含水量分析器344まで流れる。サンプリング中に測定されるピークの含水量レベルは仕様(例えば1ppmv)と比較される。各アンプルについてのデータは、コントローラ(図示せず)により自動的に記録される。含水量分析手順は、以下でより詳細に説明される。
流れる高純度不活性ガス流出流内に懸濁された粒子の濃度の測定は、少なくとも1つの自動粒子計測器350を使用してなされる。アンプルの構成に応じて、異なるアンプルの流路を通じて複数の測定が可能である。粒子計測器は、制御バルブ346の作動により出口マニフォールド324と選択的に流体連通される第2の試料ライン348と流体流れ連通している。粒子計測器は、好ましくは、高純度不活性ガス流に懸濁された粒子をマイクロメートルサイズの様々な断片まで検出することができる。ある実施形態では、粒子計測の前又は粒子計測の間、アンプルからの粒子の検出を除去及び促進するために、アンプルに機械ショックを付与するための設備を任意選択で利用可能である。各アンプルについてのデータは、コントローラ(図示せず)により自動的に記録される。
差圧試験は、差圧セル356(DPセル)を用いて行われる。アンプルの構成に応じて異なるアンプルの流路を通じて複数の測定が可能となる。DPセル356は、制御バルブ352の作動により出口マニフォールド324と選択的に流体流れ連通する第3の試料ライン354と流体流れ連通している。差圧セル356はまた、各アンプルの入口(図示せず)と選択的に流体流れ連通している。DPセル356は、アンプルを通じて流れる高純度不活性ガスの設定流量で各アンプルの入口と出口との間の圧力差を検出する。差圧セル356は、好ましくは、個々のアンプルを通じて様々なアンプル内部圧力、ガス流量及び温度において1torr程度の圧力差を検出することができる。
ヘリウムリーク検出器338は、個々のアンプルの入口バルブ318の作動の際、入口マニフォールド312を通じて各個々のアンプル320に流体流れ連通して選択的に接続される。ある実施形態において、アンプルは、乾燥プロセス及び上述した含水量、粒子、及び差圧試験プロセスの完了後、一度にリーク調査される。入口マニフォールド312及び入口バルブ318は、一度に1つのアンプルと流体流れ連通するためにリーク検出器を開けるように選択的に制御され、堤部の他のアンプルは、入口及び出口で適切に位置したバルブを通じて分離される。真空源は、バルブシールの完全性を検証するため、及びアンプル中への侵入リークについて調査するために、アンプルの一部を排気するように提供される。リーク調査方法は、以下で詳細に説明される。
ある実施形態では、ADACSは、コントローラを使用して電気接続した各アンプルのバルブマニフォールド上の手動作動バルブを開閉することができる自動システムを含む。自動システムは、プログラム化された順序と関連して各アンプル上で各手動バルブを周期的に開閉することができる。開ける及び/又は閉める際のバルブ性能は、所望の位置に達するために要求されるトルク又はトルク調整、所望の位置に達するための回転度の測定、固定軸周りの回転度とトルクの組み合わせにより測定することができる。
適切な標準化手順により、圧力循環と組み合わされた加熱された高純度不活性ガス洗浄を使用して含水アンプルを乾燥すること;含水量、脱粒、及び差圧についてアンプルを試験すること;及び繰り返し可能なプログラム化された順序でヘリウムリーク調査を通じて微小リークについてアンプルを調査することについて提供される。
図4は、本発明の実施形態に係るアンプル乾燥プロセス400についてのフローダイアグラムを示す。アンプル乾燥は、本発明の装置(ADACS)402において最初にアンプルを導入することで行われる。導入プロセスは、乾燥ボックスの内部に各アンプルを設置することと、ADACSとアンプル間で入口接続部及び出口接続部を作り出すこととを含む。導入された各アンプルのドッキング位置及び設計タイプは、好ましくは各アンプルの固有の識別子、例えばバーコードスキャン又はRFIDタグを通じてコントローラにログインされる。具体的に導入されたアンプルの設計タイプが、固有の識別子の既存データベース内に収容されていない場合は、コントローラはそれを含むようにアップデートすることができる。
図5は、本発明の実施形態に係る含水量試験プロセス500についてのフローダイアグラムを示す。全てのアンプルは、乾燥プロセスが終わった際に、高純度不活性ガス圧力及び周辺又はわずかに高い温度下で分離されたままである。ADACSに対する全てのアンプルの入口接続部及び出口接続部は接続されたままである。各アンプルに収容される高純度不活性ガスの含水量調査は、水分感応分析器を使用して各アンプル上で連続して行われる530。各アンプルは、一度に含水量分析器にアンプルベントラインを開けることで含水量について個々に調査される532。ピークが観測されるまで、各アンプルからの試料ガスは含水量分析器に流れる534。分析時間中に測定されるピーク含水量レベルは仕様と比較される。各アンプルについてのデータはコントローラにより自動的に記録される。ADACSに導入された各アンプルについて含水量分析プロセスが繰り返される536。含水量分析が全てのアンプル上で行われた後、アンプルは0psigに減圧され、高純度不活性ガスを使用して、外部放出水分がなくなるように洗浄し、含水量分析を完了する538。アンプルはADACSに接続されたままであり、粒子分析工程の準備ができている状態となる540。
図6は、本発明の実施形態に係る脱粒分析プロセス600についてのフローダイアグラムを示す。DPセルと流体連通してアンプル出口を接続するようにADACSを構成することで644、脱硫速度のためにアンプルを個々に及び連続して試験する642。高純度不活性ガスは選択された流量で一度に各アンプルを通過する。好ましくは、その流量は0.1〜100slpmである。流れる不活性ガス流出流中の懸濁粒子の濃度の測定は、少なくとも1つの自動粒子計測器を使用してなされる646。分析は、標準化されかつ一貫した結果のために正確であるように事前決定された時間の間で行われる。好ましい分析時間は5〜15分間である。粒子計測器は、好ましくは、マイクロメートルサイズの様々な断片まで不活性ガス流内の懸濁粒子を検出することができる。脱粒分析プロセスは、ADACSに導入された各アンプルについて繰り返される652。脱硫分析が全てのアンプル上で行われた648後、アンプルは差圧分析に進むための準備ができている状態となる。
図7は、本発明の実施形態に係る差圧試験プロセス700についてのフローダイアグラムを示す。各アンプルは、差圧セルを使用して固定条件のガス流下で差圧について調査される756。ADACSは、アンプルに流体流れ連通したDPセルを設置するように構成される758。この計器は、各アンプルの基部又は各アンプルのバイパスラインを通じて流れる高純度不活性ガスの圧力降下を高精度で測定する759。所定圧力、例えば0psigでの高純度不活性ガスは、設定流量で一度に各アンプルを通過する。好ましくは、流量は0.1〜100slpmである。差圧分析は各アンプルについて連続的に繰り返される764。各アンプルについてのデータはコントローラにより自動的に記録される。全てのアンプルが試験された場合、差圧分析プロセスは終了し762、アンプルはADACSに接続されたままであり、ヘリウムリーク調査プロセス進むための準備ができている状態となる766。
図8は、本発明の実施形態に係るアンプルリーク調査プロセス800についてのフローダイアグラムを示す。乾燥プロセス中のアンプルの加熱により、接続部の膨張/収縮が生じる。管及び継手に生じた負荷は、粗悪なリークの成長をもたらす場合がある。真空崩壊調査は、一度に各アンプルの接続部で行われる。ADACSは、第1のアンプルの入口ポートと流体流れ連通するようにヘリウムリーク検出器ステーションを構成する868。アンプル入口の継手は、ヘリウムリーク検出器ステーションを使用して排気される870。アンプル出口(ベント)の継手は、スクロール型真空ポンプを使用して排気される。次いで、接続部での真空は、電子圧力トランスデューサを使用して調査される。検出された接続部でのあらゆる粗悪なリークは、コントローラによりオペレータに報告される。
Claims (21)
- アンプルを乾燥するための方法であって、
(a)アンプルと乾燥システムとの間に入口接続部及び出口接続部を作り出す工程であって、前記入口接続部及び前記出口接続部のそれぞれが、前記アンプルと前記乾燥システムとの間での流体流れ連通を提供する工程、
(b)前記アンプルを乾燥する工程、
(c)前記アンプルにおいて少なくとも1つの試験を実施する工程であって、前記少なくとも1つの試験が、含水量試験、粒子試験、差圧試験、及びアンプルリーク試験からなる群より選択される工程、
(d)工程(c)で実施した前記少なくとも1つの試験のそれぞれについて、少なくとも1つのセンサを使用して品質制御データを収集する工程、
(e)工程(a)の後に工程(b)〜(d)、並びに、工程(b)の後に工程(c)及び(d)を実施する工程、及び
(f)工程(a)〜(d)で、前記入口接続部と前記出口接続部を維持する工程とを含む、方法(但し、プラスチックで作られたアンプルを乾燥するための方法を除く)。 - ステンレス鋼又は他の金属合金の構造を有するアンプルを乾燥するための方法であって、
(a)アンプルと乾燥システムとの間に入口接続部及び出口接続部を作り出す工程であって、前記入口接続部及び前記出口接続部のそれぞれが、前記アンプルと前記乾燥システムとの間での流体流れ連通を提供する工程、
(b)前記アンプルを乾燥する工程、
(c)前記アンプルにおいて少なくとも1つの試験を実施する工程であって、前記少なくとも1つの試験が、含水量試験、粒子試験、差圧試験、及びアンプルリーク試験からなる群より選択される工程、
(d)工程(c)で実施した前記少なくとも1つの試験のそれぞれについて、少なくとも1つのセンサを使用して品質制御データを収集する工程、
(e)工程(a)の後に工程(b)〜(d)、並びに、工程(b)の後に工程(c)及び(d)を実施する工程、及び
(f)工程(a)〜(d)で、前記入口接続部と前記出口接続部を維持する工程とを含む、方法(但し、プラスチックで作られたアンプルを乾燥するための方法を除く)。 - (g)密封チャンバーに前記アンプルを設置して、前記密封チャンバーから前記アンプルを取り除くことなく工程(b)及び(c)を実施する工程をさらに含む、請求項1または2に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの試験が、含水量試験、粒子試験、差圧試験、及びアンプルリーク試験からなる群より選択される少なくとも2つを含む、請求項1または2に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの試験が、含水量試験、粒子試験、差圧試験、及びアンプルリーク試験からなる群より選択される少なくとも3つを含む、請求項1または2に記載の方法。
- 工程(b)が、
(b)(i)前記アンプルをアンプル乾燥ボックスに挿入すること、
(b)(ii)加熱された精製パージガスの源と流体流れ連通した前記入口接続部を提供すること、
(b)(iii)前記アンプルを前記加熱された精製パージガスでパージすること、
(b)(iv)前記加熱された精製パージガスを圧力循環すること、及び
(b)(v)前記アンプル乾燥ボックスを加熱することをさらに含む、請求項1または2に記載の方法。 - 前記アンプル乾燥ボックスが第1の領域及び第2の領域を含み、前記アンプルが、少なくとも1つの弾性バルブシートを有し、工程(b)(v)が、前記第1の領域を第1の温度に、前記第2の領域を前記第1の温度より高い第2の温度に加熱することをさらに含み、前記弾性バルブシートの全てが前記第1の領域に位置する、請求項6に記載の方法。
- 工程(b)が、
(b)(vi)前記入口接続部と前記加熱された精製パージガスの源との間での流体流れ連通を遮断すること、
(b)(vii)真空ポンプと流体流れ連通した前記出口接続部を設置すること、
(b)(viii)前記加熱された精製パージガスの源と流体流れ連通した前記入口接続部を設置すること、
(b)(ix)工程(b)(v)と同時に又は工程(b)(v)の後に、工程(b)(vi)を実施すること、及び
(b)(x)工程(b)(vii)の後に工程(b)(viii)を実施することをさらに含む、請求項6に記載の方法。 - 工程(b)が、
(b)(xi)工程(b)(vi)〜(b)(viii)を少なくとも2回実施することをさらに含む、請求項8に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの試験が前記差圧試験を含み、前記差圧試験が、
(c)(i)前記アンプルの出口と差圧試験分析器との間での流体流れ連通を可能とする工程、及び
(c)(ii)前記アンプルの出口ポートが精製パージガスの供給部と流体流れ連通している場合に、前記アンプルの出口ポートと前記精製パージガスの供給部との間の差圧を測定する工程を含む、請求項1または2に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの試験が前記アンプルリーク試験を含み、前記アンプルリーク試験が、
(c)(i)ヘリウム源と流体流れ連通した前記アンプルの出口ポートを設置する工程、
(c)(ii)ヘリウム検出器と流体流れ連通した前記アンプルの入口ポートを設置する工程、及び
(c)(iii)工程(c)(i)〜(c)(ii)が実施されている間、前記ヘリウム検出器を使用してヘリウムリーク速度を測定する工程を含む、請求項1または2に記載の方法。 - 前記アンプルリーク試験が、
(c)(iv)空気中で1体積%以上のヘリウムの濃度までアンプル乾燥ボックスをヘリウムで充填する工程をさらに含む、請求項11に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの試験が前記含水量試験を含み、前記含水量試験が、少なくとも1つの含水量センサを使用して実施され、かつ、1.2体積ppb(十億分率)以下の検出レベルをもたらす、請求項1または2に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの試験が前記粒子試験を含み、少なくとも1つの粒子計数器を使用する前記粒子試験が、複数のマイクロメートルサイズの粒子を検知し、複数の粒子計数器チャネルを利用する、請求項1または2に記載の方法。
- アンプルのための乾燥システムであって、
密封可能な内部容積を提供すること、加熱されたクリーンドライエアの源及びボックスベントのそれぞれとの流体流れ連通を選択的に可能にすること、及び前記密封可能な内部容積内に入口ポート及び出口ポートを有するアンプルを収容することに適合した乾燥ボックスと、
前記入口ポートと、ヘリウムリーク検出器及びインラインヒーターを有する精製パージガスの源のそれぞれとの間での流体流れ連通を選択的に可能にするのに適合した少なくとも1つの入口導管及び少なくとも1つの入口マニフォールドバルブを含む入口マニフォールドと、
前記出口ポートと、少なくとも1つの品質制御分析器、真空ポンプ、ヘリウム源、及び出口ベントのそれぞれとの間での流体流れ連通を選択的に可能にするように構成された少なくとも1つの出口導管及び少なくとも1つの出口マニフォールドバルブを含む出口マニフォールドと、
含水量分析器、粒子分析器、差圧試験分析器、及びヘリウムリーク調査分析器からなる群より選択される品質制御分析器と、
前記加熱されたクリーンドライエアの源、前記ボックスベント、前記精製パージガスの源、前記インラインヒーター、前記入口マニフォールドバルブ、前記出口マニフォールドバルブ、前記アンプルの入口ポート、前記アンプルの出口ポート、前記品質制御分析器、前記真空ポンプ、及び前記出口ベントを制御するのに適合した少なくとも1つのコントローラとを含む、システム(但し、プラスチックで作られたアンプルを乾燥するためのシステムを除く)。 - ステンレス鋼又は他の金属合金の構造を有するアンプルのための乾燥システムであって、
密封可能な内部容積を提供すること、加熱されたクリーンドライエアの源及びボックスベントのそれぞれとの流体流れ連通を選択的に可能にすること、及び前記密封可能な内部容積内に入口ポート及び出口ポートを有するアンプルを収容することに適合した乾燥ボックスと、
前記入口ポートと、ヘリウムリーク検出器及びインラインヒーターを有する精製パージガスの源のそれぞれとの間での流体流れ連通を選択的に可能にするのに適合した少なくとも1つの入口導管及び少なくとも1つの入口マニフォールドバルブを含む入口マニフォールドと、
前記出口ポートと、少なくとも1つの品質制御分析器、真空ポンプ、ヘリウム源、及び出口ベントのそれぞれとの間での流体流れ連通を選択的に可能にするように構成された少なくとも1つの出口導管及び少なくとも1つの出口マニフォールドバルブを含む出口マニフォールドと、
含水量分析器、粒子分析器、差圧試験分析器、及びヘリウムリーク調査分析器からなる群より選択される品質制御分析器と、
前記加熱されたクリーンドライエアの源、前記ボックスベント、前記精製パージガスの源、前記インラインヒーター、前記入口マニフォールドバルブ、前記出口マニフォールドバルブ、前記アンプルの入口ポート、前記アンプルの出口ポート、前記品質制御分析器、前記真空ポンプ、及び前記出口ベントを制御するのに適合した少なくとも1つのコントローラとを含む、システム。
- 前記少なくとも1つのコントローラが、請求項1に記載の方法を実施するのに適合した実行可能コードを含む、請求項15または16に記載のシステム。
- 前記乾燥ボックスが、それぞれが制御可能な加熱部材を有する第1の加熱領域及び第2の加熱領域をさらに含み、前記少なくとも1つのコントローラが、前記第1の加熱領域より高い温度に前記第2の加熱領域を加熱するのに適合している、請求項15または16に記載のシステム。
- 前記第1の加熱領域が、前記第2の加熱領域の上に位置している、請求項18に記載のシステム。
- 前記品質制御分析器が、1.2体積ppb(十億分率)の濃度で含水量を測定することが可能である含水量分析器である、請求項15または16に記載のシステム。
- 前記品質制御分析器が、複数のマイクロメートルサイズの粒子を検知し、かつ、複数の粒子計測器チャネルを利用する粒子計測器を含む粒子分析器である、請求項15または16に記載のシステム。
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