JP6854436B1

JP6854436B1 - はんだ付け装置

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Publication number: JP6854436B1
Application number: JP2020150298A
Authority: JP
Inventors: 和成相馬
Original assignee: Senju Metal Industry Co Ltd
Current assignee: Senju Metal Industry Co Ltd
Priority date: 2020-09-08
Filing date: 2020-09-08
Publication date: 2021-04-07
Anticipated expiration: 2040-09-08
Also published as: HUE062888T2; MX2021010459A; CN113695703A; CN113695703B; EP3964317B1; KR102322680B1; JP2022044912A; EP3964317A1; US20220072641A1; US11311956B2

Abstract

【課題】第１送風口から、第１送風口における各位置において、従来装置よりも均一に気体を送風できるはんだ付け装置を提供する。【解決手段】本開示に係るはんだ付け装置は、はんだ付けを行うためのはんだ付け装置であって、対象物に気体を供給するための送風ユニットを備え、送風ユニットは、第１送風室を有するケース、第１送風室に収容されて遠心方向に気体を送風するためのファン、第１導風板及び、気体を加熱するためのヒータ又は前記気体を冷却するための冷却ユニットを有し、ケースは、ファンの軸方向においてファンと対向する第１壁、第１壁と向かい合う第２壁、及び第１壁と第２壁との間を繋ぐ内壁を有し、第１壁、第２壁及び内壁は、第１送風室を画定し、第１壁には、第１送風口が形成され、第１導風板は、ファンから送風された気体の一部を第１送風口に導くように第１送風室に配置される。【選択図】図２

Description

本発明は、はんだ付け装置に関する。

回路基板へ電子部品のはんだ付けをする場合には、リフロー装置や噴流はんだ付け装置等のはんだ付け装置が使用されている。例えば、特許文献１には、その図５に示されるように、送風機と、送風機から下方に噴出される風を受けて分散させる導風板と、導風板の下方に配置されたヒータと、ヒータの下方に配置され多数の小孔が形成されたパネルと、を備えるリフロー装置が開示されている。この送風機は、ケース、モータ及びケースに収容されモータにより回転される羽根を有している。そして、このケースは、回転軸方向に延びる内面と、内面と垂直な方向に延びる垂直面とを有し、垂直面には穴が形成されている。このため、送風機において、羽根が回転すると、羽根の回転によって引き起こされた風が、ケースの内面に当たって、内面によって流れる向きが変えられ、垂直面に形成された穴からケースの外部に送風される。その後、この風は、導風板によって分散され、ヒータ及びパネルに形成された多数の小孔を通過し、熱風として被加熱物に吹きつけられる。

特開２０１３−２７９３１号公報

特許文献１に記載される送風機では、上述したように、ケースの内面に当たって流れる向きが変えられた風が、穴からケースの外部に送風されている。このため、羽根から遠く且つ内面に近い穴の部分を通る気体の流量が、羽根に近く且つ内面から遠い穴の部分を通る気体の流量よりも多くなる。すなわち、この送風機では、穴の位置に応じて、その位置を通過する気体の流量に差が生じてしまう虞がある。その結果、送風機の穴から送風された気体が、このまま分散されずにパネルに送られてしまうと、パネルの小孔から被加熱物に吹きつけられる熱風の流量が不均一になる虞がある。このため、特許文献１に記載のリフロー装置では、送風機から吹き出される風が、導風板によって分散されて、パネルの小孔から被加熱物に吹きつけられる熱風の流量が均一にされている。

しかしながら、送風機の穴から送風される気体の流量が、穴における送風される位置によって、あまりに不均一な場合、導風板は、充分に風を分散させることができず、気体が被加熱物に均一に吹き付けられない虞がある。また、送風機の穴から送風された気体が導風板によって分散される場合、送風された気体を遮るように取り付けられている導風板が、強制的に風を分散させている。このため、圧力損失が、著しく増加してしまう。このため、気体が、ケースの穴から、穴における各位置において均一な流量で送風されることが求められる。

そこで、本開示は、穴（第１送風口）から、穴（第１送風口）における各位置において、従来装置よりも均一に気体を送風できるはんだ付け装置を提供することを目的とする。

一実施形態に係るはんだ付け装置は、はんだ付けを行うためのはんだ付け装置であって、対象物に気体を供給するための送風ユニットを備え、前記送風ユニットは、第１送風室を有するケース、前記第１送風室に収容されて遠心方向に前記気体を送風するためのファン、第１導風板及び、前記気体を加熱するためのヒータ又は前記気体を冷却するための冷却ユニットを有し、前記ケースは、前記ファンの軸方向において前記ファンと対向する第１壁、前記第１壁と向かい合う第２壁、及び前記第１壁と前記第２壁との間を繋ぐ内壁を有し、前記第１壁、前記第２壁及び前記内壁は、前記第１送風室を画定し、前記第１壁には、第１送風口が形成され、前記第１導風板は、前記ファンから送風された前記気体の一部を前記第１送風口に導くように前記第１送風室に配置される。

本開示に係るはんだ付け装置は、第１送風口から、第１送風口における各位置において、従来装置よりも均一に気体を送風できる。

本開示の第１実施形態に係るリフロー炉の構造図である。図１で示した送風ユニットの構造図である。図２のＡ−Ａ断面図である。図２のＢ−Ｂ断面図である。第１導風板及び第２導風板を備えていない送風ユニットの構造図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する図面において、同一又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。

［第１実施形態］
（全体構成）
図１は、本開示の第１実施形態に係るリフロー炉１００の断面図である。図１を参照すると、リフロー炉１００は、本体部１０１及び基板２００を搬送するコンベア１０２を備える。リフロー炉１００は、基板２００に電子部品をリフロー方式ではんだ付けするための装置である。リフロー炉１００では、ソルダーペーストを介して電子部品が載置された基板２００が、入口１１０から出口１１２に搬送される間に、電子部品が基板２００にはんだ付けされる。なお、リフロー炉１００ははんだ付け装置の一例であり、基板２００は対象物の一例である。以下、リフロー炉１００について詳述する。

本体部１０１は、入口１１０から近い順に、予備加熱ゾーンＡ、本加熱ゾーンＢ及び冷却ゾーンＣの３つのゾーンに分けられている。予備加熱ゾーンＡには、上下にそれぞれ５つずつの送風ユニット３００ａが配置されている。予備加熱ゾーンＡにおける送風ユニット３００ａは、基板２００に加熱された気体を供給し、一例として、１５０〜１８０度に基板２００を加熱する。これにより、基板２００と電子部品は予熱される。すなわち、予備加熱ゾーンＡは、基板２００や基板２００に実装された電子部品等をゆっくり加熱して熱に慣らすための領域である。なお、送風ユニット３００ａの詳細な構成は後述する。

本加熱ゾーンＢには、上下にそれぞれ３つずつの送風ユニット３００ｂが配置される。本加熱ゾーンＢにおける送風ユニット３００ｂは、基板２００に加熱された気体を供給し、一例として、２２０〜２６０度に基板２００を加熱する。これにより、送風ユニット３００ｂは、ソルダーペーストに含まれるはんだを溶融させて、基板２００と電子部品とのはんだ付けを行う。すなわち、本加熱ゾーンＢは、ソルダーペースト中のはんだ粉末を溶融させてはんだ付けを行う領域である。

冷却ゾーンＣには、送風ユニット３００ｃが上下に１つずつ配置される。送風ユニット３００ｃは、冷却された気体を基板２００に向かって吹き出し、はんだ付けされた基板２００を冷却する。すなわち、冷却ゾーンＣは、はんだ付けされた基板２００を冷却する領域である。

なお、他の実施形態では、リフロー炉１００は、上述の構成に限定されず、任意の公知の構成が採用され得る。例えば、本実施形態に係るリフロー炉１００の内部は、一例として、窒素で満たされていて、送風ユニット３００ａ，３００ｂ，３００ｃは、それぞれ窒素を基板２００に向かって噴射できる。しかしながら、他の実施形態では、リフロー炉１００の内部は、当業者によって用いられる既知のあらゆる気体で満たされてもよく、送風ユニット３００ａ，３００ｂ，３００ｃは、当業者によって用いられるあらゆる気体を噴射してもよい。また、本実施形態に係るリフロー炉１００は、一列のコンベア１０２を備えているが、他の実施形態では、リフロー炉１００は、平行に配置された複数のコンベア１０２を備えてもよい。この場合、各コンベア１０２は、それぞれ独立して基板２００を搬送してもよい。

（送風ユニット）
次に、図２を参照して、送風ユニット３００ａ、送風ユニット３００ｂ及び送風ユニット３００ｃについて説明する。送風ユニット３００ａ，３００ｂ，３００ｃは、供給する気体の温度が異なるだけで、同じ構成を有する。このため、図２〜図４では、送風ユニット３００ａ，３００ｂ，３００ｃを、送風ユニット３００と表して説明する。図２は、送風ユニット３００の構造図である。図３は、図２のＡ−Ａ断面図であり、図４は、図２のＢ−Ｂ断面図である。なお、図２から図４の矢印２５０は、リフロー炉１００における基板２００の搬送方向を示している。すなわち、本実施形態では、矢印２５０の指す向きに基板２００が搬送される。他の実施形態では、矢印２５０の指す向きと反対方向に基板２００が搬送されてもよい。

図２を参照すると、送風ユニット３００は、一例として、ケース３２０、外部ケース３６０、第１導風板３８０、第２導風板４００、複数のノズル４２０、ファン３０２、モータ３０４、回転軸３０６、複数のヒータ３０８及び２つのパンチングメタル３１０を備える。以下、送風ユニット３００の各構成要素について説明する。

ケース３２０は、第１送風室３２２及び第２送風室３２４を有し、ケース本体３４０及び取付プレート３４２を備える。ケース本体３４０は、取付プレート３４２によって塞がれる開口を有する略直方体形状の角形の筒状体である。ケース本体３４０は、第１壁３２６、第２壁３２８及び内壁３３０を備える。第１壁３２６、第２壁３２８及び内壁３３０は、それぞれ板状の部材から構成されている。第１壁３２６は、ファン３０２の軸方向においてファン３０２と対向している。より詳細には、第１壁３２６は、ファン３０２の軸方向に対して垂直な平面に平行である。第２壁３２８は、第１壁３２６と向かい合っている。より詳細には、第２壁３２８は、第１壁３２６と平行であり、第１壁３２６よりもモータ３０４側に位置する。そして、内壁３３０は、第１壁３２６と第２壁３２８との間を繋いでいる。より詳細には、内壁３３０は、第１壁３２６及び第２壁３２８と直交している。また、第１壁３２６、第２壁３２８及び内壁３３０によって囲まれた部分が、第１送風室３２２である。別言すると、第１壁３２６、第２壁３２８及び内壁３３０は、第１送風室３２２を画定している。また、第２壁３２８には、吸気口３３２が形成されていて、第１壁３２６には、第１送風口３３４及び第２送風口３３６が形成されている。別言すると、第１送風室３２２は、吸気口３３２から第１送風口３３４までの流路と、吸気口３３２から第２送風口３３６までの流路とを形成する。なお、第１壁３２６、第２壁３２８及び内壁３３０は、それぞれ１枚の板状の部材から構成されていてもよいが、複数の部材が組み合わさって構成されてもよい。

ファン３０２は、一例としてターボファンであり、第１送風室３２２に収容されている。また、ファン３０２は、回転軸３０６を介して、外部ケース３６０の外部に配置されているモータ３０４と接続されている。別言すると、回転軸３０６は、吸気口３３２を通過するようにファン３０２とモータ３０４との間を延びている。これにより、モータ３０４が駆動されると、ファン３０２は、回転し、遠心方向Ｄ１に気体を送風できる。また、ヒータ３０８は、外部ケース３６０に収容され、吸気口３３２を介してファン３０２が吸気する気体を加熱する。これにより、後述する複数のノズル４２０は、加熱された気体を噴射できる。なお、ヒータ３０８は、複数のノズル４２０が噴射する気体を加熱できるならば、送風ユニット３００の任意の位置に配置されてもよい。しかしながら、ヒータ３０８は、ファン３０２とモータ３０４との間のような回転軸３０６に隣接する位置に配置される方が好ましい。これにより、ヒータ３０８は、回転軸３０６をより高温に加熱することができ、回転軸３０６にフラックスが固着することを抑止できる。なお、送風ユニット３００が送風ユニット３００ｃのように基板２００を冷却するために使用される場合には、送風ユニット３００は、ヒータ３０８の代わりに、熱交換器のような気体を冷却するための既知の冷却ユニット３０９を有していてもよい。

また、送風ユニット３００では、第１導風板３８０は、板状の部材であり、第１端部３８４及び第１端部３８４の反対側に位置する第２端部３８６を有する（図２参照）。第１端部３８４は、第１送風口３３４をファン３０２の軸方向に延長した領域の内部に配置されている（図３参照）。また、第２端部３８６は、第２壁３２８から空間を開けた位置、即ち離間した位置に配置される。したがって、第１導風板３８０は、ファン３０２の軸方向において、第２壁３２８と空間を空けた位置から第１送風口３３４の位置まで延びている（図２参照）。さらに、第１導風板３８０は、ファン３０２の回転中心Ｏから放射状に延びる仮想線Ｌと交わる方向に拡がる板面３８２の形状をしている（図４参照）。これにより、第１導風板３８０は、第１送風口３３４から気体が均一な流量で送風されるようにしている。その理由について、以下で、第１導風板３８０を備えない送風ユニット５００と比較しながら説明する。

図５は、第１導風板３８０を備えない送風ユニット５００の構造図である。送風ユニット５００は、第１導風板３８０及び第２導風板４００を備えないことを除いて、送風ユニット３００と同一の構成である。第１導風板３８０を備えない送風ユニット５００では、ファン３０２が送風した気体は、内壁３３０に当たって、流れる向きが変えられて、第１送風口３３４から送風される。すなわち、ファン３０２が送風した気体の多くが、図５の矢印５０２のように流れる。このため、第１送風口３３４から送られる風は内壁３３０に近い位置の方が、内壁３３０から遠い位置よりも、送風される気体の流量が多くなる。その結果、気体は、第１送風口３３４から均一な流量で送風されない。

次いで、図２を再び参照する。送風ユニット３００では、ファン３０２から送風された気体の一部は、第２壁３２８と第２端部３８６との間を通り、内壁３３０に当たって、第１送風口３３４の内壁３３０に近い位置から送風される。すなわち、ファン３０２から送風された気体の一部は、図３の矢印３１６のように流れる。また、ファン３０２から送風された残りの気体の一部は、第１導風板３８０の板面３８２に当たる。第１導風板３８０の板面３８２に当たった気体は、第１導風板３８０に流れる向きが変えられて、第１送風口３３４の内壁３３０から遠い位置から送風される。すなわち、ファン３０２から送風された気体の一部は、図３の矢印３１８のように流れる。このため、第１導風板３８０は、ファン３０２から送風された気体の一部を、図５の送風ユニット５００において第１送風口３３４の送風される気体の流量が少ない部分に導くことができる。その結果、送風ユニット３００は、第１導風板３８０を備えない場合よりも、第１送風口３３４から均一な流量で気体を送風することができる。

なお、送風ユニット３００では、上述したように、第１導風板３８０は、ファン３０２の軸方向において、第２端部３８６から第１送風口３３４の位置まで延びているが、第１送風口３３４まで延びなくてもよい。第１導風板３８０が、第１送風口３３４まで延びていない場合でも、第１導風板３８０は、板面３８２に当たった気体の流れる向きを変えられる。このため、第１導風板３８０は、ファン３０２から送風された気体の一部を、第１送風口３３４における送風される気体の流量が少ない部分に導くことができる。

しかし、第１導風板３８０は、ファン３０２の軸方向において、第２端部３８６から、第２壁３２８から離れる向きに延びて、少なくとも第１送風口３３４に届く位置まで延びることが好ましい。第１導風板３８０が、第１送風口３３４に届く位置まで延びていない場合、ファン３０２の軸方向における、第１導風板３８０の第１端部３８４と第１壁３２６との間に空間が生じる。そして、この空間を通って内壁３３０に向かう気体と、第１導風板３８０の板面３８２に当たって第１送風口３３４に向かう気体とが衝突し、圧力損失を生じる虞があるからである。

また、図２を参照すると、送風ユニット３００では、ファン３０２は、軸方向において、モータ３０４に近い近位端部３１２から、遠位端部３１４まで延びている。そして、第１導風板３８０の第２端部３８６は、ファン３０２の軸方向において、近位端部３１２と遠位端部３１４との間に位置している。

ファン３０２が送風する気体は、ファン３０２の軸方向において近位端部３１２と遠位端部３１４との間でより多く流れる。このため、第１導風板３８０の第２端部３８６が、近位端部３１２と遠位端部３１４との間に位置しない場合、第２壁３２８と第２端部３８６との間を通る気体の流量又は第１導風板３８０の板面３８２に当たる気体の流量のどちらか一方が、他方よりも極めて多くなる。その結果、第１送風口３３４の内壁３３０に近い位置から送風される気体の流量と、第１送風口３３４の内壁３３０にから遠い位置から送風される気体の流量との間の差が極めて大きくなってしまい、第１送風口３３４から均一な流量で気体が送風されない虞がある。

これに対し、送風ユニット３００では、第２端部３８６は、軸方向において、近位端部３１２と遠位端部３１４との間に位置している。このため、第２壁３２８と第２端部３８６との間を通る気体と、第１導風板３８０の板面３８２に当たる気体とが、均一に分割される。その結果、送風ユニット３００は、第１送風口３３４からより均一な流量で気体を送風することができる。

また、図４を参照すると、第１導風板３８０は、第１壁３２６と平行な断面において、円弧形状を有する。そして、第１導風板３８０の円弧形状の凹んでいる板面３８２が、ファン３０２が送風した気体を受けられる方向に向けられている。これにより、第１導風板３８０は、直線形状の場合よりも、ファン３０２が送風したより多くの気体を第１送風口３３４に導くことができる。その理由を以下に説明する。気体が第１導風板３８０の板面３８２に衝突すると、気体は、板面３８２の付近よりも圧力が低い、第１導風板３８０及び第２壁３２８の間の空間と、第２送風室３２４とへ流れようとする（図２参照）。

まず、第１導風板３８０が円弧形状の場合を考える。第１導風板３８０が円弧形状の場合、気体が流れて第１導風板３８０に近づくにつれて、第１導風板３８０の板面３８２に挟まれるようにして形成されている気体の流路幅が徐々に狭められる（図４参照）。そして、気体の圧力が徐々に上昇し、気体は、より圧力の低い空間へ流れようとする。ここで、第１導風板３８０及び第２壁３２８の間の空間と、第２送風室３２４とでは、下流である第２送風室３２４の方が、圧力が低い。その結果、第１導風板３８０に衝突した気体の多くが、第２送風室３２４へ流れる。

他方、第１導風板３８０が直線形状の場合、気体が第１導風板３８０に衝突すると、第１導風板３８０の板面３８２の付近の圧力が一気に上昇する。これにより、板面３８２の付近の気体が、第２送風室３２４に流れようとする。このとき、板面３８２の付近の圧力が一気に上昇したため、気体が第２送風室３２４に充分に流れることができない。その結果、第２送風室３２４に流れられなかった気体が、第１導風板３８０及び第２壁３２８の間の空間に流れる。したがって、上述したように、円弧形状である第１導風板３８０は、直線形状の場合よりも、ファン３０２が送風したより多くの気体を第１送風口３３４に導くことができる。

また、内壁３３０は、誘導壁３３１及び壁３３３を備える。誘導壁３３１は、ファン３０２が送風した気体を第１導風板３８０に導くための湾曲部３３８を有する（図４参照）。そして、湾曲部３３８は、第１壁３２６と平行な断面において円弧形状を有し、当該円弧形状の凹んでいる側がファン３０２の回転中心Ｏの方を向いている。これにより、円弧形状を有している湾曲部３３８が、ファン３０２が送風した気体を第１導風板３８０に導くため、この気体は第１導風板３８０まで滑らかに流れることができる。その結果、ファン３０２から第１導風板３８０までに発生する圧力損失が低減される。

また、送風ユニット３００では、第２導風板４００は、第１導風板３８０のように、ファン３０２から送風された気体の一部を第２送風口３３６に導くように第１送風室３２２に配置される。そして、第２送風口３３６は、ファン３０２の回転中心Ｏに対して第１送風口３３４の反対側に位置している（図３参照）。より詳細には、第２導風板４００は、ファン３０２の回転中心Ｏを基準として、第１導風板３８０の点対称の位置に位置し、第１導風板３８０と同一の形状を有する。第２送風口３３６は、ファン３０２の回転中心Ｏを基準として、第１送風口３３４の点対称の位置に位置し、第１送風口３３４と同一の形状を有する。この結果、送風ユニット３００は、第１送風口３３４と同様に、第２送風口３３６からも均一な流量で気体を送風することができる。

また、ケース３２０は、上述したように、ケース本体３４０及び取付プレート３４２を有する（図２参照）。そして、ケース本体３４０は、板状の部材から構成されている内壁３４４をさらに有している。取付プレート３４２は、板状の部材から構成されている。取付プレート３４２は、第１壁３２６と平行な状態で、ケース本体３４０に対して取付け可能に構成され、第１壁３２６に対してファン３０２の反対側に配置される。さらに、取付プレート３４２は、ノズルカバー３６４の後述する複数の吸込口３６６と対向している。そして、内壁３４４は、第１壁３２６と取付プレート３４２との間を繋いでいる。より詳細には、内壁３４４は、第１壁３２６及び取付プレート３４２と直交している。また、取付プレート３４２には、複数のノズル４２０が取付けられている。複数のノズル４２０は、ファン３０２の軸方向に供給口４２２を有し、この軸方向と垂直な垂直方向に並んで位置している。また、第１壁３２６、取付プレート３４２及び内壁３４４によって囲まれた部分が、第２送風室３２４である。別言すると、第１壁３２６、取付プレート３４２及び内壁３４４は、第２送風室３２４を画定している。このため、第１送風口３３４又は第２送風口３３６から均一な流量で気体が送風されると、この気体は、第２送風室３２４を介して、複数のノズル４２０の供給口４２２に供給される。その結果、複数のノズル４２０は、均一な流量で気体をそれぞれの吹出口４２４から噴射できる。

また、送風ユニット３００では、２つのパンチングメタル３１０は、第１壁３２６に対してファン３０２の反対側に配置され、第１壁３２６と平行に拡がる。これにより、第１送風口３３４及び第２送風口３３６から送風された気体は、パンチングメタル３１０でさらに拡散され、ファン３０２の軸方向に垂直な平面における各位置で流量がより均一になる。その結果、送風ユニット３００は、パンチングメタル３１０を備えない場合よりも、複数のノズル４２０のそれぞれの供給口４２２に均一な流量で気体を供給できる。

また、送風ユニット３００では、第１送風口３３４のいずれの位置の圧力も、第２送風室３２４の圧力よりも高くなるように、第１送風口３３４は、第１壁３２６に形成されている。第１送風口３３４のいずれかの位置の圧力が、第２送風室３２４の圧力よりも低い場合、第２送風室３２４に送風された気体が、この圧力が低い部分を通って、第１送風室３２２に戻ってしまい、圧力損失が発生する。しかし、第１送風口３３４のいずれの位置の圧力も、第２送風室３２４の圧力よりも高い場合、第２送風室３２４に送風された気体が、再び第１送風室３２２に戻ることがなく、気体が再び第１送風室３２２に戻ることによる圧力損失が発生しない。

また、送風ユニット３００では、外部ケース３６０は、外部ケース本体３６２及びノズルカバー３６４を有する（図２参照）。そして、外部ケース本体３６２は、ノズルカバー３６４によって塞がれる開口を有する略直方体形状の箱体である。ノズルカバー３６４は、外部ケース本体３６２にはめ込まれて接続されることが可能である。このため、外部ケース本体３６２及びノズルカバー３６４は、一体となって、略直方体形状を有する外部ケース３６０を構成する。また、複数のノズル４２０は、外部ケース３６０のノズルカバー３６４を貫通して、外部ケース３６０の外部まで延びている。そして、外部ケース３６０のノズルカバー３６４には、外部の気体を内部に吸込むための吸込口３６６が複数のノズル４２０に隣接するように形成されている。

送風ユニット３００は上述した構成を備えるため、送風ユニット３００には、複数の吸込口３６６から延び、ヒータ３０８及びファン３０２を通過し、複数のノズル４２０に至る流路９０６が形成されている。なお、流路９０６のうち、吸込口３６６から吸気口３３２までを第１流路９０３と呼び、吸気口３３２から第１送風口３３４又は第２送風口３３６までの流路を第２流路９０４と呼び、第１送風口３３４又は第２送風口３３６から複数のノズル４２０までの流路を第３流路９０５と呼ぶ。また、送風ユニット３００では、流路９０６の一部が、取付プレート３４２の周端部３４７を囲んでいる。すなわち、基板２００の搬送方向において、流路９０６の一部が、取付プレート３４２の周端部３４７の前後と左右とに位置している。別言すると、取付プレート３４２の周端部３４７と外部ケース３６０との間に、流路９０６の一部が形成されている。また、送風ユニット３００では、取付プレート３４２と平行な断面において、第１流路９０３が、第１送風室３２２又は第２送風室３２４を囲むように位置している（図２、図３及び図４参照）。これにより、送風ユニット３００では、吸込口３６６から吸い込まれた気体は、第１流路９０３に沿って、取付プレート３４２の周端部３４７の周りを通過し、ケース本体３４０を囲むように位置している第１流路９０３を通り、吸気口３３２まで流れることができる。そして、吸気口３３２から第１送風室３２２に吸気された気体は、第２流路９０４に沿って、第１送風室３２２を通過し、第１送風口３３４又は第２送風口３３６まで流れることができる。その後、第１送風口３３４又は第２送風口３３６から第２送風室３２４へ送風された気体は、第３流路９０５に沿って、第２送風室３２４を通過し、複数のノズル４２０まで流れることができる。

なお、他の実施形態では、送風ユニット３００の送風経路は、上述の構成に限定されず、任意の構成が採用され得る。具体的には、第１流路９０３は、吸込口３６６と吸気口３３２とを接続していればよく、送風ユニット３００の内部のどこに位置していてもよい。さらに、第３流路９０５は、第１送風口３３４及び第２送風口３３６と、複数のノズル４２０とを接続していればよく、送風ユニット３００の内部のどこに位置していてもよい。

また、リフロー炉１００では、送風ユニット３００ａ，３００ｂ，３００ｃの直下を基板２００が搬送されている（図１参照）。すなわち、それぞれの送風ユニット３００ａ，３００ｂ，３００ｃが有するファン３０２の直下を基板２００が搬送される（図２参照）。このため、リフロー炉１００は、ファン３０２と搬送される基板２００の搬送路との間に、気体を供給するための大きな空間を必要としない。つまり、リフロー炉１００では、ファン３０２と基板２００の搬送路とが近接するように配置されてもよい。この場合、ファン３０２と搬送される基板２００の搬送路との間の距離が短くなる。その結果、送風ユニット３００ａ，３００ｂ，３００ｃの高さが低くなり、リフロー炉１００が小型になる。つまり、リフロー炉１００では、ファン３０２の直下に基板２００の搬送路が位置しているため、リフロー炉１００は、小型に設計されることができる。

（動作）
次に、図２を参照しながら、リフロー炉１００における送風ユニット３００の動作について説明する。送風ユニット３００の電源が入れられると、モータ３０４が駆動しファン３０２が回転を開始する。そして、ファン３０２の上流側が負圧となる。その結果、リフロー炉１００の内部の気体であって外部ケース３６０の外部の気体が、吸込口３６６から外部ケース３６０の内部に吸込まれる（図１及び図２参照）。次いで、この吸込まれた気体が、外部ケース３６０の内部で、ヒータ３０８により加熱される。

次いで、ヒータ３０８に加熱されたこの気体は、吸気口３３２を介して、ケース３２０の内部に吸気される。次いで、ケース３２０の内部に吸気された気体は、ファン３０２によって、遠心方向Ｄ１に送風される。その後、ファン３０２から送風された気体の一部は、第２壁３２８と第１導風板３８０の第２端部３８６との間を通って、内壁３３０に当たって、第１送風口３３４の内壁３３０に近い位置から第２送風室３２４に送風される。また、ファン３０２から送風された残りの気体の一部は、第１導風板３８０の板面３８２に当たる。そして、第１導風板３８０の板面３８２に当たった気体は、第１導風板３８０に流れる向きが変えられて、第１送風口３３４の内壁３３０から遠い位置から第２送風室３２４に送風される。このため、気体は、上述したように、第１導風板３８０がないときよりも、第１送風口３３４の各位置において均一な流量で送風される。また、ファン３０２から送風された残りの気体は、第１送風口３３４と同様に、第２送風口３３６を通って第２送風室３２４に送風される。次いで、第１送風口３３４又は第２送風口３３６を通過した気体は、２つのパンチングメタル３１０で分散されてノズル４２０の供給口４２２に供給される。そして、気体は、ノズル４２０の吹出口４２４から噴出される。このようにして、送風ユニット３００は、基板２００に対し熱風を供給できる。その結果、上述したリフロー炉１００は、はんだ付けを行うことができる。

［付記］
上記の実施の形態の一部または全部は、以下の付記のようにも記載され得るが、以下には限られない。

（付記１）
付記１に係るはんだ付け装置は、はんだ付けを行うためのはんだ付け装置であって、対象物に気体を供給するための送風ユニットを備え、前記送風ユニットは、第１送風室を有するケース、前記第１送風室に収容されて遠心方向に前記気体を送風するためのファン、第１導風板及び、前記気体を加熱するためのヒータ又は前記気体を冷却するための冷却ユニットを有し、前記ケースは、前記ファンの軸方向において前記ファンと対向する第１壁、前記第１壁と向かい合う第２壁、及び前記第１壁と前記第２壁との間を繋ぐ内壁を有し、前記第１壁、前記第２壁及び前記内壁は、前記第１送風室を画定し、前記第１壁には、第１送風口が形成され、前記第１導風板は、前記ファンから送風された前記気体の一部を前記第１送風口に導くように前記第１送風室に配置される。

送風ユニットが第１導風板を備えない場合、気体が第１送風口から均一な流量で送風されない虞がある。これに対し、付記１に係るはんだ付け装置は、第１導風板がファンから送風された気体の一部を第１送風口に導くことができる。このため、第１導風板が、ファンから送風された気体の一部を、第１導風板を備えない送風ユニットにおける第１送風口の送風される気体の流量が少ない部分に導くことができる。つまり、このはんだ付け装置は、第１導風板を備えない場合よりも、第１送風口から均一な流量で気体を送風することができる。

（付記２）
付記２に係るはんだ付け装置によれば、付記１に記載のはんだ付け装置において、前記第１導風板は、前記ファンの回転中心から放射状に延びる仮想線と交わる方向に拡がる板面、第１端部及び前記第１端部の反対側に位置する第２端部を有し、前記軸方向において、前記第２壁と空間を空けた位置に位置する前記第２端部から、前記第２壁から離れる向きに延びて、少なくとも前記第１送風口に届き、前記第１端部は、前記第１送風口を前記軸方向に延長した領域の内部に配置されている。

送風ユニットが第１導風板を備えない場合、ファンが送風した気体は、内壁に当たって、流れる向きが変えられて、第１送風口から送風される。このため、第１送風口の内壁に近い位置を通る気体の流量の方が、内壁から遠い位置を通る気体の流量よりも多く、気体が第１送風口から均一な流量で送風されない虞がある。これに対し、付記２に係るはんだ付け装置では、ファンから送風された気体の一部は、第２壁と第２端部との間を通って、内壁に当たって、第１送風口の内壁に近い位置から送風される。また、ファンから送風された残りの気体の一部は、第１導風板の板面に当たる。第１導風板の板面に当たった気体は、第１導風板に流れる向きが変えられて、第１送風口の内壁から遠い位置から送風される。このため、第１導風板は、ファンから送風された気体の一部を、第１導風板を備えない送風ユニットにおける第１送風口の送風される気体の流量が少ない部分に導くことができる。つまり、このはんだ付け装置は、第１導風板を備えない場合よりも、第１送風口から均一な流量で気体を送風することができる。

（付記３）
付記３に係るはんだ付け装置によれば、付記２に記載のはんだ付け装置において、前記ファンは、前記軸方向において、近位端部から遠位端部まで延び、前記第２端部は、前記軸方向において、前記近位端部と前記遠位端部との間に位置する。

ファンが送風する気体は、軸方向において近位端部と遠位端部との間でより多く流れる。このため、第２端部が、近位端部と遠位端部との間に位置しない場合、第２壁と第２端部との間を通る気体の流量又は第１導風板の板面に当たる気体の流量のどちらか一方が、他方よりも極めて多くなる。その結果、第１送風口の内壁に近い位置から送風される気体と、第１送風口の内壁から遠い位置から送風される気体との間に差ができてしまい、第１送風口から均一な流量で気体が送風されない虞がある。これに対し、付記２に係るはんだ付け装置では、第２端部は、軸方向において、近位端部と遠位端部との間に位置している。このため、第２壁と第２端部との間を通る気体と、第１導風板の板面に当たる気体とが、均一に分割される。その結果、このはんだ付け装置は、第１送風口から均一な流量で気体を送風することができる。

（付記４）
付記４に係るはんだ付け装置によれば、付記１から３のいずれか１つに記載のはんだ付け装置において、前記第１導風板は、前記第１壁と平行な断面において、円弧形状を有し、前記第１導風板の前記円弧形状の凹んでいる側が、前記ファンが送風した前記気体を受けられる方向に向けられている。

付記４に係るはんだ付け装置によれば、円弧形状である第１導風板は、直線形状の場合よりも、ファンが送風したより多くの気体を第１送風口に導くことができる。

（付記５）
付記５に係るはんだ付け装置によれば、付記１から４のいずれか１つに記載のはんだ付け装置において、前記内壁は、前記ファンが送風した前記気体を前記第１導風板に導くための湾曲部を有する誘導壁を備え、前記湾曲部は、前記第１壁と平行な断面において円弧形状を有し、当該円弧形状の凹んでいる側が前記ファンの回転中心の方を向いている。

付記５に係るはんだ付け装置によれば、円弧形状を有している湾曲部が、ファンが送風した気体を第１導風板に導くため、この気体は第１導風板まで滑らかに流れることができる。このため、このはんだ付け装置では、ファンから第１導風板までに発生する圧力損失を低減できる。

（付記６）
付記６に係るはんだ付け装置によれば、付記１から５のいずれか１つに記載のはんだ付け装置において、前記送風ユニットは、第２導風板を有し、前記第１壁には、第２送風口が形成され、前記第２送風口は、前記ファンの回転中心に対して前記第１送風口の反対側に位置し、前記第２導風板は、前記ファンから送風された前記気体の一部を前記第２送風口に導くように前記第１送風室に配置される。

付記６に係るはんだ付け装置は、ファンの回転中心を基準として第１送風口の反対側に第２送風口が形成されていて、第１送風口と同様に、第２送風口からも均一な流量で気体を送風することができる。

（付記７）
付記７に係るはんだ付け装置によれば、付記１から６のいずれか１つに記載のはんだ付け装置において、前記送風ユニットは、前記第１壁に対して前記ファンの反対側に配置され、前記第１壁と平行に拡がるパンチングメタルをさらに有する。

付記７に係るはんだ付け装置は、第１送風口から送風された気体をパンチングメタルでさらに拡散し、ファンの軸方向に垂直な平面における各位置で流量が均一になる。

（付記８）
付記８に係るはんだ付け装置によれば、付記１から７のいずれか１項に記載のはんだ付け装置において、前記送風ユニットは、前記第１壁に対して前記ファンの反対側に配置され、前記軸方向に前記気体が供給される供給口を有し、前記軸方向と垂直な垂直方向に並べられた複数のノズルをさらに有する。

付記８に係るはんだ付け装置では、均一な流量で気体が複数のノズルの供給口にそれぞれ供給される。このため、複数のノズルは、それぞれ均一な流量で気体を噴射できる。

（付記９）
付記９に係るはんだ付け装置によれば、付記８に記載のはんだ付け装置において、前記ケースは、前記第１送風口から前記複数のノズルの前記供給口までの流路を形成する第２送風室を有する。

付記９に係るはんだ付け装置は、第１送風口から送風された気体を、第２送風室を介して複数のノズルに供給できる。

（付記１０）
付記１０に係るはんだ付け装置によれば、付記９に記載のはんだ付け装置において、前記第１送風口のいずれの位置の圧力も、前記第２送風室の圧力よりも高い。

付記１０に係るはんだ付け装置によれば、第１送風口のいずれの位置の圧力も、第２送風室の圧力よりも高いため、第２送風室に送風された気体が、再び第１送風室に戻ることがない。このため、気体が再び第１送風室に戻ることによる、気体の圧力損失が発生しない。

（付記１１）
付記１１に係るはんだ付け装置によれば、付記９又は１０に記載のはんだ付け装置において、前記送風ユニットは、前記ケースを収容する外部ケースをさらに有し、前記複数のノズルは、前記外部ケースを貫通して、前記外部ケースの外部まで延び、前記外部ケースには、外部の気体を内部に吸込むための吸込口が形成され、前記第２壁には、前記ファンが前記ケースの外部の気体を内部に吸気するための吸気口が形成されている。

以上、本発明の実施形態とそれに係る各変形例について説明したが、上述した各例は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではないことは言うまでもない。本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で、適宜変更、改良することができ、本発明にその等価物は含まれる。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲及び明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、又は省略が可能である。

１００：リフロー炉
３００，５００：送風ユニット
３０２：ファン
３０８：ヒータ
３０９：冷却ユニット
３１０：パンチングメタル
３２０：ケース
３２２：第１送風室
３２４：第２送風室
３２６：第１壁
３２８：第２壁
３３０：内壁
３３２：吸気口
３３４：第１送風口
３３６：第２送風口
３３８：湾曲部
３６０：外部ケース
３６６：吸込口
３８０：第１導風板
３８２：板面
３８４：第１端部
３８６：第２端部
４００：第２導風板
４２０：ノズル
４２２：供給口
Ｄ１：遠心方向
Ｌ：仮想線
Ｏ：回転中心

Claims

はんだ付けを行うためのはんだ付け装置であって、
対象物に気体を供給するための送風ユニットを備え、
前記送風ユニットは、第１送風室を有するケース、前記第１送風室に収容されて遠心方向に前記気体を送風するためのファン、第１導風板及び、前記気体を加熱するためのヒータ又は前記気体を冷却するための冷却ユニットを有し、
前記ケースは、前記ファンの軸方向において前記ファンと対向する第１壁、前記第１壁と向かい合う第２壁、及び前記第１壁と前記第２壁との間を繋ぐ内壁を有し、
前記第１壁、前記第２壁及び前記内壁は、前記第１送風室を画定し、
前記第１壁には、第１送風口が形成され、
前記第１導風板は、前記ファンから送風された前記気体の一部を前記第１送風口に導くように前記第１送風室に配置され、
前記第１導風板は、第１端部及び前記第１端部の反対側に位置する第２端部を有し、前記軸方向において、前記第２壁と空間を空けた位置に位置する前記第２端部から、前記第２壁から離れる向きに延びる、
はんだ付け装置。
請求項１に記載のはんだ付け装置において、
前記第１導風板は、前記ファンの回転中心から放射状に延びる仮想線と交わる方向に拡がる板面を有し、前記軸方向において、前記第２端部から、前記第２壁から離れる向きに延びて、少なくとも前記第１送風口に届き、
前記第１端部は、前記第１送風口を前記軸方向に延長した領域の内部に配置されている、
はんだ付け装置。
請求項１又は２に記載のはんだ付け装置において、
前記ファンは、前記軸方向において、近位端部から遠位端部まで延び、
前記第２端部は、前記軸方向において、前記近位端部と前記遠位端部との間に位置する、
はんだ付け装置。
はんだ付けを行うためのはんだ付け装置であって、
対象物に気体を供給するための送風ユニットを備え、
前記送風ユニットは、第１送風室を有するケース、前記第１送風室に収容されて遠心方向に前記気体を送風するためのファン、第１導風板及び、前記気体を加熱するためのヒータ又は前記気体を冷却するための冷却ユニットを有し、
前記ケースは、前記ファンの軸方向において前記ファンと対向する第１壁、前記第１壁と向かい合う第２壁、及び前記第１壁と前記第２壁との間を繋ぐ内壁を有し、
前記第１壁、前記第２壁及び前記内壁は、前記第１送風室を画定し、
前記第１壁には、第１送風口が形成され、
前記第１導風板は、前記ファンから送風された前記気体の一部を前記第１送風口に導くように前記第１送風室に配置され、
前記第１導風板は、前記第１壁と平行な断面において、円弧形状を有し、
前記第１導風板の前記円弧形状の凹んでいる側が、前記ファンが送風した前記気体を受けられる方向に向けられている、
はんだ付け装置。
はんだ付けを行うためのはんだ付け装置であって、
対象物に気体を供給するための送風ユニットを備え、
前記送風ユニットは、第１送風室を有するケース、前記第１送風室に収容されて遠心方向に前記気体を送風するためのファン、第１導風板及び、前記気体を加熱するためのヒータ又は前記気体を冷却するための冷却ユニットを有し、
前記ケースは、前記ファンの軸方向において前記ファンと対向する第１壁、前記第１壁と向かい合う第２壁、及び前記第１壁と前記第２壁との間を繋ぐ内壁を有し、
前記第１壁、前記第２壁及び前記内壁は、前記第１送風室を画定し、
前記第１壁には、第１送風口が形成され、
前記第１導風板は、前記ファンから送風された前記気体の一部を前記第１送風口に導くように前記第１送風室に配置され、
前記内壁は、前記ファンが送風した前記気体を前記第１導風板に導くための湾曲部を有する誘導壁を備え、
前記湾曲部は、前記第１壁と平行な断面において円弧形状を有し、当該円弧形状の凹んでいる側が前記ファンの回転中心の方を向いている、
はんだ付け装置。
請求項１から５のいずれか１項に記載のはんだ付け装置において、
前記送風ユニットは、第２導風板を有し、
前記第１壁には、第２送風口が形成され、
前記第２送風口は、前記ファンの回転中心に対して前記第１送風口の反対側に位置し、
前記第２導風板は、前記ファンから送風された前記気体の一部を前記第２送風口に導くように前記第１送風室に配置される、
はんだ付け装置。
請求項１から６のいずれか１項に記載のはんだ付け装置において、
前記送風ユニットは、前記第１壁に対して前記ファンの反対側に配置され、前記第１壁と平行に拡がるパンチングメタルをさらに有する、
はんだ付け装置。
請求項１から７のいずれか１項に記載のはんだ付け装置において、
前記送風ユニットは、前記第１壁に対して前記ファンの反対側に配置され、前記軸方向に前記気体が供給される供給口を有し、前記軸方向と垂直な垂直方向に並べられた複数のノズルをさらに有する、
はんだ付け装置。
はんだ付けを行うためのはんだ付け装置であって、
対象物に気体を供給するための送風ユニットを備え、
前記送風ユニットは、第１送風室を有するケース、前記第１送風室に収容されて遠心方向に前記気体を送風するためのファン、第１導風板及び、前記気体を加熱するためのヒータ又は前記気体を冷却するための冷却ユニットを有し、
前記ケースは、前記ファンの軸方向において前記ファンと対向する第１壁、前記第１壁と向かい合う第２壁、及び前記第１壁と前記第２壁との間を繋ぐ内壁を有し、
前記第１壁、前記第２壁及び前記内壁は、前記第１送風室を画定し、
前記第１壁には、第１送風口が形成され、
前記第１導風板は、前記ファンから送風された前記気体の一部を前記第１送風口に導くように前記第１送風室に配置され、
前記送風ユニットは、前記第１壁に対して前記ファンの反対側に配置され、前記軸方向に前記気体が供給される供給口を有し、前記軸方向と垂直な垂直方向に並べられた複数のノズルをさらに有し、
前記ケースは、前記第１送風口から前記複数のノズルの前記供給口までの流路を形成する第２送風室を有する、
はんだ付け装置。
請求項９に記載のはんだ付け装置において、
前記第１送風口のいずれの位置の圧力も、前記第２送風室の圧力よりも高い、
はんだ付け装置。
請求項９又は１０に記載のはんだ付け装置において、
前記送風ユニットは、前記ケースを収容する外部ケースをさらに有し、
前記複数のノズルは、前記外部ケースを貫通して、前記外部ケースの外部まで延び、
前記外部ケースには、外部の気体を内部に吸込むための吸込口が形成され、
前記第２壁には、前記ファンが前記ケースの外部の気体を内部に吸気するための吸気口が形成されている、
はんだ付け装置。