KR102322680B1 - 납땜 장치 - Google Patents

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가즈나리 소마
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센주긴조쿠고교 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 제 1 송풍구로부터, 제 1 송풍구에 있어서의 각 위치에 있어서, 종래 장치보다 균일하게 기체를 송풍할 수 있는 납땜 장치를 제공한다.
[해결 수단] 본 개시와 관련된 납땜 장치는, 납땜을 행하기 위한 납땜 장치로서, 대상물에 기체를 공급하기 위한 송풍 유닛을 구비하고, 송풍 유닛은, 제 1 송풍실을 가지는 케이스, 제 1 송풍실에 수용되어 원심 방향으로 기체를 송풍하기 위한 팬, 제 1 도풍판 및, 기체를 가열하기 위한 히터 또는 상기 기체를 냉각하기 위한 냉각 유닛을 가지며, 케이스는, 팬의 축방향에 있어서 팬과 대향하는 제 1 벽, 제 1 벽과 마주 보는 제 2 벽 , 및 제 1 벽과 제 2 벽과의 사이를 연결하는 내벽을 가지고, 제 1 벽, 제 2 벽 및 내벽은, 제 1 송풍실을 획정하며, 제 1 벽에는, 제 1 송풍구가 형성되고, 제 1 도풍판은, 팬으로부터 송풍된 기체의 일부를 제 1 송풍구로 유도하도록 제 1 송풍실에 배치된다.

Description

납땜 장치{SOLDERING APPARATUS}
본 발명은, 납땜 장치에 관한 것이다.
회로 기판에 전자 부품의 납땜을 하는 경우에는, 리플로우 장치나 분류(噴流) 납땜 장치 등의 납땜 장치가 사용되고 있다. 예를 들면, 특허 문헌 1에는, 그 도 5에 나타나는 바와 같이, 송풍기와, 송풍기로부터 하방으로 분출되는 바람을 받아 분산시키는 도풍판(導風板)과, 도풍판의 하방에 배치된 히터와, 히터의 하방에 배치되어 다수의 작은 구멍이 형성된 패널을 구비하는 리플로우 장치가 개시되어 있다. 이 송풍기는, 케이스, 모터 및 케이스에 수용되어 모터에 의해 회전되는 날개를 가지고 있다. 그리고, 이 케이스는, 회전축 방향으로 연장되는 내면과, 내면과 수직인 방향으로 연장되는 수직면을 가지며, 수직면에는 구멍이 형성되어 있다. 이 때문에, 송풍기에 있어서, 날개가 회전하면, 날개의 회전에 의해 야기된 바람이, 케이스의 내면에 닿아, 내면에 의해 흐르는 방향이 변경되어, 수직면에 형성된 구멍으로부터 케이스의 외부로 송풍된다. 그 후, 이 바람은, 도풍판에 의해 분산되며, 히터 및 패널에 형성된 다수의 작은 구멍을 통과하여, 열풍으로서 피가열물에 내뿜어진다.
일본공개특허 특개2013-27931호 공보
특허 문헌 1에 기재되는 송풍기에서는, 상기 서술한 바와 같이, 케이스의 내면에 닿아 흐르는 방향이 변경된 바람이, 구멍으로부터 케이스의 외부로 송풍되고 있다. 이 때문에, 날개로부터 멀고 또한 내면에 가까운 구멍의 부분을 지나는 기체의 유량이, 날개에 가깝고 또한 내면으로부터 먼 구멍의 부분을 통과하는 기체의 유량보다 많아진다. 즉, 이 송풍기에서는, 구멍의 위치에 따라, 그 위치를 통과하는 기체의 유량에 차가 발생해버릴 우려가 있다. 그 결과, 송풍기의 구멍으로부터 송풍된 기체가, 이대로 분산되지 않고 패널로 보내져버리면, 패널의 작은 구멍으로부터 피가열물에 내뿜어지는 열풍의 유량이 불균일해질 우려가 있다. 이 때문에, 특허 문헌 1에 기재된 리플로우 장치에서는, 송풍기로부터 불기 시작하는 바람이, 도풍판에 의해 분산되어, 패널의 작은 구멍으로부터 피가열물에 내뿜어지는 열풍의 유량이 균일하게 되어 있다.
그러나, 송풍기의 구멍으로부터 송풍되는 기체의 유량이, 구멍에 있어서의 송풍되는 위치에 따라, 지나치게 불균일한 경우, 도풍판은, 충분히 바람을 분산시킬 수 없어, 기체가 피가열물에 균일하게 내뿜어지지 않을 우려가 있다. 또한, 송풍기의 구멍으로부터 송풍된 기체가 도풍판에 의해 분산되는 경우, 송풍된 기체를 가로막도록 장착되어 있는 도풍판이, 강제적으로 바람을 분산시키고 있다. 이 때문에, 압력 손실이, 현저하게 증가해버린다. 이 때문에, 기체가, 케이스의 구멍으로부터, 구멍에 있어서의 각 위치에 있어서 균일한 유량으로 송풍되는 것이 요구된다.
따라서, 본 개시는, 구멍(제 1 송풍구)으로부터, 구멍(제 1 송풍구)에 있어서의 각 위치에 있어서, 종래 장치보다 균일하게 기체를 송풍할 수 있는 납땜 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
일 실시 형태와 관련된 납땜 장치는, 납땜을 행하기 위한 납땜 장치로서, 대상물에 기체를 공급하기 위한 송풍 유닛을 구비하고, 상기 송풍 유닛은, 제 1 송풍 실을 가지는 케이스, 상기 제 1 송풍실에 수용되어 원심 방향으로 상기 기체를 송풍하기 위한 팬, 제 1 도풍판 및, 상기 기체를 가열하기 위한 히터 또는 상기 기체를 냉각하기 위한 냉각 유닛을 가지고, 상기 케이스는, 상기 팬의 축방향에 있어서 상기 팬과 대향하는 제 1 벽, 상기 제 1 벽과 마주 보는 제 2 벽, 및 상기 제 1 벽과 상기 제 2 벽과의 사이를 연결하는 내벽을 가지며, 상기 제 1 벽, 상기 제 2 벽 및 상기 내벽은, 상기 제 1 송풍실을 획정하고, 상기 제 1 벽에는, 제 1 송풍구가 형성되며, 상기 제 1 도풍판은, 상기 팬으로부터 송풍된 상기 기체의 일부를 상기 제 1 송풍구로 유도하도록 상기 제 1 송풍실에 배치된다.
본 개시와 관련된 납땜 장치는, 제 1 송풍구로부터, 제 1 송풍구에 있어서의 각 위치에 있어서, 종래 장치보다 균일하게 기체를 송풍할 수 있다.
도 1은 본 개시의 제 1 실시 형태와 관련된 리플로우로(爐)의 구조도이다.
도 2는 도 1에서 나타낸 송풍 유닛의 구조도이다.
도 3은 도 2의 Ａ-A 단면도이다.
도 4는 도 2의 Ｂ-B 단면도이다.
도 5는 제 1 도풍판 및 제 2 도풍판을 구비하고 있지 않은 송풍 유닛의 구조도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 이하에서 설명하는 도면에 있어서, 동일 또는 상당하는 구성 요소에는, 동일한 부호를 붙여 중복된 설명을 생략한다.
[제 1 실시 형태]
(전체 구성)
도 1은, 본 개시의 제 1 실시 형태와 관련된 리플로우로(100)의 단면도이다. 도 1을 참조하면, 리플로우로(100)는, 본체부(101) 및 기판(200)을 반송하는 컨베이어(102)를 구비한다. 리플로우로(100)는, 기판(200)에 전자 부품을 리플로우 방식으로 납땜하기 위한 장치이다. 리플로우로(100)에서는, 솔더 페이스트를 개재하여 전자 부품이 재치된 기판(200)이, 입구(110)로부터 출구(112)로 반송되는 동안에, 전자 부품이 기판(200)에 납땜된다. 또한, 리플로우로(100)는 납땜 장치의 일례이며, 기판(200)은 대상물의 일례이다. 이하, 리플로우로(100)에 대하여 상세하게 설명한다.
본체부(101)는, 입구(110)에서부터 가까운 순서로, 예비 가열 존 A, 본 가열 존 B 및 냉각 존 C의 3개의 존으로 나눠져 있다. 예비 가열 존 A에는, 상하로 각각 5개씩의 송풍 유닛(300a)이 배치되어 있다. 예비 가열 존 A에 있어서의 송풍 유닛(300a)은, 기판(200)에 가열된 기체를 공급하고, 일례로서, 150~180도로 기판(200)을 가열한다. 이에 따라, 기판(200)과 전자 부품은 예열된다. 즉, 예비 가열 존 A는, 기판(200)이나 기판(200)에 실장된 전자 부품 등을 천천히 가열하여 열에 적응시키기 위한 영역이다. 또한, 송풍 유닛(300a)의 상세한 구성은 후술한다.
본 가열 존 B에는, 상하로 각각 3개씩의 송풍 유닛(300b)이 배치된다. 본 가열 존 B에 있어서의 송풍 유닛(300b)은, 기판(200)에 가열된 기체를 공급하고, 일례로서, 220~260도로 기판(200)을 가열한다. 이에 따라, 송풍 유닛(300b)은, 솔더 페이스트에 포함되는 땜납을 용융시켜, 기판(200)과 전자 부품과의 납땜을 행한다. 즉, 본 가열존 B는, 솔더 페이스트 중의 땜납 분말을 용융시켜 납땜을 행하는 영역이다.
냉각존 C에는, 송풍 유닛(300c)이 상하로 1개씩 배치된다. 송풍 유닛(300c)은, 냉각된 기체를 기판(200)을 향해 불기 시작하여, 납땜된 기판(200)을 냉각한다. 즉, 냉각존 C는, 납땜된 기판(200)을 냉각하는 영역이다.
또한, 다른 실시 형태에서는, 리플로우로(100)는, 상기 서술의 구성에 한정되지 않고, 임의의 공지의 구성이 채용될 수 있다. 예를 들면, 본 실시 형태와 관련된 리플로우로(100)의 내부는, 일례로서, 질소로 채워져 있어, 송풍 유닛(300a, 300b, 300c)은, 각각 질소를 기판(200)을 향해 분사할 수 있다. 그러나, 다른 실시 형태에서는, 리플로우로(100)의 내부는, 당업자에 의해 이용되는 기지의 모든 기체로 채워져도 되고, 송풍 유닛(300a, 300b, 300c)은, 당업자에 의해 이용되는 모든 기체를 분사해도 된다. 또한, 본 실시 형태와 관련된 리플로우로(100)는, 일렬의 컨베이어(102)를 구비하고 있지만, 다른 실시 형태에서는, 리플로우로(100)는, 평행하게 배치된 복수의 컨베이어(102)를 구비해도 된다. 이 경우, 각 컨베이어(102)는, 각각 독립하여 기판(200)을 반송해도 된다.
(송풍 유닛)
이어서, 도 2를 참조하여, 송풍 유닛(300a), 송풍 유닛(300b) 및 송풍 유닛(300c)에 대하여 설명한다. 송풍 유닛(300a, 300b, 300c)은, 공급하는 기체의 온도가 상이할 뿐이며, 동일한 구성을 가진다. 이 때문에, 도 2~도 4에서는, 송풍 유닛(300a, 300b, 300c)을, 송풍 유닛(300)으로 나타내어 설명한다. 도 2는, 송풍 유닛(300)의 구조도이다. 도 3은, 도 2의 Ａ-A 단면도이며, 도 4는, 도 2의 Ｂ-B 단면도이다. 또한, 도 2 내지 도 4의 화살표(250)는, 리플로우로(100)에 있어서의 기판(200)의 반송 방향을 나타내고 있다. 즉, 본 실시 형태에서는, 화살표(250)가 가리키는 방향으로 기판(200)이 반송된다. 다른 실시 형태에서는, 화살표(250)가 가리키는 방향과 반대 방향으로 기판(200)이 반송되어도 된다.
도 2를 참조하면, 송풍 유닛(300)은, 일례로서, 케이스(320), 외부 케이스(360), 제 1 도풍판(380), 제 2 도풍판(400), 복수의 노즐(420), 팬(302), 모터(304), 회전축(306), 복수의 히터(308) 및 2개의 펀칭 메탈(310)을 구비한다. 이하, 송풍 유닛(300)의 각 구성 요소에 대하여 설명한다.
케이스(320)는, 제 1 송풍실(322) 및 제 2 송풍실(324)을 가지고, 케이스 본체(340) 및 장착 플레이트(342)를 구비한다. 케이스 본체(340)는, 장착 플레이트(342)에 의해 막혀지는 개구를 가지는 대략 직방체 형상의 각형(角形)의 통 형상체이다. 케이스 본체(340)는, 제 1 벽(326), 제 2 벽(328) 및 내벽(330)을 구비한다. 제 1 벽(326), 제 2 벽(328) 및 내벽(330)은, 각각 판 형상의 부재로 구성되어 있다. 제 1 벽(326)은, 팬(302)의 축방향에 있어서 팬(302)과 대향하고 있다. 보다 상세하게는, 제 1 벽(326)은, 팬(302)의 축방향에 대하여 수직인 평면에 평행하다. 제 2 벽(328)은, 제 1 벽(326)과 마주 보고 있다. 보다 상세하게는, 제 2 벽(328)은, 제 1 벽(326)과 평행이며, 제 1 벽(326)보다 모터(304)측에 위치한다. 그리고, 내벽(330)은, 제 1 벽(326)과 제 2 벽(328)과의 사이를 연결하고 있다. 보다 상세하게는, 내벽(330)은, 제 1 벽(326) 및 제 2 벽(328)과 직교하고 있다. 또한, 제 1 벽(326), 제 2 벽(328) 및 내벽(330)에 의해 둘러싸인 부분이, 제 1 송풍실(322)이다. 환언하면, 제 1 벽(326), 제 2 벽(328) 및 내벽(330)은, 제 1 송풍실(322)을 획정하고 있다. 또한, 제 2 벽(328)에는, 흡기구(332)가 형성되어 있고, 제 1 벽(326)에는, 제 1 송풍구(334) 및 제 2 송풍구(336)가 형성되어 있다. 환언하면, 제 1 송풍실(322)은, 흡기구(332)에서부터 제 1 송풍구(334)까지의 유로와, 흡기구(332)에서부터 제 2 송풍구(336)까지의 유로를 형성한다. 또한, 제 1 벽(326), 제 2 벽(328) 및 내벽(330)은, 각각 1매의 판 형상의 부재로 구성되어 있어도 되지만, 복수의 부재가 조합되어 구성되어도 된다.
팬(302)은, 일례로서 터보팬이며, 제 1 송풍실(322)에 수용되어 있다. 또한, 팬(302)은, 회전축(306)을 개재하여, 외부 케이스(360)의 외부에 배치되어 있는 모터(304)와 접속되어 있다. 환언하면, 회전축(306)은, 흡기구(332)를 통과하도록 팬(302)과 모터(304)와의 사이를 연장하고 있다. 이에 따라, 모터(304)가 구동되면, 팬(302)은, 회전하여, 원심 방향(D1)으로 기체를 송풍할 수 있다. 또한, 히터(308)는, 외부 케이스(360)에 수용되며, 흡기구(332)를 개재하여 팬(302)이 흡기하는 기체를 가열한다. 이에 따라, 후술하는 복수의 노즐(420)은, 가열된 기체를 분사할 수 있다. 또한, 히터(308)는, 복수의 노즐(420)이 분사하는 기체를 가열할 수 있으면, 송풍 유닛(300)의 임의의 위치에 배치되어도 된다. 그러나, 히터(308)는, 팬(302)과 모터(304)와의 사이와 같은 회전축(306)에 인접하는 위치에 배치되는 쪽이 바람직하다. 이에 따라, 히터(308)는, 회전축(306)을 보다 고온으로 가열할 수 있어, 회전축(306)에 플럭스가 고착되는 것을 억지할 수 있다. 또한, 송풍 유닛(300)이 송풍 유닛(300c)과 같이 기판(200)을 냉각하기 위해 사용되는 경우에는, 송풍 유닛(300)은, 히터(308) 대신에, 열 교환기와 같은 기체를 냉각하기 위한 기지의 냉각 유닛(309)을 가지고 있어도 된다.
또한, 송풍 유닛(300)에서는, 제 1 도풍판(380)은, 판 형상의 부재이며, 제 1 단부(384) 및 제 1 단부(384)의 반대측에 위치하는 제 2 단부(386)를 가진다(도 2 참조). 제 1 단부(384)는, 제 1 송풍구(334)를 팬(302)의 축방향으로 연장된 영역의 내부에 배치되어 있다(도 3 참조). 또한, 제 2 단부(386)는, 제 2 벽(328)으로부터 공간을 둔 위치, 즉 이간한 위치에 배치된다. 따라서, 제 1 도풍판(380)은, 팬(302)의 축방향에 있어서, 제 2 벽(328)과 공간을 둔 위치에서부터 제 1 송풍구(334)의 위치까지 연장되어 있다(도 2 참조). 또한, 제 1 도풍판(380)은, 팬(302)의 회전 중심(O)으로부터 방사 형상으로 연장되는 가상선(L)과 교차하는 방향으로 넓어지는 판면(382)의 형상을 하고 있다(도 4 참조). 이에 따라, 제 1 도풍판(380)은, 제 1 송풍구(334)로부터 기체가 균일한 유량으로 송풍되도록 하고 있다. 그 이유에 대하여, 이하에서, 제 1 도풍판(380)을 구비하지 않는 송풍 유닛(500)과 비교하면서 설명한다.
도 5는, 제 1 도풍판(380)을 구비하지 않는 송풍 유닛(500)의 구조도이다. 송풍 유닛(500)은, 제 1 도풍판(380) 및 제 2 도풍판(400)을 구비하지 않는 것을 제외하고, 송풍 유닛(300)과 동일한 구성이다. 제 1 도풍판(380)을 구비하지 않는 송풍 유닛(500)에서는, 팬(302)이 송풍한 기체는, 내벽(330)에 닿아, 흐르는 방향이 변경되어, 제 1 송풍구(334)로부터 송풍된다. 즉, 팬(302)이 송풍한 기체의 대부분이, 도 5의 화살표(502)와 같이 흐른다. 이 때문에, 제 1 송풍구(334)로부터 보내지는 바람은 내벽(330)에 가까운 위치의 쪽이, 내벽(330)으로부터 먼 위치보다, 송풍되는 기체의 유량이 많아진다. 그 결과, 기체는, 제 1 송풍구(334)로부터 균일한 유량으로 송풍되지 않는다.
이어서, 도 2를 다시 참조한다. 송풍 유닛(300)에서는, 팬(302)으로부터 송풍된 기체의 일부는, 제 2 벽(328)과 제 2 단부(386)와의 사이를 지나, 내벽(330)에 닿아, 제 1 송풍구(334)의 내벽(330)에 가까운 위치로부터 송풍된다. 즉, 팬(302)으로부터 송풍된 기체의 일부는, 도 2의 화살표(316)와 같이 흐른다. 또한, 팬(302)으로부터 송풍된 나머지의 기체의 일부는, 제 1 도풍판(380)의 판면(382)에 닿는다. 제 1 도풍판(380)의 판면(382)에 닿은 기체는, 제 1 도풍판(380)으로 흐르는 방향이 변경되어, 제 1 송풍구(334)의 내벽(330)에서부터 먼 위치로부터 송풍된다. 즉, 팬(302)으로부터 송풍된 기체의 일부는, 도 2의 화살표(318)와 같이 흐른다. 이 때문에, 제 1 도풍판(380)은, 팬(302)으로부터 송풍된 기체의 일부를, 도 5의 송풍 유닛(500)에 있어서 제 1 송풍구(334)의 송풍되는 기체의 유량이 적은 부분으로 유도할 수 있다. 그 결과, 송풍 유닛(300)은, 제 1 도풍판(380)을 구비하지 않는 경우보다, 제 1 송풍구(334)로부터 균일한 유량으로 기체를 송풍할 수 있다.
또한, 송풍 유닛(300)에서는, 상기 서술한 바와 같이, 제 1 도풍판(380)은, 팬(302)의 축방향에 있어서, 제 2 단부(386)에서부터 제 1 송풍구(334)의 위치까지 연장되어 있지만, 제 1 송풍구(334)까지 연장되지 않아도 된다. 제 1 도풍판(380)이, 제 1 송풍구(334)까지 연장되어 있지 않은 경우에도, 제 1 도풍판(380)은, 판면(382)에 닿은 기체가 흐르는 방향을 변경할 수 있다. 이 때문에, 제 1 도풍판(380)은, 팬(302)으로부터 송풍된 기체의 일부를, 제 1 송풍구(334)에 있어서의 송풍되는 기체의 유량이 적은 부분으로 유도할 수 있다.
그러나, 제 1 도풍판(380)은, 팬(302)의 축방향에 있어서, 제 2 단부(386)에서부터, 제 2 벽(328)으로부터 멀어지는 방향으로 연장되어, 적어도 제 1 송풍구(334)에 도달하는 위치까지 연장되는 것이 바람직하다. 제 1 도풍판(380)이, 제 1 송풍구(334)에 도달하는 위치까지 연장되어 있지 않은 경우, 팬(302)의 축방향에 있어서의, 제 1 도풍판(380)의 제 1 단부(384)와 제 1 벽(326)과의 사이에 공간이 생긴다. 그리고, 이 공간을 지나 내벽(330)을 향하는 기체와, 제 1 도풍판(380)의 판면(382)에 닿아 제 1 송풍구(334)를 향하는 기체가 충돌하여, 압력 손실을 일으킬 우려가 있기 때문이다.
또한, 도 2를 참조하면, 송풍 유닛(300)에서는, 팬(302)은, 축방향에 있어서, 모터(304)에 가까운 가까운 위치 단부(312)에서부터, 먼 위치 단부(314)까지 연장되어 있다. 그리고, 제 1 도풍판(380)의 제 2 단부(386)는, 팬(302)의 축방향에 있어서, 가까운 위치 단부(312)와 먼 위치 단부(314)와의 사이에 위치하고 있다.
팬(302)이 송풍하는 기체는, 팬(302)의 축방향에 있어서 가까운 위치 단부(312)와 먼 위치 단부(314)와의 사이에서 보다 많이 흐른다. 이 때문에, 제 1 도풍판(380)의 제 2 단부(386)가, 가까운 위치 단부(312)와 먼 위치 단부(314)와의 사이에 위치하지 않는 경우, 제 2 벽(328)과 제 2 단부(386)와의 사이를 지나는 기체의 유량 또는 제 1 도풍판(380)의 판면(382)에 닿은 기체의 유량 중 어느 일방이, 타방보다 매우 많아진다. 그 결과, 제 1 송풍구(334)의 내벽(330)에 가까운 위치로부터 송풍되는 기체의 유량과, 제 1 송풍구(334)의 내벽(330)에서부터 먼 위치로부터 송풍되는 기체의 유량과의 사이의 차가 매우 커져버려, 제 1 송풍구(334)로부터 균일한 유량으로 기체가 송풍되지 않을 우려가 있다.
이에 대하여, 송풍 유닛(300)에서는, 제 2 단부(386)는, 축방향에 있어서, 가까운 위치 단부(312)와 먼 위치 단부(314)와의 사이에 위치하고 있다. 이 때문에, 제 2 벽(328)과 제 2 단부(386)와의 사이를 지나는 기체와, 제 1 도풍판(380)의 판면(382)에 닿는 기체가, 균일하게 분할된다. 그 결과, 송풍 유닛(300)은, 제 1 송풍구(334)로부터 보다 균일한 유량으로 기체를 송풍할 수 있다.
또한, 도 4를 참조하면, 제 1 도풍판(380)은, 제 1 벽(326)과 평행한 단면에 있어서, 원호 형상을 가진다. 그리고, 제 1 도풍판(380)의 원호 형상이 움푹 들어가 있는 판면(382)이, 팬(302)이 송풍한 기체를 받을 수 있는 방향으로 향해져 있다. 이에 따라, 제 1 도풍판(380)은, 직선 형상의 경우보다, 팬(302)이 송풍한 보다 많은 기체를 제 1 송풍구(334)로 유도할 수 있다. 그 이유를 이하에 설명한다. 기체가 제 1 도풍판(380)의 판면(382)에 충돌하면, 기체는, 판면(382)의 부근보다 압력이 낮은, 제 1 도풍판(380) 및 제 2 벽(328)의 사이의 공간과, 제 2 송풍실(324)로 흐르려고 한다(도 2 참조).
우선, 제 1 도풍판(380)이 원호 형상인 경우를 생각한다. 제 1 도풍판(380)이 원호 형상인 경우, 기체가 흘러 제 1 도풍판(380)에 접근함에 따라, 제 1 도풍판(380)의 판면(382)에 끼워지도록 하여 형성되고 있는 기체의 유로 폭이 서서히 좁혀진다(도 4 참조). 그리고, 기체의 압력이 서서히 상승하고, 기체는, 보다 압력이 낮은 공간으로 흐르려고 한다. 여기서, 제 1 도풍판(380) 및 제 2 벽(328)의 사이의 공간과, 제 2 송풍실(324)에서는, 하류인 제 2 송풍실(324)의 쪽이, 압력이 낮다. 그 결과, 제 1 도풍판(380)에 충돌한 기체의 대부분이, 제 2 송풍실(324)로 흐른다.
한편, 제 1 도풍판(380)이 직선 형상인 경우, 기체가 제 1 도풍판(380)에 충돌하면, 제 1 도풍판(380)의 판면(382)의 부근의 압력이 단숨에 상승한다. 이에 따라, 판면(382)의 부근의 기체가, 제 2 송풍실(324)로 흐르려고 한다. 이 때, 판면(382)의 부근의 압력이 단숨에 상승했기 때문에, 기체가 제 2 송풍실(324)로 충분히 흐를 수 없다. 그 결과, 제 2 송풍실(324)로 흐를 수 없었던 기체가, 제 1 도풍판(380) 및 제 2 벽(328)의 사이의 공간으로 흐른다. 따라서, 상기 서술한 바와 같이, 원호 형상인 제 1 도풍판(380)은, 직선 형상인 경우보다, 팬(302)이 송풍한 보다 많은 기체를 제 1 송풍구(334)로 유도할 수 있다.
또한, 내벽(330)은, 유도벽(331) 및 벽(333)을 구비한다. 유도벽(331)은, 팬(302)이 송풍한 기체를 제 1 도풍판(380)으로 유도하기 위한 만곡부(338)를 가진다(도 4 참조). 그리고, 만곡부(338)는, 제 1 벽(326)과 평행한 단면에 있어서 원호 형상을 가지고, 당해 원호 형상의 움푹 들어간 측이 팬(302)의 회전 중심(O)쪽을 향하고 있다. 이에 따라, 원호 형상을 가지고 있는 만곡부(338)가, 팬(302)이 송풍한 기체를 제 1 도풍판(380)으로 유도하기 때문에, 이 기체는 제 1 도풍판(380)까지 매끄럽게 흐를 수 있다. 그 결과, 팬(302)으로부터 제 1 도풍판(380)까지 발생하는 압력 손실이 저감된다.
또한, 송풍 유닛(300)에서는, 제 2 도풍판(400)은, 제 1 도풍판(380)과 같이, 팬(302)으로부터 송풍된 기체의 일부를 제 2 송풍구(336)로 유도하도록 제 1 송풍실(322)에 배치된다. 그리고, 제 2 송풍구(336)는, 팬(302)의 회전 중심(O)에 대하여 제 1 송풍구(334)의 반대측에 위치하고 있다(도 3 참조). 보다 상세하게는, 제 2 도풍판(400)은, 팬(302)의 회전 중심(O)을 기준으로 하여, 제 1 도풍판(380)의 점대칭의 위치에 위치하고, 제 1 도풍판(380)과 동일한 형상을 가진다. 제 2 송풍구(336)는, 팬(302)의 회전 중심(O)을 기준으로 하여, 제 1 송풍구(334)의 점 대칭의 위치에 위치하고, 제 1 송풍구(334)와 동일한 형상을 가진다. 이 결과, 송풍 유닛(300)은, 제 1 송풍구(334)와 마찬가지로, 제 2 송풍구(336)로부터도 균일한 유량으로 기체를 송풍할 수 있다.
또한, 케이스(320)는, 상기 서술한 바와 같이, 케이스 본체(340) 및 장착 플레이트(342)를 가진다(도 2 참조). 그리고, 케이스 본체(340)는, 판 형상의 부재로 구성되어 있는 내벽(344)을 더 가지고 있다. 장착 플레이트(342)는, 판 형상의 부재로 구성되어 있다. 장착 플레이트(342)는, 제 1 벽(326)과 평행한 상태에서, 케이스 본체(340)에 대하여 장착 가능하게 구성되며, 제 1 벽(326)에 대하여 팬(302)의 반대측에 배치된다. 또한, 장착 플레이트(342)는, 노즐 커버(364)의 후술하는 복수의 흡입구(366)와 대향하고 있다. 그리고, 내벽(344)은, 제 1 벽(326)과 장착 플레이트(342)와의 사이를 연결하고 있다. 보다 상세하게는, 내벽(344)은, 제 1 벽(326) 및 장착 플레이트(342)와 직교하고 있다. 또한, 장착 플레이트(342)에는, 복수의 노즐(420)이 장착되어 있다. 복수의 노즐(420)은, 팬(302)의 축방향에 공급구(422)를 가지고, 이 축방향과 수직인 수직 방향으로 나열되어 위치하고 있다. 또한, 제 1 벽(326), 장착 플레이트(342) 및 내벽(344)에 의해 둘러싸인 부분이, 제 2 송풍실(324)이다. 환언하면, 제 1 벽(326), 장착 플레이트(342) 및 내벽(344)은, 제 2 송풍실(324)을 획정하고 있다. 이 때문에, 제 1 송풍구(334) 또는 제 2 송풍구(336)로부터 균일한 유량으로 기체가 송풍되면, 이 기체는, 제 2 송풍실(324)을 개재하여, 복수의 노즐(420)의 공급구(422)에 공급된다. 그 결과, 복수의 노즐(420)은, 균일한 유량으로 기체를 각각의 취출구(424)로부터 분사할 수 있다.
또한, 송풍 유닛(300)에서는, 2개의 펀칭 메탈(310)은, 제 1 벽(326)에 대하여 팬(302)의 반대측에 배치되고, 제 1 벽(326)과 평행하게 넓어진다. 이에 따라, 제 1 송풍구(334) 및 제 2 송풍구(336)로부터 송풍된 기체는, 펀칭 메탈(310)에 의해 더 확산되어, 팬(302)의 축방향에 수직인 평면에 있어서의 각 위치에서 유량이 보다 균일해진다. 그 결과, 송풍 유닛(300)은, 펀칭 메탈(310)을 구비하지 않는 경우보다, 복수의 노즐(420)의 각각의 공급구(422)에 균일한 유량으로 기체를 공급할 수 있다.
또한, 송풍 유닛(300)에서는, 제 1 송풍구(334) 중 어느 위치의 압력도, 제 2 송풍실(324)의 압력보다 높아지도록, 제 1 송풍구(334)는, 제 1 벽(326)에 형성되어 있다. 제 1 송풍구(334) 중 어느 위치의 압력이, 제 2 송풍실(324)의 압력보다 낮은 경우, 제 2 송풍실(324)에 송풍된 기체가, 이 압력이 낮은 부분을 지나, 제 1 송풍실(322)로 되돌아가버려, 압력 손실이 발생한다. 그러나, 제 1 송풍구(334) 중 어느 위치의 압력도, 제 2 송풍실(324)의 압력보다 높은 경우, 제 2 송풍실(324)에 송풍된 기체가, 다시 제 1 송풍실(322)로 되돌아가지 않고, 기체가 다시 제 1 송풍실(322)로 되돌아가는 것에 의한 압력 손실이 발생하지 않는다.
또한, 송풍 유닛(300)에서는, 외부 케이스(360)는, 외부 케이스 본체(362) 및 노즐 커버(364)를 가진다(도 2 참조). 그리고, 외부 케이스 본체(362)는, 노즐 커버(364)에 의해 막혀지는 개구를 가지는 대략 직방체 형상의 상자체이다. 노즐 커버(364)는, 외부 케이스 본체(362)에 끼워 넣어져 접속되는 것이 가능하다. 이 때문에, 외부 케이스 본체(362) 및 노즐 커버(364)는, 일체가 되어, 대략 직방체 형상을 가지는 외부 케이스(360)를 구성한다. 또한, 복수의 노즐(420)은, 외부 케이스(360)의 노즐 커버(364)를 관통하여, 외부 케이스(360)의 외부까지 연장되고 있다. 그리고, 외부 케이스(360)의 노즐 커버(364)에는, 외부의 기체를 내부로 흡입하기 위한 흡입구(366)가 복수의 노즐(420)에 인접하도록 형성되어 있다.
송풍 유닛(300)은 상기 서술한 구성을 구비하기 위해, 송풍 유닛(300)에는, 복수의 흡입구(366)로부터 연장되어, 히터(308) 및 팬(302)을 통과하고, 복수의 노즐(420)에 이르는 유로(906)가 형성되어 있다. 또한, 유로(906) 중, 흡입구(366)에서부터 흡기구(332)까지를 제 1 유로(903)라고 부르고, 흡기구(332)에서부터 제 1 송풍구(334) 또는 제 2 송풍구(336)까지의 유로를 제 2 유로(904)라고 부르며, 제 1 송풍구(334) 또는 제 2 송풍구(336)에서부터 복수의 노즐(420)까지의 유로를 제 3 유로(905)라고 부른다. 또한, 송풍 유닛(300)에서는, 유로(906)의 일부가, 장착 플레이트(342)의 둘레 단부(347)를 둘러싸고 있다. 즉, 기판(200)의 반송 방향에 있어서, 유로(906)의 일부가, 장착 플레이트(342)의 둘레 단부(347)의 전후와 좌우에 위치하고 있다. 환언하면, 장착 플레이트(342)의 둘레 단부(347)와 외부 케이스(360)와의 사이에, 유로(906)의 일부가 형성되어 있다. 또한, 송풍 유닛(300)에서는, 장착 플레이트(342)와 평행한 단면에 있어서, 제 1 유로(903)가, 제 1 송풍실(322) 또는 제 2 송풍실(324)을 둘러싸도록 위치하고 있다(도 2, 도 3 및 도 4 참조). 이에 따라, 송풍 유닛(300)에서는, 흡입구(366)로부터 흡입된 기체는, 제 1 유로(903)를 따라, 장착 플레이트(342)의 둘레 단부(347)의 주위를 통과하여, 케이스 본체(340)를 둘러싸도록 위치하고 있는 제 1 유로(903)를 지나, 흡기구(332)까지 흐를 수 있다. 그리고, 흡기구(332)로부터 제 1 송풍실(322)로 흡기된 기체는, 제 2 유로(904)를 따라, 제 1 송풍실(322)을 통과하여, 제 1 송풍구(334) 또는 제 2 송풍구(336)까지 흐를 수 있다. 그 후, 제 1 송풍구(334) 또는 제 2 송풍구(336)로부터 제 2 송풍실(324)로 송풍된 기체는, 제 3 유로(905)를 따라, 제 2 송풍실(324)을 통과하여, 복수의 노즐(420)까지 흐를 수 있다.
또한, 다른 실시 형태에서는, 송풍 유닛(300)의 송풍 경로는, 상기 서술의 구성에 한정되지 않고, 임의의 구성이 채용될 수 있다. 구체적으로는, 제 1 유로(903)는, 흡입구(366)와 흡기구(332)를 접속하고 있으면 되고, 송풍 유닛(300)의 내부 중 어디에 위치하고 있어도 된다. 또한, 제 3 유로(905)는, 제 1 송풍구(334) 및 제 2 송풍구(336)와, 복수의 노즐(420)을 접속하고 있으면 되고, 송풍 유닛(300)의 내부 중 어디에 위치하고 있어도 된다.
또한, 리플로우로(100)에서는, 송풍 유닛(300a, 300b, 300c)의 바로 아래에서 기판(200)이 반송되고 있다(도 1 참조). 즉, 각각의 송풍 유닛(300a, 300b, 300c)이 가지는 팬(302)의 바로 아래에서 기판(200)이 반송된다(도 2 참조). 이 때문에, 리플로우로(100)는, 팬(302)과 반송되는 기판(200)의 반송로와의 사이에, 기체를 공급하기 위한 큰 공간을 필요로 하지 않는다. 즉, 리플로우로(100)에서는, 팬(302)과 기판(200)의 반송로가 근접하도록 배치되어도 된다. 이 경우, 팬(302)과 반송되는 기판(200)의 반송로와의 사이의 거리가 짧아진다. 그 결과, 송풍 유닛(300a, 300b, 300c)의 높이가 낮아져, 리플로우로(100)가 소형이 된다. 즉, 리플로우로(100)에서는, 팬(302)의 바로 아래에 기판(200)의 반송로가 위치하고 있기 때문에, 리플로우로(100)는, 소형으로 설계될 수 있다.
(동작)
이어서, 도 2를 참조하면서, 리플로우로(100)에 있어서의 송풍 유닛(300)의 동작에 대하여 설명한다. 송풍 유닛(300)의 전원이 켜지면, 모터(304)가 구동하여 팬(302)이 회전을 개시한다. 그리고, 팬(302)의 상류측이 부압이 된다. 그 결과, 리플로우로(100)의 내부의 기체로서 외부 케이스(360)의 외부의 기체가, 흡입구(366)로부터 외부 케이스(360)의 내부로 흡입된다(도 1 및 도 2 참조). 이어서, 이 흡입된 기체가, 외부 케이스(360)의 내부에서, 히터(308)에 의해 가열된다.
이어서, 히터(308)에 가열된 이 기체는, 흡기구(332)를 개재하여, 케이스(320)의 내부로 흡기된다. 이어서, 케이스(320)의 내부로 흡기된 기체는, 팬(302)에 의해, 원심 방향(D1)으로 송풍된다. 그 후, 팬(302)으로부터 송풍된 기체의 일부는, 제 2 벽(328)과 제 1 도풍판(380)의 제 2 단부(386)와의 사이를 지나, 내벽(330)에 닿아, 제 1 송풍구(334)의 내벽(330)에 가까운 위치로부터 제 2 송풍실(324)로 송풍된다. 또한, 팬(302)으로부터 송풍된 나머지의 기체의 일부는, 제 1 도풍판(380)의 판면(382)에 닿는다. 그리고, 제 1 도풍판(380)의 판면(382)에 닿은 기체는, 제 1 도풍판(380)으로 흐르는 방향이 변경되어, 제 1 송풍구(334)의 내벽(330)에서부터 먼 위치로부터 제 2 송풍실(324)로 송풍된다. 이 때문에, 기체는, 상기 서술한 바와 같이, 제 1 도풍판(380)이 없을 때보다, 제 1 송풍구(334)의 각 위치에 있어서 균일한 유량으로 송풍된다. 또한, 팬(302)으로부터 송풍된 나머지의 기체는, 제 1 송풍구(334)와 마찬가지로, 제 2 송풍구(336)를 지나 제 2 송풍실(324)로 송풍된다. 이어서, 제 1 송풍구(334) 또는 제 2 송풍구(336)를 통과한 기체는, 2개의 펀칭 메탈(310)에 의해 분산되어 노즐(420)의 공급구(422)에 공급된다. 그리고, 기체는, 노즐(420)의 취출구(424)로부터 분출된다. 이와 같이 하여, 송풍 유닛(300)은, 기판(200)에 대하여 열풍을 공급할 수 있다. 그 결과, 상기 서술한 리플로우로(100)는, 납땜을 행할 수 있다.
[부기]
상기의 실시 형태의 일부 또는 전부는, 이하의 부기와 같이 기재될 수 있지만, 이하에는 한정되지 않는다.
(부기 1)
부기 1과 관련된 납땜 장치는, 납땜을 행하기 위한 납땜 장치로서, 대상물에 기체를 공급하기 위한 송풍 유닛을 구비하고, 상기 송풍 유닛은, 제 1 송풍실을 가지는 케이스, 상기 제 1 송풍실에 수용되어 원심 방향으로 상기 기체를 송풍하기 위한 팬, 제 1 도풍판 및, 상기 기체를 가열하기 위한 히터 또는 상기 기체를 냉각하기 위한 냉각 유닛을 가지고, 상기 케이스는, 상기 팬의 축방향에 있어서 상기 팬과 대향하는 제 1 벽, 상기 제 1 벽과 마주 보는 제 2 벽, 및 상기 제 1 벽과 상기 제 2 벽과의 사이를 연결하는 내벽을 가지고, 상기 제 1 벽, 상기 제 2 벽 및 상기 내벽은, 상기 제 1 송풍실을 획정하고, 상기 제 1 벽에는, 제 1 송풍구가 형성되고, 상기 제 1 도풍판은, 상기 팬으로부터 송풍된 상기 기체의 일부를 상기 제 1 송풍구로 유도하도록 상기 제 1 송풍실에 배치된다.
송풍 유닛이 제 1 도풍판을 구비하지 않는 경우, 기체가 제 1 송풍구로부터 균일한 유량으로 송풍되지 않을 우려가 있다. 이에 대하여, 부기 1과 관련된 납땜 장치는, 제 1 도풍판이 팬으로부터 송풍된 기체의 일부를 제 1 송풍구로 유도할 수 있다. 이 때문에, 제 1 도풍판이, 팬으로부터 송풍된 기체의 일부를, 제 1 도풍판을 구비하지 않는 송풍 유닛에 있어서의 제 1 송풍구의 송풍되는 기체의 유량이 적은 부분으로 유도할 수 있다. 즉, 이 납땜 장치는, 제 1 도풍판을 구비하지 않는 경우보다, 제 1 송풍구로부터 균일한 유량으로 기체를 송풍할 수 있다.
(부기 2)
부기 2와 관련된 납땜 장치에 의하면, 부기 1에 기재된 납땜 장치에 있어서, 상기 제 1 도풍판은, 상기 팬의 회전 중심으로부터 방사 형상으로 연장되는 가상선과 교차하는 방향으로 넓어지는 판면, 제 1 단부 및 상기 제 1 단부의 반대측에 위치하는 제 2 단부를 가지고, 상기 축방향에 있어서, 상기 제 2 벽과 공간을 둔 위치에 위치하는 상기 제 2 단부로부터, 상기 제 2 벽으로부터 멀어지는 방향으로 연장되어, 적어도 상기 제 1 송풍구에 도달하고, 상기 제 1 단부는, 상기 제 1 송풍구를 상기 축방향으로 연장된 영역의 내부에 배치되어 있다.
송풍 유닛이 제 1 도풍판을 구비하지 않는 경우, 팬이 송풍한 기체는, 내벽에 닿아, 흐르는 방향이 변경되어, 제 1 송풍구로부터 송풍된다. 이 때문에, 제 1 송풍구의 내벽에 가까운 위치를 지나는 기체의 유량 쪽이, 내벽으로부터 먼 위치를 지나는 기체의 유량보다 많아, 기체가 제 1 송풍구로부터 균일한 유량으로 송풍되지 않을 우려가 있다. 이에 대하여, 부기 2와 관련된 납땜 장치에서는, 팬으로부터 송풍된 기체의 일부는, 제 2 벽과 제 2 단부와의 사이를 지나, 내벽에 닿아, 제 1 송풍구의 내벽에 가까운 위치로부터 송풍된다. 또한, 팬으로부터 송풍된 나머지의 기체의 일부는, 제 1 도풍판의 판면에 닿는다. 제 1 도풍판의 판면에 닿은 기체는, 제 1 도풍판으로 흐르는 방향이 변경되어, 제 1 송풍구의 내벽에서부터 먼 위치로부터 송풍된다. 이 때문에, 제 1 도풍판은, 팬으로부터 송풍된 기체의 일부를, 제 1 도풍판을 구비하지 않는 송풍 유닛에 있어서의 제 1 송풍구의 송풍되는 기체의 유량이 적은 부분으로 유도할 수 있다. 즉, 이 납땜 장치는, 제 1 도풍판을 구비하지 않는 경우보다, 제 1 송풍구로부터 균일한 유량으로 기체를 송풍할 수 있다.
(부기 3)
부기 3과 관련된 납땜 장치에 의하면, 부기 2에 기재된 납땜 장치에 있어서, 상기 팬은, 상기 축방향에 있어서, 가까운 위치 단부에서부터 먼 위치 단부까지 연장되고, 상기 제 2 단부는, 상기 축방향에 있어서, 상기 가까운 위치 단부와 상기 먼 위치 단부와의 사이에 위치한다.
팬이 송풍하는 기체는, 축방향에 있어서 가까운 위치 단부와 먼 위치 단부와의 사이에서 보다 많이 흐른다. 이 때문에, 제 2 단부가, 가까운 위치 단부와 먼 위치 단부와의 사이에 위치하지 않는 경우, 제 2 벽과 제 2 단부와의 사이를 지나는 기체의 유량 또는 제 1 도풍판의 판면에 닿는 기체의 유량 중 어느 일방이, 타방보다 매우 많아진다. 그 결과, 제 1 송풍구의 내벽에 가까운 위치로부터 송풍되는 기체와, 제 1 송풍구의 내벽에서부터 먼 위치로부터 송풍되는 기체와의 사이에 차가 생겨버려, 제 1 송풍구로부터 균일한 유량으로 기체가 송풍되지 않을 우려가 있다. 이에 대하여, 부기 2와 관련된 납땜 장치에서는, 제 2 단부는, 축방향에 있어서, 가까운 위치 단부와 먼 위치 단부와의 사이에 위치하고 있다. 이 때문에, 제 2 벽과 제 2 단부와의 사이를 지나는 기체와, 제 1 도풍판의 판면에 닿는 기체가, 균일하게 분할된다. 그 결과, 이 납땜 장치는, 제 1 송풍구로부터 균일한 유량으로 기체를 송풍할 수 있다.
(부기 4)
부기 4와 관련된 납땜 장치에 의하면, 부기 1 내지 3 중 어느 하나에 기재된 납땜 장치에 있어서, 상기 제 1 도풍판은, 상기 제 1 벽과 평행한 단면에 있어서, 원호 형상을 가지고, 상기 제 1 도풍판의 상기 원호 형상의 움푹 들어간 측이, 상기 팬이 송풍한 상기 기체를 받을 수 있는 방향으로 향해져 있다.
부기 4와 관련된 납땜 장치에 의하면, 원호 형상인 제 1 도풍판은, 직선 형상의 경우보다, 팬이 송풍한 보다 많은 기체를 제 1 송풍구로 유도할 수 있다.
(부기 5)
부기 5와 관련되는 납땜 장치에 의하면, 부기 1 내지 4 중 어느 하나에 기재된 납땜 장치에 있어서, 상기 내벽은, 상기 팬이 송풍한 상기 기체를 상기 제 1 도풍판으로 유도하기 위한 만곡부를 가지는 유도벽을 구비하고, 상기 만곡부는, 상기 제 1 벽과 평행한 단면에 있어서 원호 형상을 가지며, 당해 원호 형상의 움푹 들어간 측이 상기 팬의 회전 중심의 쪽을 향하고 있다.
부기 5와 관련된 납땜 장치에 의하면, 원호 형상을 가지고 있는 만곡부가, 팬이 송풍한 기체를 제 1 도풍판으로 유도하기 때문에, 이 기체는 제 1 도풍판까지 매끄럽게 흐를 수 있다. 이 때문에, 이 납땜 장치에서는, 팬에서부터 도풍판까지 발생하는 압력 손실을 저감할 수 있다.
(부기 6)
부기 6과 관련된 납땜 장치에 의하면, 부기 1 내지 5 중 어느 하나에 기재된 납땜 장치에 있어서, 상기 송풍 유닛은, 제 2 도풍판을 가지고, 상기 제 1 벽에는, 제 2 송풍구가 형성되며, 상기 제 2 송풍구는, 상기 팬의 회전 중심에 대하여 상기 제 1 송풍구의 반대측에 위치하고, 상기 제 2 도풍판은, 상기 팬으로부터 송풍된 상기 기체의 일부를 상기 제 2 송풍구로 유도하도록 상기 제 1 송풍실에 배치된다.
부기 6과 관련된 납땜 장치는, 팬의 회전 중심을 기준으로 하여 제 1 송풍구의 반대측에 제 2 송풍구가 형성되어 있어, 제 1 송풍구와 마찬가지로, 제 2 송풍구로부터도 균일한 유량으로 기체를 송풍할 수 있다.
(부기 7)
부기 7과 관련된 납땜 장치에 의하면, 부기 1 내지 6 중 어느 하나에 기재된 납땜 장치에 있어서, 상기 송풍 유닛은, 상기 제 1 벽에 대하여 상기 팬의 반대측에 배치되며, 상기 제 1 벽과 평행하게 넓어지는 펀칭 메탈을 더 가진다.
부기 7과 관련된 납땜 장치는, 제 1 송풍구로부터 송풍된 기체를 펀칭 메탈에 의해 더 확산하여, 팬의 축방향에 수직인 평면에 있어서의 각 위치에서 유량이 균일해진다.
(부기 8)
부기 8과 관련된 납땜 장치에 의하면, 부기 1 내지 7 중 어느 한 항에 기재된 납땜 장치에 있어서, 상기 송풍 유닛은, 상기 제 1 벽에 대하여 상기 팬의 반대측에 배치되어, 상기 축방향으로 상기 기체가 공급되는 공급구를 가지고, 상기 축방향과 수직인 수직 방향으로 나열된 복수의 노즐을 더 가진다.
부기 8과 관련된 납땜 장치에서는, 균일한 유량으로 기체가 복수의 노즐의 공급구에 각각 공급된다. 이 때문에, 복수의 노즐은, 각각 균일한 유량으로 기체를 분사할 수 있다.
(부기 9)
부기 9와 관련된 납땜 장치에 의하면, 부기 8에 기재된 납땜 장치에 있어서, 상기 케이스는, 상기 제 1 송풍구에서부터 상기 복수의 노즐의 상기 공급구까지의 유로를 형성하는 제 2 송풍실을 가진다.
부기 9와 관련된 납땜 장치는, 제 1 송풍구로부터 송풍된 기체를, 제 2 송풍실을 개재하여 복수의 노즐에 공급할 수 있다.
(부기 10)
부기 10과 관련된 납땜 장치에 의하면, 부기 9에 기재된 납땜 장치에 있어서, 상기 제 1 송풍구 중 어느 위치의 압력도, 상기 제 2 송풍실의 압력보다 높다.
부기 10과 관련된 납땜 장치에 의하면, 제 1 송풍구 중 어느 위치의 압력도, 제 2 송풍실의 압력보다 높기 때문에, 제 2 송풍실에 송풍된 기체가, 다시 제 1 송풍실로 되돌아가는 경우가 없다. 이 때문에, 기체가 다시 제 1 송풍실로 되돌아가는 것에 의한, 기체의 압력 손실이 발생하지 않는다.
(부기 11)
부기 11과 관련된 납땜 장치에 의하면, 부기 9 또는 10에 기재된 납땜 장치에 있어서, 상기 송풍 유닛은, 상기 케이스를 수용하는 외부 케이스를 더 가지고, 상기 복수의 노즐은, 상기 외부 케이스를 관통하여, 상기 외부 케이스의 외부까지 연장되고, 상기 외부 케이스에는, 외부의 기체를 내부로 흡입하기 위한 흡입구가 형성되고, 상기 제 2 벽에는, 상기 팬이 상기 케이스의 외부의 기체를 내부로 흡기하기 위한 흡기구가 형성되어 있다.
이상, 본 발명의 실시 형태와 그와 관련된 각 변형예에 대하여 설명했지만, 상기 서술한 각 예는, 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것이 아닌 것은 말할 필요도 없다. 본 발명은, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서, 적절히 변경, 개량할 수 있고, 본 발명에 그 등가물은 포함된다. 또한, 상기 서술한 과제의 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는 효과의 적어도 일부를 나타내는 범위에 있어서, 특허청구의 범위 및 명세서에 기재된 각 구성 요소의 임의의 조합, 또는 생략이 가능하다.
100: 리플로우로
300, 500: 송풍 유닛
302: 팬
308: 히터
309: 냉각 유닛
310: 펀칭 메탈
320: 케이스
322: 제 1 송풍실
324: 제 2 송풍실
326: 제 1 벽
328: 제 2 벽
330: 내벽
332: 흡기구
334: 제 1 송풍구
336: 제 2 송풍구
338: 만곡부
360: 외부 케이스
366: 흡입구
380: 제 1 도풍판
382: 판면
384: 제 1 단부
386: 제 2 단부
400: 제 2 도풍판
420: 노즐
422: 공급구
D1: 원심 방향
L: 가상선
O: 회전 중심

Claims (11)

  1. 납땜을 행하기 위한 납땜 장치로서,
    대상물에 기체를 공급하기 위한 송풍 유닛을 구비하고,
    상기 송풍 유닛은, 제 1 송풍실을 가지는 케이스, 상기 제 1 송풍실에 수용되어 원심 방향으로 상기 기체를 송풍하기 위한 팬, 제 1 도풍판 및, 상기 기체를 가열하기 위한 히터 또는 상기 기체를 냉각하기 위한 냉각 유닛을 가지며,
    상기 케이스는, 상기 팬의 축방향에 있어서 상기 팬과 대향하는 제 1 벽, 상기 제 1 벽과 마주 보는 제 2 벽, 및 상기 제 1 벽과 상기 제 2 벽과의 사이를 연결하는 내벽을 가지고,
    상기 제 1 벽, 상기 제 2 벽 및 상기 내벽은, 상기 제 1 송풍실을 획정하며,
    상기 제 1 벽에는, 제 1 송풍구가 형성되고,
    상기 제 1 도풍판은, 상기 팬으로부터 송풍된 상기 기체의 일부를 상기 제 1 송풍구로 유도하도록 상기 제 1 송풍실에 배치되며,
    상기 제 1 도풍판은, 제 1 단부 및 상기 제 1 단부의 반대측에 위치하는 제 2 단부를 가지고, 상기 축방향에 있어서, 상기 제 2 벽과 공간을 둔 위치에 위치하는 상기 제 2 단부로부터, 상기 제 2 벽으로부터 멀어지는 방향으로 연장되는, 납땜 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 도풍판은, 상기 팬의 회전 중심으로부터 방사 형상으로 연장되는 가상선과 교차하는 방향으로 넓어지는 판면을 가지고, 상기 축방향에 있어서, 상기 제 2 단부로부터, 상기 제 2 벽으로부터 멀어지는 방향으로 연장되어, 적어도 상기 제 1 송풍구에 도달하며,
    상기 제 1 단부는, 상기 제 1 송풍구를 상기 축방향으로 연장된 영역의 내부에 배치되어 있는, 납땜 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 팬은, 상기 축방향에 있어서, 가까운 위치 단부에서부터 먼 위치 단부까지 연장되고,
    상기 제 2 단부는, 상기 축방향에 있어서, 상기 가까운 위치 단부와 상기 먼 위치 단부와의 사이에 위치하는, 납땜 장치.
  4. 납땜을 행하기 위한 납땜 장치로서,
    대상물에 기체를 공급하기 위한 송풍 유닛을 구비하고,
    상기 송풍 유닛은, 제 1 송풍실을 가지는 케이스, 상기 제 1 송풍실에 수용되어 원심 방향으로 상기 기체를 송풍하기 위한 팬, 제 1 도풍판 및, 상기 기체를 가열하기 위한 히터 또는 상기 기체를 냉각하기 위한 냉각 유닛을 가지며,
    상기 케이스는, 상기 팬의 축방향에 있어서 상기 팬과 대향하는 제 1 벽, 상기 제 1 벽과 마주 보는 제 2 벽, 및 상기 제 1 벽과 상기 제 2 벽과의 사이를 연결하는 내벽을 가지고,
    상기 제 1 벽, 상기 제 2 벽 및 상기 내벽은, 상기 제 1 송풍실을 획정하며,
    상기 제 1 벽에는, 제 1 송풍구가 형성되고,
    상기 제 1 도풍판은, 상기 팬으로부터 송풍된 상기 기체의 일부를 상기 제 1 송풍구로 유도하도록 상기 제 1 송풍실에 배치되며,
    상기 제 1 도풍판은, 상기 제 1 벽과 평행한 단면에 있어서, 원호 형상을 가지고,
    상기 제 1 도풍판의 상기 원호 형상의 움푹 들어간 측이, 상기 팬이 송풍한 상기 기체를 받을 수 있는 방향으로 향해져 있는, 납땜 장치.
  5. 납땜을 행하기 위한 납땜 장치로서,
    대상물에 기체를 공급하기 위한 송풍 유닛을 구비하고,
    상기 송풍 유닛은, 제 1 송풍실을 가지는 케이스, 상기 제 1 송풍실에 수용되어 원심 방향으로 상기 기체를 송풍하기 위한 팬, 제 1 도풍판 및, 상기 기체를 가열하기 위한 히터 또는 상기 기체를 냉각하기 위한 냉각 유닛을 가지며,
    상기 케이스는, 상기 팬의 축방향에 있어서 상기 팬과 대향하는 제 1 벽, 상기 제 1 벽과 마주 보는 제 2 벽, 및 상기 제 1 벽과 상기 제 2 벽과의 사이를 연결하는 내벽을 가지고,
    상기 제 1 벽, 상기 제 2 벽 및 상기 내벽은, 상기 제 1 송풍실을 획정하며,
    상기 제 1 벽에는, 제 1 송풍구가 형성되고,
    상기 제 1 도풍판은, 상기 팬으로부터 송풍된 상기 기체의 일부를 상기 제 1 송풍구로 유도하도록 상기 제 1 송풍실에 배치되며,
    상기 내벽은, 상기 팬이 송풍한 상기 기체를 상기 제 1 도풍판으로 유도하기 위한 만곡부를 가지는 유도벽을 구비하고,
    상기 만곡부는, 상기 제 1 벽과 평행한 단면에 있어서 원호 형상을 가지며, 당해 원호 형상의 움푹 들어간 측이 상기 팬의 회전 중심의 쪽을 향하고 있는, 납땜 장치.
  6. 제 1 항, 제 2 항, 제 4 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 송풍 유닛은, 제 2 도풍판을 가지고,
    상기 제 1 벽에는, 제 2 송풍구가 형성되며,
    상기 제 2 송풍구는, 상기 팬의 회전 중심에 대하여 상기 제 1 송풍구의 반대측에 위치하고,
    상기 제 2 도풍판은, 상기 팬으로부터 송풍된 상기 기체의 일부를 상기 제 2 송풍구로 유도하도록 상기 제 1 송풍실에 배치되는, 납땜 장치.
  7. 제 1 항, 제 2 항, 제 4 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 송풍 유닛은, 상기 제 1 벽에 대하여 상기 팬의 반대측에 배치되며, 상기 제 1 벽과 평행하게 넓어지는 펀칭 메탈을 더 가지는, 납땜 장치.
  8. 제 1 항, 제 2 항, 제 4 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 송풍 유닛은, 상기 제 1 벽에 대하여 상기 팬의 반대측에 배치되며, 상기 축방향에 상기 기체가 공급되는 공급구를 가지고, 상기 축방향과 수직인 수직 방향으로 나열된 복수의 노즐을 더 가지는, 납땜 장치.
  9. 납땜을 행하기 위한 납땜 장치로서,
    대상물에 기체를 공급하기 위한 송풍 유닛을 구비하고,
    상기 송풍 유닛은, 제 1 송풍실을 가지는 케이스, 상기 제 1 송풍실에 수용되어 원심 방향으로 상기 기체를 송풍하기 위한 팬, 제 1 도풍판 및, 상기 기체를 가열하기 위한 히터 또는 상기 기체를 냉각하기 위한 냉각 유닛을 가지며,
    상기 케이스는, 상기 팬의 축방향에 있어서 상기 팬과 대향하는 제 1 벽, 상기 제 1 벽과 마주 보는 제 2 벽 , 및 상기 제 1 벽과 상기 제 2 벽과의 사이를 연결하는 내벽을 가지고,
    상기 제 1 벽, 상기 제 2 벽 및 상기 내벽은, 상기 제 1 송풍실을 획정하며,
    상기 제 1 벽에는, 제 1 송풍구가 형성되고,
    상기 제 1 도풍판은, 상기 팬으로부터 송풍된 상기 기체의 일부를 상기 제 1 송풍구로 유도하도록 상기 제 1 송풍실에 배치되며,
    상기 송풍 유닛은, 상기 제 1 벽에 대하여 상기 팬의 반대측에 배치되며, 상기 축방향에 상기 기체가 공급되는 공급구를 가지고, 상기 축방향과 수직인 수직 방향으로 나열된 복수의 노즐을 더 가지며,
    상기 케이스는, 상기 제 1 송풍구에서부터 상기 복수의 노즐의 상기 공급구까지의 유로를 형성하는 제 2 송풍실을 가지는, 납땜 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 송풍구 중 어느 위치의 압력도, 상기 제 2 송풍실의 압력보다 높은, 납땜 장치.
  11. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
    상기 송풍 유닛은, 상기 케이스를 수용하는 외부 케이스를 더 가지고,
    상기 복수의 노즐은, 상기 외부 케이스를 관통하여, 상기 외부 케이스의 외부까지 연장되며,
    상기 외부 케이스에는, 외부의 기체를 내부로 흡입하기 위한 흡입구가 형성되고,
    상기 제 2 벽에는, 상기 팬이 상기 케이스의 외부의 기체를 내부로 흡기하기 위한 흡기구가 형성되어 있는, 납땜 장치.
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