JP6821292B2 - タングステン含有層をエッチングする方法 - Google Patents
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Description
本発明の好適な実施形態の一例では、少なくとも1つのタングステン含有層を含むスタックを含む基板を供給する(ステップ104)。図2Aは、基板層または特徴層204が上層208の下に堆積されているスタック200の断面図である。この例では、特徴層204はシリコンであり、上層208はシリコン酸化膜でできている。特徴部212を特徴層204に形成している。横方向の特徴部216を特徴部212の両側に形成している。W含有層220をスタック200の上に堆積する。このような堆積は、電気めっきもしくは無電解堆積または共形の金属層を堆積する別の方法を用いて行うことができる。
[適用例1]
タングステン含有層をエッチングする方法であって、
O 2 およびフッ素含有成分を含むエッチングガスを提供し、前記エッチングガスは、フッ素原子と少なくとも同数の酸素原子を有すること、
前記エッチングガスからプラズマを形成すること、および
前記エッチングガスから形成された前記プラズマを用いて前記タングステン含有層をエッチングすること
を含む、方法。
[適用例2]
前記エッチングガスは、さらにN 2 を含み、前記エッチングガスは、フッ素原子と少なくとも同数の窒素原子を有する、適用例1に記載の方法。
[適用例3]
少なくとも30mTorrの圧力をかけることをさらに含む、適用例2に記載の方法。
[適用例4]
前記タングステン層を少なくとも30℃に加熱することをさらに含む、適用例3に記載の方法。
[適用例5]
100から400ボルトのバイアスをかけることをさらに含む、適用例4に記載の方法。
[適用例6]
Si、SiO、SiN、またはTiNでできた露出層が前記タングステン含有層の前記エッチに曝露され、前記タングステン含有層の前記エッチングは、前記露出層に対して前記タングステン含有層を選択的にエッチングする、適用例5に記載の方法。
[適用例7]
400ボルト未満のバイアスをかけることをさらに含む、適用例4に記載の方法。
[適用例8]
前記タングステンをエッチングすることは、アスペクト比が少なくとも10:1である特徴部が前記タングステン含有層の中でエッチングされるまで維持される、適用例4に記載の方法。
[適用例9]
エッチングガスの合計流量は1000sccm以下である、適用例4に記載の方法。
[適用例10]
少なくとも60mTorrの圧力をかけることをさらに含む、適用例1に記載の方法。
[適用例11]
前記タングステン含有層を少なくとも60℃に加熱することをさらに含む、適用例1に記載の方法。
[適用例12]
100から400ボルトのバイアスをかけることをさらに含む、適用例1に記載の方法。
[適用例13]
Si、SiO、SiN、またはTiNでできた露出層が前記タングステン含有層の前記エッチに曝露され、前記タングステン含有層の前記エッチングは、前記露出層に対して前記タングステン含有層を選択的にエッチングする、適用例1に記載の方法。
[適用例14]
400ボルト未満のバイアスをかけることをさらに含む、適用例1に記載の方法。
[適用例15]
前記タングステンをエッチングすることは、アスペクト比が少なくとも10:1である特徴部が前記タングステン含有層の中でエッチングされるまで維持される、適用例1に記載の方法。
[適用例16]
エッチングガスの合計流量は1000sccm以下である、適用例1に記載の方法。
[適用例17]
前記タングステン含有層は、純タングステンである、適用例1に記載の方法。
[適用例18]
Si、SiO、SiN、またはTiNの層に対してタングステン層中の特徴部を選択的にエッチングする方法であって、
O 2 、N 2 、およびフッ素含有成分を含むエッチングガスを提供し、前記エッチングガスは、フッ素原子と少なくとも同数の酸素原子およびフッ素原子と少なくとも同数の窒素原子を有すること、
前記エッチングガスからプラズマを形成すること、
室圧を少なくとも60mTorrに維持すること、
100から400ボルトのバイアスをかけること、および
前記エッチングガスから形成された前記プラズマで前記タングステン層をエッチングして、アスペクト比が少なくとも10対1の特徴部を形成すること
を含む、方法。
Claims (17)
- タングステン含有層をエッチングする方法であって、
O2およびフッ素含有成分を含むエッチングガスを提供し、前記エッチングガスは、フッ素原子と少なくとも同数の酸素原子を有すること、
前記エッチングガスからプラズマを形成すること、および
前記エッチングガスから形成された前記プラズマを用いて前記タングステン含有層をエッチングすること
を含み、
前記エッチングガスは、さらにN2を含み、前記エッチングガスは、フッ素原子と少なくとも同数の窒素原子、および、窒素原子と少なくとも同数の酸素原子、を有する、
方法。 - 少なくとも30mTorrの圧力をかけることをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記タングステン含有層を少なくとも30℃に加熱することをさらに含む、請求項2に記載の方法。
- 100から400ボルトのバイアスをかけることをさらに含む、請求項3に記載の方法。
- Si、SiO、SiN、またはTiNでできた露出層が前記タングステン含有層の前記エッチに曝露され、前記タングステン含有層の前記エッチングは、前記露出層に対して前記タングステン含有層を選択的にエッチングする、請求項4に記載の方法。
- 400ボルト未満のバイアスをかけることをさらに含む、請求項3に記載の方法。
- 前記タングステン含有層をエッチングすることは、アスペクト比が少なくとも10:1である特徴部が前記タングステン含有層の中でエッチングされるまで維持される、請求項1または3に記載の方法。
- エッチングガスの合計流量は1000sccm以下である、請求項3に記載の方法。
- 少なくとも60mTorrの圧力をかけることをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記タングステン含有層を少なくとも60℃に加熱することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 100から400ボルトのバイアスをかけることをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- Si、SiO、SiN、またはTiNでできた露出層が前記タングステン含有層の前記エッチに曝露され、前記タングステン含有層の前記エッチングは、前記露出層に対して前記タングステン含有層を選択的にエッチングする、請求項1に記載の方法。
- 400ボルト未満のバイアスをかけることをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記タングステン含有層をエッチングすることは、アスペクト比が少なくとも10:1である第1特徴部と、横方向に延びる第2特徴部とが前記タングステン含有層の中でエッチングされるまで維持され、前記第2特徴部の凹部に前記タングステン含有層の一部を残す、請求項1に記載の方法。
- エッチングガスの合計流量は1000sccm以下である、請求項1に記載の方法。
- 前記タングステン含有層は、純タングステンである、請求項1に記載の方法。
- Si、SiO、SiN、またはTiNの層に対してタングステン層中の特徴部を選択的にエッチングする方法であって、
O2、N2、およびフッ素含有成分を含むエッチングガスを提供し、前記エッチングガスは、フッ素原子と少なくとも同数の酸素原子、窒素原子と少なくとも同数の酸素原子、およびフッ素原子と少なくとも同数の窒素原子を有すること、
前記エッチングガスからプラズマを形成すること、
室圧を少なくとも60mTorrに維持すること、
100から400ボルトのバイアスをかけること、および
前記エッチングガスから形成された前記プラズマで前記タングステン層をエッチングして、アスペクト比が少なくとも10対1の特徴部を形成すること
を含む、方法。
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