JP6820809B2 - チップマウンター、電子回路基板の製造方法、およびパワーモジュールの製造方法 - Google Patents
チップマウンター、電子回路基板の製造方法、およびパワーモジュールの製造方法 Download PDFInfo
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Description
本発明の実施の形態を説明する前に、本発明の前提となる技術について説明する。図11は、梱包テープ2の平面図である。図12は、図11における線分B−Bに沿った梱包テープ2の断面図、即ち梱包テープ2の長手方向に沿った断面図である。図13は、図11における線分C−Cに沿った梱包テープ2の断面図、即ち梱包テープ2の短手方向に沿った断面図である。なお、図11において図の見易さのためにカバーテープ4の記載を省略している。
図1から図3は、本実施の形態1におけるチップマウンター100の構成を示す模式図である。図1は、吸着搭載アーム6が吸着ポイント10に位置する状態を示す。図2は、吸着搭載アーム6が吸着ポイント10から検査部104に移動する途中の状態を示す。図3は、吸着搭載アーム6が搭載ポイント15に位置する状態を示す。
本実施の形態2におけるチップマウンターは、前提技術におけるチップマウンター200に対して、実施の形態1で説明したキャビティークリーニング機構13をさらに備える。また、本実施の形態2におけるチップマウンターは、実施の形態1で説明したトップテープガイド16を備える。なお、実施の形態1におけるチップマウンター100は、キャビティークリーニング機構13およびトップテープガイド16以外の機構も備えていたが、本実施の形態2におけるチップマウンターは、キャビティークリーニング機構13およびトップテープガイド16以外の構成は、前提技術と同じである。
本実施の形態3におけるチップマウンターは、前提技術におけるチップマウンター200に対して、実施の形態1で説明した異物除去ヘッド17をさらに備える。なお、実施の形態1におけるチップマウンター100は、異物除去ヘッド17以外の機構も備えていたが、本実施の形態3におけるチップマウンターは、異物除去ヘッド17以外の構成は、前提技術と同じである。
本実施の形態4におけるチップマウンターは、前提技術におけるチップマウンター200に対して、実施の形態1で説明した駆動部集塵機構21をさらに備える。なお、実施の形態1におけるチップマウンター100は、駆動部集塵機構21以外の機構も備えていたが、本実施の形態4におけるチップマウンターは、駆動部集塵機構21以外の構成は、前提技術と同じである。
本実施の形態5におけるチップマウンターは、前提技術におけるチップマウンター200に対して、実施の形態1で説明した異物除去ヘッド17をさらに備える。また、実施の形態1で説明したように、本実施の形態5におけるチップマウンターの吸着ポイント10は壁62およびエアーカーテン231によって囲まれており、搭載ポイント15はエアーカーテン232,233によって囲まれている。また、実施の形態1で説明したように、本実施の形態5におけるチップマウンターは、吸着ポイント10の上部に配置された空気導入部51および吸着ポイント10の下部に配置された空気排出部52と、搭載ポイント15の上部に配置された装置天井63とを備える。なお、実施の形態1におけるチップマウンター100は、異物除去ヘッド17、壁62、エアーカーテン231、空気導入部51および空気排出部52以外の機構も備えていたが、本実施の形態5におけるチップマウンターは、異物除去ヘッド17、壁62、エアーカーテン231、空気導入部51および空気排出部52以外の構成は、前提技術と同じである。
本実施の形態6におけるチップマウンターは、前提技術におけるチップマウンター200に対して、実施の形態1で説明したように、チップ部品3が基板8に搭載される搭載ポイント15がエアーカーテン232,233によって囲まれている。なお、実施の形態1におけるチップマウンター100は、搭載ポイント15がエアーカーテン232,233によって囲まれる構成以外の機構も備えていたが、本実施の形態6におけるチップマウンターは、搭載ポイント15がエアーカーテン232,233によって囲まれる構成以外は、前提技術と同じである。
本実施の形態7におけるチップマウンターは、前提技術におけるチップマウンター200に対して、実施の形態1の図10で説明したように、チップ部品3が吸着搭載アーム6に吸着される吸着ポイント10およびチップ部品3が基板8に搭載される搭載ポイント15を含む空間の周囲が壁62で囲まれている。なお、実施の形態1におけるチップマウンター100は、吸着ポイント10および搭載ポイント15を含む空間の周囲が壁62で囲まれている構成以外の機構も備えていたが、本実施の形態6におけるチップマウンターは、吸着ポイント10および搭載ポイント15を含む空間の周囲が壁62で囲まれている構成以外は、前提技術と同じである。
本実施の形態8におけるチップマウンターは、前提技術におけるチップマウンター200に対して、実施の形態1の図9で説明したように、インローダー33と吹き付け機構26と集塵機構27をさらに備える。インローダー33は、チップ部品3が基板8に搭載される搭載ポイント15に基板8を移動させる。吹き付け機構26は、インローダー33上の基板8に対して気体を吹き付ける。集塵機構27は、基板8に吹き付けられた気体を吸引する。なお、実施の形態1におけるチップマウンター100は、吹き付け機構26および集塵機構27以外の機構も備えていたが、本実施の形態8におけるチップマウンターは、吹き付け機構26および集塵機構27以外の構成は、前提技術と同じである。
Claims (5)
- 梱包テープに収納されたチップ部品を取り出して基板に搭載するチップマウンターであって、
前記梱包テープは、
複数の前記チップ部品のそれぞれを収納する複数のポケットを備えたキャリアテープと、
前記複数のポケットのそれぞれの開口を塞ぐカバーテープと、
を備え、
前記複数のポケットのそれぞれの底面には貫通孔が設けられ、
前記チップマウンターは、
吸着ポイントに向けて送り出される前記梱包テープが走行するテープ走行レールと、
前記吸着ポイントにおいて、前記カバーテープが剥がされた状態の前記キャリアテープの前記ポケットから前記チップ部品を吸着することによって取り出す吸着搭載アームと、
キャビティークリーニング機構と、
を備え、
前記キャビティークリーニング機構は、
前記吸着ポイントよりも上流において、前記テープ走行レールの、前記カバーテープが剥がされていない状態の前記キャリアテープが走行する部分に前記貫通孔と重なるように配置された吸引孔を備え、
前記キャビティークリーニング機構は、前記吸引孔および前記貫通孔を通して前記ポケットの内部を吸引する、
チップマウンター。 - 前記テープ走行レールとの間で前記梱包テープを挟み込むように配置されたトップテープガイドをさらに備え、
前記トップテープガイドは、前記テープ走行レールの前記貫通孔の上部に配置され、
前記梱包テープの左右において、前記テープ走行レールと前記トップテープガイドとが嵌合している、
請求項1に記載のチップマウンター。 - 前記梱包テープは前記吸着ポイントに向けて前記ポケット単位で移動と停止を繰り返しながら送り出され、
前記キャビティークリーニング機構は、前記梱包テープの移動が停止して前記吸着搭載アームによって前記チップ部品が前記ポケットから取り出された後、前記梱包テープの移動が開始するまでの間に前記ポケットの内部の吸引を行う、
請求項1又は請求項2に記載のチップマウンター。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のチップマウンターにより前記基板に前記チップ部品を搭載する工程を備える、電子回路基板の製造方法。
- 請求項4に記載の電子回路基板の製造方法で製造された前記電子回路基板によって駆動されるスイッチング素子を設ける工程を備える、
パワーモジュールの製造方法。
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