JP6801926B2 - 基板処理方法及び基板処理装置 - Google Patents
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Description
所定のパターンが表面に形成された基板を乾燥させる基板処理方法であって、
密閉されたチャンバ内の処理槽に洗浄液を貯留し、前記基板を前記洗浄液に浸漬して洗浄する洗浄工程と、
前記チャンバ内を減圧する減圧工程と、
前記基板を前記処理槽の前記洗浄液から引き上げる引上工程と、
処理槽から洗浄液を排出する排液工程と、
チャンバ内の雰囲気を疎水化剤に置換し、前記基板の表面に疎水化処理を施す疎水化工程と、
を含む基板処理方法。
合することができる。
(構成)
図1は、実施例に係る基板処理装置1の正面から見た内部の模式的な断面図である。基板処理装置1は、複数の基板(例えば半導体基板)Wに対してエッチング処理や洗浄処理、乾燥処理を施すバッチ式のシステムの一部を構成し、主として乾燥処理を行うユニットに相当する。
装置1は、チャンバ10、処理槽20、保持機構30、昇降機構(本発明に係る「昇降手段」に相当する)40、ノズル51〜55、各ノズルを開閉させるバルブ61〜65、ノズル51に窒素(N2)ガス等の不活性ガスを供給する不活性ガス供給源71、ノズル52にIPAベーパ(蒸気)を供給するIPA供給源72、ノズル53にIPAベーパを供給するIPA供給源73、ノズル54に疎水化剤を供給する疎水化剤供給源74と、処理液供給ノズル55に純水等のリンス液を供給する処理液供給源75と、制御部80と、排気ポンプ(本発明に係る「減圧手段」に相当する)90とを備えている。
化剤のミストを含む雰囲気を処理槽20内に形成することができる。
図2及び図3は、実施例1に係る処理フロー図である。また、図4は、実施例1に係る処理シーケンスの概要を説明するための図である。図示していない処理ユニットにおいて
基板Wに対しエッチング処理や洗浄処理が行われた後、基板Wは基板処理装置1に移送される。
上述の通り、本実施例では、疎水化剤の蒸気を供給することで、その使用量を低減しつつ基板表面を疎水化剤に置換することができるようになる。具体的には、例えば処理槽に貯留するために10lの疎水化剤が必要であったところ、100ml程度まで使用量を削減できる。また、水分が付着した基板を直接疎水化剤に接触させると改質性能が劣化したり、異物を発生したりすることがある。これに対し、本実施例ではS7の疎水化処理を開始する前にS4においてIPA置換を実行し、基板Wの表面から水分を除去している。このように、S7の疎水化処理は、水分を除去した基板Wに対して実行されるため、疎水化処理時において疎水化剤と水とが接触することがなくなり、疎水化剤の失活と異物の発生とを抑制することができる。また、S6において減圧とIPAの供給を継続することで、基板表面が乾燥し表面に形成されたパターンが倒壊してしまうことを避けている。仮に減圧を停止すると、後に減圧を再開したときに急激にIPAが気化し、基板表面が乾燥してパターンの倒壊が発生するおそれがある。さらに、基板Wの表面に疎水化剤が残存したまま乾燥させた場合も、基板表面に異物が残るため、S9において基板表面を再度IPAに置換する。このとき、基板表面は疎水性を有し、基板表面のパターン間のIPAにより発生する表面張力は低減されると推測され、最終的に乾燥させてもパターンの倒壊を抑制できるようになる。
図5は実施例2に係る処理フロー図である。なお、図5は、実施例1との差異がある後半部分の処理フロー図である。図6は、実施例2に係る処理シーケンスの概要を説明するための図である。また、実施例1と同じ処理には実施例1と同じ符号を付し、説明を省略する。
図7は、変形例1に係る処理フロー図である。なお、図7は、実施例1との差異がある前半部分の処理フロー図である。図8は、変形例1に係る処理シーケンスの概要を説明するための図である。
疎水化剤は、複数の種類の薬剤を混合して使用するものであってもよい。例えば、疎水化剤(第1の薬剤とも呼ぶ)及び活性剤(第2の薬剤とも呼ぶ)として機能する薬剤を混合して用いる。ここで、疎水化剤及び活性剤として機能する薬剤には、混合した後所定時間後に疎水化の効果が高まり、その後効果が低下するものもある。このような薬剤を用いる場合は、薬剤を予め混合させておくことは好ましくない。
上述した実施例又は変形例において、供給される疎水化剤の少なくとも一部は、蒸気でなく液体の状態であってもよい。すなわち、図2及び図4のS6、図6のS6、図7及び図9のS26において、吐出される疎水化剤の少なくとも一部を液体の状態で供給する。このとき、チャンバ10内の気圧は、他の実施例や変形例と同様に、疎水化剤が気化する圧力以下に減圧しておく。また、疎水化剤は、例えば処理槽20(1つ目の液溜め部)に供給するようにしてもよいし、変形例2で説明した2つ目の液溜め部に供給するようにしてもよい。なお、液溜め部はいずれか1つを備える構成でもよい。また、処理槽20に疎水化剤を供給する場合、気化した疎水化剤の濃度はチャンバ10のうち、下方の処理槽20内の方が高くなる。よって、基板Wを下位置に移動させ、IPAから疎水化剤への置換効率を向上させるようにしてもよい。
上述の実施例及び変形例に記載した内容は、可能な限り組み合わせて実施することができる。
10 チャンバ
11 チャンバカバー
20 処理槽
20P 開口部
30 保持機構
40 昇降機構
51〜55 ノズル
61〜65 バルブ
66 排液バルブ
71 不活性ガス供給源
72、73 IPA供給源
74 疎水化剤供給源
75 処理液供給源
80 制御部
90 排気ポンプ
W 基板
Claims (16)
- 所定のパターンが表面に形成された基板を乾燥させる基板処理方法であって、
密閉されたチャンバ内の処理槽に洗浄液を貯留し、前記基板を前記洗浄液に浸漬して洗浄する洗浄工程と、
前記洗浄工程の後に前記チャンバ内を減圧する減圧工程と、
前記減圧工程中に、前記基板を前記処理槽の前記洗浄液から引き上げる引上工程と、
前記減圧工程中であって、前記引上工程の後に、前記処理槽から前記洗浄液を排出する排液工程と、
前記減圧工程中であって、前記排液工程の後に、チャンバ内の雰囲気を疎水化剤に置換し、前記基板の表面に疎水化処理を施す疎水化工程と、
を含む基板処理方法。 - 前記洗浄工程の後、且つ前記減圧工程の前に、前記チャンバ内の雰囲気を有機溶媒に置換する第1の有機溶媒雰囲気形成工程をさらに含む
請求項1に記載の基板処理方法。 - 前記疎水化工程の後に、前記チャンバ内の雰囲気を有機溶媒に置換する第2の有機溶媒雰囲気形成工程をさらに含む
請求項1又は2に記載の基板処理方法。 - 前記第2の有機溶媒雰囲気形成工程は、前記減圧工程において開始した前記チャンバ内を減圧する処理を継続したまま行う
請求項3に記載の基板処理方法。 - 前記第2の有機溶媒雰囲気形成工程は、前記減圧工程において開始した前記チャンバ内の減圧を停止して行う
請求項3に記載の基板処理方法。 - 前記疎水化工程において、前記疎水化剤の少なくとも一部は液体で前記処理槽に供給さ
れる
請求項1から5のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記チャンバ内に液体を貯留することができる液溜め部をさらに有し、
前記疎水化工程において、前記疎水化剤の少なくとも一部は液体で前記液溜め部に供給される
請求項1から5のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記疎水化剤は第1の薬剤と第2の薬剤とを混合して機能させるものであり、
前記疎水化工程において、前記第1の薬剤を前記処理槽に供給し、前記第2の薬剤を前記液溜め部に供給する
請求項7に記載の基板処理方法。 - 前記チャンバの内部に空間を仕切る遮蔽部材を有し、前記液溜め部は、前記遮蔽部材よりも前記引上工程において前記基板を引き上げた後の基板と同じ側に設けられる
請求項7又は8に記載の基板処理方法。 - 所定のパターンが表面に形成された基板を乾燥させる基板処理装置であって、
密閉されたチャンバと、
前記チャンバ内に設けられ、洗浄液を貯留して前記基板を洗浄することができる処理槽と、
前記処理槽で前記基板を洗浄した後に前記チャンバ内を減圧する減圧手段と、
前記減圧手段によるチャンバ内の減圧工程中に、前記基板を前記処理槽の前記洗浄液から引き上げる昇降手段と、
前記減圧工程中であって、前記昇降手段が前記基板を前記処理槽の前記洗浄液から引き上げした後に、前記処理槽から洗浄液を排出させる排液手段と、
前記減圧工程中であって、前記排液手段が排液した後、チャンバ内の雰囲気を疎水化剤に置換する疎水化手段と、
を備える基板処理装置。 - 所定のパターンが表面に形成された基板を乾燥させる基板処理方法であって、
密閉されたチャンバ内の処理槽に洗浄液を貯留し、前記基板を前記洗浄液に浸漬して洗浄する洗浄工程と、
前記洗浄工程の後に前記チャンバ内を減圧する減圧工程と、
前記減圧工程中に、前記チャンバ内の雰囲気を有機溶媒に置換するために前記有機溶媒を供給する第1の有機溶媒雰囲気形成工程と、
前記第1の有機溶媒雰囲気形成工程中に、前記基板を前記処理槽の前記洗浄液から有機溶媒雰囲気中に引き上げる引上工程と、
前記第1の有機溶媒雰囲気形成工程中であって、前記引上工程の後に、前記処理槽から前記洗浄液を排出する排液工程と、
前記減圧工程中且つ前記排液工程の後において、前記チャンバ内の雰囲気を疎水化剤に置換し、前記基板の表面に疎水化処理を施す疎水化工程と、
前記疎水化工程の後に、前記チャンバ内の雰囲気を有機溶媒に置換する第2の有機溶媒雰囲気形成工程と、
を含む基板処理方法。 - 前記基板の表面に疎水化処理を施す疎水化工程は、前記第1の有機溶媒雰囲気形成工程と重複する期間に疎水化剤の供給を開始し、前記第1の有機溶媒雰囲気形成工程の後に行う請求項11に記載の基板処理方法。
- 前記チャンバ内の雰囲気を有機溶媒に置換する第2の有機溶媒雰囲気形成工程は、前記疎水化工程と重複する期間に前記有機溶媒の蒸気の供給を開始する請求項11又は12に記載の基板処理方法。
- 所定のパターンが表面に形成された基板を乾燥させる基板処理装置であって、
密閉されたチャンバと、
前記チャンバ内に設けられ、洗浄液を貯留して前記基板を洗浄することができる処理槽と、
前記基板を洗浄した後に前記チャンバ内を減圧する減圧手段と、
前記チャンバ内の減圧中に、前記チャンバ内の雰囲気を有機溶媒に置換するために前記有機溶媒を供給する第1の有機溶媒雰囲気形成工程を行う有機溶媒供給手段と、
前記第1の有機溶媒雰囲気形成工程中に、前記基板を前記処理槽の前記洗浄液から前記有機溶媒雰囲気中に引き上げる昇降手段と、
前記第1の有機溶媒雰囲気形成工程中であって、前記昇降手段が前記基板を引き上げた後に前記処理槽から洗浄液を排出させる排液手段と、
前記排液手段が排液した後、前記チャンバ内の減圧中において、疎水化剤の供給を開始し、前記第1の有機溶媒雰囲気形成工程の後に前記チャンバ内の雰囲気を前記疎水化剤に置換する疎水化手段と、
を備え、
前記有機溶媒供給手段は、前記有機溶媒蒸気の供給を開始し、その後に前記疎水化剤の供給を停止して前記チャンバ内の雰囲気を有機溶媒に置換する第2の有機溶媒雰囲気形成工程をさらに行う基板処理装置。 - 前記疎水化手段は、前記排液手段が排液した後、前記チャンバ内の減圧中において、前記第1の有機溶媒雰囲気形成工程と重複する期間に疎水化剤の供給を開始し、前記第1の有機溶媒雰囲気形成工程の後に前記チャンバ内の雰囲気を前記疎水化剤に置換する請求項14に記載の基板処理装置。
- 前記有機溶媒供給手段は、前記疎水化手段が行う処理と重複する期間に前記有機溶媒の蒸気の供給を開始し、その後に前記疎水化剤の供給を停止して前記チャンバ内の雰囲気を有機溶媒に置換する第2の有機溶媒雰囲気形成工程をさらに行う請求項14又は15に記載の基板処理装置。
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