JP6228800B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 176
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 78
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 106
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 26
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 16
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 15
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 48
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 36
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 22
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 21
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 4
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- Weting (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
すなわち、従来の装置は、処理槽の処理液をチャンバ内に排出した際に、衝撃で処理液が飛散して液滴が発生する。また、処理液には基板を処理した際に基板から剥離された被膜の破片などが含まれており、処理液が飛散した際にパーティクルとなって滞留する。これらの液滴やパーティクルは、チャンバ底部からチャンバ上部へ向かって漂うことがあり、処理液から引き上げられた洗浄後の清浄な基板が汚染される恐れがある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、処理液により処理された基板を溶剤蒸気により乾燥させる基板処理装置において、処理液を貯留する処理槽と、前記処理槽を囲うチャンバと、基板を支持し、前記処理槽内の処理位置と、前記処理槽の上方にあたる乾燥位置とにわたって昇降可能なリフタと、前記チャンバ内に溶剤蒸気を供給するノズルと、チャンバ内を減圧するための第1排出口と、前記処理槽から排出された処理液をチャンバ外へ排出する第2排出口と、前記チャンバ側面に形成され、前記チャンバ内の気体を排気する第3排出口と、を備え、前記第3排出口は、前記チャンバの高さ方向における前記処理槽の上縁より下方であって、かつ、前記チャンバに排出された処理液の液面よりも上方に形成され、前記処理槽は、側面の全周にわたって雰囲気遮断板を備え、前記雰囲気遮断板は、前記チャンバの内壁との間に隙間を備え、前記処理槽の上縁付近に取り付けられていることを特徴とするものである。
図1は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
1 … 処理槽
27 … チャンバ
31 … リフタ
37 … 蒸気発生タンク
38 … 蒸気弁
49 … 不活性ガス弁
51 … 排気管
52 … 排気ポンプ
52a … 開閉弁
57 … 排出口
59 … QDR弁
69 … 排気口
71 … 排気管
73 … 排気弁
75 … 制御部
Claims (4)
- 処理液により処理された基板を溶剤蒸気により乾燥させる基板処理装置において、
処理液を貯留する処理槽と、
前記処理槽を囲うチャンバと、
基板を支持し、前記処理槽内の処理位置と、前記処理槽の上方にあたる乾燥位置とにわたって昇降可能なリフタと、
前記チャンバ内に溶剤蒸気を供給するノズルと、
チャンバ内を減圧するための第1排出口と、
前記処理槽から排出された処理液をチャンバ外へ排出する第2排出口と、
前記チャンバ側面に形成され、前記チャンバ内の気体を排気する第3排出口と、
を備え、
前記第3排出口は、前記チャンバの高さ方向における前記処理槽の上縁より下方であって、かつ、前記チャンバに排出された処理液の液面よりも上方に形成され、
前記処理槽は、側面の全周にわたって雰囲気遮断板を備え、
前記雰囲気遮断板は、前記チャンバの内壁との間に隙間を備え、前記処理槽の上縁付近に取り付けられていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記処理槽に処理液を供給して前記チャンバに処理液をオーバフローさせつつ処理液を前記処理槽に貯留させ、前記リフタを処理位置に移動させて処理液で基板を処理し、前記ノズルにより前記チャンバ内に溶剤蒸気雰囲気を形成した後、前記リフタを乾燥位置へ移動させ、前記第1排出口を介して前記チャンバ内を減圧して基板を乾燥させる処理を行い、前記処理槽内の処理液をチャンバ底部に排出した後、前記チャンバ底部から前記第2排出口を介して排出させる際に、少なくとも前記処理槽から前記チャンバへ処理液が排出されている間は、前記第3排出口から気体を排出させる制御手段をさらに備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置において、
前記制御手段は、前記第2排出口から処理液が排出されている間は、前記第3排出口から気体を排出させる基板処理装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記雰囲気遮断板は、下方に傾斜していることを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013204085A JP6228800B2 (ja) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013204085A JP6228800B2 (ja) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | 基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015070148A JP2015070148A (ja) | 2015-04-13 |
JP6228800B2 true JP6228800B2 (ja) | 2017-11-08 |
Family
ID=52836547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013204085A Active JP6228800B2 (ja) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6228800B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6914143B2 (ja) * | 2016-12-26 | 2021-08-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理装置、基板処理システム、基板処理システムの制御装置および半導体基板の製造方法 |
KR102456820B1 (ko) * | 2016-12-26 | 2022-10-19 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 방법, 기판 처리 장치, 기판 처리 시스템, 기판 처리 시스템의 제어 장치, 반도체 기판의 제조 방법 및 반도체 기판 |
KR20230170584A (ko) | 2022-06-10 | 2023-12-19 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4584783B2 (ja) * | 2005-06-22 | 2010-11-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法、ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体 |
JP4688741B2 (ja) * | 2006-06-26 | 2011-05-25 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP2010086981A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-15 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板乾燥装置及び基板乾燥方法 |
JP5522028B2 (ja) * | 2010-03-09 | 2014-06-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
-
2013
- 2013-09-30 JP JP2013204085A patent/JP6228800B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015070148A (ja) | 2015-04-13 |
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Legal Events
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