JP3837016B2 - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
基板処理方法および基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3837016B2 JP3837016B2 JP2000296343A JP2000296343A JP3837016B2 JP 3837016 B2 JP3837016 B2 JP 3837016B2 JP 2000296343 A JP2000296343 A JP 2000296343A JP 2000296343 A JP2000296343 A JP 2000296343A JP 3837016 B2 JP3837016 B2 JP 3837016B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- processing chamber
- organic solvent
- pressure
- drainage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 66
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 49
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 35
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 34
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 23
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 14
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 135
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 6
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 3
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010981 drying operation Methods 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/67034—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/048—Overflow-type cleaning, e.g. tanks in which the liquid flows over the tank in which the articles are placed
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S134/00—Cleaning and liquid contact with solids
- Y10S134/902—Semiconductor wafer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、電子部品などの基板を、処理槽内に収容された純水中に浸漬させて水洗した後に、純水中から引き上げあるいは処理槽内から純水を排出させて露出させ、その際にイソプロピルアルコール(IPA)等の水溶性の有機溶剤の蒸気を基板に対して供給し、その後に基板を減圧乾燥させる基板処理方法、ならびに、その方法を実施するために使用される基板処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば半導体デバイスの製造プロセスにおいて、基板、例えばシリコンウエハを純水で洗浄した後にウエハを乾燥させる方法としては、スピン乾燥法、IPA蒸気乾燥法、水溶性の有機溶剤、例えばIPAの蒸気を用いた減圧引上げ式乾燥法などがあるが、近年では減圧引上げ式乾燥法が主流になりつつある。この減圧引上げ式乾燥法では、処理槽内に収容された純水中にウエハを浸漬させて水洗した後、ウエハを処理槽内の純水中から引き上げて(あるいは、水洗後のウエハを処理槽内で静止させたまま処理槽内から純水を排出させて)、ウエハを純水中から露出させ、この際に、不活性ガス、例えば窒素ガスをキャリアガスとしてIPAの蒸気をウエハに対して供給し、ウエハの表面上の気液界面で、IPA蒸気を凝縮させてウエハ表面に付着した純水をIPAに置換させた後、処理槽が内設されている密閉された処理チャンバ内を真空排気して処理チャンバの内部を減圧状態にすることにより、ウエハの表面に凝縮したIPAを蒸発させて、ウエハを速やかに乾燥させる、といったことが行われている。
【0003】
図4は、減圧引上げ式乾燥法を実施するときに使用される基板処理装置の概略構成を示す模式図である。この装置は、密閉可能な処理チャンバ100の内部に処理槽102を配設して構成されている。処理槽102内には、図示しない純水供給手段により純水が供給され、処理槽102内に満たされた純水104中にウエハWが浸漬させられて水洗される。処理チャンバ100の内方上部には吹出しノズル106が設けられており、この吹出しノズル106から、処理チャンバ100内をパージするために窒素ガスが供給され、また、ウエハWの引上げ乾燥時に窒素ガスをキャリアガスとしてIPA蒸気がウエハWに対して供給される。
【0004】
処理チャンバ100の底部には気液排出口108が形設されており、その気液排出口108に気液排出管110が連通して接続されている。そして、気液排出管110に、処理チャンバ100の内部を減圧状態にする際に開かれる開閉制御弁114が介挿された排気管112、ウエハWの水洗中に開かれる開閉制御弁118が介挿され処理槽102内から溢れ出て処理チャンバ100の内底部に流下した純水を排出させる排水管116、および、ウエハWに対するIPA蒸気の供給中に開かれる開閉制御弁122が介挿されIPAを含む排液を排出させる排液管120がそれぞれ連通して接続されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記した減圧引上げ式乾燥法によると、微量のIPAを使用してウエハを乾燥させることができるが、昨今の環境問題の観点から、さらにIPAの消費量の低減が求められている。ところが、従来の基板処理装置では、吹出しノズル106からウエハWに対して供給されたIPAの蒸気が、処理チャンバ100内から気液排出管110を通って排液管120内へ流れ込み、排液管120を通って流出してしまう。このため、必要以上のIPAを消費することになる、といった問題点がある。
【0006】
また、排液管120にIPA蒸気の流出口があることから、処理チャンバ100内のウエハ乾燥ゾーンにおける雰囲気状態が、排液管120が接続された工場のユーティリティの稼働状態による影響を受けて不安定になり、また、装置の設置状況によっては装置間での機差を生じる。そして、半導体デバイスの構造の複雑化・微細化も相まって、ウエハの乾燥性能の安定性を欠く、といった問題も抱えている。
【0007】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、減圧引上げ式乾燥法を実施する場合において、IPA等の有機溶剤の消費量を低減させるとともに、基板の乾燥性能の安定性を向上させることができる基板処理方法を提供すること、ならびに、その方法を好適に実施することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は、処理チャンバ内で、処理槽内に収容された純水中に浸漬させられて水洗された基板を純水中から露出させ、その際に水溶性の有機溶剤の蒸気を基板に対して供給し、その後に処理チャンバの内部を減圧状態にして基板を乾燥させる基板処理方法において、前記有機溶剤の蒸気を基板に対して供給する際に、その有機溶剤蒸気の供給が維持される限度内で、前記処理チャンバ内の圧力を、大気圧よりも高い一定圧力に調整することを特徴とする。
【0009】
請求項2に係る発明は、処理チャンバ内に配設された処理槽に収容された純水中から基板を露出させる基板露出手段と、基板に対して水溶性の有機溶剤の蒸気を供給する蒸気供給手段と、前記処理チャンバの内部を真空排気する真空排気手段と、を備えた基板処理装置において、前記有機溶剤の蒸気を基板に対して供給する際に、その有機溶剤蒸気の供給が維持される限度内で、前記処理チャンバ内の圧力を、大気圧よりも高い一定圧力に調整する調圧手段を備えたことを特徴とする。
【0010】
請求項3に係る発明は、請求項2記載の基板処理装置において、前記処理チャンバ内から流出する有機溶剤を含む排液を排出する排液管をさらに備え、前記調圧手段は、前記排液管の途中に介在して設けられ、密閉構造を有し、流入口が流出口より上方に配置されるとともに、内部が縦方向に仕切られて排液流入室と排液流出室とに区画されかつそれら両室が流出口より下方位置で互いに連通したバッファタンクと、このバッファタンクに、その前記排液流入室の内部空間に連通するように接続された蒸気排出管と、この蒸気排出管に介在して設けられた調圧弁と、を備えたことを特徴とする。
【0011】
請求項4に係る発明は、請求項2記載の基板処理装置において、前記処理チャンバ内から流出する有機溶剤を含む排液を排出する排液管をさらに備え、前記調圧手段は、前記排液管に接続された蒸気排出管と、この蒸気排出管の途中に介在して設けられたトラップと、前記蒸気排出管に介在して設けられた調圧弁と、を備えたことを特徴とする。
【0012】
請求項1に係る発明の基板処理方法によると、処理チャンバ内で処理槽内の純水中から露出させられた基板に対して有機溶剤の蒸気を供給する際に、処理チャンバ内の圧力が、大気圧よりも高い圧力に調整されるので、処理チャンバ内から流出する有機溶剤蒸気の量が低減する。また、処理チャンバ内の圧力が一定圧力に調整されるので、処理チャンバ内の基板乾燥ゾーンにおける雰囲気状態が安定化する。
【0013】
請求項2に係る発明の基板処理装置においては、処理チャンバ内で処理槽内の純水中から露出させられた基板に対して有機溶剤の蒸気を供給する際に、調圧手段により、処理チャンバ内の圧力が大気圧よりも高い圧力に調整されるので、処理チャンバ内から流出する有機溶剤蒸気の量が低減する。また、処理チャンバ内の圧力が一定圧力に調整されるので、処理チャンバ内の基板乾燥ゾーンにおける雰囲気状態が安定化する。
【0014】
請求項3に係る発明の基板処理装置では、処理チャンバの内部空間は、排液管の、バッファタンクまでの流路部分およびバッファタンクの排液流入室を通して蒸気排出管と流通し、排液管の、バッファタンクから先の流路とは、バッファタンクの内部の仕切りとバッファタンク内底部に流出口の高さまで溜まった排液とで流通が遮断されている。したがって、処理チャンバ内から流れ出た有機溶剤の蒸気は、排液管の、バッファタンクから先の流路には流出せず、蒸気排出管を通って流出することになる。このため、蒸気排出管に介在して設けられた調圧弁を調節して、処理チャンバ内の圧力を大気圧よりも高い圧力に調整することにより、処理チャンバ内から蒸気排出管を通って流出する有機溶剤蒸気の量を低減させることができる。また、調圧弁を調節して、処理チャンバ内の圧力を一定圧力に調整することにより、処理チャンバ内の基板乾燥ゾーンにおける雰囲気状態を安定化させることができる。そして、有機溶剤を含む排液は、バッファタンクの内底部に一旦溜まり、バッファタンクの内底部から流出口を通って排液管内へ流入して排出される。
【0015】
請求項4に係る発明の基板処理装置では、処理チャンバ内から流れ出た有機溶剤の蒸気は、排液管に接続された蒸気排出管を通って流出することになる。このため、蒸気排出管に介在して設けられた調圧弁を調節して、処理チャンバ内の圧力を大気圧よりも高い圧力に調整することにより、処理チャンバ内から蒸気排出管を通って流出する有機溶剤蒸気の量を低減させることができる。また、調圧弁を調節して、処理チャンバ内の圧力を一定圧力に調整することにより、処理チャンバ内の基板乾燥ゾーンにおける雰囲気状態を安定化させることができる。そして、有機溶剤を含む排液は、トラップ内に溜められ、適宜トラップ内から排出される。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態について図1ないし図3を参照しながら説明する。
【0017】
図1は、この発明に係る基板処理方法を実施するのに使用される基板処理装置の構成の1例を示す概略図である。この基板処理装置は、下部に純水供給口12を有するとともに上部に純水が溢れ出す溢流部14を有し、内部にウエハWが搬入されて収容される処理槽10を備えている。処理槽10の底部には、排水口16が形設されており、その排水口16に、排水バルブ20が介挿された排水管18が連通して接続されている。また、処理槽10の下部の純水供給口12には、純水の供給源に接続された純水供給管22が連通して接続されており、純水供給管22には開閉制御弁24が介挿して設けられている。
【0018】
処理槽10は、カバー28を開閉させることによりウエハWの搬入および搬出を行うことができ密閉可能である処理チャンバ26内に配設されている。処理チャンバ26の内部には、処理チャンバ26内へ搬入されたウエハWを受け取って処理槽10の内部へ挿入し、処理が終わったウエハWを処理槽10内から取り出すための昇降機30が配設されている。また、処理チャンバ26の底部には、気液排出口32が形設されており、気液排出口32に気液排出管34が連通して接続されている。気液排出管34には、処理チャンバ26の内部を減圧状態にする際に開かれる開閉制御弁38が介挿され真空ポンプ40が接続された排気管36、ウエハWの水洗中に開かれる開閉制御弁44が介挿され処理槽10の溢流部14から溢れ出て処理チャンバ26の内底部に流下した純水を排出させる排水管42、および、ウエハWに対する水溶性の有機溶剤の蒸気、例えばIPA蒸気の供給中に開かれる開閉制御弁48が介挿されIPAを含む排液を排出させる排液管46がそれぞれ連通して接続されている。
【0019】
排液管46の途中には、バッファタンク50が介在して設けられている。バッファタンク50は、密閉構造を有し、その流入口52が流出口54より上方に配置されている。また、バッファタンク50の内部は、縦方向の仕切り壁56で仕切られて排液流入室58と排液流出室60とに区画されている。仕切り壁56は、バッファタンク50の天井面から内底面付近まで延びており、排液流入室58と排液流出室60とが、流出口54より下方位置で互いに連通している。バッファタンク50の上部には、その排液流入室58の内部空間に連通するように蒸気排出管62が接続されている。この蒸気排出管62には、2つの調圧弁64a、64bが介在して設けられている。
【0020】
処理チャンバ26の内部には、吹出しノズル66が設けられており、吹出しノズル66には、不活性ガス、例えば窒素ガスの供給源に接続されたガス供給管68が連通して接続されている。ガス供給管68には、開閉制御弁70が介在して設けられている。そして、ガス供給管68には、開閉制御弁70の上流側で分岐し開閉制御弁70の下流側で合流するバイパス管72が設けられており、バイパス管72の途中に、IPA74が貯留され密閉されて液面上の密閉空間にバイパス管72の窒素ガス導入口およびIPA蒸気流出口がそれぞれ連通したIPA蒸気生成槽76が設けられている。また、バイパス管72には開閉制御弁78a、78bが介挿されている。IPA蒸気生成槽76には、内部に貯留されたIPA74を加熱するためのヒータ80が付設されている。そして、IPA蒸気生成槽76では、ヒータ80によりIPA74を加熱してIPA蒸気を発生させ、その発生したIPA蒸気を、窒素ガスをキャリアガスとして、バイパス管72からガス供給管68を通して処理チャンバ26内の吹出しノズル66へ供給することができるように構成されている。
【0021】
以上のように構成された基板処理装置を使用して行われる基板乾燥操作の1例について、図2に示す模式図を参照しつつ説明する。
【0022】
図2の(a)に示すように、処理槽10内に収容された純水82中にウエハWが浸漬させられてウエハWの水洗が行われる。このとき、排水管42に介挿された開閉制御弁44は開かれ、排液管46に介挿された開閉制御弁48は閉じられており、処理槽10の溢流部14から溢れ出て処理チャンバ26の内底部に流下し気液排出口32から流出した純水は、気液排出管34から排水管42内へ流入し、排水管42を通って排出されている。また、このとき、ガス供給管68に介挿された開閉制御弁70が開かれるとともに、バイパス管72に介挿された開閉制御弁78a、78bが閉じられており、処理チャンバ26内へ吹出しノズル66から窒素ガスが供給されている。処理チャンバ26内へ供給された窒素ガスは、気液排出管34から排水管42内へ流れ込み、排水管42を通って排出されており、この際、処理チャンバ26内の圧力は未調整(常圧)である。
【0023】
ウエハWの水洗の終了間近(引上げ乾燥直前)になると、図2の(b)に示すように、ガス供給管68に介挿された開閉制御弁70が閉じられるとともに、バイパス管72に介挿された開閉制御弁78a、78bが開かれ、処理チャンバ26内へ吹出しノズル66からIPAの蒸気が供給される。また、同時に、排水管42に介挿された開閉制御弁44が閉じられるとともに、排液管46に介挿された開閉制御弁48が開かれる。これにより、IPAを含む排液およびIPA蒸気は、気液排出管34から排液管46内へ流れ込む。そして、IPAを含む排液84は、バッファタンク50内へ流入して、その内底部に一旦溜まり、バッファタンク50の流出口54から排液管46を通って排出される。
【0024】
一方、IPA蒸気は、バッファタンク50の排液流入室58内へ流入し、排液流入室58から蒸気排出管62を通って排出される。このとき、2個の調圧弁64a、64bにより、それより上流側の圧力、したがって処理チャンバ26内の圧力が、処理チャンバ26内へのIPA蒸気の供給が維持される限度内で、大気圧よりも高い一定圧力に調整される。このため、処理チャンバ26内から蒸気排出管62を通って排出されるIPA蒸気の量が低減することになる。また、処理チャンバ26内が一定圧力に調整されることにより、処理チャンバ26内の雰囲気状態が安定化する。この状態は、処理チャンバ26内へIPA蒸気が供給されている間、維持される。
【0025】
ウエハWの水洗が終了すると、図2の(c)に示すように、処理槽10内への純水の供給および処理チャンバ26内へのIPA蒸気の供給を継続しながら、昇降機30によりウエハWが処理槽10内の純水82中からゆっくりと引き上げられる。この際に、ウエハWの表面上の気液界面でIPAが凝縮し、純水がIPAに置換されていく。そして、図2の(d)に示すように、ウエハWが純水82中から完全に引き上げられて乾燥位置に停止した後も適当な時間だけ、処理チャンバ26内へのIPA蒸気の供給が継続され、ウエハWの表面がIPAによって置換されてしまうと、処理チャンバ26内へのIPA蒸気の供給が停止する。なお、処理槽10内への純水の供給は、ウエハWが純水82中から引き上げられると停止する。
【0026】
以後は、処理チャンバ26内にウエハWを保持したまま、ガス供給管68に介挿された開閉制御弁70が開かれるとともに、バイパス管72に介挿された開閉制御弁78a、78bが閉じられ、窒素ガスが吹出しノズル66から処理チャンバ26内へ供給されて処理チャンバ26内が窒素ガスでパージされる。また、同時に、排水管42に介挿された開閉制御弁44が開かれるとともに、排液管46に介挿された開閉制御弁48が閉じられる。この際、排水バルブ20が開かれ、処理槽10内の純水82が排水口16から排水管18を通して排出させられ、処理チャンバ26の内底部から気液排出口32を通り気液排出管34および排水管36を経て排水される。続いて、処理チャンバ26内への窒素ガスの供給が停止させられ、排水管42に介挿された開閉制御弁44および排液管46に介挿された開閉制御弁48がそれぞれ閉じられるとともに、排気管36に介挿された開閉制御弁38が開かれ、同時に真空ポンプ40が駆動して、気液排出管34および排気管36を通して処理チャンバ26の内部が真空排気され、処理チャンバ26内に保持されたウエハWが速やかに減圧乾燥させられる。
【0027】
なお、上記した実施形態では、排液管46にバッファタンク50を介在して設け、バッファタンク50の排液流入室58に蒸気排出管62を連通させて接続し、蒸気排出管62に調圧弁64a、64bを介挿するようにしたが、IPAを含む排液を排出しつつ処理チャンバ26内の圧力を調整する手段は、実施形態のものに限定されない。例えば、図3に示すように、排液管46に蒸気排出管86を接続し、その蒸気排出管86の途中に開閉制御弁88およびトラップ90をそれぞれ介在して設け、さらに、蒸気排出管86に調圧弁96a、96bを介在して設けるようにしてもよい。この場合には、処理チャンバ内から流れ出たIPA蒸気は、排液管46に接続された蒸気排出管86を通って流出することになり、調圧弁96a、96bにより、処理チャンバ内の圧力を大気圧よりも高い一定圧力に調整することができる。また、IPAを含む排液は、トラップ90内に溜められ、適宜ドレン排出バルブ92を開くことにより、トラップ90内からドレン排出管94を通って排出される。
【0028】
また、上記の実施形態では、水洗が終了したウエハWを昇降機30により引き上げることにより、処理槽10内の純水82中からウエハWを露出させるようにしたが、水洗後のウエハWを処理槽10内で静止させたままにし、排水バルブ20を開いて処理槽10内の純水82を排水口16から排水管18を通してゆっくりと排出させ処理槽10内の純水82の水面を低下させることにより、純水82中からウエハWを露出させるようにしてもよい。
【0029】
【発明の効果】
請求項1に係る発明の基板処理方法によると、有機溶剤の消費量を低減させるとともに、基板の乾燥性能の安定性を向上させることができる。
【0030】
請求項2に係る発明の基板処理装置を使用すると、請求項1に係る発明の方法を好適に実施することができ、有機溶剤の消費量を低減させるとともに、基板の乾燥性能の安定性を向上させることができる。
【0031】
請求項3および請求項4に係る各発明の基板処理装置では、処理チャンバ内の基板に対して有機溶剤が供給されている時に、有機溶剤を含む排液を排出しつつ処理チャンバ内の圧力を調整することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係る基板処理方法を実施するのに使用される基板処理装置の構成の1例を示す概略図である。
【図2】図1に示した基板処理装置を使用して行われる基板乾燥操作の1例について説明するための模式図である。
【図3】有機溶剤を含む排液を排出しつつ処理チャンバ内の圧力を調整する手段の、図1に示したものと異なる例を示す概略図である。
【図4】減圧引上げ式乾燥法を実施するときに使用される従来の基板処理装置の概略構成の1例を示す模式図である。
【符号の説明】
W ウエハ
10 処理槽
12 処理槽の純水供給口
14 処理槽の溢流部
16 処理槽の排水口
18 排水管
20 排水バルブ
22 純水供給管
24、38、44、48、70、78a、78b、88 開閉制御弁
26 処理チャンバ
28 処理チャンバのカバー
30 昇降機
32 処理チャンバの気液排出口
34 気液排出管
36 排気管
40 真空ポンプ
42 排水管
46 排液管
50 バッファタンク
52 バッファタンクの流入口
54 バッファタンクの流出口
56 仕切り壁
58 排液流入室
60 排液流出室
62、86 蒸気排出管
64a、64b、96a、96b 調圧弁
66 吹出しノズル
68 ガス供給管
72 バイパス管
76 IPA蒸気生成槽
90 トラップ
Claims (4)
- 処理チャンバ内で、処理槽内に収容された純水中に浸漬させられて水洗された基板を純水中から露出させ、その際に水溶性の有機溶剤の蒸気を基板に対して供給し、その後に処理チャンバの内部を減圧状態にして基板を乾燥させる基板処理方法において、
前記有機溶剤の蒸気を基板に対して供給する際に、その有機溶剤蒸気の供給が維持される限度内で、前記処理チャンバ内の圧力を、大気圧よりも高い一定圧力に調整することを特徴とする基板処理方法。 - 処理チャンバ内に配設された処理槽に収容された純水中から基板を露出させる基板露出手段と、
基板に対して水溶性の有機溶剤の蒸気を供給する蒸気供給手段と、
前記処理チャンバの内部を真空排気する真空排気手段と、
を備えた基板処理装置において、
前記有機溶剤の蒸気を基板に対して供給する際に、その有機溶剤蒸気の供給が維持される限度内で、前記処理チャンバ内の圧力を、大気圧よりも高い一定圧力に調整する調圧手段を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記処理チャンバ内から流出する有機溶剤を含む排液を排出する排液管をさらに備え、
前記調圧手段は、
前記排液管の途中に介在して設けられ、密閉構造を有し、流入口が流出口より上方に配置されるとともに、内部が縦方向に仕切られて排液流入室と排液流出室とに区画されかつそれら両室が流出口より下方位置で互いに連通したバッファタンクと、
このバッファタンクに、その前記排液流入室の内部空間に連通するように接続された蒸気排出管と、
この蒸気排出管に介在して設けられた調圧弁と、
を備えた請求項2記載の基板処理装置。 - 前記処理チャンバ内から流出する有機溶剤を含む排液を排出する排液管をさらに備え、
前記調圧手段は、
前記排液管に接続された蒸気排出管と、
この蒸気排出管の途中に介在して設けられたトラップと、
前記蒸気排出管に介在して設けられた調圧弁と、
を備えた請求項2記載の基板処理装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000296343A JP3837016B2 (ja) | 2000-09-28 | 2000-09-28 | 基板処理方法および基板処理装置 |
US09/962,961 US6790291B2 (en) | 2000-09-28 | 2001-09-25 | Method of and apparatus for processing substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000296343A JP3837016B2 (ja) | 2000-09-28 | 2000-09-28 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002110621A JP2002110621A (ja) | 2002-04-12 |
JP3837016B2 true JP3837016B2 (ja) | 2006-10-25 |
Family
ID=18778635
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000296343A Expired - Fee Related JP3837016B2 (ja) | 2000-09-28 | 2000-09-28 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6790291B2 (ja) |
JP (1) | JP3837016B2 (ja) |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100436900B1 (ko) * | 2001-10-29 | 2004-06-23 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 세정 장치 |
JP2004241754A (ja) * | 2002-07-16 | 2004-08-26 | Chem Art Technol:Kk | 基板処理方法及び基板処理装置 |
KR20040041763A (ko) * | 2002-11-11 | 2004-05-20 | 삼성전자주식회사 | 반도체 웨이퍼 세정시스템 및 그 방법 |
JP3967677B2 (ja) * | 2002-12-25 | 2007-08-29 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 乾燥処理装置および基板処理装置 |
KR100568104B1 (ko) * | 2003-08-26 | 2006-04-05 | 삼성전자주식회사 | 반도체 기판 세정 장치 및 세정 방법 |
US20050211379A1 (en) * | 2004-03-29 | 2005-09-29 | Hung-Wen Su | Apparatus and method for removing metal from wafer edge |
US7798764B2 (en) | 2005-12-22 | 2010-09-21 | Applied Materials, Inc. | Substrate processing sequence in a cartesian robot cluster tool |
US7255747B2 (en) | 2004-12-22 | 2007-08-14 | Sokudo Co., Ltd. | Coat/develop module with independent stations |
US7651306B2 (en) | 2004-12-22 | 2010-01-26 | Applied Materials, Inc. | Cartesian robot cluster tool architecture |
US7699021B2 (en) | 2004-12-22 | 2010-04-20 | Sokudo Co., Ltd. | Cluster tool substrate throughput optimization |
US7819079B2 (en) | 2004-12-22 | 2010-10-26 | Applied Materials, Inc. | Cartesian cluster tool configuration for lithography type processes |
JP2007012859A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
KR100817969B1 (ko) | 2005-08-19 | 2008-03-31 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
JP4758846B2 (ja) * | 2005-11-18 | 2011-08-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 乾燥装置、乾燥方法、及び乾燥プログラム、並びに、これらを有する基板処理装置、基板処理方法、及び基板処理プログラム |
JP2007273819A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP4688741B2 (ja) * | 2006-06-26 | 2011-05-25 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
US20080053486A1 (en) * | 2006-08-10 | 2008-03-06 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor substrate cleaning apparatus |
US7980000B2 (en) * | 2006-12-29 | 2011-07-19 | Applied Materials, Inc. | Vapor dryer having hydrophilic end effector |
US20080155852A1 (en) * | 2006-12-29 | 2008-07-03 | Olgado Donald J K | Multiple substrate vapor drying systems and methods |
US7694688B2 (en) | 2007-01-05 | 2010-04-13 | Applied Materials, Inc. | Wet clean system design |
US7950407B2 (en) | 2007-02-07 | 2011-05-31 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for rapid filling of a processing volume |
US20080236639A1 (en) | 2007-03-27 | 2008-10-02 | Masahiro Kimura | Substrate treating apparatus |
JP4702324B2 (ja) * | 2007-05-30 | 2011-06-15 | 豊田合成株式会社 | Iii族窒化物半導体製造装置、およびiii族窒化物半導体の製造方法 |
JP4994211B2 (ja) * | 2007-12-20 | 2012-08-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
MX339068B (es) | 2008-08-22 | 2016-05-10 | Anthrogenesis Corp | Metodos y composiciones para el tratamiento de defectos oseos con poblaciones de celulas placentarias. |
JP5063560B2 (ja) | 2008-11-07 | 2012-10-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP6513361B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2019-05-15 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法 |
JP6801926B2 (ja) * | 2016-09-26 | 2020-12-16 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法及び基板処理装置 |
JP6710801B2 (ja) * | 2019-04-10 | 2020-06-17 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法 |
JP7349876B2 (ja) * | 2019-10-17 | 2023-09-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および装置洗浄方法 |
JP2023020268A (ja) * | 2021-07-30 | 2023-02-09 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4977688A (en) * | 1989-10-27 | 1990-12-18 | Semifab Incorporated | Vapor device and method for drying articles such as semiconductor wafers with substances such as isopropyl alcohol |
WO1991007239A1 (fr) * | 1989-11-21 | 1991-05-30 | Interface Technical Laboratories Co., Ltd. | Methode et appareil de sechage |
US6350322B1 (en) * | 1997-03-21 | 2002-02-26 | Micron Technology, Inc. | Method of reducing water spotting and oxide growth on a semiconductor structure |
US6164297A (en) * | 1997-06-13 | 2000-12-26 | Tokyo Electron Limited | Cleaning and drying apparatus for objects to be processed |
JPH1126423A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-01-29 | Sugai:Kk | 半導体ウエハ等の処理方法並びにその処理装置 |
US6401361B1 (en) * | 2000-11-15 | 2002-06-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Apparatus and method for drying wafers by a solvent |
-
2000
- 2000-09-28 JP JP2000296343A patent/JP3837016B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-09-25 US US09/962,961 patent/US6790291B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6790291B2 (en) | 2004-09-14 |
US20020036005A1 (en) | 2002-03-28 |
JP2002110621A (ja) | 2002-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3837016B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
KR100335322B1 (ko) | 반도체웨이퍼등의처리방법및그처리장치 | |
US6757989B2 (en) | Wafer drying apparatus | |
KR100435808B1 (ko) | 마란고니 방식 웨이퍼 건조 방법 및 그 방법에 적합한 장치 | |
KR20010049985A (ko) | 세정 기구와 세정 시스템과 처리 기구 및 세정 방법 | |
US7506457B2 (en) | Substrate treating apparatus | |
KR100480588B1 (ko) | 감압식건조장치및이를이용하는반도체장치건조방법 | |
US20060059708A1 (en) | Apparatus for cleaning semiconductor substrates | |
JP3556583B2 (ja) | 半導体基板洗浄・乾燥装置 | |
JP6228800B2 (ja) | 基板処理装置 | |
US20050045208A1 (en) | Apparatus and method for cleaning semiconductor substrates | |
JPH06163508A (ja) | 基板の乾燥方法および装置 | |
JP3999946B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP3892102B2 (ja) | 基板処理方法及び同装置 | |
JP2022059728A (ja) | 基板処理装置、及び基板処理方法 | |
JP3676756B2 (ja) | 基板の洗浄・乾燥処理装置 | |
JP3979691B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP3869671B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP3892786B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JPH05175185A (ja) | 半導体プロセス用のスピンドライヤ装置 | |
JPH09283489A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
WO2024095760A1 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP3348054B2 (ja) | 基板の洗浄・乾燥処理方法ならびにその処理装置 | |
JP3348053B2 (ja) | 基板の洗浄・乾燥処理方法ならびにその処理装置 | |
JP3804933B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050628 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050802 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060725 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060728 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3837016 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090804 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090804 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100804 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100804 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110804 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110804 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130804 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |