JP6778709B2 - 印刷配線板の製造方法 - Google Patents
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Description
印刷配線板の内部に剥離層を設ける技術では、副資材である剥離層を使用するため、部材コストおよび剥離層の形成コストが増えるという問題がある。また、この技術の場合、剥離層の上層と周辺の層との層構成のコントロールが難しく、さらに絶縁層や配線がたわみ、周囲の板厚も厚くなるという問題もある。また、ダミーパターンを設ける従来の技術では、最終的にダミーパターンをエッチングで除去するため、パッドに接続する配線が形成できず、キャビティに収容する電子部品と底部で回路配線を接続することが困難になる。
図10は本発明に係る一つの実施の形態の印刷配線板の構成を示す図である。
(絶縁層加工工程)
図1に示すように、絶縁樹脂層11の上面(第1の面)および下面(第2の面)にシード層12(例えば薄銅箔などの導電性金属箔)を積層形成する。またはシード層12を形成済みの絶縁樹脂層11を準備してもよい。シード層12は、例えば1μm〜10μm程度の厚みで絶縁樹脂層11の上面、下面のうち少なくとも下面に形成する。
この工程は、図3に示すように、絶縁樹脂層11の上面、下面に設けたシード層12の一部領域の上およびビアホール下穴14にパターンめっきを施して導体層16、17およびビア15を形成する工程である。
具体的には、シード層12上にドライフィルム13(めっきレジスト)をラミネート加工で貼り付けた上で、露光および現像して、上面の導体層16、ビア15などの回路部および下面の導電回路である導体層17を形成したい箇所のドライフィルム13を除去する。
パターンめっき処理の後、残ったドライフィルム13を剥離して、図4に示すように、シード層12を露出させる。
図4に示すように、絶縁樹脂層11の下面のシード層12および導体層17にドライフィルム18(感光性エッチングレジスト)をラミネート加工で貼り付けた後、露光および現像し、キャビティ形成領域65を含む範囲にドライフィルム18を残し、それ以外の箇所のドライフィルム18を除去する。露出させたシード層12のうちドライフィルム18外の導電回路として不要な箇所をフラッシュ・エッチングにより除去し、最後にドライフィルム18を剥離する。
この工程は、図6に示すように、コア基板51の上面に第1のビルドアップ層としてのビルドアップ層61を形成し、コア基板51の下面に第2のビルドアップ層としてのビルドアップ層62を形成する工程である。
この工程は、ビルドアップ層61の側からシード層12に向けてキャビティ形成領域65を積層方向にドリル加工して第1のビルドアップ層61を貫通しコア基板51内部のシード層12上に絶縁樹脂層11の一部を残して絶縁樹脂を除去してキャビティ20を形成する工程(ザグリ加工1)と、シード層12をレーザ光の遮蔽部材にして、キャビティ20に残した絶縁樹脂68をレーザ加工により除去し、シード層12をキャビティ20の底部に露出させる工程(ザグリ加工2)の2つの工程を有する。
この工程では、多層基板54の上方から、キャビティ形成領域65のビルドアップ層61を貫通してコア基板51内の絶縁樹脂層11までザグリ加工(ドリル加工とレーザ加工を併用した切削加工も可)して、コア基板51の下面のシード層12上に絶縁樹脂層11の一部を残して大半の絶縁樹脂を除去してキャビティ20を形成する。
この工程では、図8に示すように、キャビティ20の開口上方から矢印B方向にレーザ光を照射して、図7のドリル加工でキャビティ20底部に残した絶縁樹脂68を除去する。レーザ加工には、例えば炭酸ガスレーザ(CO2レーザ)やYAGレーザなどの加工用レーザが適用可能である。
その場合は、キャビティ20を保護するために、ドライフィルムなどで保護することが必要である。電着レジスト(EDなど)も使用できる。
この工程は、図10に示すように、キャビティ20の底部に露出したシード層12をフラッシュ・エッチングにより除去して、ビルドアップ層62の絶縁樹脂層62aの面79と絶縁樹脂に埋め込まれた導体層17の面とを露出させる工程である。
この工程では、図10のように形成した多層基板54の下部のビルドアップ層62の導体層64に対して、エッチングを行い一部領域を除去することで、図11に示すように、回路として導体層64aを形成する。また、基板上部のビルドアップ層61の導体層63に対してエッチングを行うことで一部領域を除去して回路配線または配線パターンとしての導体層63aを形成する。なお、外層回路の形成は、凹みや貫通孔の壁面への追従性が優れた電着レジストをエッチングレジストに用いたサブトラクティブ法を適用してもよい。なお電着レジストは、電着塗装の性質を応用したエッチングレジストである。
この工程では、図10に示したビルドアップ層61、62に対して導体層63a、64aの一部を含めて絶縁被膜し、図12に示すように、ソルダーレジスト71、72を形成する。ソルダーレジストは、ドライフィルムタイプ、液状タイプが使用可能である。
この工程以降は、部品実装ランドに段差が必要な場合に行うものとする。
この工程では、図13に示すように、キャビティ20の底部に露出した導体層17の上にめっきを施して金属めっき層80を形成し、底面から段差を持たせた部品実装ランドである接続パッドを形成する。
11…絶縁樹脂層
12…シード層
13、18…ドライフィルム
14…ビアホール下穴
15…ビア
16、17、63、64…導体層
20…キャビティ
51…コア基板
54…多層基板
61、62…ビルドアップ層
61a、61b、62a、62b…絶縁樹脂層
66…ドリル
68…絶縁樹脂
71、72…ソルダーレジスト
79…絶縁樹脂の面
80…金属めっき層
Claims (7)
- 第1の面および第2の面を有する絶縁樹脂の基板の前記第2の面に設けたシード層の一部領域の上にパターンめっきを施して導体層を形成する工程と、
前記基板の前記第1の面に第1の絶縁樹脂層を形成し、前記基板の前記第2の面に第2の絶縁樹脂層を形成する工程と、
前記第1の絶縁樹脂層の側から前記シード層の一部領域に向けて積層方向にドリル加工して前記基板内部の前記シード層の一部領域の上に前記絶縁樹脂の一部を残して前記基板の絶縁樹脂を除去してキャビティを形成する工程と、
前記シード層の一部領域をレーザ光の遮蔽部材にして、前記キャビティに残した絶縁樹脂の残部をレーザ加工により除去し、前記シード層の一部領域を前記キャビティの底部に露出させる工程と、
前記キャビティの底部に露出した前記シード層の一部領域をフラッシュ・エッチングにより除去して、前記第2の絶縁樹脂層の面と前記第2の絶縁樹脂層に埋め込まれた前記導体層の面とを露出させる工程と
を有することを特徴とする印刷配線板の製造方法。 - 前記絶縁樹脂を、前記基板の板厚の1/2以上でかつ前記シード層の一部領域に到達しない位置まで除去することを特徴とする請求項1記載の印刷配線板の製造方法。
- 第1の面および第2の面を有する絶縁樹脂の基板の前記第1の面に第1の絶縁樹脂層を形成し、前記基板の前記第2の面に第2の絶縁樹脂層を形成する工程と、
前記第2の絶縁樹脂層上に設けたシード層の一部領域の上にパターンめっきを施して導体層を形成する工程と、
前記第1の絶縁樹脂層上に第3の絶縁樹脂層を形成し、第2の絶縁樹脂層上と前記導体層上に第4の絶縁樹脂層を形成する工程と、
前記第3の絶縁樹脂層の側から前記シード層の一部領域に向けて積層方向にドリル加工して前記第3の絶縁樹脂層、前記第1の絶縁樹脂層、前記基板を貫通し前記第2の絶縁樹脂層内部の前記シード層の一部領域の上に前記第2の絶縁樹脂層の一部を残して前記第2の絶縁樹脂層の絶縁樹脂を除去してキャビティを形成する工程と、
前記シード層の一部領域をレーザ光の遮蔽部材にして、前記キャビティに残した第2の絶縁樹脂層の残部をレーザ加工により除去し、前記シード層の一部領域を前記キャビティの底部に露出させる工程と、
前記キャビティの底部に露出した前記シード層の一部領域をフラッシュ・エッチングにより除去して、前記第4の絶縁樹脂層の面と前記第4の絶縁樹脂層に埋め込まれた前記導体層の面とを露出させる工程と
を有することを特徴とする印刷配線板の製造方法。 - 前記第2の絶縁樹脂層を、前記第2の絶縁樹脂層の層間厚の1/2以上でかつ前記シード層の一部領域に到達しない位置まで除去することを特徴とする請求項3記載の印刷配線板の製造方法。
- 前記パターンめっきは、ニッケル、銅の順に連続して行うことを特徴とする請求項1乃至4いずれか1項に記載の印刷配線板の製造方法。
- 前記パターンめっきは、ニッケル、金、ニッケル、銅の順に連続して行うことを特徴とする請求項1乃至4いずれか1項に記載の印刷配線板の製造方法。
- 前記基板または前記第2の絶縁樹脂層の所定の領域にビアホール下穴を形成する工程と、
前記ビアホール下穴を含む前記領域にパターンめっきを施す工程と
を有することを特徴とする請求項1乃至6いずれか1項に記載の印刷配線板の製造方法。
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