JP6750848B2 - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents
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Description
吐出口を高密度に配置すると、吐出口まで液体を供給するための供給流路も微細に形成する必要がある。特許文献1は、微細な供給流路が形成された流路部材上に、素子基板を接合した構造のインクジェット液体吐出ヘッドが開示されている。
この課題に対して、供給口の配置によって圧力損失差を低減することが考えられる。
しかしながら、記録素子基板の端部に設けられた吐出口における圧力損失を低減するためには、液体の供給口を記録素子基板の端部に近づける必要がある。このため、液体吐出ヘッドの端部において流路部材の隔壁が薄くなり、強度が低下する場合があった。強度を増すために流路部材の隔壁を厚くすると、流路部材が大きくなり、液体吐出ヘッドが大型化してしまうという課題が生じてしまう。
そこで、本発明の目的は、流路部材の強度の低下および液体吐出ヘッドの大型化を抑制しつつ、吐出口ごとの圧力損失のばらつきを低減することが可能な液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を提供することである。
以下の各実施形態では、液体を吐出して記録を行う液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置について説明するが、本発明はかかる例に限定されない。例えば、本発明の液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置は、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置や、各種の処理装置と複合的に組み合わせた産業用記録装置に適用することができる。例えば産業用記録装置の一例としては、バイオチップ作製装置や、電子回路印刷装置などが挙げられる。
図1は、本発明を適用可能な液体吐出ヘッド3の構成例を示している。
図1(a)の液体吐出ヘッド3は、1つの液体吐出ユニット300を備えている。液体吐出ユニット300は、流路ユニット600上に配置されている。この液体吐出ヘッド3は、シリアルスキャン方式の記録装置に用いられる。この液体吐出ヘッド3を備える記録装置は、矢印Xで示される主走査方向に液体吐出ヘッド3を移動させつつ吐出口から液体を吐出する記録走査と、矢印Yで示される副走査方向に記録媒体を搬送する動作とを繰り返す。ここで主走査方向は、吐出口列14が延在する方向と交差(図1(a)では直交)する方向である。副走査方向は、主走査方向と交差する方向であり、図1(a)では主走査方向と直交する方向である。上記の動作により、この記録装置は、記録媒体上に画像を記録する。
図1(b)の液体吐出ヘッド3は、複数の液体吐出ユニット300を千鳥状に配置した長尺のラインヘッドである。この液体吐出ヘッド3は、複数の液体吐出ユニット300に共通して設けられる流路ユニット600を有している。この液体吐出ヘッド3は、フルライン方式の記録装置に用いられる。この液体吐出ヘッド3を備える記録装置は、吐出口列14が延在する方向と交差(図1(b)では直交)する方向である矢印Yの方向に連続的に記録媒体2を搬送しつつ、記録装置の定位置に固定された液体吐出ヘッド3から液体を吐出することで記録を行う。
図1(c)の液体吐出ヘッド3もまた、複数の液体吐出ユニット300を千鳥状に配置した長尺のラインヘッドである。この液体吐出ヘッド3は、流路ユニット600が液体吐出ユニット300のそれぞれに対して個別に設けられている点で図1(b)に示す液体吐出ヘッド3とは異なる。この液体吐出ヘッド3を備える記録装置もまた、吐出口列14が延在する方向と交差(図1(c)では直交)する方向である矢印Yの方向に連続的に記録媒体を搬送しつつ、記録装置の定位置に固定された液体吐出ヘッド3から液体を吐出することで記録を行う。
図1(d)の液体吐出ヘッド3は、複数の液体吐出ユニット300を直線上に一列に配置(インライン配置)した長尺のラインヘッドである。この液体吐出ヘッド3では、液体吐出ユニット300中の記録素子基板が隣接して直線上にインライン配置されている。液体吐出ヘッド3は、複数の液体吐出ユニット300に対して共通して設けられる流路ユニット600を有している。この液体吐出ヘッド3は、フルライン方式の記録装置に用いられる。
図1(e)の液体吐出ヘッド3は、複数の液体吐出ユニット300を一列にインライン配置した長尺のラインヘッドである。この液体吐出ヘッド3は、図1(d)とは異なり、流路ユニット600が液体吐出ユニット300のそれぞれに対して個別に設けられている。
図1(d)および図1(e)に示すインライン配置の長尺ヘッドは、図1(b)および図1(c)に示す千鳥配置の長尺ヘッドに比べて、ヘッドの大きさをコンパクトにすることができるというメリットがある。本発明は、図1(d)および図1(e)に示すインライン配置の長尺ヘッドに適用した場合その効果が大きいが、これらの実施形態に限定されるものではなく、任意の形態の液体吐出ヘッドに対して適用することができる。
図2は、本発明の液体吐出ヘッド3を適用可能な液体吐出装置の一例を示す図である。
図2(a)の記録装置は、図1(a)に示す液体吐出ヘッド3を用いるシリアルスキャン方式の記録装置である。この記録装置は、シャーシ1010と、搬送部1と、液体吐出ヘッド3と、給送部4と、キャリッジ5とを有する。シャーシ1010は、所定の剛性を有する複数の板状金属部材により構成されており、この記録装置の骨格を形成する。給送部4は、シート状の不図示の記録媒体2を記録装置の内部へ給送する。搬送部1は、給送部4から供給される記録媒体2を矢印Yで示される副走査方向に搬送する。キャリッジ5は、液体吐出ヘッド3を搭載して矢印Xで示される主走査方向に往復移動可能である。給送部4と、搬送部1と、キャリッジ5とは、シャーシ1010に組み付けられている。この記録装置は、キャリッジ5と共に液体吐出ヘッド3を矢印Xで示される主走査方向に移動させつつ、液体吐出ヘッド3の吐出口13から液体を吐出する記録走査と、記録媒体2を矢印Yで示される副走査方向に搬送する搬送動作とを繰り返す。これによって、記録媒体上に画像を記録する。液体吐出ヘッド3に対しては、不図示の液体タンクから液体が供給される。
図2(b)の記録装置は、図1(b)〜(e)に示したような長尺の液体吐出ヘッド3を備えているフルライン方式の液体吐出装置である。この記録装置は、シート状の記録媒体2を連続的に搬送する搬送部1を備えている。搬送部1は、図2(b)に示すように搬送ベルトを用いる構成であってもよいし、搬送ローラを用いる構成、転写ドラムからシートに転写する構成であってもよい。この記録装置は、液体吐出ヘッド3として、イエロー(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)、ブラック(Bk)のインクをそれぞれ吐出するための4つの液体吐出ヘッド3Y,3M,3C,3Bkが備えられている。4つの液体吐出ヘッド3Y,3M,3C,3Bkに対しては、それぞれ対応する色の液体が供給される。記録媒体2を連続的に搬送しながら、記録装置の定位置に固定された液体吐出ヘッド3から液体を吐出することによって、記録媒体2の上にカラー画像を連続的に記録することができる。
図2(c)は、液体吐出ヘッド3に対する液体の供給系を説明するための図である。液体供給ユニット6は、液体吐出ヘッド3に液体を供給すると共に、液体吐出ヘッド3から一部の液体を回収することができる。液体吐出ヘッド3は、流路ユニット600および液体吐出ユニット300を有する。流路ユニット600は、供給流路611を介して液体吐出ユニット300に液体を供給する。液体吐出ユニット300に供給された液体の一部は吐出口から記録媒体2に向けて吐出され、画像の記録に用いられ、一部は回収流路621を介して流路ユニット600に回収される。なお図示していないが、この液体吐出ヘッド3は、供給流路611から圧力室23を通って回収流路621へ向かう方向に液体流を発生させる液体流発生装置が備えられている。
上記で述べた記録装置の構成は一例であって、本発明の範囲を限定するものではない。例えば、液体吐出ヘッド3から液体供給ユニット6へ液体を回収する流路を設けない構成も考えられる。このとき、液体吐出ヘッド3は、液体供給ユニット6から供給される液体を一時的に貯留するサブタンクを有していてもよい。記録媒体2に向けて液体を吐出した後、液体吐出ヘッド3内の液体が減少すると、液体供給ユニット6からサブタンクへ液体が補充される。
図3は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド3の有する液体吐出ユニット300の構成を示す図である。液体吐出ユニット300は、記録素子基板100に支持部材225を接合した構成である。記録素子基板100は、吐出口形成部材221と、素子形成部材222と、液体供給路部材223と、蓋部材224とを有する。
吐出口形成部材221には、液体を吐出する複数の吐出口13が列状に並んで設けられており、吐出口列14を形成している。
素子形成部材222には、エネルギー発生素子15と、エネルギー発生素子15に液体を供給する個別供給路17aと、供給された液体の一部を回収する個別回収路17bとが形成されている。
液体供給路部材223には、複数の個別供給路17aと連通する液体供給路18と、複数の個別回収路17bと連通する液体回収路19とが形成されている。
蓋部材224には、液体供給路18と連通する複数の液体供給口21aと、液体回収路19と連通する複数の液体回収口21bとが形成されている。複数の液体供給口21aは、吐出口列14の方向と交差する方向(この例では直交する方向)に並設されている。同様に複数の液体回収口21bが、吐出口列14の方向と交差する方向に並設されている。
支持部材225には、液体供給口21aと連通し液体を供給する連通供給口26aと、液体回収口21bと連通し液体を回収する連通回収口26bとが形成されている。支持部材225は、記録素子基板100と熱膨張率が近く、連通供給口26aおよび連通回収口26bを高精度に形成することが可能な材料を用いることが好ましい。一例として、記録素子基板100がシリコンウェハを加工して形成されている場合、支持部材225は、シリコンやアルミナ、ガラスなどの材料を用いることが好ましい。この例では、液体吐出ユニット300は、記録素子基板100および支持部材225を有しているが、本発明はかかる例に限定されず、支持部材225を省略して記録素子基板100のみで液体吐出ユニット300が構成されてもよい。
図4は、記録素子基板100の断面斜視図である。吐出口形成部材221の一方の面は、記録素子基板100の一面を形成している。この面には、複数の吐出口13が列状に並設されており、吐出口列14を形成している。吐出口形成部材221の他方の面には、窪みが形成されており、この窪みによって吐出口形成部材221と素子形成部材222との間には、複数の圧力室23と呼ばれる空間が形成されている。圧力室23内において、各吐出口13と対応する位置には、エネルギー発生素子15が設けられている。素子形成部材222に設けられた個別供給路17aおよび個別回収路17bは、圧力室23と連通する。個別供給路17aは、液体供給路部材223に設けられた液体供給路18と連通しており、個別回収路17bは、液体供給路部材223に設けられた液体回収路19と連通している。液体供給路18は、液体供給口21aと連通しており、液体回収路19は、液体回収口21bと連通している。液体は、個別供給路17aから圧力室23に供給される。そして、圧力室23の内部の液体は、個別回収路17bから回収される。圧力室23の内部の液体は、圧力室23の外部との間で循環されていてもよい。即ち、個別供給路17a、圧力室、個別回収路17bと流れた液体が、再び個別供給路17aから圧力室23に流れる形態であってもよい。例えば、上述の液体流発生装置によって、個別供給路17aから圧力室23を通って個別回収路17bへ向かう方向に液体流を発生させることができる。
圧力室23内の液体が静的な状態にあるときには、圧力室23内の圧力は、吐出口13に液体のメニスカスが形成されるような負圧に保たれている。圧力室23内の圧力にばらつきが生じた場合には、液体の吐出速度や吐出量などが変化して、液体の吐出特性に影響が及ぶ。特に、圧力室23内の圧力が所定の圧力よりも低くなった場合、液体の吐出が困難となる。
図5は、本発明の一実施形態に係る流路ユニット600の構成を示している。この図では、液体吐出ユニット300と接合される面の側から見た構成が示されており、3つの液体吐出ユニット300に対して1つの流路ユニット600が設けられる構成である。流路ユニット600は、液体供給ユニット6から供給された液体を各液体吐出ユニット300に分配する。流路ユニット600は、3つの第1流路部材601と、第2流路部材602と、第3流路部材603と、第4流路部材604とを有する。第1流路部材601には、複数の供給流路611a、611bと、複数の回収流路621とが形成されており、液体吐出ユニット300のそれぞれに接合される。複数の供給流路611および回収流路621は、それぞれが第1流路部材601を厚み方向に貫通する流路である。第2流路部材602、第3流路部材603および第4流路部材604には、共通供給流路631および共通回収流路632が形成されている。第2流路部材602は、第1流路部材601に積層され、第1流路部材601が液体吐出ユニット300と接合される面と反対側の面に接合される。第3流路部材603は、第2流路部材602に積層して接合され、第4流路部材604は、第3流路部材603に積層して接合される。
第1〜第4流路部材601〜604は、液体に対して耐腐食性を有するとともに、線膨張率の低い材質からなることが好ましい。第1〜第4流路部材601〜604に用いることが可能な材質としては、例えば、母材にシリカ粒子やファイバーなどの無機フィラーを添加した複合材料(樹脂材料)が挙げられる。母材としては、例えば、アルミナ、LCP(液晶ポリマー)、PPS(ポリフェニルサルファイド)、PSF(ポリサルフォン)などを用いることができる。流路ユニット600は、各流路部材を積層させて互いに接着することにより形成されてもよいし、材質として樹脂複合材料を選択した場合には、各流路部材を積層させて溶着することにより形成することもできる。
第2〜第4流路部材602〜604は、液体吐出ヘッド3の強度を担保するために、高い機械強度を有する材質によって形成されることが好ましい。具体的には、SUS(ステンレス鋼)、Ti(チタン)、アルミナなどを用いることが好ましい。
図7は、図6のA−A断面図である。複数の液体吐出ユニット300のそれぞれに対して第1流路部材601が設けられており、第1流路部材601には複数の供給流路611が形成されている。複数の供給流路611のうち、吐出口列14に略平行な方向で最端部に位置する供給流路611aは、外側壁612が、液体吐出ユニット300と接合する面に近づくにつれて外側に向かう方向に傾斜している。この供給流路611aと第1流路部材601の縁端部との間の距離は、第2流路部材602に接合された面における距離よりも、液体吐出ユニット300に接合された面における距離の方が短い。供給流路611aと第1流路部材601の縁端部との間の距離は、例えば、供給流路611aの壁で最も第1流路部材601の縁端部から近い点と、第1流路部材601の縁端部との間の距離である。外側壁612は、厚み方向で液体吐出ユニット300に近づくほど、第1流路部材601の縁端部に近づいている。図7の例では、供給流路611aの壁のうち外側壁612以外の壁は、第1流路部材601の厚み方向と平行である。
図8は、流路ユニット600の変形例を示す図である。本実施形態では、第1流路部材601が記録素子基板100に対して1対1で対応して設けられており、第2〜第4流路部材602〜604は、複数の記録素子基板100および第1流路部材601にまたがって設けられている。しかしながら、本発明はかかる例に限定されず、流路ユニット600は、複数の記録素子基板100に対してそれぞれ1対1で対応して設けられてもよいし、複数の記録素子基板100に対して1つの流路ユニット600が設けられてもよい。或いは、1つの記録素子基板100に対して、複数の流路ユニット600を設けることも可能である。図8(a)には、記録素子基板100に対して第1流路部材601および第2流路部材602が1対1で対応して設けられており、第3流路部材603および第4流路部材604が複数の記録素子基板100にまたがって設けられた構成が示されている。図8(b)には、第1〜第4流路部材601〜604の全てが、記録素子基板100に対して1対1で対応して設けられた構成が示されている。このように、記録素子基板100に対応する流路部材の構成は任意の構成であってよく、本明細書中に示す流路ユニット600の材料や構成は、本発明の範囲を限定するものではない。
ここで本発明の効果について、比較例を用いて説明する。図9は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド3の第1流路部材601および第2流路部材602を含む一部を示す断面図である。図10は、本発明の比較例を示す断面図である。
第1流路部材601は、液体吐出ユニット300の連通供給口26aに連通する複数の供給流路611aおよび611bを有する。
これら複数の供給流路611のうち、第1流路部材601の最も縁端部に近い位置に設けられた供給流路611aの外側壁612は、比較例では、液体吐出ユニット300に接合する面に対して直交している。すなわち、外側壁612は、第1流路部材601の厚み方向に平行である。これに対して、本実施形態では、液体吐出ユニット300に接合する面に向かって外側に傾斜している。すなわち、外側壁612は、液体吐出ユニット300に近づくほど、第1流路部材601の縁端部に近づいている。
図10(a)に示す比較例の液体吐出ヘッド3は、液体吐出ユニット300に接合された面における供給流路611aの外側壁612の位置が、図9の例と同じである。すなわち、記録素子基板100に液体を供給する液体供給口21aの端部から記録素子基板100の端部までの距離Lが図9の例と同じである。しかしながら、図10(a)に示す比較例の液体吐出ヘッド3は、供給流路611aの壁が第1流路部材601の厚み方向に平行である。このような構成の比較例に対して、図9に示す構成では、距離Lを短くしつつ、第1流路部材601と第2流路部材602の接合界面の幅Dを大きくすることが可能である。このため、第1流路部材601と第2流路部材602との間の接合信頼性を高めることができる。
供給流路611aを第1流路部材601の厚み方向に平行に設けた場合、接合界面の幅Dを大きくするために、供給流路611aを中心に近づけて記録素子基板100の縁端部から離して配置することが考えられる。図10(b)は、図10(a)と比較して、供給流路611aを中心に近づけて記録素子基板100の縁端部から離して配置している。この場合、接合界面の幅Dを大きくすることはできるが、距離Lが大きくなり、液体が吐出口13に達するまでの距離にバラつきが生じてしまう。特に記録素子基板100の縁端部の吐出口13において液体供給圧力が小さくなってしまい、吐出口13ごとに吐出される液体の量が異なるなどの問題が生じてしまう。
距離Lを短くすることによる効果を、図11を用いてより具体的に説明する。図11は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド3の効果について説明するための図である。図11(a)は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド3の記録素子基板100を支持部材225側から見た透視図である。図11(b)は、図11(a)のA−A断面図である。図11(c)は、図11(b)の部分Cの拡大図である。液体供給口21aから供給された液体は、液体供給路18、個別供給路17a、圧力室23を通って吐出口13から吐出される。液体供給口21aから液体供給路18の縁端部までの距離を距離Lとする。ノズル密度は600dpiであり、吐出周波数は15kHz、液体の吐出量を5pL、液体の粘度は4cpとする。全ての吐出口13から液体を吐出しているときの最大流量は0.89μL毎秒となる。液体供給路18の幅aを160μ、高さbを300μmとする。この場合、液体供給口21aの直上にある吐出口13bと、最端部にある吐出口13aにおける液体供給圧力の差を比較する。距離Lを1.5mmから0.5mmにすると、液体供給圧力の差は、24mmAqから2.6mmAqへと10分の1程度に減少する。液体供給口21aから各吐出口13までの距離は、吐出口13毎に異なるが、距離Lが長い場合には特に記録素子基板100の縁端部に設けられた吐出口13で液体供給圧力が低下していた。このため、距離Lを短くすると、液体供給口21aから各吐出口までの距離の差を小さくすることができるため、液体供給圧力のばらつきが小さくなる。これにより、吐出される液体の量のバラつきを抑制することができ、記録する画像品位を向上させることができる。本実施形態では、距離Lを短くしつつ、接合界面の幅Dを大きくして液体吐出ヘッド3の強度を保つことができる。
供給流路611aを第1流路部材601の厚み方向に平行に設ける構成において、接合界面の幅Dを大きくするためには、第1流路部材601の縁端部の壁を厚くする必要がある。この構成において距離Lを短くするためには、図10(c)に示すように、第1流路部材601を記録素子基板100の縁端部よりも突出して設けることが考えられる。しかしながらこの場合、液体吐出ヘッド3のヘッド幅Wが大きくなり、液体吐出装置における液体吐出ヘッド3の占める体積が大きくなるため、設計の自由度が減少する。さらに液体吐出装置の外形寸法が増大するという問題が生じる。特に、図1(d)(e)および図7で示したような、記録素子基板100を一列にインライン配置した長尺のラインヘッドでは、第1〜第4流路部材601〜604の幅を液体吐出ユニット300の幅よりも狭くする必要がある。このため、インライン配置のラインヘッドでは、図10(c)に示す構成を採用することができない。
本実施形態に係る液体吐出ヘッド3の構成では、第1〜第4流路部材601〜604を液体吐出ユニット300の幅よりも狭くしつつ、液体吐出ヘッド3の強度を保ち、液体供給圧力のバラつきを抑制することができる。したがって、記録素子基板100をインライン配置した長尺のラインヘッドにも好適に用いることが可能である。
本実施形態の供給流路611aの構成は、第1流路部材601と第2流路部材602との間の接合信頼性が低下しやすい構成において採用することで、奏する効果が大きくなる。例えば、接合信頼性が低下しやすい構成の一例としては、図7に示したように、第1流路部材601を記録素子基板100毎に設けて、第2流路部材602を複数の記録素子基板100に共通して設ける構成が挙げられる。この構成では、長尺の第2流路部材602を基準にして個別の第1流路部材601を配列して接合する。したがって、第1流路部材601のずれが大きくなりやすく、接合界面の幅Dが小さい場合、接合の信頼性を確保することが難しい。接合信頼性が低下しやすい構成の他の一例としては、第1流路部材601と第2流路部材602とを異なる材料、特に線膨張率が異なる材料で形成する構成が挙げられる。第1流路部材601と第2流路部材602とを、線膨張率が異なる材料で形成する場合には、流路ユニット600が熱膨張によって変形し、接合界面の信頼性が低下することが考えられる。
本発明の第1流路部材601の変形例について、図12〜図15に示す。図12は、本発明の変形例に係る液体吐出ヘッド3の一部を示し、記録素子基板100、支持部材225、第1流路部材601および第2流路部材602の分解図である。図13は、図12のA−A線において切断した液体吐出ヘッド3の断面構成を示す図である。図14は、図12のB−B線において切断した液体吐出ヘッド3の断面構成を示す図である。図15は、図12のC−C線において切断した液体吐出ヘッド3の断面構成を示す図である。
図13(a)は、供給流路611の構成の一例を示している。この例において、最も端に位置する供給流路611aの外側壁612は外側に向いて傾き、内側壁613は厚み方向に平行である。このような構成は、第1流路部材601と第2流路部材602の接合界面を広く確保しながら、供給流路611aの流抵抗を小さくすることができる。
図13(b)は、供給流路611の構成の他の一例を示している。この例において、最も端に位置する供給流路611aの内側壁613は、外側壁612と同じ方向に傾いており、供給流路611aの全体が傾いている(チルト状)。この構成では、供給流路611a内における気泡の滞留が抑制される。なお、「同じ方向」とは、平行であることまでは意味しない。すなわち、外側壁612が外に向かって傾いていれば、内側壁613も外に向かって傾いていることを意味する。
図13(c)は、供給流路611の構成の他の一例を示している。この例において、最も端に位置する供給流路611aの内側壁613は、外側壁612と逆側に傾いており、供給流路611aはテーパ形状である。この構成は、流路ユニット600と液体吐出ユニット300との間の接合界面が小さくなる一方で、流抵抗および気泡の除去性に優れている。
図13(d)は、供給流路611の構成の他の一例を示している。この例において、供給流路611は、複数の部材で形成されている。その外側壁612は、厚み方向で液体吐出ユニット300に接合された面に近づくにつれて、段階的に第1流路部材601の端部に近づいている。このように、外側壁612が連続的に第1流路部材601の端部に近づくように傾斜している構成だけでなく、段階的に近づく構成であってもよい。供給流路611aの構成は、供給流路611aと第1流路部材601の縁端部との間の距離が、第2流路部材602に接合された面における距離よりも、液体吐出ユニット300に接合された面における距離の方が短ければよい。厚み方向で液体吐出ユニット300に近づくにつれて、外側壁612が連続的又は段階的に第1流路部材601の端部に近づくように傾斜している構成だけでなく、図示していないが、部分的に上記の構成を満たさない場合も本願発明の技術的思想の範囲内である。
図14(a)は、回収流路621の構成の一例を示している。この例において、回収流路621は、第1流路部材601の厚み方向に平行に延在している。言い換えると、回収流路621は、記録素子基板100の面に対して垂直に延びている。図14(b)は、回収流路621の他の一例を示している。この例において、回収流路621は、図13(b)に示した供給流路611aと同様に、全体が傾いている(チルト状)。図14(c)は、回収流路621の他の一例を示している。この例において、回収流路621は、図13(c)に示した供給流路611aと同様に、内側壁613が外側壁612と逆方向に傾いたテーパ形状になっている。
図15は、吐出口列14に交差する方向における供給流路611および回収流路621の断面構成を示している。吐出口列14に交差する方向においても、供給流路611および回収流路621は、図15(a)に示すように、記録素子基板100の面に対して垂直な方向に延びていてもよいし、図15(b)に示すように、外側に傾いていてもよい。或いは、供給流路611および回収流路621は、吐出口列14に交差する方向において、テーパ形状であってもよい。
第1流路部材601および第2流路部材602の作成方法は、任意の方法を用いることができる。例えば、図13(a)、(c)に示した供給流路611aのような形状の流路を設ける場合、モールド形成を用いることが効率的である。図13(b)に示すように、流路自体が傾斜した構造の場合、樹脂、金属などのバルク材料から供給流路611aを切削加工して形成することもできる。或いは、図13(d)に示すように、複数の部材を組合せて接着することにより、全体として外側壁612を傾斜させることもできる。
13 吐出口
15 エネルギー発生素子
18 個別供給路
23 圧力室
300 液体吐出ユニット
601 第1流路部材
602 第2流路部材
611 供給流路
612 外側壁
Claims (8)
- 吐出口から液体を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を内部に備える複数の圧力室と、各圧力室に液体を供給するための複数の個別供給路とを備える液体吐出ユニットと、
前記液体吐出ユニットに接合され、厚み方向に貫通する流路であって前記個別供給路に連通する複数の供給流路を有する第1流路部材と、
前記第1流路部材の前記液体吐出ユニットに接合された面と反対側の面に接合された第2流路部材と、を備え、
前記第1流路部材に形成された前記複数の供給流路のうち最も端に位置する供給流路と前記第1流路部材の縁端部との間の距離は、前記第2流路部材に接合された面における距離よりも前記液体吐出ユニットに接合された面における距離の方が短く、
前記第1流路部材に形成された前記複数の供給流路のうち最も端に位置する供給流路の外側壁は、厚み方向で前記液体吐出ユニットに接合された面に近づくにつれて、当該第1流路部材の縁端部に近づいており、
前記第1流路部材に形成された前記複数の供給流路のうち最も端に位置する供給流路は、内側壁が前記外側壁と同じ方向に傾いていることを特徴とする、液体吐出ヘッド。 - 吐出口から液体を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を内部に備える複数の圧力室と、各圧力室に液体を供給するための複数の個別供給路とを備える液体吐出ユニットと、
前記液体吐出ユニットに接合され、厚み方向に貫通する流路であって前記個別供給路に連通する複数の供給流路を有する第1流路部材と、
前記第1流路部材の前記液体吐出ユニットに接合された面と反対側の面に接合された第2流路部材と、を備え、
前記第1流路部材に形成された前記複数の供給流路のうち最も端に位置する供給流路と前記第1流路部材の縁端部との間の距離は、前記第2流路部材に接合された面における距離よりも前記液体吐出ユニットに接合された面における距離の方が短く、
前記液体吐出ユニットは、それぞれが前記エネルギー発生素子と、前記圧力室と、前記供給流路とを備える複数の素子基板を有し、
前記複数の素子基板が隣接して直線上に配置されており、
前記素子基板に対して前記第1流路部材が1対1で対応して配置されていることを特徴とする、液体吐出ヘッド。 - 前記第2流路部材は、複数の前記第1流路部材に渡って設けられている、請求項2に記載の液体吐出ヘッド。
- 吐出口から液体を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を内部に備える複数の圧力室と、各圧力室に液体を供給するための複数の個別供給路とを備える液体吐出ユニットと、
前記液体吐出ユニットに接合され、厚み方向に貫通する流路であって前記個別供給路に連通する複数の供給流路を有する第1流路部材と、
前記第1流路部材の前記液体吐出ユニットに接合された面と反対側の面に接合された第2流路部材と、を備え、
前記第1流路部材に形成された前記複数の供給流路のうち最も端に位置する供給流路と前記第1流路部材の縁端部との間の距離は、前記第2流路部材に接合された面における距離よりも前記液体吐出ユニットに接合された面における距離の方が短く、
前記液体吐出ユニットは、前記圧力室に供給された液体を回収する個別回収路を有することを特徴とする、液体吐出ヘッド。 - 前記個別供給路から前記圧力室を通って前記個別回収路へ向かう方向に液体流を発生させる液体流発生装置を備える、請求項4に記載の液体吐出ヘッド。
- 吐出口から液体を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を内部に備える複数の圧力室と、各圧力室に液体を供給するための複数の個別供給路とを備える液体吐出ユニットと、
前記液体吐出ユニットに接合され、厚み方向に貫通する流路であって前記個別供給路に連通する複数の供給流路を有する第1流路部材と、
前記第1流路部材の前記液体吐出ユニットに接合された面と反対側の面に接合された第2流路部材と、を備え、
前記第1流路部材に形成された前記複数の供給流路のうち最も端に位置する供給流路と前記第1流路部材の縁端部との間の距離は、前記第2流路部材に接合された面における距離よりも前記液体吐出ユニットに接合された面における距離の方が短く、
前記圧力室の内部の液体は、前記圧力室の外部との間で循環されることを特徴とする、液体吐出ヘッド。 - 前記第1流路部材と前記第2流路部材とは、異なる材料で形成されている、請求項1から6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする、液体吐出装置。
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