JP7135627B2

JP7135627B2 - ヘッド

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Publication number: JP7135627B2
Application number: JP2018170938A
Authority: JP
Inventors: 泰介水野
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 2018-09-12
Filing date: 2018-09-12
Publication date: 2022-09-13
Anticipated expiration: 2038-09-12
Also published as: US20200079088A1; US10864728B2; JP2020040345A; US11440320B2; US20210086513A1

Description

本発明は、ヘッドに関する。

従来のヘッドを有する装置として、特許文献１のインクジェットプリンタが知られている。このインクジェットプリンタは、流体チャンバ、流体入口ポート及び流体出口ポートを有している。流体チャンバはその下部にてノズルに連通し、流体入口ポート及び流体出口ポートは流体チャンバの上部の離隔した位置に形成されている。

また、流体入口ポートと流体出口ポートとの間であって、振動板を介して流体チャンバの上方には、アクチュエータが設けられている。このようなヘッドは、インクが流体入口ポートから流体チャンバに流入し、アクチュエータにより振動板が変位することにより流体チャンバを介してノズルから吐出される。また、吐出されなかったインクは流体チャンバから流体出口ポートへ流出して循環している。

ＷＯ２０１６／１９３７４９号公報

上記特許文献１のインクジェットプリンタでは、流体入口ポート及び流体出口ポートのそれぞれに接続される流路とアクチュエータとの間に隔壁が設けられる。隔壁は、各流路からアクチュエータへのインク漏れを防止している。この隔壁の厚みを、ヘッドの小型化の要望に応じて小さくすると、流路からアクチュエータ側へインクがリークする恐れがある。

一方、ヘッドの小型化を図りつつ隔壁の厚みを大きくすると、上記流路間スペースが小さくなる。このため、アクチュエータ及び振動板も小型化せざるを得ず、その分、活性部が狭くなる。これにより、振動板の変位が小さくなり、ノズルから吐出されるインクの量が所望量よりも少なくなってしまう。

本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、全体寸法の大型化を抑制しつつ、圧電素子への液体のリークを防止し、かつ、液体の吐出量の減少を抑制することができるヘッドを提供することを目的としている。

本発明のある態様に係るヘッドは、ノズルに連通する個別流路が形成された第１プレートと、前記第１プレートにおける前記ノズル側とは反対側に積層された第２プレートと、
積層方向から見て前記個別流路の圧力室と重なる位置に振動板を介して配置された圧電素子と、を備え、前記第２プレートは、前記圧電素子を収容する収容空間と、前記収容空間を挟む位置にて前記積層方向に延設され、前記個別流路にそれぞれ連通する一対の連通流路と、を有し、一対の前記連通流路の内周面において互いに近接する部分どうしの間隔は、前記積層方向において前記個別流路に近い前記連通流路の一方端側が他方端側よりも広い。

この構成によれば、収容空間は圧力室に積層され、振動板は収容空間と圧力室との間に設けられているため、これらは一対の循環流路の間において圧力室の近傍に配置されている。積層方向において圧力室に近い側の一対の循環流路の間隔が、圧力室から遠い側よりも広く設けられている。これにより、ヘッドの大型化を抑制しながら、収容空間と循環流路との隔壁の厚み、及び、振動板の幅を広く採ることができる。よって、液体のリークを防止しながら、液体の吐出量の減少を抑制することができる。

本発明は、以上に説明した構成を有し、全体寸法の大型化を抑制しつつ、圧電素子への液体のリークを防止し、かつ、液体の吐出量の減少を抑制することができるという効果を奏する。

本発明の上記目的、他の目的、特徴、及び利点は、添付図面参照の下、以下の好適な実施態様の詳細な説明から明らかにされる。

本発明の実施の形態１に係るヘッドを備える液体吐出装置を概略的に示す図である。図１のヘッドを吐出面側から視た図である。図２のＡ－Ａ線に沿って切断したヘッドの一部を示す断面図である。本発明の実施の形態１の変形例１に係るヘッドを示す断面図である。本発明の実施の形態２に係るヘッドを示す断面図である。本発明の実施の形態３に係るヘッドを示す断面図である。本発明の実施の形態４に係るヘッドを示す断面図である。本発明の実施の形態４の変形例２に係るヘッドを示す断面図である。本発明の実施の形態４の変形例２に係るヘッドを示す断面図である。本発明の実施の形態４の変形例２に係るヘッドを示す断面図である。本発明の実施の形態５に係るヘッドを示す断面図である。

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら具体的に説明する。

（実施の形態１）
＜液体吐出装置の構成＞
図１に示すように、実施の形態１に係るヘッド１１を備える液体吐出装置１０は、液体を吐出する装置であって、例えば、インクジェットプリンタが挙げられる。液体吐出装置１０は、プラテン１２、搬送機構１３及びラインヘッド１４を備えている。

プラテン１２は、用紙１５が載置される台である。搬送機構１３は、搬送方向にプラテン１２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１３ａを有しており、この搬送ローラ１３ａによって用紙１５を搬送方向に搬送する。

ラインヘッド１４は、用紙１５が搬送される方向（搬送方向）に直交する方向（直交方向）における用紙１５の長さ以上の長さを有している。ラインヘッド１４には、複数のヘッド１１が設けられている。ヘッド１１は吐出プレート２０を有し、吐出プレート２０の吐出面２１には複数の吐出口２２が開口し、複数の吐出口２２は配列方向に配列している。なお、ヘッド１１の詳細については後述する。また、この実施の形態では、配列方向が搬送方向に直交するように吐出口２２が配列されているが、配列方向は搬送方向に交差して設けられていてもよい。

各吐出口２２には、タンク１６が接続されている。タンク１６は、ラインヘッド１４上に配置されたサブタンク１６ａ、及び、サブタンク１６ａにチューブ１７によって接続された貯留タンク１６ｂを有している。このサブタンク１６ａ及び貯留タンク１６ｂに液体が貯留されている。タンク１６は、吐出口２２から吐出される液体の色の数に応じて設けられ、例えば、４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）の液体に対して４つのタンク１６が設けられている。これにより、ラインヘッド１４は複数種類の液体を吐出する。

このように、ラインヘッド１４が移動せずに固定されて、複数の吐出口２２から液体を吐出する。この吐出と共に、搬送機構１３により用紙１５を搬送方向に搬送する。これによって、用紙１５に画像が記録される。なお、ラインヘッド１４に代えて、シリアルヘッドであってもよい。

＜ヘッドの構成＞
ヘッド１１は、図２及び図３に示すように、吐出プレート２０、第１プレート（圧力室プレート３０）、振動板４０、第２プレート（収容プレート５０）及びマニホールドプレート６０を有している。各プレートは、例えば、矩形状の平板であって、シリコン、樹脂及び金属により形成されている。

これらのプレートは、この順で積層されており、互いに接着剤により接合されている。この積層される方向（積層方向）は、配列方向及び幅方向に直交し、幅方向は配列方向に直交している。なお、積層方向において、圧力室プレート３０よりも吐出プレート２０側を下側とし、その反対側を上側として説明する。但し、ヘッド１１の配置はこれに限定されない。

吐出プレート２０は、複数のノズル２３が積層方向に貫通して形成されている。吐出プレート２０の下面は、ノズル２３が開口する吐出面２１であって、この開口は、液体が吐出する吐出口２２である。

複数の吐出口２２は、配列方向に並んで吐出口列２４を形成している。吐出口列２４は、例えば、８列、幅方向に並んでいる。幅方向において互いに隣接する一対の吐出口列２４が１色の液体が対応し、４対の吐出口列２４は４色（例えば、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）の液体をそれぞれ吐出する。

第１プレートは、複数の圧力室３１が形成された圧力室プレート３０である。複数の圧力室３１は複数のノズル２３にそれぞれ接続されている。このため、圧力室３１は、ノズル２３に一対一で連通する個別流路に含まれる。

なお、ここでは個別流路として圧力室３１を例示している。但し、個別流路は、ノズル２３に連通し、圧力室プレート３０に形成されており、且つ、ノズル２３毎に設けられた流路であれば、圧力室３１に限定されない。

圧力室３１は、ノズル２３に連通するように圧力室プレート３０を積層方向に貫通して形成されており、ノズル２３側が吐出プレート２０に覆われている。圧力室３１は、例えば、直方体形状であって、配列方向よりも幅方向へ長く延びている。例えば、積層方向に直交する方向において、圧力室３１の中央にノズル２３が配置されている。

複数の圧力室３１は、配列方向に列を成して並んで圧力室列３２を形成し、複数（この実施の形態では、８本）の圧力室列３２が幅方向に並んでいる。この複数の圧力室列３２のうち、互いに隣接する２本の圧力室列３２において、一方が第１圧力室列３２ａであって、他方が第２圧力室列３２ｂである。この第１圧力室列３２ａ及び第２圧力室列３２ｂは同じタンク１６（図１）にそれぞれ接続されている。

振動板４０は、圧力室３１においてノズル２３側と反対側を覆う板であって、例えば、弾性膜４１及び絶縁体膜４２を有している。弾性膜４１は、積層方向に弾性変形可能であって、圧力室プレート３０の上面上に配置されている。絶縁体膜４２は、電気絶縁材料により形成されており、弾性膜４１の上面を覆っている。振動板４０には、圧力室３１に連通する接続路４３が設けられている。

収容プレート５０は、圧力室プレート３０におけるノズル側（下側）とは反対側（上側）に積層されている。収容プレート５０は、振動板４０の上面に積層され、一対の連通流路（第１連通流路８０及び第２連通流路９０）並びに収容空間５１が設けられている。第１連通流路８０及び第２連通流路９０は振動板４０の接続路４３を介して圧力室３１に連通している。なお、第１連通流路８０及び第２連通流路９０の詳細については後述する。

収容空間５１は、収容プレート５０の内部空間であって、振動板４０に対向する下面から上方へ窪むように形成されている。例えば、収容空間５１は、直方体形状であって、配列方向に並ぶ複数の圧電素子７０を覆うように配列方向に長く延びている。このため、収容空間５１には、複数の圧電素子７０が収容されている。

圧電素子７０は、積層方向から見て圧力室３１と重なる位置に振動板４０を介して配置されている。圧電素子７０は、共通電極７１、圧電体７２及び個別電極７３を有し、これらはこの順で積層されている。共通電極７１は、複数の圧電素子７０に共通の電極であって、振動板４０を全体的に覆うように振動板４０の上面上に積層されている。圧電体７２及び個別電極７３は、圧力室３１毎に設けられ、圧力室３１上に配置されている。

このような圧電素子７０の個別電極７３に電圧が印加されると、圧電体７２が変形し、それに応じて振動板４０が積層方向に変位する。この振動板４０が圧力室３１側に変位することにより、圧力室３１の容積が減少し、圧力室３１内の液体に圧力が付与されて、圧力室３１に連通するノズル２３から液体が吐出される。

マニホールドプレート６０には、複数のマニホールドが設けられている。複数のマニホールドは複数の第１マニホールド６１及び複数の第２マニホールド６２を有しており、これらは幅方向に並んで配置されている。

第１マニホールド６１は、配列方向に延びて、配列方向に配列された複数の第１連通流路８０のそれぞれに連通している。第２マニホールド６２は、配列方向に延びて、配列方向に配列された複数の第２連通流路９０のそれぞれに連通している。また、第１マニホールド６１及び第２マニホールド６２はサブタンク１６ａにそれぞれ接続されている。

これにより、液体は、貯留タンク１６ｂからサブタンク１６ａを介して第１マニホールド６１に流入し、さらに、第１マニホールド６１から第１連通流路８０を介して圧力室３１に供給される。そして、液体の一部は、圧力室３１からノズル２３を介して吐出される。一方、吐出されなかった液体は、圧力室３１から第２連通流路９０により第２マニホールド６２を介してサブタンク１６ａに排出される。

このようにして、第１マニホールド６１、第１連通流路８０、圧力室３１、第２連通流路９０及び第２マニホールド６２は、液体が循環する循環経路を形成する。この循環経路において、第１連通流路８０は、第１マニホールド６１から圧力室３１へ向かって液体が流れる供給路であり、第２連通流路９０は、圧力室３１から第２マニホールド６２へ向かって液体が流れる帰還路である。なお、第１連通流路８０が帰還路であって、第２連通流路９０が供給路であってもよい。

＜第１連通流路及び第２連通流路の構成＞
対を成す１本の第１連通流路８０と１本の第２連通流路９０とは、幅方向において、その間に収容空間５１を挟むように配置されている。第１連通流路８０と収容空間５１との間、及び、第２連通流路９０と収容空間５１との間には、間隔が空けられており、そこに隔壁が設けられている。

この第１連通流路８０及び第２連通流路９０は、圧力室３１毎に設けられおり、積層方向において圧力室３１に重なり連通するように配置され、収容プレート５０を積層方向に貫通している。

第１連通流路８０は、積層方向に延び、その一端（下側開口端８１ａ）が接続路４３を介して圧力室３１に接続され、他端（上側開口端８２ａ）が第１マニホールド６１に接続されている。第２連通流路９０は、積層方向に延び、その一端（下側開口端９１ａ）が接続路４３を介して圧力室３１に接続され、他端（上側開口端９２ａ）が第２マニホールド６２に接続されている。

幅方向において、第１連通流路８０の下側開口端８１ａが圧力室３１の一方端部に接続され、第２連通流路９０の下側開口端９１ａが圧力室３１の他方方端部に接続されている。これにより、一対の連通流路は、圧力室３１の長手方向（幅方向）の端部にそれぞれ接続されている。これにより、液体は、例えば、第１連通流路８０から圧力室３１の一方端部に流入し、圧力室３１の他方端部から第２連通流路９０に流出する。このため、長手方向において圧力室３１の端から端まで液体が流れるため、圧力室３１における液体の滞留を抑制することができる。

また、第２連通流路９０（帰還路）の上側開口端９２ａは、第２マニホールド６２の短手方向（幅方向）の中央に接続されている。これにより、短手方向において第２マニホールド６２の中央ほど帰還路に流れる液体の速度が速いため、液体に混入した気泡を第２連通流路９０から第２マニホールド６２へ排出しやすい。よって、気泡により流体の流れが阻害されることを防止することができる。

さらに、第１連通流路８０は、第１流路部分８１及び第２流路部分８２を有している。第１流路部分８１は、例えば、円柱形状であって、積層方向に延びる中心軸（第１部分軸８３）、及び、第１部分軸８３の周囲を取り囲む第１内周面８４を有し、積層方向と直交する方向の寸法である径寸法（第１径寸法ｒ１）が積層方向に一定である。第１流路部分８１は、収容プレート５０の下面に開口する開口端（下側開口端８１ａ）、及び、下側開口端８１ａとは反対側の上側端部８１ｂを有している。

第２流路部分８２は、例えば、円柱形状であって、積層方向に延びる中心軸（第２部分軸８５）、及び、第２部分軸８５の周囲を取り囲む第２内周面８６を有し、径寸法（第２径寸法ｒ２）が積層方向に一定である。第２流路部分８２は、収容プレート５０の上面に開口する開口端（上側開口端８２ａ）、及び、上側開口端８２ａとは反対側の下側端部８２ｂを有している。

第１流路部分８１は第２流路部分８２よりも下側に設けられており、第１流路部分８１の上側端部８１ｂと第２流路部分８２の下側端部８２ｂとは接続されている。これにより、第１流路部分８１と第２流路部分８２とは互いに連通している。このため、例えば、第１流路部分８１を収容プレート５０の下面からエッチングし、第２流路部分８２を収容プレート５０の上面からエッチングして、第１連通流路８０を形成することができる。

積層方向において、第１流路部分８１の寸法（高さ）は収容空間５１の高さよりも高く、第２流路部分８２は収容空間５１よりも上側に配置されている。これにより、第１流路部分８１と収容空間５１との間に隔壁が設けられている。

第１流路部分８１の第１部分軸８３と第２流路部分８２の第２部分軸８５とは同軸であって、１本の第１連通流路８０の中心軸を形成する。第１流路部分８１の第１径寸法ｒ１は、第２流路部分８２の第２径寸法ｒ２よりも小さい。このため、第１流路部分８１と第２流路部分８２との間には段差が設けられており、円環状の段差面により第１流路部分８１の第１内周面８４と第２流路部分８２の第２内周面８６とは接続されている。

第２連通流路９０も、第１流路部分９１及び第２流路部分９２を有している。この第２連通流路９０の第１流路部分９１、下側開口端９１ａ、上側端部９１ｂ、第２流路部分９２、上側開口端９２ａ、下側端部９２ｂ、第１部分軸９３、第１内周面９４、第２部分軸９５及び第２内周面９６は、第１連通流路８０の第１流路部分８１、下側開口端８１ａ、上側端部８１ｂ、第２流路部分８２、上側開口端８２ａ、下側端部８２ｂ、第１部分軸８３、第１内周面８４、第２部分軸８５及び第２内周面８６とそれぞれと同様である。このため、これらの説明は省略する。

これにより、幅方向において、第１流路部分８１と第１流路部分９１とが互いに間隔を空けて並べられ、第２流路部分８２と第２流路部分９２とが互いに間隔を空けて並べられている。第１流路部分８１と第１流路部分９１との中央に収容空間５１が配置されており、第１流路部分８１の下側開口端８１ａと収容空間５１との間隔は第１流路部分９１の下側開口端９１ａと収容空間５１との間隔と等しい。この第１流路部分８１及び第１流路部分９１の各第１径寸法ｒ１は、第２流路部分８２及び第２流路部分９２の各第２径寸法ｒ２よりも小さい。例えば、第１径寸法ｒ１は３５μｍであり、第２径寸法ｒ２は５０μｍである。

ここで、第１流路部分８１の第１内周面８４のうち第１流路部分９１に最も近い部分（第１近接部分８４ａ）と、第１流路部分９１の第１内周面９４のうち第１流路部分８１に最も近い部分（第１近接部分９４ａ）との間隔を第１離隔寸法Ｄ１とする。また、第２流路部分８２の第２内周面８６のうち第２流路部分９２に最も近い部分（第２近接部分８６ａ）と、第２流路部分９２の第２内周面９６のうち第２流路部分８２に最も近い部分（第２近接部分９６ａ）との間隔を第２離隔寸法Ｄ２とする。例えば、第１離隔寸法Ｄ１は５００μｍであり、第２離隔寸法Ｄ２は４８５μｍである。

この第１離隔寸法Ｄ１は、第１流路部分８１と第１流路部分９１と間隔のうち最短距離の間隔であり、第２離隔寸法Ｄ２は、第２流路部分８２と第２流路部分９２と間隔のうち最短距離の間隔である。このとき、第１離隔寸法Ｄ１は第２離隔寸法Ｄ２よりも広くなる。また、幅方向において、第１離隔寸法Ｄ１に設けられた隔壁も第２離隔寸法Ｄ２に設けられた隔壁よりも広くなる。よって、一対の連通流路の内周面において互いに近接する部分どうしの間隔は、積層方向において個別流路に近い連通流路８０、９０の一方端側（下側開口端８１ａ、９１ａ）が、一方端側よりも個別流路から遠い他方端側（上側開口端８２ａ、９２ａ側）よりも広くなっている。

これにより、ヘッド１１の大型化を抑制し、且つ、幅方向における収容空間５１の寸法が小さくなることを抑制しながら、第１流路部分８１と収容空間５１との間の隔壁、及び、第１流路部分９１と収容空間５１との間の隔壁の寸法を広く採ることができる。このため、第１流路部分８１及び第１流路部分９１を流れる液体が収容空間５１へリークすることを防止することができる。また、圧電素子７０及び振動板４０の活性部が小さくならず、ノズル２３から吐出される液体の量が所望量よりも少なくなることを防ぐことができる。

＜変形例１＞
上記図２では、第１連通流路８０において第１部分軸８３と第２部分軸８５とが同軸であって、第２連通流路９０において第１部分軸９３と第２部分軸９５とが同軸に設けられていたが、各軸の位置関係はこれに限定されない。例えば、図４に示すように、一対の第１流路部分１８１、１９１の第１部分軸１８３、１９３間の離隔寸法は、一対の第２流路部分１８２、１９２の第２部分軸１８５、１９５間の離隔寸法よりも大きくなるように、第１流路部分１８１、１９１及び第２流路部分１８２、１９２が配置されていてもよい。

具体的には、第１連通流路１８０は下側開口端１８１ａ及び上側開口端１８２ａを有し、第１流路部分１８１及び第２流路部分１８２は上側端部１８１ｂと下側端部１８２ｂとにより接続されている。第２連通流路１９０は下側開口端１９１ａ及び上側開口端１９２ａを有し、第１流路部分１９１及び第２流路部分１９２は上側端部１９１ｂと下側端部１９２ｂとにより接続されている。

第１連通流路１８０の第１部分軸１８３は第２部分軸１８５よりも第２連通流路１９０側と反対側に配置されている。第２連通流路１９０の第１部分軸１９３は第２部分軸１９５よりも第１連通流路１８０側と反対側に配置されている。このため、第１近接部分１８４ａと第１近接部分１９４ａとの第１離隔寸法Ｄ１は、第２近接部分１８６ａと第２近接部分１９６ａとの第２離隔寸法Ｄ２よりも広くなる。

ここで、幅方向において、第１連通流路１８０における第１流路部分１８１の第１内周面１８４のうち第２連通流路１９０から最も遠い部分（第１遠隔部分１８４ｂ）と、第２流路部分１８２の第２内周面１８６のうち第２連通流路１９０から最も遠い部分（第２遠隔部分１８６ｂ）とは、積層方向に直線状に並ぶように配置されている。同様に、幅方向において、第２連通流路１９０における第１流路部分１９１の第１内周面１９４のうち第１連通流路１８０から最も遠い部分（第１遠隔部分１９４ｂ）と、第２流路部分１９２の第２内周面１９６のうち第１連通流路１８０から最も遠い部分（第２遠隔部分１９６ｂ）とは、積層方向に直線状に並ぶように配置されている。よって、第１離隔寸法Ｄ１は第２離隔寸法Ｄ２よりも広くなっている。

このように、一対の連通流路の内周面において互いに近接する部分どうしの間隔は、積層方向において個別流路に近い連通流路１８０、１９０の一方端側（下側開口端１８１ａ、１９１ａ）が他方端側（上側開口端１８２ａ、１９２ａ側）よりも広くなっている。このため、ヘッド１１の全体寸法の大型化を抑制しつつ、圧電素子７０への液体のリークを防止し、かつ、液体の吐出量の減少を抑制することができる。

また、幅方向において第１連通流路１８０の第２流路部分１８２のうち第２連通流路１９０側と反対側の端に第１流路部分１８１が寄せられ、第２連通流路１９０の第２流路部分１９２のうち第１連通流路１８０側と反対側の端に第１流路部分１９１が寄せられている。よって、積層方向において第１流路部分１８１、１９１と第２流路部分１８２、１９２とが重なる範囲において、第１離隔寸法Ｄ１を最も広く採ることができる。よって、液体のリーク防止、及び、液体の吐出量の減少の抑制をさらに図ることができる。

（実施の形態２）
実施の形態２に係るヘッド１１は、図５に示すように、第１連通流路２８０及び第２連通流路２９０の形状が上記実施の形態と異なる。これ以外の構成、作用及び効果については上記実施の形態と同様であるため、その説明は省略する。

第１連通流路２８０及び第２連通流路２９０は、積層方向と直交する方向の寸法である径寸法ｒが、積層方向に沿って圧力室３１に近づくほど小さくなるテーパー形状を有している。例えば、第１連通流路２８０及び第２連通流路２９０は、切頭円錐形状である。

このため、供給路の第１連通流路２８０を流れる液体の流速は、圧力室３１に向かうほど速くなる。これにより、液体内の泡が圧力室３１に流入しやすい。しかしながら、帰還路の第２連通流路２９０を流れる液体の流速は、圧力室３１から離れるほど遅く、圧力室３１側で速い。これにより、液体内の泡は圧力室３１から排出されやすい。よって、液体の泡がノズル２３に侵入することを低減することができる。

第１連通流路２８０の中心軸２８７及び第２連通流路２９０の中心軸２９７は、互いに平行であって、積層方向に延びている。第１連通流路２８０の内周面２８８及び第２連通流路２９０の内周面２９８は、中心軸２８７、２９７に対して傾斜しており、この傾斜方向において平滑に形成されている。これにより、内周面２８８、２９８に凹凸が設けられないため、内周面２８８、２９８に沿って液体及び液体に含まれる泡が円滑に流れる。よって、泡が滞留することにより液体の流れが阻害されることを抑制することができる。

また、積層方向において、第１連通流路２８０の径寸法ｒ及び第２連通流路２９０の径寸法ｒは上側から下側に向かうほど小さくなっている。第１連通流路２８０の下側開口端２８０ａ及び第２連通流路２９０の下側開口端２９０ａの径寸法ｒｂは、第１連通流路２８０の上側開口端２８０ｂ及び第２連通流路２９０の上側開口端２９０ｂの径寸法ｒｕよりもそれぞれ小さい。例えば、径寸法ｒｂは径寸法ｒｕの２分の１以下である。例えば径寸法ｒｕは８０μｍであり、径寸法ｒｂは３５μｍである。

このため、第１連通流路２８０及び第２連通流路２９０の内周面２８８、２９８における近接部分２８８ａ、２９８ａどうしの間隔（隔離寸法）は、積層方向に沿って圧力室３１に近づくほど広くなっている。これにより、この隔離寸法は、積層方向において個別流路に近い連通流路２８０、２９０の一方端側（下側開口端２８０ａ、２９０ａ）が他方端側（上側開口端２８０ｂ、２９０ｂ側）よりも広い。よって、ヘッド１１の全体寸法の大型化を抑制しつつ、圧電素子７０への液体のリークを防止し、かつ、液体の吐出量の減少を抑制することができる。

（実施の形態３）
実施の形態３に係るヘッド１１は、図６に示すように、一対の連通流路（第１連通流路３８０及び第２連通流路３９０）の形状が上記実施の形態と異なる。これ以外の構成、作用及び効果については上記実施の形態と同様であるため、その説明は省略する。

第１連通流路３８０及び第２連通流路３９０は、積層方向に沿って圧力室３１に近づくほど、互いの中心軸３８７、３９７の間隔が広くなるように、積層方向に対して傾斜して延びている。第１連通流路３８０及び第２連通流路３９０は、円柱形状であって、その径寸法は中心軸３８７、３９７に沿って一定である。このため、第１連通流路３８０の下側開口端３８０ａと上側開口端３８０ｂとの径寸法は等しく、第２連通流路３９０の下側開口端３９０ａと上側開口端３９０ｂとの径寸法は等しい。

第１連通流路３８０の内周面３８８は、中心軸（第１中心軸３８７）に平行であって、第１中心軸３８７に平行な方向において平滑に形成されている。また、第２連通流路３９０の内周面３９８は、中心軸（第２中心軸３９７）に平行であって、第２中心軸３９７に平行な方向において平滑に形成されている。これにより、内周面３８８、３９８に沿って液体及び液体に含まれる泡が円滑に流れ、泡が滞留することにより液体の流れが阻害されることを抑制することができる。

幅方向において、第１連通流路３８０の第１中心軸３８７は積層方向の下方ほど第２連通流路３９０から離れる方向に傾斜し、第２連通流路３９０の第２中心軸３９７は積層方向の下方ほど第１連通流路３８０から離れる方向に傾斜している。この幅方向に対する第１中心軸３８７の傾斜角度θと第２中心軸３９７の傾斜角度θは同じである。例えば、傾斜角度θは６０°である。傾斜角度θが大きくなるほど、第１連通流路３８０及び第２連通流路３９０を形成しやすい。

また、第１連通流路３８０の第１中心軸３８７は、第１マニホールド６１に近づくほど、第２連通流路３９０に近づく方向に傾斜している。また、第２連通流路３９０の第２中心軸３９７は、第２マニホールド６２に近づくほど、第１連通流路３８０に近づく方向に傾斜している。これにより、幅方向において第１マニホールド６１及び第２マニホールド６２を互いに近づけ、ヘッド１１の小型化を図ることができる。

これにより、第１中心軸３８７と第２中心軸３９７との間隔（隔離寸法）、及び、第１連通流路３８０の内周面３８８における近接部分３８８ａと第２連通流路３９０の内周面３９８における近接部分３９８ａとの間隔（隔離寸法Ｄ）は、積層方向に沿って圧力室３１に近づくほど広くなっている。これにより、この隔離寸法は、積層方向において個別流路に近い連通流路３８０、３９０の一方端側（下側開口端３８０ａ、３９０ａ）が他方端側（上側開口端３８０ｂ、３９０ｂ側）よりも広い。よって、ヘッド１１の全体寸法の大型化を抑制しつつ、圧電素子７０への液体のリークを防止し、かつ、液体の吐出量の減少を抑制することができる。

（実施の形態４）
実施の形態４に係るヘッド１１は、図７に示すように、第１連通流路４８０、５８０及び第２連通流路４９０、５９０の形状が上記実施の形態と異なる。これ以外の構成、作用及び効果については上記実施の形態と同様であるため、その説明は省略する。

第１圧力室列３２ａ（図２）を構成する複数の圧力室３１（第１圧力室３１ａ）のそれぞれには一対の連通流路（第１連通流路４８０、第２連通流路４９０）が接続されている。また、第２圧力室列３２ｂ（図２）を構成する複数の圧力室３１（第２圧力室３１ｂ）のそれぞれには一対の連通流路（第１連通流路５８０、第２連通流路５９０）が接続されている。

一対の連通流路（第１連通流路４８０、第２連通流路４９０）では、幅方向において、第１連通流路４８０は第２連通流路４９０よりも第２圧力室列３２ｂの近くに配置されている。また、一対の連通流路（第１連通流路５８０、第２連通流路５９０）では、幅方向において、第１連通流路５８０は第２連通流路５９０よりも第１圧力室列３２ａの近くに配置されている。

このため、幅方向において、第１連通流路４８０及び第１連通流路５８０は、第１圧力室列３２ａと第２圧力室列３２ｂとの間の中心位置ＣＰ（図２）を挟んで互いに隣接しており、第２連通流路４９０と第２連通流路５９０との間に挟まれている。

第１連通流路４８０及び第１連通流路５８０は、同じ１つの第１マニホールド６１に接続され、第２連通流路５９０及び第２連通流路５９０は、一対の第２マニホールド６２（第２マニホールド６２ａ、第２マニホールド６２ｂ）にそれぞれ接続されている。第２マニホールド６２ａ及び第２マニホールド６２ｂは、幅方向において第１マニホールド６１を挟むように配置されている。

第１連通流路４８０、５８０は、円柱形状であって、径寸法が第１中心軸に沿って一定である。また、第２連通流路４９０、５９０は、円柱形状であって、径寸法が第２中心軸に沿って一定である。

第１連通流路４８０は、第１圧力室３１ａ側から第１マニホールド６１側へ向かうに従って第１連通流路５８０に近づくように積層方向に対して直線状に傾斜している。第１連通流路５８０は、第２圧力室３１ｂ側から第１マニホールド６１側へ向かうに従って第１連通流路４８０に近づくように積層方向に対して直線状に傾斜している。このため、第１連通流路４８０及び第１連通流路５８０は、圧力室３１側から第１マニホールド６１側へ向かうに従って、第１圧力室列３２ａと第２圧力室列３２ｂとの間の中心位置ＣＰへ近づくように傾斜して延設されている。

このように、第１連通流路４８０の上側開口端４８０ｂは下側開口端４８０ａよりも中心位置ＣＰの近くに配置されている。第１連通流路５８０の上側開口端５８０ｂは下側開口端５８０ａよりも中心位置ＣＰの近くに配置されている。このため、上側開口端４８０ｂ及び上側開口端５８０ｂに接続される第１マニホールド６１は中心位置ＣＰに寄せられるため、ヘッド１１の小型化を図ることができる。

また、一方の第２連通流路４９０は、第１圧力室３１ａ側から第２マニホールド６２ａ側へ向かうに従って第２連通流路５９０に近づくように積層方向に対して直線状に傾斜している。他方の第２連通流路５９０は、第２圧力室３１ｂ側から第２マニホールド６２ｂ側へ向かうに従って第２連通流路５９０に近づくように積層方向に対して直線状に傾斜している。このため、第２連通流路４９０及び第２連通流路５９０は、圧力室３１側から第２マニホールド６２側へ向かうに従って中心位置ＣＰへ近づくように傾斜して延設されている。

このように、第２連通流路４９０の上側開口端４９０ｂは下側開口端４９０ａよりも中心位置ＣＰの近くに配置されている。第２連通流路５９０の上側開口端５９０ｂは下側開口端５９０ａよりも中心位置ＣＰの近くに配置されている。このため、上側開口端４９０ｂに接続される第２マニホールド６２ａ及び上側開口端５９０ｂに接続される第２マニホールド６２ｂは中心位置ＣＰに寄せられるため、ヘッド１１の小型化を図ることができる。

また、第１連通流路４８０と第２連通流路４９０とは互いに同じ方向に傾斜し、第１連通流路５８０と第２連通流路５９０とは互いに同じ方向に傾斜している。ただし、第１連通流路４８０、５８０の内周面４８８、５８８における近接部分４８８ａ、５８８ａの幅方向に対する傾斜角度（第１傾斜角度θ１）は、第２連通流路４９０、５９０の内周面４９８、５９８における近接部分４９８ａ、５９８ａの幅方向に対する傾斜角度（第２傾斜角度θ２）よりも大きい。例えば、第１傾斜角度θ１は７０°であり、第２傾斜角度θ２は６０°である。

このため、第１連通流路４８０の近接部分４８８ａと第２連通流路４９０の近接部分４９８ａとの隔離寸法、及び、第１連通流路５８０の近接部分５８８ａと第２連通流路５９０の近接部分５９８ａとの隔離寸法は、積層方向に沿って圧力室３１に近づくほど広くなっている。これにより、この隔離寸法は、積層方向において個別流路に近い連通流路４８０、４９０の一方端側（下側開口端４８０ａ、４９０ａ）が他方端側（上側開口端４８０ｂ、４９０ｂ側）よりも広く、連通流路５８０、５９０の一方端側（下側開口端５８０ａ、５９０ａ）が他方端側（上側開口端５８０ｂ、５９０ｂ側）よりも広い。よって、よって、ヘッド１１の全体寸法の大型化を抑制しつつ、圧電素子７０への液体のリークを防止し、かつ、液体の吐出量の減少を抑制することができる。

＜変形例２＞
上記図７のヘッド１１では、第１連通流路４８０及び第１連通流路５８０は、同じ１つの第１マニホールド６１に接続されていた。これと同様に、図３の一対の連通流路８０、９０を、図８に示す第１連通流路６８０、７８０及び第２連通流路６９０、７９０として、第１連通流路６８０、７８０が同じ１つの第１マニホールド６１に接続されていてもよい。

この第１連通流路６８０、７８０及び第２連通流路６９０、７９０は、第１流路部分６８１、６９１、７８１、７９１の第１径寸法ｒ１が第２流路部分６８２、６９２、７８２、７９２の第２径寸法ｒ２よりも小さい。また、第１連通流路６８０、７８０及び第２連通流路６９０、７９０の下側開口端６８１ａ、６９１ａ、７８１ａ、７９１ａの各径寸法は各上側開口端６８２ａ、６９２ａ、７８２ａ、７９２ａの各径寸法よりも小さい。

このため、第１流路部分６８１の内周面６８４の第１近接部分６８４ａと第１流路部分６９１の内周面６９４の第１近接部分６９４ａとの第１離隔寸法は、第２流路部分６８２の内周面６８６の第２近接部分６８６ａと第２流路部分６９２の内周面６９６の第２近接部分６９６ａとの第２離隔寸法よりも広い。また、同様に、第１流路部分７８１の内周面７８４の第１近接部分７８４ａと第１流路部分７９１の内周面７９４の第１近接部分７９４ａとの第１離隔寸法は、第２流路部分７８２の内周面７８６の第２近接部分７８６ａと第２流路部分７９２の内周面７９６の第２近接部分７９６ａとの第２離隔寸法よりも広い。

また、図４の連通流路１８０、１９０を、図９に示す第１連通流路８８０、９８０及び第２連通流路８９０、９９０とし、第１連通流路８８０、９８０が同じ１つの第１マニホールド６１に接続されていてもよい。

この第１連通流路８８０、９８０及び第２連通流路８９０、９９０は、第１流路部分８８１、８９１、９８１、９９１の第１径寸法ｒ１が第２流路部分８８２、８９２、９８２、９９２の第２径寸法ｒ２よりも小さい。また、第１連通流路８８０、９８０及び第２連通流路８９０、９９０の下側開口端８８１ａ、８９１ａ、９８１ａ、９９１ａの各径寸法は各上側開口端８８２ａ、８９２ａ、９８２ａ、９９２ａの各径寸法よりも小さい。

このため、第１流路部分８８１の内周面８８４の第１近接部分８８４ａと第１流路部分８９１の内周面８９４の第１近接部分８９４ａとの第１離隔寸法は、第２流路部分８８２の内周面８８６の第２近接部分８８６ａと第２流路部分８９２の内周面８９６の第２近接部分８９６ａとの第２離隔寸法よりも広い。また、同様に、第１流路部分９８１の内周面９８４の第１近接部分９８４ａと第１流路部分９９１の内周面９９４の第１近接部分９９４ａとの第１離隔寸法は、第２流路部分９８２の内周面９８６の第２近接部分９８６ａと第２流路部分９９２の内周面９９６の第２近接部分９９６ａとの第２離隔寸法よりも広い。

＜変形例３＞
図５の一対の連通流路２８０、２９０を、図１０に示すように第１連通流路８８０、９８０及び第２連通流路１０９０、１１９０として用い、これらを図７と同様に傾斜させてもよい。この連通流路は、積層方向と直交する方向の寸法である径寸法が、積層方向に沿って圧力室３１に近づくほど小さくなるテーパー形状を有している。これにより、第１連通流路１０８０、１１８０及び第２連通流路１０９０、１１９０の下側開口端１０８１ａ、１０９１ａ、１１８１ａ、１１９１ａの各径寸法は各上側開口端１０８２ａ、１０９２ａ、１１８２ａ、１１９２ａの各径寸法よりも小さい。

このため、第１連通流路１０８０の第１傾斜角度θ１を第２連通流路１０９０の第２傾斜角度θ２と等しくしても、第１連通流路１０８０の内周面１０８８の近接部分１０８８ａと第２連通流路１０９０の内周面１０９８の近接部分１０９８ａとの間隔は、積層方向に沿って圧力室３１に近づくほど広くなっている。また、同様に、第１連通流路１１８０の第１傾斜角度θ１を第２連通流路１１９０の第２傾斜角度θ２と等しくしても、第１連通流路１１８０の内周面１１８８の近接部分１１８８ａと第２連通流路１１９０の内周面１１９８の近接部分１１９８ａとの間隔は、積層方向に沿って圧力室３１に近づくほど広くなっている。

（実施の形態５）
実施の形態５に係るヘッド１１は、図１１に示すように、第１連通流路１２８０、１３８０及び第２連通流路１２９０、１３９０の形状が上記実施の形態と異なる。これ以外の構成、作用及び効果については上記実施の形態と同様であるため、その説明は省略する。

第１連通流路１２８０は、第１圧力室３１ａ側から第１マニホールド６１側へ向かうに従って第１連通流路１３８０から離れるように積層方向に対して直線状に傾斜している。第１連通流路１３８０は、第２圧力室３１ｂ側から第１マニホールド６１側へ向かうに従って第１連通流路１２８０から離れるように積層方向に対して直線状に傾斜している。このため、第１連通流路１２８０及び第１連通流路１３８０は、圧力室３１側から第１マニホールド６１側へ向かうに従って、第１圧力室列３２ａと第２圧力室列３２ｂとの間の中心位置ＣＰから離れるように傾斜して延設されている。

このように、幅方向において第１連通流路１２８０の上側開口端１２８０ｂは下側開口端１２８０ａよりも中心位置ＣＰから離れて配置されている。第１連通流路１３８０の上側開口端１３８０ｂは下側開口端１３８０ａよりも中心位置ＣＰから離れて配置されている。これにより、上側開口端１２８０ｂ及び上側開口端１３８０ｂに接続される第１マニホールド６１は広げられるため、第１マニホールド６１を高くせずに、断面積を大きくすることができる。よって、ヘッド１１を高くすることなく、１つの第１マニホールド６１と２本の第１連通流路１２８０、１３８０との間を流れる液体に対し、第１マニホールド６１の容量を確保することができる。

また、一方の第２連通流路１２９０は、第１圧力室３１ａ側から第２マニホールド６２ａ側へ向かうに従って他方の第２連通流路１３９０に近づくように積層方向に対して直線状に傾斜している。他方の第２連通流路１３９０は、第２圧力室３１ｂ側から第２マニホールド６２ｂ側へ向かうに従って一方の第２連通流路１２９０に近づくように積層方向に対して直線状に傾斜している。このため、第２連通流路１２９０及び第２連通流路１３９０は、圧力室３１側から第２マニホールド６２側へ向かうに従って中心位置ＣＰへ近づくように傾斜して延設されている。

このように、一方の第２連通流路１２９０の上側開口端１２９０ｂは下側開口端１２９０ａよりも中心位置ＣＰの近くに配置されている。他方の第２連通流路１３９０の上側開口端１３９０ｂは下側開口端１３９０ａよりも中心位置ＣＰの近くに配置されている。このため、上側開口端１２９０ｂに接続される第２マニホールド６２ａ及び上側開口端１３９０ｂに接続される第２マニホールド６２ｂは中心位置ＣＰに寄せられるため、ヘッド１１の小型化を図ることができる。

このため、第１連通流路１２８０の内周面１２８８の近接部分１２８８ａと第２連通流路１２９０の内周面１２９８の近接部分１２９８ａとの隔離寸法、及び、第１連通流路１３８０の内周面１３８８の近接部分１３８８ａと第２連通流路１３９０の内周面１３９８の近接部分１３９８ａとの隔離寸法は、積層方向に沿って圧力室３１に近づくほど広くなっている。これにより、この隔離寸法は、積層方向において個別流路に近い連通流路１２８０、１２９０の一方端側（下側開口端１２８０ａ、１２９０ａ）が他方端側（上側開口端１２８０ｂ、１２９０ｂ側）よりも広く、連通流路１３８０、１３９０の一方端側（下側開口端１３８０ａ、１３９０ａ）が他方端側（上側開口端１３８０ｂ、１３９０ｂ側）よりも広い。よって、ヘッド１１の全体寸法の大型化を抑制しつつ、圧電素子７０への液体のリークを防止し、かつ、液体の吐出量の減少を抑制することができる。

なお、実施の形態１の連通流路、実施の形態１の変形例の連通流路、実施の形態２の連通流路を、実施の形態５に適用してもよい。

上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施の形態が明らかである。従って、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造及び／又は機能の詳細を実質的に変更できる。

本発明のヘッドは、全体寸法の大型化を抑制しつつ、圧電素子への液体のリークを防止し、かつ、液体の吐出量の減少を抑制することができるヘッド等として有用である。

１１：ヘッド
２３：ノズル
３０：圧力室プレート（第１プレート）
３１：圧力室（個別流路）
３１ａ：第１圧力室（個別流路）
３１ｂ：第２圧力室（個別流路）
３２：圧力室列
３２ａ：第１圧力室列（圧力室列）
３２ｂ：第２圧力室列（圧力室列）
４０：振動板
５０：収容プレート（第２プレート）
５１：収容空間
６１：第１マニホールド
６２：第２マニホールド
６２ａ：第２マニホールド
６２ｂ：第２マニホールド
７０：圧電素子
８０、１８０、５８０、３８０、４８０、５８０、６８０、７８０、８８０、９８０、１０８０、１１８０、１２８０、１３８０：第１連通流路
８１、９１、１８１、１９１、６８１、６９１、７８１、７９１、８８１、８９１、９８１、９９１：第１流路部分
８１ａ、９１ａ、１８１ａ、１９１ａ、２８０ａ、２９０ａ、３８０ａ、３９０ａ、４８０ａ、４９０ａ、５８０ａ、５９０ａ、６８１ａ、６９１ａ、７８１ａ、７９１ａ、８８１ａ、８９１ａ、９８１ａ、９９１ａ、１０８１ａ、１０９１ａ、１１８１ａ、１１９１ａ、１２８０ａ、１２９０ａ、１３８０ａ、１３９０ａ：下側開口端
８２ａ、９２ａ、１８２ａ、１９２ａ、２８０ｂ、２９０ｂ、３８０ｂ、３９０ｂ、４８０ｂ、４９０ｂ、５８０ｂ、５９０ｂ、６８２ａ、６９２ａ、７８２ａ、７９２ａ、８８２ａ、８９２ａ、９８２ａ、９９２ａ、１０８２ａ、１０９２ａ、１１８２ａ、１１９２ａ、１２８０ｂ、１２９０ｂ、１３８０ｂ、１３９０ｂ：上側開口端
９０、１９０、５９０、３９０、４９０、５９０、６９０、７９０、８９０、９９０、１０９０、１１９０、１２９０、１３９０：第２連通流路
８２、９２、１８２、１９２、６８２、６９２、７８２、７９２、８８２、８９２、９８２、９９２：第２流路部分

Claims

ノズルに連通する個別流路が形成された第１プレートと、
前記第１プレートにおける前記ノズル側とは反対側に積層された第２プレートと、
積層方向から見て前記個別流路の圧力室と重なる位置に振動板を介して配置された圧電素子と、を備え、
前記第２プレートは、
前記圧電素子を収容する収容空間と、
前記収容空間を挟む位置にて前記積層方向に延設され、前記個別流路にそれぞれ連通する一対の連通流路と、を有し、
一対の前記連通流路の内周面において互いに近接する部分どうしの間隔は、前記積層方向において前記個別流路に近い前記連通流路の一方端側が他方端側よりも広く、
一対の前記連通流路の中心軸間の離隔寸法は、前記一方端側が前記他方端側よりも広い、ヘッド。
前記連通流路は、前記第２プレートにおいて前記第１プレートに対向する面である一方面に開口端を有する第１流路部分、及び、前記第１流路部分の前記開口端とは反対側の端部に接続されて前記第２プレートの他方面に開口端を有する第２流路部分を有し、
前記第１流路部分において前記積層方向と直交する方向の寸法である径寸法は、前記第２流路部分の径寸法よりも小さい、請求項１に記載のヘッド。
一対の前記第１流路部分の中心軸間の離隔寸法は、一対の前記第２流路部分の中心軸間の離隔寸法よりも大きい、請求項２に記載のヘッド。
前記連通流路は、前記積層方向と直交する方向の寸法である径寸法が、前記積層方向に沿って前記個別流路に近づくほど小さくなるテーパー形状を有している、請求項１に記載のヘッド。
前記積層方向において、前記連通流路の一端の径寸法は、前記一端よりも前記個別流路から遠い他端の径寸法の２分の１以下である、請求項４に記載のヘッド。
一対の前記連通流路は、前記積層方向に沿って前記個別流路に近づくほど、互いの中心軸の間隔が広くなるように、前記積層方向に対して傾斜して延びている、請求項１～５のいずれか一項に記載のヘッド。
前記連通流路の内周面は、平滑に形成されている、請求項４～６のいずれか一項に記載のヘッド。
複数の前記圧力室が前記圧力室の幅方向に並設されて成る２本の圧力室列と、
一方の前記圧力室列を構成する前記圧力室に接続された一対の前記連通流路のうち、他方の前記圧力室列に近い方の前記連通流路と、他方の前記圧力室列を構成する前記圧力室に接続された一対の前記連通流路のうち、一方の前記圧力室列に近い方の前記連通流路とを、それぞれ第１連通流路としたときに、前記第１連通流路に接続される第１マニホールドと、を備え、
前記第１連通流路は、前記圧力室側から前記第１マニホールド側へ向かうに従って、２本の前記圧力室列の間の中心位置へ近づくように傾斜して延設されている、請求項１～７のいずれか一項に記載のヘッド。
複数の前記圧力室が前記圧力室の幅方向に並設されて成る２本の圧力室列と、
一方の前記圧力室列を構成する前記圧力室に接続された一対の前記連通流路のうち、他方の前記圧力室列に近い方の前記連通流路と、他方の前記圧力室列を構成する前記圧力室に接続された一対の前記連通流路のうち、一方の前記圧力室列に近い方の前記連通流路とを、それぞれ第１連通流路としたときに、前記第１連通流路に接続される第１マニホールドと、を備え、
前記第１連通流路は、前記圧力室側から前記第１マニホールド側へ向かうに従って、２本の前記圧力室列の間の中心位置から離れるように傾斜して延設されている、請求項１～７のいずれか一項に記載のヘッド。
一方の前記圧力室列を構成する前記圧力室に接続された一対の前記連通流路のうち、他方の前記圧力室列から遠い方の前記連通流路と、他方の前記圧力室列を構成する前記圧力室に接続された一対の前記連通流路のうち、一方の前記圧力室列から遠い方の前記連通流路とを、それぞれ第２連通流路としたときに、一方の前記圧力室列に対応する前記第２連通流路に接続される第２マニホールドと、他方の前記圧力室列に対応する前記第２連通流路に接続される別の第２マニホールドと、を更に備え、
各前記第２連通流路は、前記圧力室側から前記第２マニホールド側へ向かうに従って、２本の前記圧力室列の間の中心位置へ近づくように傾斜して延設されている、請求項８又は９に記載のヘッド。
前記第１連通流路は、前記第１マニホールドから前記個別流路へ向かって液体が流れる供給路であり、前記第２連通流路は、前記個別流路から前記第２マニホールドへ向かって液体が流れる帰還路であり、
前記帰還路は、前記第２マニホールドの短手方向の中央に接続されている、請求項１０に記載のヘッド。
一対の前記連通流路は、前記圧力室の長手方向の端部にそれぞれ接続されている、請求項１～１１のいずれか一項に記載のヘッド。