JP7371343B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、吐出口から液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。

吐出から液体を吐出する液体吐出ヘッドの一例として、特許文献１には、ノズルからインクを吐出するインク吐出ヘッドが記載されている。特許文献１のインク吐出ヘッドは、複数のノズルにそれぞれ通じる複数の個別液室（個別流路）と、複数の個別液室にインクを供給する共通液室（供給マニホールド）と、複数の個別液室からのインクが流れ込む循環共通液室（帰還マニホールド）と、を備えている。また、共通液室には、フィルターが配置されている。特許文献１のインク吐出ヘッドでは、個別液室を介して共通液室から循環共通液室にインクを送り、ヘッド内のインクを循環させることで、インクに含まれる粒子の沈降等の不具合を防止することができる。

特開２０１８－１０３６１６号公報

特許文献１のように、個別流路を介してヘッド内の液体を循環させる構成とした場合、個別流路の流路抵抗が比較的高いことにより、液体の循環流量が少なくなる。また、流路途中に設けられたフィルターも、流路抵抗が比較的高い。したがって、特許文献１のインク吐出ヘッドのように、供給マニホールドにフィルターが配置されている場合に、フィルターの下流側に帰還流路を設けると、フィルターの流路抵抗により液体の循環流量が少なくなる。このように、液体の循環量が少ない場合には、粒子の沈降等の不具合を十分に防ぐことができない。

本発明の目的は、液体の循環流量を十分に確保できる液体吐出ヘッドを提供することである。

本発明の液体吐出ヘッドは、液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、前記フィルターの面方向と直交する方向に関して、前記フィルターに対して前記複数の個別流路とは反対側に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通するバイパス流路と、を備えている。

本発明では、第１マニホールドと第２マニホールドとを連通するバイパス流路を、フィルターに対して複数の個別流路とは反対側に配置することで、比較的流路抵抗が高いフィルターや個別流路を介することなく液体を循環させることができる。したがって、インクの循環流量を十分に確保できる。

本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドを備えたプリンタの平面図である。 図１に示すインクジェットヘッドの平面図である。 図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッドの断面図である。 （ａ）～（ｅ）は流路部材を構成する５枚のプレートの平面図をそれぞれ示す。 図２のＶ－Ｖ線に沿った第１マニホールド部材と振動板との部分断面図である。 第１変形例に係るインクジェットヘッドの断面図である。 図６に示す流路部材を構成するプレートの平面図である。 第２変形例に係るインクジェットヘッドの平面図である。 第３変形例に係るインクジェットヘッドの平面図である。 第４変形例に係るインクジェットヘッドの断面図である。 第５変形例に係るインクジェットヘッドの断面図である。

以下、本発明の好適な一実施形態について説明する。

＜プリンタの全体構成＞
図１に示すように、本実施形態にかかるプリンタ１は、キャリッジ２、ガイドレール１１、１２、インクジェットヘッド３（本発明の「液体吐出ヘッド」）、プラテン４、搬送ローラ５、６、及び、インクタンク９０を備えている。

キャリッジ２は、走査方向（図１中左右方向）に延びた２本のガイドレール１１、１２に支持され、ガイドレール１１、１２に沿って走査方向に移動する。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド３には、インクを貯留するインクタンク９０から図示しない管を介してインクが供給される。そして、インクジェットヘッド３は、その下面に形成された複数の吐出口４７からインクを吐出する。なお、インクジェットヘッド３については後ほど詳細に説明する。

プラテン４は、インクジェットヘッド３の下面と対向して配置され、走査方向に記録用紙Ｐの全長にわたって延びている。プラテン４は、記録用紙Ｐを下方から支持する。搬送ローラ５、６は、それぞれ、走査方向と直交する搬送方向（図２中下方から上方に向かう方向）において、キャリッジ２よりも上流側及び下流側に配置され、記録用紙Ｐを搬送方向に搬送する。

プリンタ１では、搬送ローラ５、６によって、記録用紙Ｐを搬送方向に所定距離ずつ搬送させる搬送処理と、キャリッジ２を走査方向に移動させつつ、インクジェットヘッド３の複数の吐出口４７からインクを吐出させる走査処理とを交互に行うことで、記録用紙Ｐに印刷を行う。すなわち、プリンタ１は、シリアル式である。なお、以下の説明においては、走査方向と搬送方向との両方に直交する方向を上下方向とする。なお、吐出口４７の詳細については、後述する。

＜インクジェットヘッド３＞
次に、図２、３を参照しつつ、インクジェットヘッド３の詳細な構成について説明する。図２に示すように、インクジェットヘッド３は、上面視で搬送方向に長尺な矩形形状を有している。インクジェットヘッド３は、図３に示すように、流路部材２１、振動板２２、第１マニホールド部材２３、第２マニホールド部材２４、及び圧電素子２５などを備えている。

インクジェットヘッド３には、図２に示すように、２つの供給マニホールド４１ａ、４１ｂ、２つの帰還マニホールド４２ａ、４２ｂ、複数の個別流路４９、複数のダミー流路４９Ｘ、及び連通流路４４、４６などが設けられている。以下の説明において、２つの供給マニホールド４１ａ、４１ｂを区別しない場合には、「供給マニホールド４１」とする。また、２つの帰還マニホールド４２ａ、４２ｂを区別しない場合には、「帰還マニホールド４２」とする。

図２に示すように、２つの帰還マニホールド４２ａ、４２ｂは、いずれも搬送方向に延在しており、流路部材２１における走査方向の両端部にそれぞれ位置している。帰還マニホールド４２ａは、流路部材２１における走査方向の一方側（図２中上側）に位置している。帰還マニホールド４２ｂは、流路部材２１における走査方向の他方側（図２中下側）に位置している。

図２に示すように、２つの供給マニホールド４１ａ、４１ｂは、いずれも搬送方向に延在しており、流路部材２１における走査方向の両端部にそれぞれ位置している。供給マニホールド４１の搬送方向に沿う長さは、帰還マニホールド４２の搬送方向に沿う長さよりも短い。

流路部材２１における走査方向の一方側（図２中上側）に位置する供給マニホールド４１ａ及び帰還マニホールド４２ａは、上面視で搬送方向の下流側（図２中右側）の端部の位置は同じである。帰還マニホールド４２ａは、供給マニホールド４１ａよりも搬送方向の上流側（図２中左側）まで延びている。流路部材２１における走査方向の他方側（図２中下側）に位置する供給マニホールド４１ｂ及び帰還マニホールド４２ｂは、上面視で搬送方向の上流側（図２中左側）の端部の位置は同じである。帰還マニホールド４２ｂは、供給マニホールド４１ｂよりも搬送方向の下流側（図２中右側）まで延びている。

図３に示すように、２つの供給マニホールド４１ａ、４１ｂの搬送方向に直交する面における断面形状は、いずれもその上端が走査方向に関する外側に曲がった鉤形状である。供給マニホールド４１ａは、帰還マニホールド４２ａの走査方向に関する他方（図３中右方）及び上方に跨って配置されている。供給マニホールド４１ｂは、帰還マニホールド４２ｂの走査方向に関する一方（図３中左方）及び上方に跨って配置されている。

複数の個別流路４９及び複数のダミー流路４９Ｘは、上面視で供給マニホールド４１及び帰還マニホールド４２と重複しない位置に配置されている。各個別流路４９は、圧力室４３、ディセンダ４５、及び吐出口４７をそれぞれ有している。各ダミー流路４９Ｘは、個別流路４９と同じ構造を有しており、圧力室４３Ｘ、ディセンダ４５Ｘ、及び吐出口４７Ｘをそれぞれ有している。なお、ダミー流路４９Ｘの吐出口４７Ｘからは、インクの吐出は行われない。

図２に示すように、複数の個別流路４９に対応する複数の圧力室４３及び複数のダミー流路４９Ｘに対応する複数の圧力室４３Ｘは、搬送方向に沿って２列の千鳥状に配列されている。つまり、搬送方向に等間隔で配列された複数の圧力室４３、４３Ｘで構成された２つの圧力室列４３ａ、４３ｂが、走査方向に並んで配置されている。

ダミー流路４９Ｘに対応する圧力室４３Ｘは、各圧力室列４３ａ、４３ｂに２つずつ含まれている。図２に示すように、走査方向の一方側（図２中上側）に位置する圧力室列４３ａに属する２つの圧力室４３Ｘは、搬送方向の上流側（図２中左側）の端部に配置されている。走査方向の他方側（図２中下側）に位置する圧力室列４３ｂに属する２つの圧力室４３Ｘは、搬送方向の下流側（図２中右側）の端部に配置されている。

ここで、各圧力室列４３ａ、４３ｂの端部にそれぞれ配置された２つの圧力室４３Ｘに対応する２つのダミー流路４９Ｘのうち、個別流路４９と隣り合わない（すなわち、各圧力室列４３ａ、４３ｂの端に位置する圧力室４３Ｘに対応する）ダミー流路４９Ｘの流路抵抗は、個別流路４９と隣り合うダミー流路４９Ｘの流路抵抗よりも小さい。

圧力室列４３ａに属する各圧力室４３、４３Ｘは、連通流路４４（本発明の「第２連通流路」）を介して供給マニホールド４１ａにそれぞれ連通している。すなわち、供給マニホールド４１ａは、圧力室列４３ａに属する複数の圧力室４３、４３Ｘに共通して設けられている。かかる連通流路４４は、圧力室列４３ａに属する圧力室４３、４３Ｘ毎に設けられており、圧力室４３、４３Ｘの走査方向に関する一方側（図２中上側）の端部に繋がっている。

圧力室列４３ｂに属する各圧力室４３、４３Ｘは、連通流路４４を介して供給マニホールド４１ｂにそれぞれ連通している。すなわち、供給マニホールド４１ｂは、圧力室列４３ｂに属する複数の圧力室４３、４３Ｘに共通して設けられている。かかる連通流路４４は、圧力室列４３ｂに属する圧力室４３、４３Ｘ毎に設けられており、圧力室４３、４３Ｘの走査方向に関する他方側（図２中下側）の端部に繋がっている。

ディセンダ４５、４５Ｘは、図３に示すように、上下方向に関して圧力室４３、４３Ｘと吐出口４７、４７Ｘとの間に配置されている。ディセンダ４５、４５Ｘは、圧力室４３、４３Ｘの走査方向に関する連通流路４４が繋がっている側とは反対側の端部に連通している。すなわち、圧力室列４３aに属する圧力室４３、４３Ｘについては、走査方向の他方側（図２中下側）の端部にディセンダ４５、４５Ｘが連通している。圧力室列４３ｂに属する圧力室４３、４３Ｘについては、走査方向の一方側（図２中上側）の端部にディセンダ４５、４５Ｘが連通している。

図３に示すように、圧力室列４３aに属する各圧力室４３、４３Ｘに連通する複数のディセンダ４５、４５Ｘは、連通流路４６（本発明の「第１連通流路」）を介して帰還マニホールド４２ａとそれぞれ連通している。すなわち、帰還マニホールド４２ａは、圧力室列４３ａに属する複数の圧力室４３、４３Ｘに共通して設けられている。かかる連通流路４６は、圧力室列４３ａに属する各圧力室４３、４３Ｘ連通するディセンダ４５、４５Ｘ毎に設けられている。

同様に、圧力室列４３ｂに属する各圧力室４３、４３Ｘに連通する複数のディセンダ４５、４５Ｘについても、連通流路４６を介して帰還マニホールド４２ｂとそれぞれ連通している。すなわち、帰還マニホールド４２ｂは、圧力室列４３ｂに属する複数の圧力室４３、４３Ｘに共通して設けられている。かかる連通流路４６は、圧力室列４３ｂに属する各圧力室４３、４３Ｘ連通するディセンダ４５、４５Ｘ毎に設けられている。

ここで、図４をさらに参照しつつ、流路部材２１の構成について説明する。図３に示すように、流路部材２１は、プレート３１～３５の５枚のプレートが、下方からこの順で積層されることで形成されている。プレート３１～３５の外形形状はいずれも同じであり、上面視で搬送方向に長尺な矩形形状を有している。

図４（ａ）に示すように、プレート３１は、走査方向の中央部において搬送方向に沿って２列の千鳥状に配列された複数の貫通孔３１ａを有している。かかる貫通孔３１ａのプレート３１の下面における開口が、吐出口４７、４７Ｘに対応する。

図４（ｂ）に示すように、プレート３２は、搬送方向に沿って２列の千鳥状に配列された複数の貫通孔３２ａを有している。貫通孔３２ａは、走査方向に長尺である。かかる貫通孔３２ａは、吐出口４７、４７Ｘに連通するディセンダ４５、４５Ｘの一部、及び連通流路４６の一部を構成する。

すなわち、走査方向の一方側（図４（ｂ）中上側）に位置する貫通孔３２ａについては、走査方向の他方側（図４（ｂ）中下側）の端部が、ディセンダ４５、４５Ｘに対応し、それ以外の部分が連通流路４６の一部に対応する。走査方向の他方側（図４（ｂ）中下側）に位置する貫通孔３２ａについては、走査方向の一方側（図４（ｂ）中上側）の端部が、ディセンダ４５、４５Ｘに対応し、それ以外の部分が連通流路４６の一部に対応する。各貫通孔３２ａにおける連通流路４６の一部に対応する部分には、絞り４６ａ（本発明の「第２絞り」）がそれぞれ設けられている。絞り４６ａは、ディセンダ４５、４５Ｘに繋がっている。

図４（ｃ）に示すように、プレート３３は、走査方向の中央部において搬送方向に沿って２列の千鳥状に配列された複数の貫通孔３３ａと、走査方向の両端部において搬送方向に沿って配列された複数の貫通孔３３ｂと、を有している。貫通孔３３ａは、ディセンダ４５、４５Ｘの一部を構成し、プレート３２が有する貫通孔３２ａのディセンダ４５、４５Ｘに対応する部分と対向する領域に設けられている。貫通孔３３ｂは、連通流路４６の一部を構成し、プレート３２が有する貫通孔３２ａのディセンダ４５、４５Ｘに対応する部分とは反対側の端部と対向する領域に設けられている。プレート３３の走査方向に関して貫通孔３３ａと貫通孔３３ｂとの間の部分は、連通流路４６の上壁面を形成する壁部（本発明の「第１壁部」）である。

図４（ｄ）に示すように、プレート３４は、複数の貫通孔３４ａと、複数の貫通孔３４ｂと、各貫通孔３４ａに設けられた絞り４４ａ（本発明の「第１絞り」）とを有している。貫通孔３４ａは、圧力室４３、４３Ｘの一部、及び圧力室４３、４３Ｘの一部と連通する連通流路４４を構成する。貫通孔３４ｂは、連通流路４６の一部を構成する。

貫通孔３４ａは、プレート３３が有する２列の千鳥状に配列された貫通孔３３ａと対向する部分から走査方向の外側（図４（ｄ）中上方又は下方）に延びている。貫通孔３４ａにおける走査方向に関してプレート３４の中央側の部分が、圧力室４３、４３Ｘの一部に対応し、走査方向に関してプレート３４の外側の部分が、連通流路４４の一部に対応する。各貫通孔３４ａにおける連通流路４４の一部に対応する部分には、絞り４４ａがそれぞれ設けられている。絞り４４ａは、圧力室４３、４３Ｘに繋がっている。貫通孔３４ｂは、プレート３３が有する貫通孔３３ｂと対向する領域に設けられている。

図４（ｅ）に示すように、プレート３５は、走査方向の中央部において搬送方向に沿って２列の千鳥状に配列された複数の貫通孔３５ａと、２つの貫通孔３５ｂと、２つの貫通孔３５ｃと、を有している。貫通孔３５ａは、圧力室４３、４３Ｘの一部を構成する。貫通孔３５ｂは、連通流路４４と連通する供給マニホールド４１の一部を構成する。貫通孔３５ｃは、連通流路４６の一部と連通する帰還マニホールド４２の一部を構成する。

貫通孔３５ａは、プレート３４が有する貫通孔３４ａにおける圧力室４３、４３Ｘの一部に対応する部分と対向する領域に設けられている。貫通孔３５ｂは、プレート３５における走査方向の両端部にそれぞれ設けられており、搬送方向に沿って延びている。貫通孔３５ｂは、プレート３４が有する複数の貫通孔３４ａにおける走査方向に関してプレート３４の外側の端部とそれぞれ対向する領域に跨って設けられている。貫通孔３５ｃは、走査方向に対して各貫通孔３５ｂに関して貫通孔３５ａとは反対側にそれぞれ設けられており、搬送方向に沿って延びている。貫通孔３５ｃは、プレート３４が有する複数の貫通孔３４ｂとそれぞれ対向する領域に跨って設けられている。プレート３５の走査方向に関して貫通孔３５ａと貫通孔３５ｂとの間の部分は、連通流路４４の上壁面を形成する壁部（本発明の「第２壁部」）である。

圧力室４３、４３Ｘは、プレート３４、３５に亘って形成されている。ディセンダ４５、４５Ｘは、プレート３２、３３に亘って形成されている。連通流路４６は、プレート３２～３４に亘って形成されている。

振動板２２は、上面視でプレート３１～３５と同じ外形形状を有しており、流路部材２１の上面、すなわちプレート３５の上面に積層されている。図３に示すように、振動板２２は、プレート３５が有する供給マニホールド４１の一部を構成する２つの貫通孔３５ｂと対向する領域にそれぞれ設けられた２つのフィルター２２ａを有する。また、振動板２２は、帰還マニホールド４２の一部を構成する貫通孔２２ｂを有する。貫通孔２２ｂは、プレート３５が有する帰還マニホールド４２の一部を構成する２つの貫通孔３５ｃと対向する領域にそれぞれ配置されている。

振動板２２の上面における複数の圧力室４３と対向する領域には、下方から順に積層された共通電極５１、圧電体５２、及び個別電極５３が配置されている。共通電極５１及び圧電体５２は、圧力室列４３a、４３ｂ毎に設けられており、各圧力室列４３ａ、４３ｂに属する複数の圧力室４３に跨って設けられている。個別電極５３は、圧力室４３毎に設けられており、上面視で各圧力室４３と重複している。１つの個別電極５３と共通電極５１及び圧電体５２における該個別電極５３と対向する部分とが、１つの圧電素子２５を構成する。すなわち、振動板２２の上面には、圧力室４３毎に圧電素子２５が配置されている。なお、図２に示すように、上面視でダミー流路４９Ｘに対応する圧力室４３Ｘと重複する領域には、圧電素子２５は配置されていない。

複数の個別電極５３は、図示しない配線部材を介して図示しないドライバＩＣに接続されている。ドライバＩＣは、共通電極５１の電位をグランド電位に維持する一方、個別電極５３の電位を変化させる。これにより、振動板２２及び圧電体５２において個別電極５３と圧力室４３とで挟まれた部分が、圧力室４３に向けて凸となるように変形する。この変形によって、圧力室４３の容積が小さくなって圧力室４３内のインクの圧力が上昇し、圧力室４３に連通する吐出口４７からインクが吐出される。

図３に示すように、振動板２２の上面における圧電素子２５とは異なる位置には、第１マニホールド部材２３が積層されている。さらに、第１マニホールド部材２３の上面には、第２マニホールド部材２４が積層されている。第１マニホールド部材２３及び第２マニホールド部材２４は、上面視でプレート３１～３５及び振動板２２と同じ外形形状を有している。第１マニホールド部材２３及び第２マニホールド部材２４は、圧電素子２５を露出する開口２３ａ、２４ａをそれぞれ有している。

第１マニホールド部材２３は、上下方向に貫通する貫通孔２３ｂと、下方に開口する溝２３ｃとを有する。図３に示すように、貫通孔２３ｂ及び溝２３ｃは、第１マニホールド部材２３において圧電素子２５の配置空間を挟んで走査方向の両側に配置された部分にそれぞれ設けられている。貫通孔２３ｂは、走査方向に関して溝２３ｃよりも圧電素子２５に近い位置に配置されている。

貫通孔２３ｂは、供給マニホールド４１の一部を構成するものであり、振動板２２に設けられた２つのフィルター２２ａと対向する領域にそれぞれ設けられている。溝２３ｃは、帰還マニホールド４２の一部を構成するものであり、振動板２２に設けられた２つの貫通孔２２ｂと対向する領域にそれぞれ設けられている。

図３に示すように、壁２３ｄは、供給マニホールド４１と帰還マニホールド４２との仕切り壁である。壁２３ｄは、走査方向と直交する面を有し、走査方向に関して供給マニホールド４１と帰還マニホールド４２とを仕切る。

壁２３ｄの下端部には、供給マニホールド４１と帰還マニホールド４２とを連通させるバイパス流路４８を構成する切欠きが設けられている。バイパス流路４８は、複数の個別流路４９やダミー流路４９Ｘを通らずに供給マニホールド４１と帰還マニホールド４２とを連通させる。バイパス流路４８は、壁２３ｄを走査方向に貫通し、壁２３ｄの走査方向と直交する面に開口する。図５に示すように、バイパス流路４８のインクの流動方向である走査方向と直交する面における断面の形状は矩形である。

バイパス流路４８の下面は、振動板２２における走査方向に関してフィルター２２ａと帰還マニホールド４２の一部を構成する貫通孔２２ｂとの間の部分で形成されている。すなわち、バイパス流路４８の下面は、振動板２２におけるフィルター２２ａと隣接する領域で形成されている。バイパス流路４８は、フィルター２２ａの面方向と直交する方向である上下方向に関して、フィルター２２ａに対して複数の個別流路４９及びダミー流路４９Ｘとは反対側（図３中上側）に位置している。

図２に示すように、供給マニホールド４１ａと帰還マニホールド４２ａとを連通させるバイパス流路４８の搬送方向に関する位置は、上面視で圧力室列４３ａの搬送方向の上流側（図２中左側）に位置する２つの圧力室４３Ｘに対応する２つのダミー流路４９Ｘの間である。供給マニホールド４１ｂと帰還マニホールド４２ｂとを連通させるバイパス流路４８の搬送方向に関する位置は、上面視で圧力室列４３ｂの搬送方向の下流側（図２中右側）に位置する２つの圧力室４３Ｘに対応する２つのダミー流路４９Ｘの間である。

第２マニホールド部材２４は、下方に開口する溝２４ｂを有する。図３に示すように、溝２４ｂは、第２マニホールド部材２４において圧電素子２５の配置空間を挟んで走査方向の両側に配置された部分にそれぞれ設けられている。２つの溝２４ｂは、第１マニホールド部材２３における走査方向の両側にそれぞれ配置された貫通孔２３ｂ及び溝２３ｃの上方に配置されている。より詳細には、溝２４ｂは、貫通孔２３ｂと対向する領域と溝２３ｃに対向する領域とに跨って設けられている。

すなわち、供給マニホールド４１は、流路部材２１のプレート３５から第２マニホールド部材２４に亘って形成されている。そして、振動板２２に設けられたフィルター２２ａは、供給マニホールド４１内に配置される。供給マニホールド４１内のインクは上方から下方に向かってフィルター２２ａを通過する。よって、インクに異物が含まれている場合には、フィルター２２ａの上面に異物が残る。また、帰還マニホールド４２は、流路部材２１のプレート３５から第１マニホールド部材２３に亘って形成されている。

図２に示すように、第２マニホールド部材２４の上壁における供給マニホールド４１ａの搬送方向の下流側（図２中右側）端部と対向する部分には、供給ポート６１が形成されている。また、第２マニホールド部材２４の上壁における供給マニホールド４１ｂの搬送方向の上流側（図２中左側）端部と対向する部分には、供給ポート６２が形成されている。供給マニホールド４１ａ、４１ｂは、供給ポート６１、６２に取り付けられた管（図示せず）を介して、インクタンク９０とそれぞれ連通している。インクタンク９０と供給ポート６１、６２との間の流路の途中には、インクタンク９０内のインクを供給ポート６１、６２に向けて送るポンプ９１、９２がそれぞれ設けられている。

第２マニホールド部材２４の上壁における帰還マニホールド４２ａの搬送方向の上流側（図２中左側）端部と対向する部分には、帰還ポート６３が形成されている。また、第２マニホールド部材２４の上壁における帰還マニホールド４２ｂの搬送方向の下流側（図２中右側）端部と対向する部分には、帰還ポート６４が形成されている。帰還マニホールド４２ａ、４２ｂは、帰還ポート６３、６４に取り付けられた管（図示せず）を介して、インクタンク９０とそれぞれ連通している。インクタンク９０と帰還ポート６３、６４との間の流路の途中には、帰還ポート６３、６４からのインクをインクタンク９０に送るポンプ９３、９４がそれぞれ設けられている。

ここで、インクジェットヘッド３にインクを初期導入する場合について説明する。まず、ポンプ９１、９２を駆動することで、インクタンク９０に貯留されたインクが供給ポート６１、６２を介して２つの供給マニホールド４１ａ、４１ｂにそれぞれ流入する。搬送方向の下流側（図２中右側）の端部に供給ポート６１が位置する供給マニホールド４１ａにおいては、供給ポート６１から流入したインクが搬送方向の下流側から上流側（図２中右側から左側）に向けて流れる。そして、連通流路４４を介して搬送方向の下流側に位置する個別流路４９から順にインクが流入する。また、個別流路４９よりも搬送方向の上流側に位置するダミー流路４９Ｘにも連通流路４４を介してインクが流入する。

搬送方向の上流側（図２中左側）の端部に供給ポート６２が位置する供給マニホールド４１ｂにおいても同様に、搬送方向の上流側に位置する個別流路４９から順にインクが流入する。そして、個別流路４９よりも搬送方向の下流側に位置するダミー流路４９Ｘにもインクが流入する。

インクを初期導入する際、搬送方向に関して供給ポート６１、６２から最も離れた個別流路４９に関して供給ポート６１、６２とは反対側に位置する２つのダミー流路４９Ｘにまでインクが流入する。ここで、２つのダミー流路４９Ｘのうち、バイパス流路４８に関して個別流路４９とは反対側に位置するダミー流路４９Ｘの流路抵抗は、バイパス流路４８に関して個別流路４９と同じ側に位置するダミー流路４９Ｘの流路抵抗よりも小さい。したがって、バイパス流路４８に関して個別流路４９とは反対側に位置するダミー流路４９Ｘにまで、確実にインクを導入することができる。よって、インク導入時の廃液を減らすことができる。

次に、インクジェットヘッド３とインクタンク９０との間でのインクの循環について説明する。まず、ポンプ９１を駆動することで、インクタンク９０に貯留されたインクが供給ポート６１を介して供給マニホールド４１ａに流入し、ポンプ９２を駆動することで、インクタンク９０に貯留されたインクが供給ポート６２を介して供給マニホールド４１ｂに流入する。供給マニホールド４１ａ内に貯留されたインクの一部は、フィルター２２ａを通過した後に、複数の連通流路４４を介して対応する個別流路４９及びダミー流路４９Ｘに供給され、供給マニホールド４１ｂ内に貯留されたインクの一部は、フィルター２２ａを通過した後に、複数の連通流路４４を介して対応する個別流路４９及びダミー流路４９Ｘに供給される。個別流路４９及びダミー流路４９Ｘに供給されたインクの一部は、ディセンダ４５、４５Ｘに連通する連通流路４６を介して帰還マニホールド４２ａ又は帰還マニホールド４２ｂに流入する。

また、供給マニホールド４１ａ内に貯留されたインクの一部は、フィルター２２ａを通過する前に、バイパス流路４８を介して帰還マニホールド４２ａに流入し、供給マニホールド４１ｂ内に貯留されたインクの一部は、フィルター２２ａを通過する前に、バイパス流路４８を介して帰還マニホールド４２ｂに流入する。ポンプ９３を駆動することで、帰還マニホールド４２ａ内のインクは、帰還ポート６３を介してインクタンク９０に戻り、ポンプ９４を駆動することで、帰還マニホールド４２ｂ内のインクは、帰還ポート６４を介してインクタンク９０に戻る。

ここで、バイパス流路４８の抵抗Ｒｂは、フィルター２２ａから複数の連通流路４４を介して複数の個別流路４９及び複数のダミー流路４９Ｘの各吐出口４７に至る複数の流路の合成抵抗Ｒａよりも小さい。

また、上述のように、供給マニホールド４１と圧力室４３、４３Ｘとを繋ぐ連通流路４４には、絞り４４ａが設けられている。すなわち、絞り４４ａは、供給マニホールド４１と各個別流路４９、ダミー流路４９Ｘとを連通する。さらに、ディセンダ４５、４５Ｘと帰還マニホールド４２とを繋ぐ連通流路４６には、絞り４６ａが設けられている。すなわち、絞り４６ａは、帰還マニホールド４２と各個別流路４９、ダミー流路４９Ｘとを連通する。これら絞り４４ａ及び絞り４６ａのインクの流動方向である走査方向と直交する面における断面の面積は、個別流路４９及びダミー流路４９Ｘ内の平均圧力が負となる大きさを有する。

ここで、供給用のポンプ９１、９２から供給マニホールド４１を挟み、個別流路４９又はダミー流路４９Ｘまでの流路抵抗をＲｉ、個別流路４９又はダミー流路４９Ｘから帰還マニホールド４２を挟み、帰還用のポンプ９３、９４までの流路抵抗をＲｏ、個別流路４９、ダミー流路４９Ｘの流路抵抗をＲｃとする。さらに、供給用のポンプ９１、９２の圧力をＰｉ（≧０）、帰還用のポンプ９３、９４の圧力をＰｏ（≦０）とする。このとき、以下の式１を満たすように、絞り４４ａ及び絞り４６ａの断面積の大きさ及び長さを設計する。
２（ＲｏＰｉ＋ＲｉＰｏ）＋Ｒｃ（Ｐｉ＋Ｐｏ）≦０・・・（式１）

また、吐出口４７、４７Ｘのメニスカスが破壊される時の個別流路４９、ダミー流路４９Ｘ内の平均圧力をＰｍ（≦０）としたとき、絞り４４ａ及び絞り４６ａの断面積の大きさ及び長さは、上記の式１に加えて、以下の式２も満たすように設計する。
｛２（ＲｏＰｉ＋ＲｉＰｏ）＋Ｒｃ（Ｐｉ＋Ｐｏ）｝／（Ｒｉ＋Ｒｃ＋Ｒｏ）≧Ｐｍ・・・（式２）

[第１実施形態の特徴]
以上のように、上述の実施形態のインクジェットヘッド３は、複数の吐出口４７をそれぞれ有する複数の個別流路４９と、複数の個別流路４９に共通して設けられた供給マニホールド４１と、供給マニホールド４１内に配置されたフィルター２２ａと、複数の個別流路４９に共通して設けられた帰還マニホールド４２と、フィルター２２ａの面方向と直交する方向に関して、フィルター２２ａに対して複数の個別流路４９とは反対に配置されており、複数の個別流路４９を通らずに供給マニホールド４１と帰還マニホールド４２とを連通するバイパス流路４８とを備えている。このように、供給マニホールド４１と帰還マニホールド４２とを連通するバイパス流路４８を、フィルター２２ａに対して複数の個別流路４９とは反対側に配置することで、比較的流路抵抗が高いフィルター２２ａや個別流路４９を介することなくインクを循環させることができる。したがって、インクの循環流量を十分に確保できる。

また、本実施形態においては、複数の個別流路４９を有する流路部材２１と、流路部材２１の上面に積層される振動板２２と、振動板２２の上面に積層される圧電素子２５と、振動板２２の上面における圧電素子２５とは異なる位置に積層される第１マニホールド部材２３及び第２マニホールド部材２４とを備えている。すなわち、圧電素子２５と第１マニホールド部材２３及び第２マニホールド部材２４とが、上面視で重ならない位置に配置されている。したがって、圧電素子２５が上面視で第１マニホールド部材２３及び第２マニホールド部材２４と重なる位置に配置される場合に比べて、インクジェットヘッド３を高さ方向に小型化することができる。

さらに、本実施形態においては、振動板２２はフィルター２２ａを有している。したがって、フィルター２２ａ専用のプレートを備えることなくフィルター２２ａを設けることができるので、インクジェットヘッド３を高さ方向に小型化することができる。

加えて、本実施形態においては、バイパス流路４８は、第１マニホールド部材２３の下端部に形成された切欠きで構成されている。そして、バイパス流路４８の下面は、振動板２２におけるフィルター２２ａと隣接する領域で形成されている。すなわち、バイパス流路４８の下面は、フィルター２２ａの上面と同一の面内に位置している。したがって、インクがフィルター２２ａを通過する際にフィルター２２ａの上面に残った異物がバイパス流路４８に流れやすいので、フィルター２２ａの目詰まりを抑制することができる。よって、目詰まりによってフィルター２２ａの流路抵抗が高くなり、インクの循環流量が低下するのを防ぐことができる。

さらに、本実施形態においては、バイパス流路４８の抵抗Ｒｂは、フィルター２２ａから複数の連通流路４４を介して複数の個別流路４９及び複数のダミー流路４９Ｘの各吐出口４７に至る複数の流路の合成抵抗Ｒａよりも小さい。したがって、フィルター２２ａと、個別流路４９及び複数のダミー流路４９Ｘを介してインクを循環させる場合に比べて、インクの循環流量を確実に増やすことができる。

また、本実施形態においては、バイパス流路４８のインクの流動方向である走査方向と直交する面における断面の形状は矩形である。したがって、バイパス流路４８の断面形状が円形である場合に比べて、バイパス流路４８の減衰係数が大きくなるので、帰還マニホールド４２内の共振を十分に低減することができる。よって、共振の影響により、吐出口４７からのインクの吐出特性が低下するのを防ぐことができる。

さらに、本実施形態においては、供給マニホールド４１と各個別流路４９とを連通する絞り４４ａと、帰還マニホールド４２と各個別流路４９とを連通する絞り４６ａとの、インクの流動方向と直交する面における断面の面積は、個別流路４９及びダミー流路４９Ｘ内の平均圧力が負となる大きさを有する。したがって、個別流路４９及びダミー流路４９Ｘ内を負圧にすることで、吐出口４７、４７Ｘからインクが漏れるのを防ぐことができる。

加えて、本実施形態においては、供給マニホールド４１に液体を供給する供給ポート６１、６２から、搬送方向に関して最も離れた個別流路４９に関して供給ポート６１、６２とは反対側に２つのダミー流路４９Ｘが配置されている。バイパス流路４８は、２つのダミー流路４９Ｘのうち個別流路４９に最も近い位置するダミー流路４９Ｘに関して、供給ポート６１、６２とは反対側に配置されている。したがって、バイパス流路４８よりも供給ポート６１、６２に近い位置するダミー流路４９Ｘに供給されるインクの流量を十分に確保できる。よって、かかるダミー流路４９Ｘ内でインクに含まれる粒子の沈降等が生じるのを抑制することができる。よって、ダミー流路４９Ｘの特性が変わることによってダミー流路４９Ｘの近傍の個別流路４９に繋がる吐出口４７の吐出特性に影響が及ぶのを避けることができる。

以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

図６に示すように、上述の実施形態の第１変形例に係るインクジェットヘッド１０３は、バイパス流路１４８ａ、１４８ｂを有している。バイパス流路１４８ａ、１４８ｂは、いずれも供給マニホールド４１と帰還マニホールド４２とを連通させるものである。バイパス流路１４８ａ（本発明の「第１バイパス流路」）の流路抵抗は、バイパス流路１４８ｂ（本発明の「第２バイパス流路」）の流路抵抗よりも低い。

バイパス流路１４８ａは、実施形態のバイパス流路４８と同様に、フィルター２２ａの面方向と直交する方向である上下方向に関して、フィルター２２ａに対して複数の個別流路４９及びダミー流路４９Ｘとは反対側（図６中上側）に位置している。また、バイパス流路１４８ａの搬送方向に関する位置は、実施形態のバイパス流路４８と同様に、上面視で２つのダミー流路４９Ｘの間に位置している。

一方、バイパス流路１４８ｂは、フィルター２２ａの面方向と直交する方向である上下方向に関して、フィルター２２ａに対して複数の個別流路４９及びダミー流路４９Ｘと同じ側（図６中下側）に位置している。すなわち、バイパス流路１４８ｂは、フィルター２２ａと個別流路４９との間に位置している。

バイパス流路１４８ｂは、図７に示すように、流路部材１２１の５枚のプレートのうち最も上に積層されるプレート１３５に形成された貫通孔１３５ｄで構成される。貫通孔１３５ｄは、供給マニホールド４１の一部を構成する貫通孔１３５ｂと、帰還マニホールド４２の一部を構成する貫通孔１３５ｃとに繋がっている。本変形では、バイパス流路１４８ｂは、上面視でバイパス流路１４８ａと重なり合う位置に配置されている。バイパス流路１４８ｂは、上面視でバイパス流路１４８ａと重なり合わない位置に配置されていてもよい。

本変形例においては、上述の実施形態と同様に、バイパス流路１４８ａにより、フィルター２２ａよりも上方において供給マニホールド４１からのインクを帰還マニホールド４２に流入させることができる。さらに、バイパス流路１４８ｂにより、フィルター２２ａよりも下方において供給マニホールド４１からのインクを帰還マニホールド４２に流入させることができる。

また、本変形例においては、バイパス流路１４８ａの流路抵抗は、バイパス流路１４８ｂの流路抵抗よりも低い。したがって、バイパス流路１４８ａを流れるインクの流量を確保できるので、フィルター２２ａに残った異物がバイパス流路１４８ａに流れやすい。

図８に示すように、上述の実施形態の第２変形例に係るインクジェットヘッド２０３においては、供給マニホールド２４１及び帰還マニホールド２４２の走査方向に関する幅が一定ではない。すなわち、供給マニホールド２４１の走査方向に関する幅は、搬送方向に関して供給ポート２６１、２６２が設けられている端が最も大きく、供給ポート２６１、２６２から離れるにつれて次第に小さくなっている。帰還マニホールド２４２の走査方向に関する幅は、搬送方向に関して帰還ポート２６３、２６４が設けられている端とは反対側の端が最も大きく、帰還ポート２６３、２６４に近づくにつれて次第に小さくなっている。

供給マニホールド２４１及び帰還マニホールド２４２の高さは、搬送方向に関して一定である。したがって、供給マニホールド２４１は、インクの流れ方向と直交する断面（搬送方向に直交する断面）での断面積が、供給ポート２６１、２６２から離れるにつれて次第に小さくなる。帰還マニホールド２４２は、インクの流れ方向と直交する断面（搬送方向に直交する断面）での断面積が、帰還ポート２６３、２６４に近づくにつれて次第に小さくなる。

本変形例においては、供給マニホールド２４１及び帰還マニホールド２４２において、インクの流れ方向の下流側ほど、インクの流れと直交する面での断面積が小さくなっている。したがって、供給マニホールド２４１及び帰還マニホールド２４２においてインクのよどみが生じるのを抑制できる。

図９に示すように、上述の実施形態の第３変形例に係るインクジェットヘッド３０３においては、供給マニホールド３４１及び帰還マニホールド３４２の走査方向に関する幅が一定ではない。すなわち、供給マニホールド３４１の走査方向に関する幅は、搬送方向に関して供給ポート３６１、３６２の設けられている端で最も大きく、供給ポート３６１、３６２から離れるにつれて段階的に小さくなっている。帰還マニホールド３４２の走査方向に関する幅は、搬送方向に関して帰還ポート３６３、３６４の設けられている端とは反対側の端で最も大きく、帰還ポート３６３、３６４に近づくにつれて段階的に小さくなっている。

図９に示す例では、供給マニホールド３４１の搬送方向の中央から供給ポート３６１、３６２が配置されている端までの部分の幅はＬ１であり、搬送方向の中央から供給ポート３６１、３６２が配置されている端とは反対側の端までの幅はＬ２（＜Ｌ１）である。すなわち、供給マニホールド３４１は、比較的広い幅Ｌ１を有する部分と、比較的狭い幅Ｌ２を有する２つの部分からなる。帰還マニホールド３４２も同様に、搬送方向に関して帰還ポート３６３、３６４が配置されている端とは反対側の比較的広い幅Ｌ３を有する部分と、帰還ポート３６３、３６４が配置されている端の比較的狭い幅Ｌ４を有する部分とからなる。供給マニホールド３４１及び帰還マニホールド３４２は、３種類以上の幅の異なる部分で構成されていてもよい。

供給マニホールド３４１及び帰還マニホールド３４２の高さは、搬送方向に関して一定である。したがって、供給マニホールド３４１は、インクの流れ方向と直交する断面（搬送方向に直交する断面）での断面積が、供給ポート３６１、３６２から離れるにつれて段階的に小さくなる。帰還マニホールド３４２は、インクの流れ方向と直交する断面（搬送方向に直交する断面）での断面積が、帰還ポート３６３、３６４に近づくにつれて段階的に小さくなる。

本変形例においても、第２変形例と同様に、供給マニホールド３４１及び帰還マニホールド３４２においてインクのよどみが生じるのを抑制できる。

図１０に示すように、上述の実施形態の第４変形例にかかるインクジェットヘッド４０３においては、供給マニホールド４１及び帰還マニホールド４２を上下に仕切る仕切り壁２３ｅにバイパス流路４４８が設けられている。すなわち、バイパス流路４４８は、帰還マニホールド４２の一部を構成する第１マニホールド部材２３に形成された溝２３ｃの底部に形成された貫通孔で構成されている。バイパス流路４４８は、壁２３ｅの上下方向と直交する面に開口する。

図１１に示すように、上述の実施形態の第５変形例にかかるインクジェットヘッド５０３においては、バイパス流路５４８は、第１マニホールド部材２３の下端に設けられた切欠きと、振動板２２に設けられた貫通孔２２ｃとで構成される。第１マニホールド部材２３の下端に設けられた切欠きは、上述の実施形態と同様である。貫通孔２２ｃは、振動板２２に設けられた帰還マニホールド４２の一部を構成する貫通孔２２ｂと繋がっている。振動板２２の下方に配置されているプレート３５の上面が、バイパス流路５４８の下面となる。

本変形例においては、バイパス流路５４８の下面は、フィルター２２ａの上面よりも下方に位置している。したがって、上述の実施形態と同様に、インクがフィルター２２ａを通過する際にフィルター２２ａの上面に残った異物がバイパス流路５４８に流れやすい。

また、上述の実施形態においては、個別流路４９及びダミー流路４９Ｘが、上面視で供給マニホールド４１及び帰還マニホールド４２と重ならない位置に配置されている場合について説明した。しかしながら、個別流路４９及びダミー流路４９Ｘは、上面視で供給マニホールド４１や帰還マニホールド４２と重なる位置に配置されていてもよい。

さらに、上述の実施形態においては、圧電素子２５と第１マニホールド部材２３及び第２マニホールド部材２４とが、上面視で重ならない位置に配置されている場合について説明した。しかしながら、圧電素子２５と第１マニホールド部材２３や第２マニホールド部材２４とは、上面視で重なる位置に配置されていてもよい。

加えて、上述の実施形態では、振動板２２がフィルター２２ａを有している場合について説明したが、振動板２２とは別の部材にフィルター２２ａが設けられていてもよい。

また、上述の実施形態では、第１マニホールド部材２３にバイパス流路４８が設けられている場合について説明したが、これには限定されない。すなわち例えば、振動板２２と第１マニホールド部材２３との間に、バイパス流路４８が設けられた部材を配置してもよい。

また、上述の実施形態では、バイパス流路４８のインクの流動方向である走査方向と直交する面における断面の形状は矩形である場合について説明したが、これには限定されない。バイパス流路４８の断面形状は、厳密な矩形でなくとも角部に加工誤差程度の丸みがあってもよく、また意図的に角部に丸みを持たせてもよい。さらに、バイパス流路４８の断面形状は矩形に限定されるものではなく、例えば円形であってもよい。

さらに、上述の実施形態では、供給マニホールド４１と各個別流路４９とを連通する絞り４４ａと、帰還マニホールド４２と各個別流路４９とを連通する絞り４６ａとの断面積及び長さが、個別流路４９及びダミー流路４９Ｘ内の平均圧力が負となる大きさを有する場合について説明した。しかしながら、絞り４４ａ及び絞り４６ａの断面積及び長さは、個別流路４９及びダミー流路４９Ｘ内の平均圧力が負となる大きさを有していなくてもよい。また、絞り４４ａ及び絞り４６ａは設けられていなくてもよい。

また、上述の実施形態では、ディセンダ４５、４５Ｘと帰還マニホールド４２とを連通する連通流路４６がプレート３２～３４に亘って形成されており、帰還マニホールド４２がプレート３５から第１マニホールド部材２３に亘って形成されている場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、連通流路４６がプレート３２のみに形成されており、帰還マニホールド４２がプレート３３から第１マニホールド部材２３に亘って形成されていてもよいし、連通流路４６がプレート３２、３３に形成されており、帰還マニホールド４２がプレート３４から第１マニホールド部材２３に亘って形成されていてもよい。また、連通流路４６がプレート３２～３５に亘って形成されており、帰還マニホールド４２が振動板２２と第１マニホールド部材２３とに形成されていてもよい。

また、上述の実施形態においては、バイパス流路４８は、供給マニホールド４１ａ及び帰還マニホールド４２ａに１つ、供給マニホールド４１ｂ及び帰還マニホールド４２ｂに１つ設けられている場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、各供給マニホールド４１及び帰還マニホールド４２に複数のバイパス流路４８が設けられていてもよい。

加えて、上述の実施形態においては、供給ポート６１、６２から、搬送方向に関して最も離れた個別流路４９に関して供給ポート６１、６２とは反対側に２つのダミー流路４９Ｘが配置されている場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、供給ポート６１、６２から最も離れた個別流路４９に関して供給ポート６１、６２とは反対側に配置されるダミー流路４９Ｘの数は、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。また、ダミー流路４９Ｘは設けられていなくてもよい。

さらに、上述の実施形態においては、バイパス流路４８が、２つのダミー流路４９Ｘのうち個別流路４９に最も近い位置するダミー流路４９Ｘに関して、供給ポート６１、６２とは反対側に配置されている場合について説明したが、これには限定されない。搬送方向に関してバイパス流路４８と個別流路４９との間に、少なくとも１つのダミー流路４９Ｘが配置されていることが好ましい。すなわち、バイパス流路４８は、供給ポート６１、６２から搬送方向に関して最も離れたダミー流路４９Ｘに関して供給ポート６１、６２とは反対側に配置されていてもよい。また、バイパス流路４８は、個別流路４９とダミー流路４９Ｘとの間に配置されていてもよく、供給ポート６１、６２から搬送方向に関して最も離れた個別流路４９に関して供給ポート６１、６２と同じ側に配置されていてもよい。

また、上述の実施形態においては、上面視でダミー流路４９Ｘに対応する圧力室４３Ｘと重複する領域には、圧電素子２５が配置されていない場合について説明したが、圧力室４３Ｘと重複する領域に圧電素子２５が配置されていてもよい。この場合、圧力室４３Ｘと重複する領域に配置された圧電素子２５の個別電極５３の電位は常に一定としてもよいし、圧力室４３Ｘと重複する領域に配置された圧電素子２５に繋がる配線を断線させおいてもよい。

さらに、上述の実施形態においては、ダミー流路４９Ｘは、個別流路４９と同じ構造を有しており、圧力室４３Ｘ、ディセンダ４５Ｘ、及び吐出口４７Ｘを有している場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、ダミー流路４９Ｘは吐出口４７Ｘを有していなくてもよい。

加えて、上述の実施形態においては、個別流路４９及びダミー流路４９Ｘのディセンダ４５、４５Ｘが、連通流路４６を介して帰還マニホールド４２とそれぞれ連通している場合について説明したが、これには限定されない。供給ポート６１、６２から搬送方向に関して最も離れたダミー流路４９Ｘについては、流路内のインクを循環させる必要性が低いので、連通流路４６を介して帰還マニホールド４２と連通していなくてもよい。また、全ての個別流路４９及びダミー流路４９Ｘが、連通流路４６を介して帰還マニホールド４２と連通していなくてもよい。

また、上述の実施形態においては、供給マニホールド４１内にフィルター２２ａが配置されており、バイパス流路４８が、フィルター２２ａの面方向と直交する方向に関して、フィルター２２ａに対して複数の個別流路４９とは反対に配置されている場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、帰還マニホールド４２内にフィルター２２ａが配置されていてもよいし、供給マニホールド４１内及び帰還マニホールド４２内の両方にフィルター２２ａが配置されていてもよい。これらの場合も、バイパス流路４８は、フィルター２２ａに対して複数の個別流路４９とは反対に配置される。

アクチュエータは、圧電素子を用いたピエゾ方式のものに限定されず、その他の方式（例えば、発熱素子を用いたサーマル方式、静電力を用いた静電方式等）のものであってもよい。

プリンタ１の記録形式は、シリアル式に限定されず、記録用紙Ｐの幅方向に長尺であり、且つ、位置が固定されたヘッドのノズルからインクを吐出するライン式であってもよい。

ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。また、吐出対象は、記録用紙Ｐに限定されず、例えば布、基板等であってもよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。

３ インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
２２ａ フィルター
４１、４１ａ、４１ｂ 供給マニホールド（第１マニホールド）
４２、４２ａ、４２ｂ 帰還マニホールド（第２マニホールド）
４８ バイパス流路
４９ 個別流路

Claims (19)

1. 互いに積層された複数の部材から構成され、
   液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、
   前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、
   前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、
   前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、
   前記フィルターの面方向と直交する方向に関して、前記フィルターに対して前記複数の個別流路とは反対側に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通するバイパス流路と、
   前記複数の部材の積層方向と直交する方向である直交方向において、前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを仕切る仕切り壁と、を備え、
   前記バイパス流路は、前記仕切り壁を貫通し、
   前記バイパス流路における前記複数の個別流路側の面は、前記フィルターにおける前記複数の個別流路とは反対側の面と同一の面内に位置していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記個別流路は、前記直交方向において、前記第１マニホールドと前記第２マニホールドと重ならない位置に配置されていること特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記複数の部材は、
   前記個別流路を有する流路部材と、
   前記流路部材に積層される振動板と、
   前記積層方向に関して前記振動板に対して前記流路部材とは反対側に配置されている圧電素子と、
   前記積層方向に関して前記振動板に対して前記流路部材とは反対側において前記圧電素子とは異なる位置に積層され、前記第１マニホールドの少なくとも一部と、前記第２マニホールドの少なくとも一部とを有するマニホールド部材と、を含んでいることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記振動板は、前記フィルターを有することを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 互いに積層された複数の部材から構成され、
   液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、
   前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、
   前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、
   前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、
   前記フィルターの面方向と直交する方向に関して、前記フィルターに対して前記複数の個別流路とは反対側に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通するバイパス流路と、
   前記複数の部材の積層方向と直交する方向である直交方向において、前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを仕切る仕切り壁と、を備え、
   前記バイパス流路は、前記仕切り壁を貫通し、
   前記バイパス流路における前記複数の個別流路
   前記個別流路は、前記直交方向において、前記第１マニホールドと前記第２マニホールドと重ならない位置に配置され、
   前記複数の部材は、
   前記個別流路を有する流路部材と、
   前記流路部材に積層される振動板と、
   前記積層方向に関して前記振動板に対して前記流路部材とは反対側に配置されている圧電素子と、
   前記積層方向に関して前記振動板に対して前記流路部材とは反対側において前記圧電素子とは異なる位置に積層され、前記第１マニホールドの少なくとも一部と、前記第２マニホールドの少なくとも一部とを有するマニホールド部材と、を含んでおり、
   前記振動板は、前記フィルターを有し、かつ、前記バイパス流路の少なくとも一部を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
6. 前記マニホールド部材は、前記バイパス流路の少なくとも一部を有することを特徴とする請求項３～５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記マニホールド部材は、前記積層方向に貫通する貫通孔と、前記積層方向に関して前記振動板側に開口する溝とを有し、
   前記貫通孔が前記第１マニホールドの少なくとも一部と対応し、前記溝が前記第２マニホールドの少なくとも一部と対応し、
   前記バイパス流路は、前記溝のうち前記積層方向と交差する面に開口を有していることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記マニホールド部材は、前記積層方向に貫通する貫通孔と、前記積層方向に関して前記振動板側に開口する溝とを有し、
   前記貫通孔が前記第１マニホールドの少なくとも一部と対応し、前記溝が前記第２マニホールドの少なくとも一部と対応し、
   前記バイパス流路は、前記溝のうち前記直交方向と交差する面に開口を有していることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記複数の部材は、前記積層方向に沿って順に積層される第１プレート、第２プレート、第３プレート、第４プレートおよび第５プレートを含み、
   前記第１プレートは、前記吐出口を有し、
   前記第２プレートは、前記吐出口へ連通するディセンダの一部と、前記ディセンダの一部と連通する第１連通流路の一部とを有し、
   前記第３プレートは、前記ディセンダの一部と、前記第１連通流路の前記直交方向と平行な壁面を形成する第１壁部と、前記第１連通流路の一部とを有し、
   前記第４プレートは、前記ディセンダと連通する圧力室の一部と、前記圧力室の一部と連通する第２連通流路と、前記第１連通流路の一部とを有し、
   前記第５プレートは、前記圧力室の一部と、前記第２連通流路の前記直交方向と平行な壁面を形成する第２壁部と、前記第２連通流路と連通する前記第１マニホールドの一部と、前記第１連通流路の一部と連通する前記第２マニホールドの一部とを有することを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
10. 液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、
    前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、
    前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、
    前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、
    前記フィルターの面方向と直交する方向に関して、前記フィルターに対して前記複数の個別流路とは反対側に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通するバイパス流路と、
    を備え、
    前記バイパス流路の抵抗は、前記フィルターから複数の前記吐出口に至る複数の流路の合成抵抗よりも小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
11. 液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、
    前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、
    前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、
    前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、
    前記フィルターの面方向と直交する方向に関して、前記フィルターに対して前記複数の個別流路とは反対側に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通するバイパス流路と、
    を備え、
    前記バイパス流路は、液体の流れ方向と直交する断面の形状が矩形であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
12. 液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、
    前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、
    前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、
    前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、
    前記フィルターの面方向と直交する方向に関して、前記フィルターに対して前記複数の個別流路とは反対側に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通するバイパス流路と、
    前記複数の個別流路と前記第１マニホールドとを連通させる複数の第１絞りと、
    前記複数の個別流路と前記第２マニホールドとを連通させる複数の第２絞りと、 を備え、
    前記第１絞りの断面積及び長さと、前記第２絞りの断面積及び長さとは、前記個別流路内の平均圧力が負となる大きさを有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
13. 液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、
    前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、
    前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、
    前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、
    前記フィルターの面方向と直交する方向に関して、前記フィルターに対して前記複数の個別流路とは反対側に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通するバイパス流路と、
    を備え、
    前記バイパス流路は、第１バイパス流路と第２バイパス流路とを含んでおり、
    前記第１バイパス流路は、前記フィルターの面方向と直交する方向に関して、前記フィルターに対して前記複数の個別流路とは反対側に配置されており、
    前記第２バイパス流路は、前記フィルターと前記複数の個別流路との間に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
14. 前記第１バイパス流路の抵抗は、前記第２バイパス流路の抵抗よりも低いことを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
15. 前記第１マニホールドは、前記複数の個別流路に液体を供給する供給マニホールドであり、
    前記第２マニホールドは、前記第１マニホールドから流出した液体が流入する帰還マニホールドであり、
    前記バイパス流路は、前記供給マニホールドから前記帰還マニホールドへ液体を供給することを特徴とする請求項１～１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
16. 液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、
    前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、
    前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、
    前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、
    前記フィルターの面方向と直交する方向に関して、前記フィルターに対して前記複数の個別流路とは反対側に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通するバイパス流路と、
    を備え、
    前記第１マニホールドは、前記複数の個別流路に液体を供給する供給マニホールドであり、
    前記第２マニホールドは、前記第１マニホールドから流出した液体が流入する帰還マニホールドであり、
    前記バイパス流路は、前記供給マニホールドから前記帰還マニホールドへ液体を供給し、
    前記第１マニホールドに液体を供給する供給ポートと、
    前記第１マニホールドから液体が供給される一又は複数のダミー流路と、をさらに備えており、
    前記一又は複数のダミー流路は、前記複数の個別流路のうち前記供給ポートから最も離れた個別流路に対して前記供給ポートとは反対側に位置しており、
    前記バイパス流路は、前記一又は複数のダミー流路のうちの少なくとも１つのダミー流路に対して前記供給ポートとは反対側に位置していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
17. 前記第１マニホールドに液体を供給する供給ポートをさらに備えており、
    前記第１マニホールドは、液体の流れ方向と直交する断面の断面積が、前記供給ポートから遠くなるほど小さくなることを特徴とする請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
18. 前記第１マニホールドは、液体の流れ方向と直交する断面の断面積が、前記供給ポートから遠くなるほど小さくなることを特徴とする請求項１６に記載の液体吐出ヘッド。
19. 液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、
    前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、
    前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、
    前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、
    前記フィルターの面方向と直交する方向に関して、前記フィルターに対して前記複数の個別流路とは反対側に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通するバイパス流路と、
    を備え、
    前記第１マニホールドは、前記複数の個別流路に液体を供給する供給マニホールドであり、
    前記第２マニホールドは、前記第１マニホールドから流出した液体が流入する帰還マニホールドであり、
    前記バイパス流路は、前記供給マニホールドから前記帰還マニホールドへ液体を供給し、
    前記第２マニホールドの液体が流れ込む帰還ポートをさらに備えており、
    前記第２マニホールドは、液体の流れ方向と直交する断面の断面積が、前記帰還ポートに近くなるほど小さくなることを特徴とする液体吐出ヘッド。

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