JP7287074B2 - 液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。

液体を吐出する液体吐出ヘッドとして、複数の個別液室内の液体を循環させる循環型ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドにおいて、ノズル近傍の液体を循環させる利点の１つとして、ノズルから入り込んだ気泡を排出できることが挙げられる。特許文献１は、ノズルに連通する液体流路の途中に、気泡を微細化する微細化手段を設けることを開示している。微細化手段を設けることで、液体流路が大きな気泡により塞がれることを防止し、気泡の排出を促進できる。

特開２０１７－１４４６６０号公報

ところで、循環型ヘッドでは、循環型ヘッド内への異物流入防止を目的として、循環型ヘッドへ液体を供給する供給口、及び循環型ヘッドから液体を排出する排出口にフィルタを設ける場合がある。しかし、フィルタが設けられた循環型ヘッドでは、ノズルから入り込んだ気泡がフィルタにトラップされて、フィルタが閉塞する（目詰まりする）場合がある。フィルタが目詰まりすると、液体の循環が滞り、気泡の排出が難しくなる。また、液体流路内の圧力変動や流量変動が大きくなり、液体の吐出が不安定となる。例えば、ノズルにおいて液体のメニスカスブレイクが発生し、液体がノズルから溢れ出てしまう。

本発明の目的は、気泡の排出を促進し、液体を安定に吐出可能な液体吐出ヘッドを提供する。

本発明に従えば、液体吐出ヘッドであって、
第１方向及び、第１方向に垂直な第２方向のいずれにも平行なノズル面と、第１方向及び第２方向のいずれにも垂直な第３方向において、前記ノズル面から離間して配置される背面と、を有する流路部材であって、前記ノズル面に沿って配置された複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ接続する複数の個別流路と、前記複数の個別流路と接続され、第１方向に延びる第１及び第２共通流路と、前記背面に開口し、第１共通流路の第１方向における一方側の端部と連通する第１開口と、前記背面に開口し、第２共通流路の第１方向における前記一方側の端部と連通する第２開口と、が形成された流路部材と、
前記背面上に配置され、第１開口を覆うフィルタを有するフィルタ部材と、を備え、
第２開口がフィルタで覆われておらず、第１開口の面積が第２開口の面積より大きく、
第１共通流路は、液体が第１方向の前記一方側から他方側に向かって流れ、前記個別流路に前記液体を供給する供給共通流路であり、
第２共通流路は、前記個別流路から液体が帰還し、帰還した液体が第１方向の前記他方側から前記一方側に向かって流れる帰還共通流路であり、
第１開口は、前記供給共通流路に液体を流入させる流入口であり、
第２開口は、前記帰還共通流路から液体を流出させる流出口である、液体吐出ヘッドが提供される。

第１実施形態に係るプリンタの概略構成図である。 図１のインクジェットヘッドの平面図である。 図２の一点鎖線で囲んだ部分の拡大図である。 図３のIV－IV線断面図である。 図２のV－V線断面図である。 変形例１のインクジェットヘッドにおける、流入口及び流出口近傍の概略断面図である。 変形例２のインクジェットヘッドにおける、流入口及び流出口近傍の概略断面図である。 変形例３のインクジェットヘッドにおける、流入口及び流出口近傍の概略平面図である。 変形例４のインクジェットヘッドにおける、流入口及び流出口近傍の概略平面図である。 第２実施形態に係るインクジェットヘッドの平面図である。 図１１（ａ）は、図１０のXIA－XIA線断面図であり、図１１（ｂ）は、図１０のXIB－XIB線断面図である。 変形例５インクジェットヘッドにおける、流入口及び流出口近傍の概略平面図である。 変形例６のインクジェットヘッドにおける、流入口及び流出口近傍の概略平面図である。3 図１４（ａ）は、図１３のXIVA－XIVA線断面図であり、図１４（ｂ）は、図１３のXIVB－XIVB線断面図である。

［第１実施形態］
以下、第１実施形態について説明する。

＜プリンタ１の全体構成＞
図１に示すように、第１実施形態に係るプリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３（本発明の「液体吐出ヘッド」）、プラテン４、及び、搬送ローラ５、６を備えている。

キャリッジ２は、走査方向に延びた２本のガイドレール７、８に支持され、ガイドレール７、８に沿って走査方向に移動する。なお、以下では、図１に示すように、走査方向の右側及び左側を定義して説明を行う。

インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２とともに走査方向に移動する。また、インクジェットヘッド３は、その下面（本発明の「ノズル面」）に形成された複数のノズル４５からインクを吐出する。なお、インクジェットヘッド３については後ほど詳細に説明する。

プラテン４は、インクジェットヘッド３の下面と対向して配置され、走査方向に記録用紙Ｐの全長にわたって延びている。プラテン４は、記録用紙Ｐを下方から支持する。搬送ローラ５、６は、それぞれ、走査方向と直交する搬送方向において、キャリッジ２よりも上流側及び下流側に配置され、記録用紙Ｐを搬送方向に搬送する。

そして、プリンタ１では、搬送ローラ５、６に、記録用紙Ｐを搬送方向に所定距離ずつ搬送させ、記録用紙Ｐが搬送される毎に、キャリッジ２を走査方向に移動させつつ、インクジェットヘッド３の複数のノズル４５からインクを吐出させることによって、記録用紙Ｐに印刷を行う。

なお、走査方向が、本発明の「第２方向」に相当する。また、搬送方向が本発明の「第１方向」に相当し、搬送方向の上流側及び下流側が、それぞれ、本発明の「第１方向の一方側」及び「第１方向の他方側」に相当する。また、搬送方向（第１方向）及び走査方向（第２方向）のいずれにも垂直な上下方向が、本発明の「第３方向」に相当する。

＜インクジェットヘッド＞
次に、インクジェットヘッド３について詳細に説明する。図２～図５に示すように、インクジェットヘッド３は、ノズル４５や後述する圧力室４０などのインク流路が形成された流路ユニット２１（本発明の「流路部材」）と、圧力室４０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ２２とを備えている。

＜流路ユニット＞
流路ユニット２１は、８枚のプレート３１～３８が上からこの順に積層されることによって形成されている。流路ユニット２１には、複数の圧力室４０と、複数の絞り流路４１と、複数のディセンダ流路４２（本発明の「接続流路）と、複数の連結流路４３（本発明の「循環用流路」）と、複数のノズル４５と、４つの供給マニホールド４６（本発明の「第１共通流路」、「供給共通流路」）と、３つの帰還マニホールド４７（本発明の「第２共通流路」、「帰還共通流路」）とが形成されている。

複数の圧力室４０は、プレート３１に形成されている。圧力室４０は、走査方向を長手方向とする略矩形の平面形状を有している。圧力室４０は、上下方向において、インクジェットヘッド３の下面（本発明の「ノズル面」）から離れて配置され、供給マニホールド４６又は帰還マニホールド４７と連通している。また、複数の圧力室４０は、搬送方向に配列されることによって圧力室列２９を形成している。また、プレート３１には、１２列の圧力室列２９が走査方向に並んでいる。また、圧力室列２９間で、圧力室４０の搬送方向の位置がずれている。

複数の絞り流路４１は、プレート３２、３３にまたがって形成されている。絞り流路４１は各圧力室４０に対して個別に設けられている。左から奇数番目の圧力室列２９を構成する圧力室４０に対して設けられた絞り流路４１は、圧力室４０の左端部と接続され、圧力室４０との接続部分から左方に延びている。左から偶数番目の圧力室列２９を構成する圧力室４０に対して設けられた絞り流路４１は、圧力室４０の右端部と接続され、圧力室４０との接続部分から右方に延びている。

複数のディセンダ流路４２は、プレート３２～３７に形成された貫通孔が上下方向に重なることによって形成されている。ディセンダ流路４２は、各圧力室４０に対して個別に設けられている。左から奇数番目の圧力室列２９を構成する圧力室４０に対して設けられたディセンダ流路４２は、圧力室４０の右端部と接続され、圧力室４０との接続部分から下方に延びている。左から偶数番目の圧力室列２９を構成する圧力室４０に対して設けられたディセンダ流路４２は、圧力室４０の左端部と接続され、圧力室４０との接続部分から下方に延びている。

複数の連結流路４３は、プレート３７に形成されている。連結流路４３は、ディセンダ流路４２と接続され、インクジェットヘッド３の下面（本発明の「ノズル面」）と平行な平面に沿って延び、ディセンダ流路４２とノズル４５とを連通させている。連結流路４３は、水平で且つ走査方向及び搬送方向に対して傾いた方向に延びて、隣接する２つの圧力室列２９のうち、一方の圧力室列２９を構成する圧力室４０に接続されたディセンダ流路４２の下端部と、他方の圧力室列２９を構成する圧力室４０に接続されたディセンダ流路４２の下端部とを接続する。より詳細に説明すると、プレート３７には、上記２つのディセンダ流路４２を形成する部分と、連結流路４３を形成する部分とが一体となった貫通孔が形成されている。

そして、流路ユニット２１では、１つのノズル４５に接続された１つの連結流路４３と、この連結流路４３に接続された２つのディセンダ流路４２と、これら２つのディセンダ流路４２に接続された２つの圧力室４０と、これら２つの圧力室４０と接続された２つの絞り流路４１とによって個別流路２８が形成されている。また、複数の個別流路２８が、搬送方向に配列されることによって個別流路列２７を形成している。また、流路ユニット２１では、６列の個別流路列２７が、走査方向に沿って並んでいる。

複数のノズル４５は、プレート３８に形成されている。ノズル４５は、各連結流路４３に対して個別に設けられており、連結流路４３の中央部に接続されている。

４つの供給マニホールド４６は、プレート３４、３５に形成された貫通孔と、プレート３６の上側の部分に形成された凹部とが上下に重なることによって形成されている。４つの供給マニホールド４６は、それぞれが搬送方向に延び、走査方向に間隔をあけて並んでいる。そして、４つの供給マニホールド４６は、それぞれ、左から１、４、５、８、９、１２番目の圧力室列２９を構成する圧力室４０に接続された絞り流路４１の、圧力室４０と反対側の端部と接続されている。

また、各供給マニホールド４６は、搬送方向における上流側の端部において、プレート３２～３６にまたがって上下方向に延びており、その上端部に流入口４８（本発明の「第１開口」）が設けられている。即ち、流入口４８は、流路ユニット２１の上面（本発明の「背面」）に開口し、供給マニホールド４６の搬送方向における上流側の端部と連通する。流入口４８の形状は特に限定されないが、例えば、略正方形である。そして、流入口４８は、フィルタ部材５０のフィルタ５１を介して、図示しないインクタンクに接続されており、インクタンクに貯留されたインクが流入口４８から供給マニホールド４６に供給される。そして、供給マニホールド４６においては、搬送方向の上流側から下流側に向かってインクが流れ、個別流路２８（絞り流路４１）へインクを供給する。

３つの帰還マニホールド４７は、プレート３４、３５に形成された貫通孔と、プレート３６の上側の部分に形成された凹部とが上下に重なることによって形成されている。３つの帰還マニホールド４７は、それぞれが搬送方向に延び、走査方向において、隣接する供給マニホールド４６の間に、それぞれ配置されている。そして、３つの帰還マニホールド４７は、それぞれ、左から２、３、６、７、１０、１１番目の圧力室列２９を構成する圧力室４０に接続された絞り流路４１の圧力室４０と反対側の端部と接続されている。

また、各帰還マニホールド４７は、搬送方向における上流側の端部において、プレート３２～３５にまたがって上下方向に延びており、その上端部に流出口４９（本発明の「第２開口」）が設けられている。即ち、流出口４９は、流路ユニット２１の上面（本発明の「背面」）に開口し、帰還マニホールド４７の搬送方向における上流側の端部と連通する。流出口４９の形状は特に限定されないが、例えば、略正方形である。流出口４９は、図示しないインクタンクに接続されている。そして、帰還マニホールド４７においては、個別流路２８（絞り流路４１）からインクが流れ込み、搬送方向の下流側から上流側に向かってインクが流れ、流出口４９からフィルタ部材５０の貫通孔５２を介して、インクが流出する。流出口４９から流出したインクは、図示しないインクタンクに戻される。すなわち、第１実施形態では、インクジェットヘッド３と図示しないインクタンクとの間でインクが循環する。

ここで、流入口４８とインクタンクとの間の流路の途中、又は、流出口４９とインクタンクとの間の流路の途中に、図示しないポンプが設けられており、このポンプが駆動されることにより生じるインクの流れによって、上述したようにインクが循環する。

流入口４８の面積Ｓ１は、流出口４９の面積Ｓ２より大きい。また、供給マニホールド４６は、帰還マニホールド４７よりも、搬送方向の上流側まで延びている。これにより、流入口４８が、流出口４９よりも搬送方向の上流側に位置している。換言すれば、搬送方向において、圧電アクチュエータ２２と流入口４８との間に、流出口４９が配置されている。すなわち、流入口４８と流出口４９とが、搬送方向にずれて配置されている。

また、４つの供給マニホールド４６及び３つの帰還マニホールド４７がこのように配置されていることにより、供給マニホールド４６と帰還マニホールド４７とが走査方向に交互に並んでいる。また、走査方向に交互に並ぶ供給マニホールド４６及び帰還マニホールド４７のうち、走査方向の両端に位置する２本のマニホールドが供給マニホールド４６となっている。

また、プレート３７には、供給マニホールド４６と上下方向に重なり、供給マニホールド４６と隔てられたダンパ室５９が形成されている。そして、プレート３６の下端部によって形成される、供給マニホールド４６とダンパ室５９とを隔てる隔壁が変形することにより、供給マニホールド４６内のインクの圧力変動が抑制される。また、プレート３７には、帰還マニホールド４７と上下方向に重なり、帰還マニホールド４７と隔てられたダンパ室５８が形成されている。そして、プレート３６の下端部によって形成される、帰還マニホールド４７とダンパ室５８とを隔てる隔壁が変形することにより、帰還マニホールド４７内のインクの圧力変動が抑制される。

＜フィルタ部材＞
流路ユニット２１の上面（本発明の「背面」）には、流入口４８を覆うフィルタ５１を有するフィルタ部材５０が配置されている。フィルタ部材５０は、例えば、ニッケル、ステンレス（ＳＵＳ）等の金属の板状体であって、その一部に、複数の細孔５３を有するフィルタ５１が形成されている。フィルタ５１は、例えば、電鋳フィルタである。上下方向から見た場合に、流入口４８及び流出口４９は、フィルタ部材５１の外周によって囲まれた領域の内側に配置されている。フィルタ部材５１は、上下方向において、流入口４８及び流出口４９と重なるように配置されている。そして、フィルタ部材５０には、流出口４９と連通する貫通孔５２が形成されている。即ち、流入口４８は、フィルタ部材５０のフィルタ５１に覆われており、一方、流出口４９はフィルタで覆われていない。フィルタ５１は流入口４８と同じ大きさであってもよいし、流入口４８より大きくてもよい。貫通孔５２は流出口４９と同じ大きさであってよいし、流出口４９より大きくてもよい。

フィルタ５１の面積は、貫通孔５２の面積より大きい。また、フィルタ５１は、貫通孔５２よりも搬送方向の上流側に位置している。換言すれば、搬送方向において、圧電アクチュエータ２２とフィルタ５１との間に、貫通孔５２が配置されている。

インクジェットヘッド３と図示しないインクタンクとの間で循環するインクは、フィルタ部材５０のフィルタ５１を通過して流入口４８から供給マニホールド４６に供給される。そして、個別流路２８を通った後、帰還マニホールド４７に戻され、流出口４９からフィルタ部材５０の貫通孔５２を通過してインクが流出し、図示しないインクタンクに戻される。

＜圧電アクチュエータ＞
圧電アクチュエータ２２は、２つの圧電層６１、６２と、共通電極６３と、複数の個別電極６４とを有する。圧電層６１、６２は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料からなる。圧電層６１は、流路ユニット２１の上面に配置され、圧電層６２は、圧電層６１の上面に配置されている。なお、圧電層６１は、圧電層６２とは異なり、例えば合成樹脂材料等、圧電材料以外の絶縁性材料からなるものであってもよい。

共通電極６３は、圧電層６１と圧電層６２との間に配置され、圧電層６１、６２のほぼ全域にわたって連続的に延びている。共通電極６３はグランド電位に保持されている。複数の個別電極６４は、複数の圧力室４０に対して個別に設けられている。個別電極６４は、走査方向を長手方向とする略矩形の平面形状を有し、対応する圧力室４０の中央部と上下方向に重なるように配置されている。また、個別電極６４の走査方向におけるディセンダ流路４２と反対側の端部は、圧力室４０と重ならない位置まで延び、その先端部が、図示しない配線部材との接続を行うための接続端子６４ａとなっている。複数の個別電極６４の接続端子６４ａは、図示しない配線部材を介して図示しないドライバＩＣに接続されている。そして、複数の個別電極６４には、ドライバＩＣにより個別に、グランド電位、及び、所定の駆動電位（例えば２０Ｖ程度）のうちいずれかの電位が選択的に付与される。また、共通電極６３と複数の個別電極６４とがこのように配置されるのに対応して、圧電層６２の各個別電極６４と共通電極６３とに挟まれた部分は、それぞれ、厚み方向に分極された活性部となっている。

ここで、圧電アクチュエータ２２を駆動してノズル４５からインクを吐出させる方法について説明する。圧電アクチュエータ２２では、ノズル４５からインクを吐出させない待機状態において、全ての個別電極６４が共通電極６３と同じグランド電位に保持されている。あるノズル４５からインクを吐出させるときには、そのノズル４５に接続された２つの圧力室４０に対応する２つの個別電極６４の電位をグランド電位から駆動電位に切り換える。

すると、上記２つの個別電極６４に対応する２つの活性部に、分極方向と平行な電界が発生し、上記２つの活性部が分極方向と直交する水平方向に収縮する。これにより、圧電層６１、６２の上記２つの圧力室４０と上下方向に重なる部分が全体として圧力室４０側に凸となるように変形する。その結果、圧力室４０の容積が小さくなることで圧力室４０内のインクの圧力が上昇し、圧力室４０に連通するノズル４５からインクが吐出される。また、ノズル４５からインクが吐出された後には、上記２つの個別電極６４の電位をグランド電位に戻す。これにより、圧電層６１、６２が変形前の状態に戻る。

以上説明した本実施形態のインクジェットヘッド３は、例えば、以下に説明する作用効果を奏する。インクジェットヘッド３では、流入口４８はフィルタ部材５０のフィルタ５１に覆われており、一方、流出口４９はフィルタで覆われていない。流入口４８がフィルタ５１に覆われることにより、インク中の異物などがフィルタ５１に捕捉され、流路ユニット２１への異物の流入が妨げられる。一方で、流出口４９はフィルタ５１で覆われていないため、ノズル４５から入り込んだ気泡はフィルタ５１にトラップされることなく（目詰まりすることなく）、流路ユニット２１から排出される。気泡によるフィルタの目詰まりが発生しないため、ノズル４５から安定にインクを吐出できる。

更に、本実施形態のインクジェットヘッド３では、流入口４８の面積Ｓ１が、流出口４９の面積Ｓ２より大きい。流入口４８の面積Ｓ１が流出口４９の面積Ｓ２と同じ、又は小さいと、流動抵抗の大きいフィルタ５１を流入口４８のみに設けているため、インクジェットヘッド３内において、フィルタ５１及び流入口４８を通過してノズル４５に向かって流れるインクの流動抵抗（以下、適宜、「流入インクの流動抵抗」と記載する）は、ノズル４５から流出口４９に向かって流れるインクの流動抵抗（以下、適宜、「流出インクの流動抵抗」と記載する）より大きくなる。流入インクの流動抵抗と、流出インクの流動抵抗との差が大きいと、液体流路内の圧力変動や流量変動が大きくなり、インクの吐出が不安定となる。本実施形態では、流入口４８の面積Ｓ１を流出口４９の面積Ｓ２より大きくすることで、流入インクの流動抵抗と、流出インクの流動抵抗との差を小さくできる。これにより、液体流路内の圧力変動や流量変動を抑制し、ノズル４５から安定にインクを吐出できる。

流入インクの流動抵抗を、例えば、厚さｔのフィルタ部材５０のフィルタ５１を通過して、流入口４８から供給マニホールド４６内を所定長さＬ流れるインクの流動抵抗（Ｒ_ｉｎ）と定義する。また、流出インクの流動抵抗を、例えば、帰還マニホールド４７内を所定長さＬ流れて流出口４９に到り、フィルタ部材５０の貫通孔５２を通過するインクの流動抵抗（Ｒ_ｏｕｔ）と定義する。流入インクの流動抵抗（Ｒ_ｉｎ）と、流出インクの流動抵抗（Ｒ_ｏｕｔ）とは、それぞれ、以下の式（１）及び（２）で表される。

式（１）及び（２）において、各記号は以下を意味する。
μ：インクの粘度
Ｌ：インクが流れる所定長さ
ｔ：フィルタ部材の厚さ
ｒ_ｉｎ：流入口４８を面積Ｓ１の円と仮定した場合の円の半径（以下、「流入口４８の等価半径」と記載する）
ｒ_ｏｕｔ：流出口４９を面積Ｓ２の円と仮定した場合の円の半径（以下、「流出口４９の等価半径」と記載する）
ｄ：フィルタ５１の細孔５３を、細孔５３と同面積を有する円と仮定した場合の円の半径
ｎ：フィルタ５１の細孔５３の数

また、式（１）において、インクは、流入口４８と同じ断面積（面積Ｓ１）の供給マニホールド４６の一部を所定長さＬ流れるものとする。式（２）において、インクは、流出口４９と同じ断面積（面積Ｓ２）の帰還マニホールド４７の一部を所定長さＬ流れるものとする（図５参照）。式（１）で表される流入インクの流動抵抗（Ｒ_ｉｎ）は、フィルタ５１及び流入口４８近傍の比較的短い距離（Ｌ）を流れるインクの流動抵抗である。式（２）で表される流出インクの流動抵抗（Ｒ_ｏｕｔ）は流出口４９近傍の比較的短い距離（Ｌ）を流れるインクの流動抵抗である。所定長さＬは、例えば、供給マニホールド４６において、プレート３１及び３２を上下方向に貫通している部分であり、帰還マニホールド４７において、プレート３１及び３２を上下方向に貫通している部分である。

フィルタ５１及び流入口４８近傍を流れる流入インクの流動抵抗（即ち、式（１）で表される流動抵抗（Ｒ_ｉｎ））と、流出口４９近傍を流れる流出インクの流動抵抗（即ち、式（２）で表される流動抵抗（Ｒ_ｏｕｔ））との差を小さくすることで、流路ユニット２１に流入してからノズル４５まで流れる流入インクの流動抵抗と、ノズル４５から流路ユニット２１を流出するまで流れる流出インクの流動抵抗との差を小さくできる。これにより、液体流路内の圧力変動や流量変動を抑制し、ノズル４５から安定にインクを吐出できる。式（１）及び（２）でそれぞれ表される流入インクの流動抵抗（Ｒ_ｉｎ）と、流出インクの流動抵抗（Ｒ_ｏｕｔ）との差の絶対値は小さい方が好ましく、例えば、インクの粘度１ｍＰａ・ｓあたり、１ｋＰａ以下である。

理想的な場合として、下記式（３）に示すように、流動抵抗（Ｒ_ｉｎ）と流動抵抗（Ｒ_ｏｕｔ）とが等しい場合を考える。この場合、流入口４８の等価半径ｒ_ｉｎと流出口４９の等価半径ｒ_ｏｕｔとは、下記式（４）で表される関係を示す。

式（４）から理解できるように、流入インクの流動抵抗（Ｒ_ｉｎ）と流出インクの流動抵抗（Ｒ_ｏｕｔ）とが等しくなるように、又は、流入インクの流動抵抗（Ｒ_ｉｎ）と流出インクの流動抵抗（Ｒ_ｏｕｔ）との差の絶対値が所定の範囲内となるように、インクジェットヘッド３全体の構成に合わせて、流入口４８の等価半径ｒ_ｉｎ及び流出口４９の等価半径ｒ_ｏｕｔ、即ち、流入口４８の面積Ｓ１及び流出口４９の面積Ｓ２を設計可能である。

また、インクジェットヘッド３では、搬送方向において、圧電アクチュエータ２２と流入口４８との間に、流出口４９が配置されている。即ち、流入口４８が、流出口４９よりも搬送方向の上流側に配置される。搬送方向において、圧電アクチュエータ２２と、フィルタ部材５０のフィルタ５１との間に、流出口４９が配置されている。したがって、発熱源となる圧電アクチュエータ２２から、フィルタ部材５０のフィルタ５１をより、遠い位置に配置できる。これにより、フィルタ５１の細孔５３の熱変形を防止できる。

［変形例１～４］
変形例１～４に係るインクジェットヘッド８１～８４では、第１実施形態に係るインクジェットヘッド３における、流入口４８及び流出口４９の形状、配置等の形態を図６～図９に示すように変更する。その他の構成は、第１実施形態に係るインクジェットヘッド３と同様である。図６～図９において、第１実施形態と同様の構成物に対しては、同様の参照番号を用いる。以下に説明する変形例１～４に係るインクジェットヘッド８１～８４は、第１実施形態と同様に、流入口４８はフィルタ部材５０のフィルタ５１に覆われており、一方、流出口４９はフィルタで覆われていない。そして、流入口４８の面積Ｓ１が、流出口４９の面積Ｓ２より大きい。これにより、変形例１～４に係るインクジェットヘッドは、第１実施形態と同様に、流路ユニット２１への異物の流入を妨げると共に、気泡の排出を促進し、更に、インクを安定に吐出可能である。

上述した第１実施形態のインクジェットヘッド３では、搬送方向において、圧電アクチュエータ２２と流入口４８との間に、流出口４９が配置されているが（図５参照）、本実施形態はこれに限定されない。変形例１のインクジェットヘッド８１では、図６に示すように、搬送方向において、圧電アクチュエータ２２と流出口４９との間に、流入口４８が配置されている。即ち、流出口４９が、流入口４８よりも搬送方向の上流側に配置される。フィルタ部材５０のフィルタ５１が、流出口４９よりも搬送方向の下流側に配置される。この構成により、流動抵抗が高いフィルタ５１をよりノズル４５に近い位置に配置して、ノズル４５までの流入インクの流動抵抗を低下させることができる。この結果、流入インクの流動抵抗と、流出インクの流動抵抗との差をより小さくでき、ノズル４５からより安定にインクを吐出できる。

上述した第１実施形態のインクジェットヘッド３では、上下方向から見た場合に、流入口４８及び流出口４９は、フィルタ部材５１の外周によって囲まれた領域の内側に配置されている。そして、フィルタ部材５１には、流出口４９と連通する貫通孔５２が形成されている（図５参照）。しかし、本実施形態は、これに限定されない。変形例２のインクジェットヘッド８２では、図７に示すように、フィルタ部材５０が、上下方向において、流出口４９と重ならないように配置されている。フィルタ部材５０に、流出口４９と連通する貫通孔５２は形成されておらず、フィルタ部材５０は流入口４８のみを覆っている。本変形例では、フィルタ部材５０を小型化できるためコストを削減できる。また、流出口４９と、フィルタ部材５０に設けられる貫通孔５２との位置合わせが不要となり、製造工程の効率化が図れる。

上述した第１実施形態のインクジェットヘッド３では、流出口４９の形状は略正方形であったが（図２参照）、本実施形態は、これに限定されない。変形例３のインクジェットヘッド８３では、図８に示すように、流出口４９の形状が円形である。流出口４９の形状を円形とすることで、以下に説明するメカニズムにより、流路ユニット２１からの気泡の排出を更に促進できる。ノズル４５から入り込んだ気泡が、流出口４９の大きさより十分に小さい場合は、気泡は流出口４９を通過して流路ユニット２１から排出される。しかし、気泡が流出口４９の大きさより大きい場合、又は同程度の大きさである場合、気泡が流出口４９に引っ掛かり流路ユニット２１から排出されない虞がある。このとき、流出口４９の形状が円形であれば、球体である気泡によって、流出口４９は隙間なく完全に閉塞される。インクジェットヘッド３と図示しないインクタンクとの間でインクが循環しているため、流出口４９が気泡によって完全に塞がれると、流出口４９の上流側（流路ユニット２１の内部）と下流側（流路ユニット２１の外部）との間に大きな圧力差が生じる。この圧力差によって、気泡は変形して流出口４９を通過し、流路ユニット２１の外側へ排出される。

上述した第１実施形態のインクジェットヘッド３では、搬送方向においても、走査方向においても、流入口４８と流出口４９とは並んで配置されていない。流入口４８と流出口４９とは、千鳥配列されている（図２参照）。しかし、本実施形態はこれに限定されない。変形例４のインクジェットヘッド８４では、図９に示すように、搬送方向において、流出口４９と流入口４８の一部が並んで配置され、走査方向において、流出口４９と流入口４８の他の一部とが並んで配置されている。流入口４８は、流出口４９の搬送方向における隣側、及び走査方向における隣側に、大きく広がっており、略Ｌ字型である。このように、流出口４９に対して、流入口４８の面積をより大きくすることで、流入インクの流動抵抗と、流出インクの流動抵抗との差をより小さくでき、ノズル４５からより安定にインクを吐出できる。

［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。第２実施形態では、インクジェットヘッドにおける供給マニホールド及び帰還マニホールドの配置等が、第１実施形態と異なっている。

図１０及び図１１に示すように、第２実施形態に係るインクジェットヘッド１００は、流路ユニット１０１（本発明の「流路部材」）と、圧電アクチュエータ１０２とを備えている。

＜流路ユニット＞
流路ユニット１０１は、８枚のプレート１１１～１１８が上からこの順に積層されることによって形成されている。流路ユニット１０１には、複数の圧力室１２０と、複数の絞り流路１２１と、複数のディセンダ流路１２２（本発明の「接続流路」）と、複数の循環用流路１２３と、複数のノズル１２５と、６つの供給マニホールド１２６（本発明の「第１共通流路」、「供給共通流路」）と、６つの帰還マニホールド１２７（本発明の「第２共通流路」、「帰還共通流路」）とが形成されている。

複数の圧力室１２０は、プレート１１１に形成されている。圧力室１２０は、圧力室４０（図２参照）と同様の形状のものである。圧力室１２０は、上下方向において、インクジェットヘッド１００の下面（本発明の「ノズル面」）から離れて配置され、供給マニホールド１２６と連通している。また、複数の圧力室１２０は、搬送方向に配列されることによって圧力室列１１９を形成している。また、プレート１１１には、６列の圧力室列１１９が走査方向に並んでいる。また、圧力室列１１９間で、圧力室１２０の搬送方向の位置がずれている。

複数の絞り流路１２１は、プレート１１２、１１３にまたがって形成されている。絞り流路１２１は絞り流路４１（図２参照）と同様の形状を有するものであり、各圧力室１２０に対して個別に設けられている。絞り流路１２１は、圧力室４０の左端部と接続され、圧力室４０との接続部分から左方に延びている。

複数のディセンダ流路１２２は、プレート１１２～１１７に形成された貫通孔が上下方向に重なることによって形成されている。ディセンダ流路１２２は、各圧力室１２０に対して個別に設けられている。ディセンダ流路１２２は、圧力室１２０の右端部と接続され、圧力室１２０との接続部分から下方に延びている。

複数の循環用流路１２３は、プレート１１７の下側の部分に形成されている。循環用流路１２３は、ディセンダ流路１２２と接続され、インクジェットヘッド１００の下面（本発明の「ノズル面」）と平行な平面に沿って延びている。循環用流路１２３は、ディセンダ流路１２２に対して個別に設けられており、ディセンダ流路１２２の側壁面の左下端部に接続され、ディセンダ流路１２２との接続部分から左方に延びている。複数のノズル１２５は、プレート１１８に形成されている。ノズル１２５は、ディセンダ流路１２２に対して個別に設けられており、ディセンダ流路１２２の下端に接続されている。

そして、以上に説明したインク流路のうち、ノズル１２５に接続されたディセンダ流路１２２と、ディセンダ流路１２２に接続された循環用流路１２３及び圧力室１２０と、圧力室１２０と接続された絞り流路１２１とによって個別流路１０８が形成されている。また、複数の個別流路１０８が搬送方向に配列されることによって、個別流路列１０７を形成している。また、流路ユニット１０１では、６列の個別流路列１０７が走査方向に並んでいる。

６つの供給マニホールド１２６は、プレート１１４に形成されている。６つの供給マニホールド１２６は、それぞれが搬送方向に延び、走査方向に間隔をあけて並んでいる。６つの供給マニホールド１２６は、６列の個別流路列１０７に対応しており、各供給マニホールド１２６は、対応する個別流路列１０７を構成する複数の個別流路１０８の絞り流路１２１と接続されている。

また、各供給マニホールド１２６は、搬送方向における上流側の端部において、プレート１１２～１１４にまたがって上下方向に延びており、その上端部に流入口１２８（本発明の「第１開口」）が設けられている。即ち、流入口１２８は、流路ユニット１０１の上面（本発明の「背面」）に開口し、供給マニホールド１２６の搬送方向における上流側の端部と連通する。そして、流入口１２８は、フィルタ部材１３０のフィルタ１３１を介して、図示しないインクタンクに接続されており、インクタンクに貯留されたインクが流入口１２８から供給マニホールド１２６に供給される。そして、供給マニホールド１２６においては、搬送方向の上流側から下流側に向かってインクが流れ、個別流路１０８（絞り流路１２１）へインクを供給する。

６つの帰還マニホールド１２７は、プレート１１７に形成されている。６つの帰還マニホールド１２７は、それぞれが搬送方向に延び、走査方向に間隔をあけて並び、供給マニホールド１２６と上下方向に重なっている。これにより、供給マニホールド１２６が、帰還マニホールド１２７よりも上方に位置している。また、帰還マニホールド１２７は、供給マニホールド１２６よりも搬送方向の上流側まで延びている。

また、各帰還マニホールド１２７は、搬送方向における上流側の端部において、プレート１１２～１１７にまたがって上下方向に延びており、その上端部に流出口１２９（本発明の「第２開口」）が設けられている。即ち、流出口１２９は、流路ユニット１０１の上面（本発明の「背面」）に開口し、帰還マニホールド１２７の搬送方向における上流側の端部と連通する。流出口１２９は、フィルタ部材１３０の貫通孔１３２を介して、図示しないインクタンクに接続されている。そして、帰還マニホールド１２９においては、個別流路１０８（絞り流路１２１）からインクが流れ込み、搬送方向の下流側から上流側に向かってインクが流れ、流出口１２９からインクが流出する。流出口１２９から流出したインクは、図示しないインクタンクに戻される。すなわち、第２実施形態では、インクジェットヘッド１００と図示しないインクタンクとの間でインクが循環する。

ここで、流入口１２８とインクタンクとの間の流路の途中、又は、流出口１２９とインクタンクとの間の流路の途中に、図示しないポンプが設けられており、このポンプが駆動されることにより生じるインクの流れによって、上述したようにインクが循環する。

ここで、上述したように、帰還マニホールド１２７が、供給マニホールド１２６よりも搬送方向の上流側まで延びている。これにより、流出口１２９が、流入口１２８よりも搬送方向の上流側に配置される。流入口１２８と流出口１２９とは、搬送方向に並んで配置されている。換言すれば、流入口１２８が、搬送方向において、圧電アクチュエータ１０２と流出口１２９との間に配置されている。すなわち、流入口１２８と流出口１２９とが搬送方向にずれて配置されている。また、流入口１２８の面積Ｓ１１は、流出口１２９の面積Ｓ１２より大きい。

また、流路ユニット１０１には、プレート１１５の下側の部分とプレート１１６の上側の部分にまたがって延び、供給マニホールド１２６及び帰還マニホールド１２７と上下方向に重なるダンパ室１３９が形成されている。そして、プレート１１５の上端部によって形成される、供給マニホールド１２６とダンパ室１３９とを隔てる隔壁が変形することにより、供給マニホールド１２６内のインクの圧力変動が抑制される。また、プレート１１６の下端部によって形成される、帰還マニホールド１２７とダンパ室１３９とを隔てる隔壁が変形することにより、帰還マニホールド１２７内のインクの圧力変動が抑制される。

＜フィルタ部材＞
流路ユニット１０１の上面（本発明の「背面」）には、流入口１２８を覆うフィルタ１３１を有するフィルタ部材１３０が配置されている。フィルタ部材１３０は、例えば、ニッケル、ステンレス（ＳＵＳ）等の金属の板状体であって、その一部に、複数の細孔１３３を有するフィルタ１３１が形成されている。フィルタ１３１は、例えば、電鋳フィルタである。上下方向から見た場合に、流入口１２８及び流出口１２９は、フィルタ部材１３０の外周によって囲まれた領域の内側に配置されている。フィルタ部材１３０は、上下方向において、流入口１２８及び流出口１２９と重なるように配置されている。そして、フィルタ部材１３０には、流出口１２９と連通する貫通孔１３２が形成されている。即ち、流入口１２８は、フィルタ部材１３０のフィルタ１３１に覆われており、一方、流出口１２９はフィルタで覆われていない。フィルタ１３１は流入口１２８と同じ大きさであってもよいし、流入口１２８より大きくてもよい。貫通孔１３２は流出口１２９と同じ大きさであってよいし、流出口１２９より大きくてもよい。

フィルタ１３１の面積は、貫通孔１３２の面積より大きい。フィルタ１３１と、貫通孔１３２とは、搬送方向に並んで配置されている。また、貫通孔５２は、フィルタ５１よりも搬送方向の上流側に位置している。換言すれば、搬送方向において、圧電アクチュエータ１０２と貫通孔１３２との間に、フィルタ１３１が配置されている。

インクジェットヘッド１００と図示しないインクタンクとの間で循環するインクは、フィルタ部材１３０のフィルタ１３１を通過して流入口１２８から供給マニホールド１２６に供給される。そして、個別流路１０８を通った後、帰還マニホールド１２７に戻され、流出口１２９からフィルタ部材１３０の貫通孔１３２を通過してインクが流出し、図示しないインクタンクに戻される。

＜圧電アクチュエータ＞
圧電アクチュエータ１０２は、２つの圧電層１４１、１４２と、共通電極１４３と、複数の個別電極１４４とを有する。圧電層１４１、１４２は、圧電材料からなる。圧電層１４１は、流路ユニット１０１の上面に配置され、圧電層１４２は圧電層１４１の上面に配置されている。なお、圧電層１４１は、圧電層６１（図４参照）と同様、圧電材料以外の絶縁性材料からなるものであってもよい。

共通電極１４３は、圧電層１４１と圧電層１４２との間に配置され、圧電層１４１、１４２の全域にわたって連続的に延びている。共通電極１４３はグランド電位に保持されている。複数の個別電極１４４は、複数の圧力室１２０に対して個別に設けられている。個別電極１４４は、個別電極６４（図２参照）と同様の形状を有するものであり、対応する圧力室１２０の中央部と上下方向に重なるように配置されている。複数の個別電極１４４の接続端子１４４ａは、図示しない配線部材を介して図示しないドライバＩＣに接続されている。そして、複数の個別電極１４４には、ドライバＩＣにより個別に、グランド電位及び駆動電位のうちいずれかの電位が選択的に付与される。また、共通電極１４３と複数の個別電極１４４とがこのように配置されるのに対応して、圧電層１４２の各個別電極１４４と共通電極１４３とに挟まれた部分は、それぞれ、厚み方向に分極された活性部となっている。

ここで、圧電アクチュエータ１０２を駆動してノズル１２５からインクを吐出させる方法について説明する。圧電アクチュエータ１０２では、ノズル１２５からインクを吐出させない待機状態において、全ての個別電極１４４が共通電極１４３と同じグランド電位に保持されている。あるノズル１２５からインクを吐出させるときには、そのノズル１２５に対応する個別電極１４４の電位をグランド電位から駆動電位に切り換える。

すると、第１実施形態で説明したのと同様に、圧電層１４１、１４２の圧力室１２０と上下方向に重なる部分が全体として圧力室１２０側に凸となるように変形する。これにより、圧力室１２０の容積が小さくなることで圧力室１２０内のインクの圧力が上昇し、圧力室１２０に連通するノズル１２５からインクが吐出される。また、ノズル１２５からインクが吐出された後には、個別電極１４４の電位をグランド電位に戻す。

以上説明した本実施形態のインクジェットヘッド１００は、例えば、以下に説明する作用効果を奏する。インクジェットヘッド１００においては、第１実施形態と同様に、流入口１２８がフィルタ部材１３０のフィルタ１３１に覆われており、一方、流出口１２９はフィルタで覆われていない。そして、流入口１２８の面積Ｓ１１が、流出口１２９の面積Ｓ１２より大きい。これにより、流路ユニット１０１への異物の流入を妨げると共に、気泡の排出を促進し、更に、インクを安定に吐出可能である。

また、本実施形態のインクジェットヘッド１００では、変形例１と同様に（図６参照）、搬送方向において、圧電アクチュエータ１０２と流出口１２９との間に、流入口１２８が配置されている。即ち、流出口１２９が、流入口１２８よりも搬送方向の上流側に配置される。フィルタ部材１３０のフィルタ１３１が、流出口１２９よりも搬送方向の下流側に配置される。この構成により、流動抵抗が高いフィルタ１３１をよりノズル１２５に近い位置に配置して、ノズル１２５までの流入インクの流動抵抗を低下させることができる。この結果、流入インクの流動抵抗と、流出インクの流動抵抗との差をより小さくでき、ノズル１２５からより安定にインクを吐出できる。

また、本実施形態のインクジェットヘッド１００では、第１実施形態のインクジェットヘッド３と異なり、供給マニホールド１２６と帰還マニホールド１２７とが、上下方向に並んでいる。上下方向において、帰還マニホールド１２７の上に供給マニホールド１２６が配置される。したがって、帰還マニホールド１２７と連通する流出口１２９を、供給マニホールド１２６と連通する流入口１２８より搬送方向の下流側に配置しようとすると、流路の構造が複雑になってしまう。流路構造が複雑になると、そこを流れるインクの圧力損失が大きくなる。本実施形態では、流出口１２９を流入口１２８よりも搬送方向の上流側に配置することで、流路の構造を単純にすることができ、そこを流れるインクの圧力損失を抑制できる。

［変形例５及び６］
変形例５及び６に係るインクジェットヘッド８５及び８６では、第２実施形態に係るインクジェットヘッド１００における、流入口１２８及び流出口１２９の形状及び／又は配置、供給マニホールド及び帰還マニホールドの配置等を図１２～図１４に示すように変更する。その他の構成は、第２実施形態に係るインクジェットヘッド１００と同様である。図１２～図１４において、第２実施形態と同様の構成物に対しては、同様の参照番号を用いる。以下に説明する変形例５及び６に係るインクジェットヘッド８５及び８６は、第２実施形態と同様に、流入口１２８はフィルタ部材１３０のフィルタ１３１に覆われており、一方、流出口１２９はフィルタで覆われていない。そして、流入口１２８の面積Ｓ１１が、流出口１２９の面積Ｓ１２より大きい。これにより、変形例５及び６に係るインクジェットヘッドは、第２実施形態と同様に、流路ユニット１０１への異物の流入を妨げると共に、気泡の排出を促進し、更に、インクを安定に吐出可能である。

上述した第２実施形態のインクジェットヘッド１００では、搬送方向において、流入口１２８と流出口１２９とは並んで配置され、一方、走査方向において、流入口１２８と流出口１２９とは並んで配置されていない（図１０参照）。しかし、本実施形態はこれに限定されない。変形例５のインクジェットヘッド８５では、図１２に示すように、搬送方向において、流出口１２９と流入口１２８の一部が並んで配置され、走査方向において、流出口１２９と流入口１２８の他の一部とが並んで配置されている。流入口１２８は、流出口１２９の搬送方向における隣側、及び走査方向における隣側に、大きく広がっている。このように、流出口１２９に対して、流入口１２８の面積をより大きくすることで、流入インクの流動抵抗と、流出インクの流動抵抗との差をより小さくでき、ノズル１２５から安定にインクを吐出できる。

上述した第２実施形態のインクジェットヘッド１００では、搬送方向において、圧電アクチュエータ１０２と流出口１２９との間に、流入口１２８が配置されているが（図１０参照）、本実施形態はこれに限定されない。変形例６のインクジェットヘッド８６では、図１３及び図１４に示すように、上下方向において、供給マニホールド１２６の上に帰還マニホールド１２７が配置され、そして、搬送方向において、圧電アクチュエータ１０２と流入口１２８との間に、流出口１２９が配置されている。即ち、流入口１２８が、流出口１２９よりも搬送方向の上流側に配置される。フィルタ部材１３０のフィルタ１３１が、流出口１２９よりも搬送方向の上流側に配置される。変形例６では、供給マニホールド１２６の上に帰還マニホールド１２７が配置されている。したがって、供給マニホールド１２６と連通する流入口１２８を、帰還マニホールド１２７と連通する流出口１２９より搬送方向の下流側に配置しようとすると、流路の構造が複雑になってしまう。本変形例では、流入口１２８を流出口１２９よりも搬送方向の上流側に配置することで、流路の構造を単純にすることができ、そこを流れるインクの圧力損失を抑制できる。また、変形例８では、発熱源となる圧電アクチュエータ１０２から、フィルタ部材１３０のフィルタ１３１をより、遠い位置に配置できる。これにより、フィルタ１３１の細孔１３３の熱変形を防止できる。

以上、本発明の好適な実施形態及び変形例について説明したが、本発明は、以上に説明したものには限られず、特許請求の範囲に記載の限りにおいて、様々な変更が可能である。

また、以上では、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。ノズルからインク以外の液体を吐出する、インクジェットヘッド以外の液体吐出ヘッドに本発明を適用することも可能である。

３ インクジェットヘッド
２８ 個別流路
４５ ノズル
４６ 供給マニホールド
４７ 帰還マニホールド
４８ 流入口
４９ 流出口
５０ フィルタ部材
１００ インクジェットヘッド
１０８ 個別流路
１２０ 圧力室
１２２ ディセンダ流路
１２５ ノズル
１２６ 供給マニホールド
１２７ 帰還マニホールド
１２８ 流入口
１２９ 流出口
１３０ フィルタ

Claims (10)

1. 液体吐出ヘッドであって、
   第１方向及び、第１方向に垂直な第２方向のいずれにも平行なノズル面と、第１方向及び第２方向のいずれにも垂直な第３方向において、前記ノズル面から離間して配置される背面と、を有する流路部材であって、前記ノズル面に沿って配置された複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ接続する複数の個別流路と、前記複数の個別流路と接続され、第１方向に延びる第１及び第２共通流路と、前記背面に開口し、第１共通流路の第１方向における一方側の端部と連通する第１開口と、前記背面に開口し、第２共通流路の第１方向における前記一方側の端部と連通する第２開口と、が形成された流路部材と、
   前記背面上に配置され、第１開口を覆うフィルタを有するフィルタ部材と、を備え、
   第２開口がフィルタで覆われておらず、第１開口の面積が第２開口の面積より大きく、
   第１共通流路は、液体が第１方向の前記一方側から他方側に向かって流れ、前記個別流路に前記液体を供給する供給共通流路であり、
   第２共通流路は、前記個別流路から液体が帰還し、帰還した液体が第１方向の前記他方側から前記一方側に向かって流れる帰還共通流路であり、
   第１開口は、前記供給共通流路に液体を流入させる流入口であり、
   第２開口は、前記帰還共通流路から液体を流出させる流出口である、液体吐出ヘッド。
2. 前記液体吐出ヘッドは、前記流路部材の前記背面上に配置される圧電アクチュエータを更に備え、
   第１方向において、前記圧電アクチュエータと第１開口との間に、第２開口が配置されている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記液体吐出ヘッドは、前記流路部材の前記背面上に配置される圧電アクチュエータを更に備え、
   第１方向において、前記圧電アクチュエータと第２開口との間に、第１開口が配置されている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記フィルタ部材には、第２開口と連通する貫通孔が形成されており、
   第３方向から見た場合に、第１開口および第２開口がフィルタ部材の外周によって囲まれた領域の内側に配置されている、請求項１～３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記フィルタ部材は、第３方向において、第２開口と重ならないように配置されている、請求項１～３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 第２開口の形状が円形である、請求項１～５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 第１方向において、第２開口と、第１開口の一部が並んで配置され、
   第２方向において、第２開口と、第１開口の他の一部が並んで配置されている、請求項１～６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 第２方向において、第１共通流路と第２共通流路とが並んで配置されている請求項１～７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 第３方向において、第１共通流路と第２共通流路とが重なって配置されている、請求項１～７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
10. 各個別流路が、
    第３方向において、前記ノズル面から離れて配置され、第１又は第２共通流路と連通する圧力室と、
    前記圧力室と接続され、第３方向に沿って延びる、少なくとも１つの接続流路であって、前記圧力室と前記ノズルとを連通させる流路の一部を形成する接続流路と、
    前記接続流路と接続され、前記ノズル面と平行な平面に沿って延び、前記接続流路と前記第２共通流路とを連通させる流路を形成する循環用流路と、を有する、請求項１～９のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。

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