JP6582725B2 - 液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出装置に関する。

従来、インクの増粘、気泡の混入、インクの成分沈降などに対する解決策として、ヘッド内においてインクを循環させる構成を備えた液体吐出装置が提案されている。特許文献１では、直線的に延びるマニホールド流路の一端部にインク供給流路が配置され、他端部にインク排出流路が配置された構成が開示されている。

これに対して、本願出願人は、マニホールド流路が途中で折り返されたＵ字形状とし、このマニホールド流路の両端部に接続されるインク供給流路とインク排出流路を同じ側に配置した構成を採用することを検討している。すなわち、ヘッド内に、インク供給流路に接続された第１液体流路と、インク排出流路に接続された第２液体流路と、第１液体流路と第２液体流路の端部同士を接続する第３液体流路とを有する構成である。

また、ノズル列の数に応じて第１液体流路、第２液体流路が複数ある場合には、複数の第１液体流路と複数の第２液体流路を１つの第３液体流路で接続した構成を採用することを検討している。ここで、インク戻り側の第２液体流路が複数存在する場合、異なる２つの第２液体流路において、流れるインクの流量に差が生じるという問題がある。これは、異なる２つの第２液体流路の間で、第１液体流路からの距離が異なることに起因する。

特開２０１４−７９８９５号公報

ここで、各第２液体流路に流れるインクの流量を均一にするために、異なる第２液体流路の間で、第３液体流路との接続部分である入口流路の流路の断面積を変えることが考えられる。具体的には、第１液体流路に近い第２液体流路ほど、入口流路の断面積を小さくすることが考えられる。しかしながら、この場合、第１液体流路に近い第２液体流路ほど、入口流路の断面積が小さくなるので、第２液体流路の入口流路付近においてインクの流速が過剰に大きくなる部分が生じる。そして、インクの流速が過剰な部分の近傍では、個別流路への連通口にインクが流れ込みにくくなる。その結果、その個別流路へのインク供給不足が生じ、その個別流路から吐出される液滴と、連通口から十分にインクが供給される他の個別流路から吐出される液滴とに、サイズや吐出速度のばらつきが生じる虞がある。

本発明の目的は、複数の液体流路間での液体の流量のばらつきを抑えつつ、各第２液体流路において、第３液体流路との接続部分である入口流路付近での液体の流速のばらつきを抑えることが可能な液体吐出装置を提供することである。

本発明に係る液体吐出装置は、液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに連通する複数の個別流路と、所定の第１方向に延びる第１液体流路と、前記第１液体流路と並ぶ位置において互いに隣接してそれぞれ前記第１方向に延び、且つ、前記個別流路と連通する複数の第２液体流路と、前記第１液体流路の前記第１方向の一方側の端部に接続された液体供給流路と、前記複数の第２液体流路の前記第１方向の前記一方側の端部に接続された液体排出流路と、前記第１液体流路の前記第１方向の他方側の端部と、前記複数の第２液体流路の前記他方側の端部とを繋ぐ、前記第１方向と交差する方向に延びる第３液体流路と、少なくとも前記第１液体流路に最も近い位置にある前記第２液体流路の、前記第３液体流路との接続部分である入口流路に設けられ、前記入口流路を前記第２液体流路の幅方向に並ぶ複数の分配流路に仕切る隔壁と、を備えている。

本発明では、第１液体流路に最も近い第２液体流路の、第３液体流路との接続部分である入口流路に隔壁が設けられ、入口流路が隔壁によって複数の分配流路に仕切られている。これにより、第１液体流路に最も近い第２液体流路の、第３液体流路との接続部分における流路抵抗が大きくなり、複数の第２液体流路間での液体の流量のばらつきを抑えることができる。

さらに、入口流路が複数の分配流路に仕切られた第２液体流路において、第３液体流路から液体が流入する際に、液体が複数の分配流路に分かれて流入する。これにより、入口流路が複数の分配流路に仕切られた第２液体流路において、入口流路が隔壁によって複数の分配流路に仕切られていない場合と比較して、入口流路付近における液体の流速を均一にすることができる。その結果、第２液体流路の、個別流路の第２液体流路との連通口付近において、液体の流速が過剰に大きくなって、個別流路への液体の供給不足が生じるのを防止することができる。

本発明の実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。 図１のインクジェットヘッドの平面図である。 図２の部分拡大図である。 マニホールド流路の図３に対応する部分の平面図である。 図３のＶ−Ｖ線断面図である。 （ａ）がマニホールド流路を形成する上側のプレートの上側の部分の平面図であり、（ｂ）がマニホールド流路を形成する上側のプレートの下側の部分の平面図であり、（ｃ）がマニホールド流路を形成する中央のプレートの上側の部分の平面図であり、（ｄ）がマニホールド流路を形成する中央のプレートの下側の部分の平面図であり、（ｅ）がマニホールド流路を形成する下側のプレートの上側の部分の平面図であり、（ｆ）がマニホールド流路を形成する下側のプレートの下側の部分の平面図である。 （ａ）が、図７（ａ）〜（ｆ）のＡ−Ａ線断面で見た第１、第２インク流路の構造を示す図であり、（ｂ）が図７（ａ）〜（ｆ）のＢ−Ｂ線断面で見た第３インク流路の構造を示す図である。 変形例１の図４相当の図である。 変形例２の図４相当の図である。 変形例３の図３相当の図である。 変形例４の図２相当の図である。 変形例５の図３相当の図である。

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。

（プリンタの全体構成）
図１に示すように、本実施の形態に係るプリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３、２つの用紙搬送ローラ４、プラテン５などを備えている。キャリッジ２は、走査方向に延びた２本のガイドレール１１に支持され、これら２本のガイドレール１１に沿って走査方向に往復移動する。なお、以下では、図１に示すように、走査方向の右側及び左側を定義して説明を行う。

インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載され、その下面に形成された複数のノズル４５からインクを吐出させる。また、インクジェットヘッド３は、供給チューブ１２及び還流チューブ１３を介して、インクカートリッジ１４と接続されている。また、供給チューブ１２には、ポンプ１５が設けられている。ポンプ１５を駆動すると、インクカートリッジ１４に貯留されたインクが、供給チューブ１２を介してインクジェットヘッド３に供給されるとともに、インクジェットヘッド３内のインクが還流チューブ１３を介してインクカートリッジ１４に還流される。これにより、インクジェットヘッド３とインクカートリッジ１４との間でインクが循環する。

２つの用紙搬送ローラ４は、走査方向と直交する搬送方向におけるキャリッジ２の両側に配置され、記録用紙Ｓを搬送方向に搬送する。プラテン５は、搬送方向における２つの用紙搬送ローラ４の間に、インクジェットヘッド３と対向するように配置されている。プラテン５は、用紙搬送ローラ４によって搬送される記録用紙Ｓを下側から支持する。

そして、プリンタ１では、用紙搬送ローラ４によって記録用紙Ｓを搬送方向に搬送しつつ、キャリッジ２とともに走査方向に移動するインクジェットヘッド３からインクを吐出させることによって、記録用紙Ｓに印刷を行う。

（インクジェットヘッド）
次に、インクジェットヘッド３について詳細に説明する。インクジェットヘッド３は、図２〜図４に示すように、ノズル４５や後述の圧力室４０などのインク流路が形成された流路ユニット２１と、圧力室４０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ２２とを備えている。なお、図２では、後述の圧力室４０、絞り流路４２、ディセンダ流路４４及び個別電極６４の図示を省略している。また、図２、図３では、後述するマニホールド流路４１の各部分を上下方向に仕切る壁となる部分の図示を省略している。

（流路ユニット）
流路ユニット２１は、７枚のプレート３１〜３７が積層されることによって形成されている。これら７枚のプレート３１〜３７のうち上側６枚のプレート３１〜３６は、ステンレスなどの金属材料からなる。最も下側のプレート３７は、ポリイミドなどの合成樹脂、あるいは、プレート３１〜３６と同様の金属材料からなる。

プレート３７には、複数のノズル４５が形成されている。複数のノズル４５は、搬送方向に配列されることによってノズル列３９を形成している。プレート３７には、１２列のノズル列３９が走査方向に並んでいる。また、走査方向の左側から数えて奇数番目のノズル列３９を構成する複数のノズル４５と、偶数番目のノズル列３９を構成する複数のノズル４５とは、搬送方向に、各ノズル列３９におけるノズル４５同士の間隔の半分の長さだけずれている。また、１２列のノズル列３９のうち、走査方向の左側から１番目と２番目、３番目と４番目、５番目と６番目、７番目と８番目、９番目と１０番目、及び１１番目と１２番目のノズル列３９の間隔は、走査方向の左側から２番目と３番目、４番目と５番目、６番目と７番目、８番目と９番目及び１０番目と１１番目のノズル列３９の間隔よりも大きくなっている。

プレート３１には、複数の圧力室４０が形成されている。複数の圧力室４０は、複数のノズル４５に対して個別に設けられ、走査方向を長手方向とする略楕円の平面形状を有している。走査方向の左側から奇数番目のノズル列３９に対応する圧力室４０は、走査方向の左端部において対応するノズル４５と重なっている。走査方向の左側から偶数番目のノズル列３９に対応する圧力室４０は、走査方向における右端部において対応するノズル４５と重なっている。

プレート３２には、複数の絞り流路４２が形成されている。複数の絞り流路４２は、複数の圧力室４０に対して個別に設けられており、走査方向に延びている。各絞り流路４２の走査方向における片側の端部は、上面が開口して圧力室４０の走査方向におけるノズル４５と反対側の端部と接続された連通口４２ａとなっている。また、各絞り流路４２の走査方向における連通口４２ａと反対側の端部は、下側に開口して後述の第１インク流路５１〜５３及び第２インク流路５４〜５６と接続される連通口４２ｂとなっている。

（マニホールド流路）
プレート３３〜３５には、マニホールド流路４１が形成されている。マニホールド流路４１は、３つの第１インク流路５１〜５３と、３つの第２インク流路５４〜５６と、１つの第３インク流路５７とを有している。

第１インク流路５１は、平面視で、左側から１番目と２番目のノズル列３９の間に配置され、搬送方向に延びている。第１インク流路５１は、搬送方向における下流側の端部の、搬送方向に長さＬ１にわたって延びた部分が、第３インク流路５７との接続部分である出口流路５１ａとなっている。また、第１インク流路５１は、出口流路５１ａよりも上流側の部分の幅がＷ０となっているのに対して、出口流路５１ａの幅Ｗ１が、上記幅Ｗ０よりも狭くなっている。

第１インク流路５２は、平面視で、左側から３番目と４番目のノズル列３９の間に配置され、搬送方向に延びている。第１インク流路５２は、搬送方向における下流側の端部の、搬送方向に長さＬ１にわたって延びた部分が、第３インク流路５７との接続部分である出口流路５２ａとなっている。また、第１インク流路５２は、出口流路５２ａよりも搬送方向における上流側の部分の幅がＷ０となっているのに対して、出口流路５２ａの幅Ｗ２が、上記幅Ｗ０よりも狭くなっている。また、出口流路５２ａの幅Ｗ２は、出口流路５１ａの幅Ｗ１よりもさらに狭くなっている。

第１インク流路５３は、平面視で、左側から５番目と６番目のノズル列３９の間に配置され、搬送方向に延びている。第１インク流路５３は、搬送方向における下流側の端部の、搬送方向に長さＬ１にわたって延びた部分が、第３インク流路５７との接続部分を形成する出口流路５３ａとなっている。また、第１インク流路５３は、出口流路５３ａよりも搬送方向における上流側の部分の幅がＷ０となっているのに対して、出口流路５３ａの幅Ｗ３が、上記幅Ｗ０よりも狭くなっている。また、出口流路５３ａの幅Ｗ３は、出口流路５２ａの幅Ｗ２よりもさらに狭くなっている。

なお、図４の、上記長さＬ１の範囲の、搬送方向における下流側の端を示す点線が、搬送方向に出口流路５１ａ〜５３ａと第３インク流路５７との境界である。また、図４の上記長さＬ１の範囲の、搬送方向における上流側の端を示す点線が、第１インク流路５１の、出口流路５１ａ〜５３ａとそれ以外の部分との境界である。

また、流路ユニット２１には、３つの第１インク流路５１〜５３の搬送方向における上流側の端部にまたがって延び、流路ユニット２１の上面に開口したインク供給流路４６が形成されている。インク供給流路４６は、供給チューブ１２と接続されている。これにより、供給チューブ１２を介してインクカートリッジ１４からインクジェットヘッド３に供給されたインクは、インク供給流路４６から３つの第１インク流路５１〜５３に流れ込む。

第２インク流路５４は、平面視で、左側から７番目と８番目のノズル列３９の間に配置され、搬送方向に延びている。第２インク流路５４は、搬送方向における下流側の端部の、搬送方向に長さＬ２にわたって延びた部分が、第３インク流路５７との接続部分を形成する入口流路５４ａとなっている。入口流路５４ａの走査方向における中央部には、幅がＶ４の隔壁５４ｂが配置されている。隔壁５４ｂは、第２インク流路５４の、上下方向における全長にわたって延びている。これにより、入口流路５４ａは、隔壁５４ｂにより、走査方向に並んだ２つの分配流路５４ｃに仕切られている。ここで、２つの分配流路５４ｃの幅はともにＷ４となっている。また、第２インク流路５４において、左側の分配流路５４ｃの左端と、分配流路５４ｃよりも搬送方向における上流側の部分の左端とで、走査方向の位置が同じとなっている。また、第２インク流路５４において、右側の分配流路５４ｃの右端と、分配流路５４ｃよりも搬送方向における上流側の部分の右端とで、走査方向の位置が同じとなっている。すなわち、２つの分配流路５４ｃは、第２インク流路５４の、入口流路５４ａよりも搬送方向の上流側に位置する部分の、走査方向における両端部に接続されている。また、第２インク流路５４の、入口流路５４ａよりも搬送方向における上流側の部分の幅は、第１インク流路５１〜５３と同様、Ｗ０となっている。

また、第２インク流路５４と接続される絞り流路４２の連通口４２ｂは、隔壁５４ｂと走査方向の位置が重なり、且つ、分配流路５４ｃとは走査方向の位置が重ならないように配置されている。また、隔壁５４ｂは、搬送方向において、第２インク流路５４と接続された複数の連通口４２ｂのうち、最も下流側の連通口４２ｂよりもさらに下流側に配置されている。

第２インク流路５５は、平面視で、左側から９番目と１０番目のノズル列３９の間に配置され、搬送方向に延びている。第２インク流路５５は、搬送方向における下流側の端部の、搬送方向に長さＬ２にわたって延びた部分が、第３インク流路５７との接続部分を形成する入口流路５５ａとなっている。入口流路５５ａの走査方向における中央部には、幅がＶ５（＜Ｖ４）の隔壁５５ｂが配置されている。隔壁５５ｂは、第２インク流路５５の、上下方向における全長にわたって延びている。これにより、入口流路５５ａは、隔壁５５ｂにより、走査方向に並んだ２つの分配流路５５ｃに仕切られている。ここで、２つの分配流路の幅はともにＷ５（＞Ｗ４）となっている。また、第２インク流路５５において、左側の分配流路５５ｃの左端と、分配流路５５ｃよりも搬送方向における上流側の部分の左端とで、走査方向の位置が同じとなっている。また、第２インク流路５５において、右側の分配流路５５ｃの右端と、分配流路５５ｃよりも搬送方向における上流側の部分の右端とで、走査方向の位置が同じとなっている。すなわち、２つの分配流路５５ｃは、第２インク流路５５の、入口流路５５ａよりも搬送方向の上流側に位置する部分の、走査方向における両端部に接続されている。また、第２インク流路５５の、入口流路５５ａよりも搬送方向における上流側の部分の幅は、第１インク流路５１〜５３と同様、Ｗ０となっている。

また、第２インク流路５５と接続される絞り流路４２の連通口４２ｂは、隔壁５５ｂと走査方向の位置が重なり、且つ、分配流路５５ｃとは走査方向の位置が重ならないように配置されている。また、隔壁５５ｂは、搬送方向において、第２インク流路５５と接続された複数の連通口４２ｂのうち、最も下流側の連通口４２ｂよりもさらに下流側に配置されている。

第２インク流路５６は、平面視で、左側から１１番目と１２番目のノズル列３９の間に配置され、搬送方向に延びている。第２インク流路５６は、搬送方向における下流側の端部の、搬送方向に長さＬ２にわたって延びた部分が、第３インク流路５７との接続部分を形成する入口流路５６ａとなっている。入口流路５６ａの走査方向における中央部には、幅がＶ６（＜Ｖ５）の隔壁５６ｂが配置されている。隔壁５６ｂは、第２インク流路５６の、上下方向における全長にわたって延びている。これにより、入口流路５６ａは、隔壁５６ｂにより、走査方向に並んだ２つの分配流路５６ｃに仕切られている。ここで、２つの分配流路５６ｃの幅はともにＷ６となっている。また、第２インク流路５６において、左側の分配流路５６ｃの左端と、分配流路５６ｃよりも搬送方向における上流側の部分の左端とで、走査方向の位置が同じとなっている。また、第２インク流路５６において、右側の分配流路５６ｃの右端と、分配流路５６ｃよりも搬送方向における上流側の部分の右端とで、走査方向の位置が同じとなっている。すなわち、２つの分配流路５６ｃは、第２インク流路５６の、入口流路５６ａよりも搬送方向の上流側に位置する部分の、走査方向における両端部に接続されている。また、第２インク流路５６の、入口流路５６ａよりも搬送方向における上流側の部分の幅は、第１インク流路５１〜５３と同様、Ｗ０となっている。

また、第２インク流路５６と接続される絞り流路４２の連通口４２ｂは、隔壁５６ｂと走査方向の位置が重なり、且つ、分配流路５６ｃとは走査方向の位置が重ならないように配置されている。また、隔壁５６ｂは、搬送方向において、第２インク流路５６と接続された複数の連通口４２ｂのうち、最も下流側の連通口４２ｂよりもさらに下流側に配置されている。

なお、図４の、上記長さＬ２の範囲の、搬送方向における下流側の端を示す点線が、搬送方向における、入口流路５４ａ〜５６ａと第３インク流路５７との境界である。また、図４の上記長さＬ２の範囲の、搬送方向における上流側の端を示す点線が、第２インク流路５４〜５６の、入口流路５４ａ〜５６ａとそれ以外の部分との境界である。

また、流路ユニット２１には、３つの第２インク流路５４〜５６の搬送方向における上流側の端部にまたがって延び、流路ユニット２１の上面に開口したインク排出流路４７が形成されている。インク排出流路４７は、還流チューブ１３と接続されている。これにより、３つの第２インク流路５４〜５６内のインクは、インク排出流路４７から排出され、還流チューブ１３を介してインクカートリッジ１４に還流される。

第３インク流路５７は、走査方向に延びて、３つの第１インク流路５１〜５３の出口流路５１ａ〜５３ａ及び３つの第２インク流路５４〜５６の入口流路５４ａ〜５６ａと接続されている。これにより、第３インク流路５７は、３つの第１インク流路５１〜５３と３つの第２インク流路５４〜５６とを繋いでいる。これにより、インク供給流路４６から第１インク流路５１〜５３にインクが流れ込むと、第１インク流路５１〜５３内のインクは、出口流路５１ａ〜５３ａから第３インク流路５７にインクが流出する。出口流路５１ａ〜５３ａから第３インク流路５７にインクが流入すると、第３インク流路５７内のインクは、入口流路５４ａ〜５６ａから第２インク流路５４〜５６に流入する。そして、第２インク流路５４〜５６にインクが流入すると、第２インク流路５４〜５６内のインクが、インク排出流路４７から流出する。

ここで、上述したようなマニホールド流路４１が形成された３つのプレート３３〜３５の構造について詳細に説明する。プレート３３には、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、マニホールド流路４１の上側の部分となる流路形成部３３ａが形成されている。流路形成部３３ａは、出口流路５１ａ〜５３ａの搬送方向における下流側の部分、及び、分配流路５４ｃ〜５６ｃに対応する部分が、上側に開口した凹部３３ｂとなっている。また、流路形成部３３ａの上記凹部３３ｂ以外の部分は、プレート３３を厚み方向に貫通する貫通部３３ｃとなっている。これにより、プレート３３の、インク流路５１〜５６を仕切る壁を形成する５つの部分３３ｄの搬送方向における下流側の端部、及び、隔壁５４ｂ〜５６ｂを形成する３つの部分３３ｅは、互いに接続されるとともに、プレート３３の走査方向における両端部に接続されている。

プレート３４には、図６（ｃ）、（ｄ）に示すように、マニホールド流路４１の上下方向における中央の部分となる流路形成部３４ａが形成されている。流路形成部３４ａは、第３インク流路５７を形成する部分のうち、インク流路５１〜５６を仕切る壁を形成する部分３４ｂと走査方向の位置が重なる部分、及び、隔壁５４ｂ〜５６ｂを形成する部分３４ｃと走査方向の位置が重なる部分が、上側に開口した凹部３４ｄとなっている。また、流路形成部３４ａの上記凹部３４ｄ以外の部分は、プレート３４を厚み方向に貫通する貫通部３４ｅとなっている。これにより、プレート３４の、インク流路５１〜５６を仕切る壁を形成する５つの部分３４ｂの搬送方向における下流側の端部、及び、隔壁５４ｂ〜５６ｂに対応する３つの部分３４ｃは、それぞれ、プレート３３の搬送方向における下流側の端部と接続される。

プレート３５には、図６（ｅ）、（ｆ）に示すように、マニホールド流路４１の下側の部分となる流路形成部３５ａが形成されている。流路形成部３５ａは、出口流路５１ａ〜５３ａの搬送方向における下流側の部分、及び、分配流路５４ｃ〜５６ｃに対応する部分が、下側に開口した凹部３５ｂとなっている。また、流路形成部３５ａの上記凹部３５ｂ以外の部分は、プレート３５を厚み方向に貫通する貫通部３５ｃとなっている。これにより、プレート３５の、インク流路５１〜５６を仕切る壁を形成する５つの部分３５ｄの搬送方向における下流側の端部、及び、隔壁５４ｂ〜５６ｂを形成する３つの部分３５ｅは、互いに接続されるとともに、プレート３５の走査方向における両端部に接続される。

なお、プレート３３〜３５の凹部３３ｂ、３４ｄ、３５ｂは、ハーフエッチング等によって形成することができる。また、プレート３３〜３５の貫通部３３ｃ、３４ｅ、３５ｃはエッチング等によって形成することができる。

そして、このような流路形成部３３ａ〜３５ａが形成されたプレート３３〜３５が積層されることによって、マニホールド流路４１が形成される。そのため、本実施の形態では、図７（ａ）に示すように、出口流路５１ａ〜５３ａ、及び、分配流路５４ｃ〜５６ｃは、厳密には、それぞれ上下方向に３つに仕切られた流路となっている。また、図７（ｂ）に示すように、第３インク流路５７は、インク流路５１〜５６の間を仕切る壁と走査方向の位置が重なる部分、及び、隔壁５４ｂ〜５６ｂと走査方向の位置が重なる部分において、上下方向に２つに仕切られている。

プレート３６には、第１インク流路５１〜５３及び第２インク流路５４〜５６と重なる部分の下面に、それぞれ凹部３６ａが形成されている。これにより、プレート３６のインク流路５１〜５６の下側の壁を形成する部分が弾性変形可能となり、プレート３６のこれらの部分が弾性変形することにより、インク流路５１〜５６内のインクの圧力変動が抑えられる。

また、プレート３２〜３６には、各圧力室４０の走査方向におけるノズル４５側の端部と重なる部分に、上下方向に延びて圧力室４０とノズル４５とを接続するディセンダ流路４４が形成されている。なお、図６（ａ）〜（ｆ）では、ディセンダ流路４４を形成するための貫通孔の図示を省略している。

そして、このような構造の流路ユニット２１には、絞り流路４２、圧力室４０及びディセンダ流路４４によって構成され、マニホールド流路４１とノズル４５とを連通させる個別インク流路５０が複数形成されている。

（圧電アクチュエータ）
次に、圧電アクチュエータ２２について説明する。圧電アクチュエータ２２は、振動板６１と、圧電層６２と、共通電極６３と、複数の個別電極６４とを備えている。振動板６１は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなる。振動板６１は、流路ユニット２１の上面に配置され、複数の圧力室４０を覆っている。なお、振動板６１は、次に説明する圧電層６２とは異なり、圧電材料以外の絶縁材料によって構成されていてもよい。

圧電層６２は、圧電材料からなる。圧電層６２は、振動板６１の上面に配置され、複数の圧力室４０にまたがって連続的に延びている。共通電極６３は、振動板６１と圧電層６２との間にそのほぼ全域にわたって配置されている。共通電極６３は、常にグランド電位に保持されている。複数の個別電極６４は、複数の圧力室４０に対して個別に設けられている。個別電極６４は、圧力室４０よりも一回り小さい楕円の平面形状を有し、圧電層６２の上面に、対応する圧力室４０の中央部と重なるように配置されている。また、個別電極６４の走査方向におけるノズル４５と反対側の端部は、圧力室４０と重ならない部分まで延び、その先端部が、図示しない配線部材との接続を行うための端子６４ａとなっている。個別電極６４は、図示しない配線部材を介して図示しないドライバＩＣに接続されており、ドライバＩＣにより、グランド電位、及び、例えば２０Ｖ程度の所定の駆動電位のいずれかが選択的に付与される。

また、共通電極６３及び複数の個別電極６４がこのように配置されているのに対応して、圧電層６２の共通電極６３と各個別電極６４とに挟まれた部分は、厚み方向に分極されている。

次に、圧電アクチュエータ２２を駆動して、ノズル４５からインクを吐出させる方法について説明する。圧電アクチュエータ２２では、予め、全ての個別電極６４がグランド電位に保持されている。あるノズル４５からインクを吐出させるためには、そのノズル４５に対応する個別電極６４の電位をグランド電位から駆動電位に切り換える。すると、圧電層６２のこの個別電極６４と共通電極６３とに挟まれた部分に、分極方向と平行な電界が発生し、圧電層６２のこの部分が分極方向と直交する面方向に収縮する。これにより、圧電層６２及び振動板６１の圧力室４０に対向する部分が全体として圧力室４０側に凸となるように変形する。その結果、圧力室４０の容積が低下することで圧力室４０内のインクの圧力が上昇し、圧力室４０に連通するノズル４５からインクが吐出される。

以上に説明した実施の形態では、第１インク流路５１〜５３から第３インク流路５７に流出し、第３インク流路５７から第２インク流路５４〜５６にインクが流入する。そのため、第２インク流路５４〜５６のうち、第１インク流路５１〜５３から遠い第２インク流路に流入するインクほど、第３インク流路５７を流れる距離が長い。したがって、本実施の形態と異なり、分配流路５４ｃ〜５６ｃの流路抵抗が同じであるとすると、第２インク流路５４〜５６の第３インク流路５７との接続部分の流路抵抗が同じとなり、第１インク流路５１〜５３から遠い第２インク流路ほど、インクの流入量が少なくなる。すなわち、第２インク流路５４〜５６間で、インクの流入量に差が生じる。

これに対して、本実施の形態では、分配流路５５ｃの幅Ｗ５が分配流路５４ｃの幅Ｗ４よりも広くなっている。また、分配流路５６ｃの幅Ｗ６が分配流路５５ｃの幅Ｗ５よりも広くなっている。これにより、分配流路５５ｃの流路抵抗が分配流路５４ｃの流路抵抗よりも小さくなる。また、分配流路５６ｃの流路抵抗が分配流路５５ｃの流路抵抗よりも小さくなる。すなわち、第１インク流路５１〜５３から遠い第２インク流路ほど、第３インク流路５７との接続部分における流路抵抗が小さくなる。これにより、第２インク流路５４〜５６間でのインクの流入量の差を抑えることができる。

ここで、本実施の形態と異なり、隔壁５４ｂを設けずに、入口流路５４ａを、隔壁５４ｂがなく、２つの分配流路５４ｃに仕切られていない流路とすることも考えられる。この場合には、出口流路５１ａ〜５３ａと同様、入口流路５４ａの幅が、第２インク流路５４の入口流路５４ａよりも搬送方向の上流側の部分の幅Ｗ０よりも狭くなる。そのため、第３インク流路５７から第２インク流路５４にインクが流入したときに、第２インク流路５４の、入口流路５４ａ付近に位置する部分において、インクの流速のばらつきが生じる。具体的には、第２インク流路５４の、入口流路５４ａと走査方向の位置が重なる部分において、この部分よりも走査方向の外側に位置する部分と比較して、インクの流速が大きくなる。

そして、このような流速のばらつきが生じると、第２インク流路５４において、搬送方向における下流側の絞り流路４２の連通口４２ｂ付近でのインクの流速が過剰に大きくなって、連通口４２ｂから個別インク流路５０にインクが流れ込みにくくなる。その結果、一部の個別インク流路５０においてインクの供給不足が生じる。一部の個別インク流路５０にインクの供給不足が生じると、インクの供給不足が生じた個別インク流路５０と、インクが十分に供給された個別インク流路５０との間で、ノズル４５から吐出されるインクのサイズや吐出速度にばらつきが生じる虞がある。

これに対して、本実施の形態では、第２インク流路５４の入口流路５４ａが、隔壁５４ｂによって２つの分配流路５４ｃに仕切られている。そのため、第３インク流路５７から第２インク流路５４にインクが流入する際に、インクが２つの分配流路５４ｃに分かれて流入する。これにより、第２インク流路５４の入口流路５４ａを、隔壁５４ｂがなく、２つの分配流路５４ｃに仕切られてない流路とする場合と比較して、第２インク流路５４の入口流路５４ａの付近におけるインクの流速のばらつきを抑えることができる。その結果、第２インク流路５４において、連通口４２ｂ付近でのインクの流速が過度に大きくなって、個別インク流路５０へのインクの供給不足が生じてしまうのを防止することができる。

なお、第２インク流路５５、５６においても、上述したような問題が生じるが、第２インク流路５５、５６においても、第２インク流路５４と同様の構造により、個別インク流路５０へのインクの供給不足が生じてしまうのを防止している。

また、第２インク流路５４のインクの流速が小さい部分では、インクが淀みやすい。例えば、インクが白インクである場合には、その主成分である酸化チタン（ＴｉＯ₂）の粒子が、一般的な顔料インクや染料インクの粒子よりも密度が高い。そのため、第２インク流路５４にインクの淀みが生じる部分があると、その部分では白インクの粒子が沈んでしまう。さらに、淀み部分には新たに流れ込んでくるインクの量も少ないため、淀み部分の上側は常に周囲と比べて濃度が薄いインクが滞在することとなる。本実施の形態では、絞り流路４２の連通口４２ｂが、第２インク流路５４の上端部と接続されている。そのため、第２インク流路５４において、白インクの粒子が沈んでしまうと、ノズル４５から吐出されるインクの濃度が印刷に必要な濃度よりも薄くなってしまう。

しかしながら、本実施の形態では、上述したように、第２インク流路５４の入口流路５４ａの付近におけるインクの流速のばらつきが抑えられるため、第２インク流路５４において、インクの淀みが発生しにくくなる。これにより、第２インク流路５４に白インクの粒子が沈みにくくなる。その結果、ノズル４５から吐出されるインクの濃度が印刷に必要な濃度よりも薄くなってしまうのを防止することができる。第２インク流路５５、５６においても同様である。

ただし、上述したように、第２インク流路５４において、２つの分配流路５４ｃからインクが流入する場合でも、第２インク流路５４の入口流路５４ａ付近でのインクの流速は、入口流路５４ａと走査方向の位置が重なる部分において、それ以外の部分よりも多少大きくなる。そこで、本実施の形態では、第２インク流路５４に接続される複数の絞り流路４２の連通口４２ｂを、隔壁５４ｂと走査方向の位置が重なり、且つ、入口流路５４ａとは走査方向の位置が重ならないように配置している。これにより、第２インク流路５４に接続される複数の絞り流路４２の連通口４２ｂの少なくとも一部分が、入口流路５４ａと走査方向の位置が重なる場合と比較して、第２インク流路５４の連通口４２ｂ付近でのインクの流速を小さくすることができる。第２インク流路５５、５６においても同様である。

また、第２インク流路５４に２つの分配流路５４ｃが設けられている場合であっても、分配流路５４ｃが、本実施の形態の位置よりも、第２インク流路５４の走査方向における中央側に配置されていると、走査方向において、分配流路５４ｃの外側の端の位置が、第２インク流路５４の、入口流路５４ａよりも搬送方向における上流側の部分の端の位置よりも内側に位置することになる。そのため、入口流路５４ａ付近において、第２インク流路５４の走査方向における入口流路５４ａよりも外側の部分でのインクの流速が小さくなってインクが淀みやすい。これに対して、本実施の形態では、第２インク流路５４において、左側の分配流路５４ｃの左端の位置と、入口流路５４ａよりも搬送方向における上流側の部分の左端とで、走査方向の位置が同じとなっている。また、第２インク流路５４において、右側の分配流路５４ｃの右端と、入口流路５４ａよりも搬送方向における上流側の部分の右端とで、走査方向の位置が同じとなっている。これにより、入口流路５４ａ付近における、第２インク流路５４の走査方向における両端部でのインクの流速を速くして、インクの淀みが発生するのを防止することができる。

また、本実施の形態では、上記のとおり、第１インク流路５１〜５３から第３インク流路５７に流出し、第３インク流路５７から第２インク流路５４〜５６にインクが流入する。そのため、第１インク流路５１〜５３のうち、第２インク流路５４〜５６から遠い第１インク流路から流出するインクほど、第３インク流路５７を流れる距離が長い。そのため、本実施の形態と異なり、出口流路５１ａ〜５３ａの流路抵抗が同じであるとすると、第２インク流路５４〜５６から遠い第１インク流路ほど、インクの流出量が少なくなる。すなわち、第１インク流路５１〜５３間で、インクの流出量に差が生じる。

これに対して、本実施の形態では、出口流路５２ａの幅Ｗ２が出口流路５１ａの幅Ｗ１よりも狭くなっている。また、出口流路５３ａの幅Ｗ３が出口流路５２ａの幅Ｗ２よりも狭くなっている。これにより、出口流路５２ａの流路抵抗が出口流路５３ａの流路抵抗よりも小さくなる。また、出口流路５１ａの流路抵抗が、出口流路５２ａの流路抵抗よりも小さくなる。すなわち、第２インク流路５４〜５６から遠い第１インク流路ほど、第３インク流路５７との接続部分における流路抵抗が小さくなる。これにより、第１インク流路５１〜５３間でのインクの流出量の差を抑えることができる。

ここで、第１インク流路５１〜５３の出口流路５１ａ〜５３ａに、第２インク流路５４〜５６と同様の隔壁を設けて、出口流路５１ａ〜５３ａを、それぞれ、走査方向に並んだ２つの分配流路に仕切ることも考えられる。しかしながら、出口流路５１ａ〜５３ａを２つの分配流路に仕切ると、各分配流路の幅が、隔壁を設けない場合の出口流路５１ａ〜５３ａの幅よりも狭くなる。幅の狭い分配流路を形成するためには、プレート３３〜３５に高い部品精度が要求される。さらに、プレート３３〜３５を接合する際に、高い位置合わせ精度が要求される。

本実施の形態では、第１インク流路５１〜５３の出口流路５１ａ〜５３ａが、隔壁によって走査方向に仕切られていない流路となっているが、各第１インク流路５１〜５３において、連通口４２ｂ付近でインクの流速が過剰に大きくなることは起こらない。なぜなら、インクの流速が過剰に大きくなるのは、インクの流れの方向に関して、幅の狭い流路の下流側に位置する部分であるのに対して、各第１インク流路５１〜５３において、連通口４２ｂは、出口流路５１ａ〜５３ａよりも、インクの流れの上流側に位置しているからである。そのため、出口流路５１ａ〜５３ａでは、隔壁を設けて２つの分配流路に仕切らなくてもよい。

そこで、本実施の形態では、必要性のある第２インク流路５４では、入口流路５４ａに隔壁５４ｂを設けることによって、入口流路５４ａを走査方向に並ぶ２つの分配流路５４ｃに仕切っている。第２インク流路５５、５６についても同様である。また、必要性のない第１インク流路５１〜５３では、それぞれ、出口流路５１ａ〜５３ａに、走査方向に仕切るための隔壁を設けていない。

なお、本実施の形態では、第１インク流路５１〜５３が本発明の第１液体流路に相当し、第２インク流路５４〜５６が本発明の第２液体流路に相当し、第３インク流路５７が本発明の第３液体流路に相当する。また、個別インク流路５０が、本発明の個別流路に相当する。また、絞り流路４２の連通口４２ｂが、本発明の連通口に相当する。また、搬送方向が本発明の第１方向に相当し、走査方向が本発明の第２方向、及び、第１、第２液体流路の幅方向に相当し、上下方向が本発明の第３方向に相当する。

次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。

上述の実施の形態では、出口流路５２ａの幅Ｗ２が出口流路５１ａの幅Ｗ１よりも狭く、出口流路５３ａの幅Ｗ３が出口流路５２ａの幅Ｗ２よりも狭く、搬送方向における出口流路５１ａ〜５３ａの長さが全てＬ１となっていたが、これには限られない。また、分配流路５５ｃの幅Ｗ５が入口流路５４ａの幅Ｗ４よりも広く、分配流路５６ｃの幅Ｗ６が分配流路５５ｃの幅Ｗ５よりも広く、搬送方向における分配流路５４ｃ〜５６ｃの長さが全て同じＬ２となっていたが、これには限られない。

（変形例１）
変形例１では、図８に示すように、出口流路５１ａ〜５３ａの幅が全て同じＷ７となっている。また、搬送方向において、出口流路５２ａの長さＬ１２が出口流路５１ａの長さＬ１１よりも長く、出口流路５３ａの長さＬ１３が出口流路５２ａの長さＬ１２よりも長くなっている。また、分配流路５４ｃ〜５６ｃの幅が全てＷ８となっている。一方、搬送方向において、分配流路５５ｃの長さＬ２２が分配流路５４ｃの長さＬ２１よりも短く、分配流路５６ｃの長さＬ２３が分配流路５５ｃの長さＬ２２よりも短くなっている。

この場合でも、第１インク流路５１〜５３のうち、第２インク流路５４〜５６から遠い第１インク流路ほど、第３インク流路５７との接続部分における流路抵抗を小さくすることができる。また、第２インク流路５４〜５６のうち、第１インク流路５１〜５３から遠い第２インク流路ほど、第３インク流路５７との接続部分における流路抵抗を小さくすることができる。

また、変形例１では、出口流路５１ａ〜５３ａにおいて、幅を全て同じＷ７とするとともに、搬送方向の長さを互いに異ならせ、分配流路５４ｃ〜５６ｃにおいて、幅を全て同じＷ８とするとともに、搬送方向の長さを互いに異ならせたが、これには限られない。

出口流路５１ａ〜５３ａにおいて、変形例１と同様に、幅を全て同じとするとともに、搬送方向の長さを互いに異ならせ、分配流路５４ｃ〜５６ｃにおいて、上述の実施の形態と同様に、搬送方向の長さを全て同じとし、幅を互いに異ならせてもよい。

あるいは、分配流路５４ｃ〜５６ｃにおいて、変形例１と同様に、幅を全て同じとするとともに、搬送方向の長さを互いに異ならせ、出口流路５１ａ〜５３ａにおいて、上述の実施の形態と同様に、搬送方向の長さを全て同じとし、幅を互いに異ならせてもよい。

また、上述の実施の形態では、出口流路５１ａ〜５３ａ間、及び、分配流路５４ｃ〜５６ｃ間で、幅のみを異ならせ、変形例１では、出口流路５１ａ〜５３ａ間、及び、分配流路５４ｃ〜５６ｃ間で、走査方向の長さのみを異ならせたが、これには限られない。

例えば、変形例１において、搬送方向における出口流路５１ａ〜５３ａの長さＬ１１〜Ｌ１３の差を小さくし、その代わりに、出口流路５２ａの幅を出口流路５１ａの幅よりも狭くし、出口流路５３ａの幅を出口流路５２ａの幅よりも狭くしてもよい。ただし、この場合には、出口流路５１ａ〜５３ａ間での幅の差を上述の実施の形態の場合よりも小さくする。

同様に、変形例１において、搬送方向における分配流路５４ｃ〜５６ｃの長さＬ２１〜Ｌ２３の差を小さくし、その代わりに、分配流路５５ｃの幅を入口流路５４ａの幅よりも広くし、分配流路５６ｃの幅を分配流路５５ｃの幅よりも広くしてもよい。ただし、この場合には、分配流路５４ｃ〜５６ｃ間での幅の差を上述の実施の形態の場合よりも小さくする。

あるいは、変形例１において、搬送方向における出口流路５１ａ〜５３ａの長さＬ１１〜Ｌ１３の差をさらに大きくし、出口流路５２ａの幅を出口流路５１ａの幅よりも広くし、出口流路５３ａの幅を出口流路５２ａの幅よりも広くしてもよい。

同様に、変形例１において、搬送方向における分配流路５４ｃ〜５６ｃの長さＬ２１〜Ｌ２３の差をさらに大きくし、分配流路５５ｃの幅を分配流路５４ｃの幅よりも狭くし、分配流路５６ｃの幅を分配流路５５ｃの幅よりも狭くしてもよい。

また、以上の例では、第１インク流路５１〜５３のうち、第２インク流路５４〜５６から遠い第１インク流路ほど、出口流路の流路抵抗を小さくしたが、これには限られない。出口流路５１ａ〜５３ａを全て、幅及び搬送方向の長さが同じ流路とするなど、出口流路５１ａ〜５３ａの流路抵抗を全て同じとしてもよい。

同様に、分配流路５４ｃ〜５６ｃを全て、幅及び搬送方向の長さが同じ流路とするなど、分配流路５４ｃ〜５６ｃの流路抵抗を全て同じとしてもよい。この場合には、第１インク流路５１〜５３に近い第２インク流路ほどインクの流入量は多くなる。しかしながら、この場合でも、第３インク流路５７から第２インク流路５４〜５６にインクが流入する際に、それぞれ、インクが２つの分配流路５４ｃ〜５６ｃに分かれて流入する。これにより、第２インク流路５４〜５６の入口流路５４ａ〜５６ａの付近でのインクの流速のばらつきを抑えることができる。

また、出口流路５１ａ〜５３ａ間、及び、分配流路５４ｃ〜５６ｃ間で、高さを異ならせることによって、出口流路５１ａ〜５３ａ間、及び、分配流路５４ｃ〜５６ｃ間の流路抵抗を異ならせてもよい。例えば、上述の実施の形態において、分配流路５４ｃ〜５６ｃに対応する部分間で、プレート３３、３５の凹部３３ｂ、３５ｂの高さを異ならせてもよい。ただし、ハーフエッチングによって凹部３３ｂ、３５ｂを形成する場合に、分配流路５４ｃ〜５６ｃに対応する部分間で凹部３３ｂ、３５ｂに上述したような高さの差を出すためには、プレート３３、３５をある程度厚みの大きなものとする必要がある。そのため、プレート３３、３５の厚みがそれほど大きくない場合には、上述の実施の形態や変形例１のように、出口流路５１ａ〜５３ａ間、及び、分配流路５４ｃ〜５６ｃ間で、幅や搬送方向の長さを異ならせるほうが好ましい。

また、上述の実施の形態では、２つの分配流路５４ｃの幅が同じＷ４となっていたが、２つの分配流路５４ｃの幅は互いに異なっていてもよい。同様に、２つの分配流路５５ｃの幅が互いに異なっていてもよいし、２つの分配流路５６ｃの幅が互いに異なっていてもよい。

（変形例２）
例えば、変形例２では、図９に示すように、隔壁５４ｂ〜５６ｂが、それぞれ、上述の実施の形態の位置よりも、第２インク流路５４〜５６の走査方向における左側に偏って配置されている。これにより、第２インク流路５４において、右側の分配流路５４ｃ２の幅Ｗ４２が、左側の分配流路５４ｃ１の幅Ｗ４１よりも広くなっている。同様に、第２インク流路５５において、右側の分配流路５５ｃ２の幅Ｗ５２が、左側の分配流路５５ｃ１の幅Ｗ５１よりも広くなっている。同様に、第２インク流路５６において、右側の分配流路５６ｃ２の幅Ｗ６２が、左側の分配流路５６ｃ１の幅Ｗ６１よりも広くなっている。また、変形例２では、左側の分配流路５５ｃ１の幅Ｗ５１は、右側の分配流路５４ｃ２の幅Ｗ４２よりも広くなっている。また、左側の分配流路５５ｃ１の幅Ｗ５１は、右側の分配流路５５ｃ２の幅Ｗ５２よりも広くなっている。

ここで、変形例２では、第１インク流路５１〜５３から第３インク流路５７にインクが流出し、第３インク流路５７から第２インク流路５４の２つの分配流路５４ｃ１、５４ｃ２にインクが流入する。この場合には、第１インク流路５１〜５３から遠い分配流路５４ｃ２に流入するインクは、第１インク流路５１〜５３に近い分配流路５４ｃ１に流入するインクよりも、第３インク流路５７を流れる距離が長い。そのため、分配流路５４ｃ１と分配流路５４ｃ２の流路抵抗が同じであると、分配流路５４ｃ２からのインクの流入量が、分配流路５４ｃ１からのインクの流入量よりも少なくなる。分配流路５５ｃ１、５５ｃ２からのインクの流入量、及び、分配流路５６ｃ１、５６ｃ２からのインクの流入量についても同様である。

これに対して、変形例２では、分配流路５４ｃ２の幅Ｗ４２が分配流路５４ｃ１の幅Ｗ４１よりも広くなっている。これにより、分配流路５４ｃ２の流路抵抗が、分配流路５４ｃ１の流路抵抗よりも小さくなっている。そして、これにより、分配流路５４ｃ１と分配流路５４ｃ２との間でのインクの流入量の差を抑えることができる。同様に、分配流路５５ｃ２の幅Ｗ５２を分配流路５５ｃ１の幅Ｗ５１よりも広くすることにより、分配流路５５ｃ１と分配流路５５ｃ２との間でのインクの流入量の差を抑えることができる。また、分配流路５６ｃ２の幅Ｗ６２を分配流路５６ｃ１の幅Ｗ６１よりも広くすることにより、分配流路５６ｃ１と分配流路５６ｃ２との間でのインクの流入量の差を抑えることができる。

また、上述の実施の形態では、入口流路５４ａ〜５６ａにそれぞれ隔壁５４ｂ〜５６ｂを設けたが、これには限られない。少なくとも、第１インク流路５１〜５３に最も近い入口流路５４ａが、隔壁５４ｂによって２つの分配流路５４ｃに仕切られていれば、入口流路５５ａを２つの分配流路５５ｃに仕切る隔壁５５ｂや、入口流路５６ａを２つの分配流路５６ｃに仕切る隔壁５６ｂはなくてもよい。

また、上述の実施の形態では、入口流路５４ａが１つの隔壁５４ｂによって２つの分配流路５４ｃに仕切られていたが、これには限られない。入口流路５４ａが、走査方向に並んだ２以上の隔壁５４ｂによって、走査方向に並んだ３以上の分配流路５４ｃに仕切られていてもよい。入口流路５５ａ、５６ａについても同様である。

また、上述の実施の形態では、第２インク流路５４において、左側の分配流路５４ｃの左端と、分配流路５４ｃよりも搬送方向における上流側の部分の左端とで、走査方向の位置が同じとなっている。また、第２インク流路５４において、右側の分配流路５４ｃの右端と、分配部分５４ｃよりも搬送方向における上流側の部分の右端とで、走査方向の位置とが同じとなっている。しかしながら、これには限られない。分配流路５４ｃは、上述の実施の形態の位置よりも、第２インク流路５４の走査方向における中央側に配置されていてもよい。すなわち、第２インク流路５４において、分配流路５４ｃの外側の端が、第２インク流路５４の分配流路５４ｃよりも搬送方向における上流側の部分の外側の端よりも、走査方向の内側に位置してもよい。分配流路５５ｃ、５６ｃについても同様である。

また、上述の実施の形態では、隔壁５４ｂ〜５６ｂが、第２インク流路５４〜５６の上下方向の全長にわたって延びていたが、これには限られない。例えば、隔壁５４ｂ〜５６ｂは、下端において第２インク流路５４〜５６の底面を形成するプレート３６とつながっており、且つ、上端において第２インク流路５４〜５６の天井面を形成するプレート３２から離れたものであってもよい。この場合でも、入口流路５４ａは、隔壁５４ｂによって２つの分配流路５４ｃに仕切られる。ただし、この場合には、２つの分配流路５４ｃの上端部同士が、入口流路５４ａの隔壁５４ｂの真上に位置する部分を介して接続される。入口流路５５ａ、５６ａについても同様である。

あるいは、これとは逆に、隔壁５４ｂ〜５６ｂは、上端において第２インク流路５４〜５６の天井面を形成するプレート３２とつながっており、且つ、下端において第２インク流路５４〜５６の底面を形成するプレート３６から離れたものであってもよい。この場合でも、入口流路５４ａは、隔壁５４ｂによって２つの分配流路５４ｃに仕切られる。ただし、この場合には、２つの分配流路５４ｃの下端部同士が、入口流路５４ａの隔壁５４ｂの真上に位置する部分を介して接続される。入口流路５５ａ、５６ａについても同様である。

（変形例３）
また、上述の実施の形態では、３つの第２インク流路５４〜５６の全てについて、絞り流路４２の連通口４２ｂは、隔壁５４ｂ〜５６ｂと走査方向の位置が重なり、且つ、入口流路５４ａ〜５６ａとは走査方向の位置が重ならないように配置されていたが、これには限られない。変形例３では、図１０に示すように、走査方向において、絞り流路１０１の長さが、上述の実施の形態の絞り流路４２よりも長くなっている。そして、第２インク流路５４については、上述の実施の形態と同様、絞り流路１０１の連通口１０１ｂは、隔壁５４ｂと走査方向の位置が重なり、且つ、分配流路５４ｃとは走査方向の位置が重ならない。

第２インク流路５５については、絞り流路１０１の連通口１０１ｂは、その一部分において、入口流路５５ａと走査方向の位置が重なるように配置されている。ただし、これらの連通口１０１ｂは、走査方向において、分配流路５４ｃの中心線Ｃ１１、Ｃ１２からずれて配置されている。また、第２インク流路５６においては、絞り流路１０１の連通口１０１ｂは、隔壁５６ｂとは走査方向の位置が重ならず、且つ、入口流路５６ａと走査方向の位置が重なるように配置されている。ただし、これらの連通口１０１ｂは、走査方向において分配流路５６ｃの中心線Ｃ２１、Ｃ２２からずれて配置されている。

変形例３では、上述の実施の形態と比較すると、第２インク流路５５、５６において、連通口１０１ｂ付近でのインクの流速が大きくなりやすい。しかしながら、変形例３でも、第２インク流路５５、５６において、絞り流路１０１の連通口１０１ｂが、入口流路５５ａ、５６ａの中心線Ｃ１１、Ｃ１２、Ｃ２１、Ｃ２２と重なる場合と比較すれば、第２インク流路５５、５６の連通口１０１ｂ付近でのインクの流速が大きくなりにくい。したがって、上記の場合と比較すれば、第２インク流路５５、５６において、連通口１０１ｂ付近でのインクの流速が過剰に大きくなって、個別インク流路５０へのインクの供給不足が生じてしまう、という問題は発生しにくい。

また、変形例３では、第２インク流路５４については、絞り流路１０１の連通口１０１ｂは、隔壁５４ｂと走査方向の位置が重なり、且つ、入口流路５４ａとは走査方向の位置が重ならないようにしたが、これには限られない。第２インク流路５４においても、絞り流路１０１の連通口１０１ｂは、少なくとも一部分において、入口流路５４ａと走査方向の位置が重なり、且つ、連通口１０１ｂが、走査方向において、入口流路５４ａの中心線からずれて配置されていてもよい。

さらには、第２インク流路５４〜５６の少なくとも一部については、絞り流路４２の連通口４２ｂが、入口流路５４ａ〜５６ａの中心線と重なるように配置されていてもよい。

また、上述の実施の形態では、出口流路５１ａ〜５３ａの幅がほぼ一定の流路であったが、これには限られない。変形例４では、図１１に示すように、第１インク流路１１１の出口流路１１１ａが、搬送方向における上流側の端部において、第１インク流路１１１の出口流路１１１ａよりも上流側の部分の幅Ｗ０と同じで、搬送方向における下流側に向かうほど幅が狭くなるようなテーパ状の流路となっている。第１インク流路１１２の出口流路１１２ａ、及び、第１インク流路１１３の出口流路１１３ａについても同様である。ただし、出口流路１１２ａの搬送方向における下流側の端部の幅Ｗ２１は、出口流路１１１ａの搬送方向における下流側の端部の幅Ｗ１１よりも狭い。また、出口流路１１３ａの搬送方向における下流側の端部の幅Ｗ３１は、出口流路１１２ａの搬送方向における下流側の端部の幅Ｗ２１よりも狭い。

また、この場合には、出口流路１１１ａ〜１１３ａは、テーパ状の流路となっている分、搬送方向の長さＬ３が、上述の実施の形態出口流路５１ａ〜５３ａの搬送方向の長さＬ１よりも長い。なお、図１１の、長さがＬ３の範囲の、搬送方向における下流側の端を示す点線が、出口流路１１１ａ〜１１３ａと第３インク流路５７との境界である。また、図１１の長さＬ３の範囲の、搬送方向における上流側の端を示す点線が、第１インク流路１１１〜１１３の、出口流路１１１ａ〜１１３ａとそれ以外の部分との境界である。

この場合にも、第２インク流路５４〜５６から遠い第１インク流路ほど、出口流路の流路抵抗が小さくなる。また、出口流路１１１ａがテーパ状に構成されていることにより、第１インク流路１１１の出口流路１１１ａよりも上流側の部分から、出口流路１１１ａにインクが流れやすく、インクの淀みが発生しにくい。第１インク流路１１２、１１３においても同様である。

また、上述の実施の形態では、インクカートリッジ１４からインクが流れ込む第１インク流路の数、及び、インクがインクカートリッジ１４に向けてインクが排出される第２インク流路の数が、いずれも３つであったが、これには限られない。第１インク流路の数は、１、２あるいは４以上であってもよい。また、第２インク流路の数は２あるいは４以上であってもよい。また、このとき、第１インク流路の数と第２インク流路の数とは異なっていてもよい。

また、上述の実施の形態では、出口流路５１ａに、出口流路５１ａを走査方向に仕切る隔壁が設けられていなかったが、これには限られない。出口流路５１ａに隔壁が設けられ、出口流路５１ａが、隔壁によって走査方向に並んだ複数の分配流路に仕切られていてもよい。出口流路５２ａ、５３ａについても同様である。

また、上述の実施の形態では、出口流路５１ａ〜５３ａ、分配流路５４ｃ〜５６ｃ、及び、第３インク流路５７の一部分が、上下方向に仕切られた流路となっていたが、これには限られない。例えば、マニホールド流路４１が、厚みの大きい１枚のプレートによって形成される場合等には、これらの流路は上下方向に仕切られていない流路であってもよい。

（変形例５）
また、第１インク流路５１〜５３から第３インク流路５７にインクが流れ込むときには、第３インク流路５７内のインクに圧力変動が生じる。第３インク流路５７内の圧力変動が生じると、この圧力変動がインク流路５１〜５６に伝播し、インク流路５１〜５６に連通するノズル４５内のインクのメニスカスが破壊されてしまう虞がある。そこで、変形例５では、図１２に示すように、第３インク流路５７の搬送方向における下流側の壁に、第１インク流路５１〜５３にまたがって走査方向に延びた空間１２１が形成されている。空間１２１は、プレート３３〜３５の空間１２１に対応する部分に貫通孔を形成することによって形成されている。この場合には、第３インク流路５７の搬送方向における下流側の壁の、走査方向において、第１インク流路５１〜５３が配置される範囲内に位置する部分が、ダンパーとなる。これにより、第１インク流路５１〜５３から第３インク流路のインクが流れ込むときの、第３インク流路５７内のインクの圧力変動を抑えることができる。

また、変形例５では、第３インク流路５７の壁をダンパーとするための空間１２１が第１インク流路５１〜５３にまたがってのみ延びていたが、これには限られない。空間１２１は、第１インク流路５１〜５３と第２インク流路５４〜５６とにまたがって延びていてもよい。

また、変形例５では、第３インク流路５７の搬送方向における下流側の壁をダンパーとしたが、これには限られない。例えば、プレート３６のインク流路５１〜５６に対応する６つの凹部３６ａのうち、少なくとも第１インク流路５１〜５３に対応する３つの凹部３６ａを、それぞれ第３インク流路５７と重なる位置まで延ばすことによって、第３インク流路５７の下側の壁をダンパーとしてもよい。

また、以上では、ノズルからインクを吐出することによって印刷を行うインクジェットプリンタに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。ノズルからインク以外の液体を吐出する、インクジェットプリンタ以外の液体吐出装置に本発明を適用することも可能である。

３ インクジェットヘッド
４０ 圧力室
４２ 絞り流路
４４ ディセンダ流路
４５ ノズル
４６ インク供給流路
４７ インク排出流路
５０ 個別インク流路
５１〜５３ 第１インク流路
５１ａ〜５３ａ 出口流路
５４〜５６ 第２インク流路
５４ａ〜５６ａ 入口流路
５４ｂ〜５６ｂ 隔壁
５４ｃ〜５６ｃ 分配流路
５７ 第３インク流路
１０１ 絞り流路
１１１〜１１３ 第１インク流路
１１１ａ〜１１３ａ 出口流路

Claims (11)

1. 液体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルに連通する複数の個別流路と、
   所定の第１方向に延びる第１液体流路と、
   前記第１液体流路と並ぶ位置において互いに隣接してそれぞれ前記第１方向に延び、且つ、前記個別流路と連通する複数の第２液体流路と、
   前記第１液体流路の前記第１方向の一方側の端部に接続された液体供給流路と、
   前記複数の第２液体流路の前記第１方向の前記一方側の端部に接続された液体排出流路と、
   前記第１液体流路の前記第１方向の他方側の端部と、前記複数の第２液体流路の前記他方側の端部とを繋ぐ、前記第１方向と交差する第２方向に延びる第３液体流路と、
   少なくとも前記第１液体流路に最も近い位置にある前記第２液体流路の、前記第３液体流路との接続部分である入口流路に設けられ、前記入口流路を、前記第１方向及び前記第２方向と同一面上で前記第１方向と直交する方向である、前記第２液体流路の幅方向に並ぶ複数の分配流路に仕切る隔壁と、を備え、
   前記個別流路の前記第２液体流路との連通口は、前記第２液体流路の前記幅方向に関して、前記分配流路の中心線からずれた位置にあることを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記連通口は、前記隔壁とは前記第２液体流路の前記幅方向の位置が重なり、且つ、前記分配流路とは前記第２液体流路の前記幅方向の位置が重ならないことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 液体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルに連通する複数の個別流路と、
   所定の第１方向に延びる第１液体流路と、
   前記第１液体流路と並ぶ位置において互いに隣接してそれぞれ前記第１方向に延び、且つ、前記個別流路と連通する複数の第２液体流路と、
   前記第１液体流路の前記第１方向の一方側の端部に接続された液体供給流路と、
   前記複数の第２液体流路の前記第１方向の前記一方側の端部に接続された液体排出流路と、
   前記第１液体流路の前記第１方向の他方側の端部と、前記複数の第２液体流路の前記他方側の端部とを繋ぐ、前記第１方向と交差する第２方向に延びる第３液体流路と、
   少なくとも前記第１液体流路に最も近い位置にある前記第２液体流路の、前記第３液体流路との接続部分である入口流路に設けられ、前記入口流路を、前記第１方向及び前記第２方向と同一面上で前記第１方向と直交する方向である、前記第２液体流路の幅方向に並ぶ複数の分配流路に仕切る隔壁と、を備え、
   複数の前記第１液体流路を有し、
   前記複数の第１液体流路は、前記第２液体流路側に位置するものほど、前記第３液体流路との接続部分である出口流路の、前記第１方向と直交する断面の流路断面積が小さいことを特徴とする液体吐出装置。
4. 液体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルに連通する複数の個別流路と、
   所定の第１方向に延びる第１液体流路と、
   前記第１液体流路と並ぶ位置において互いに隣接してそれぞれ前記第１方向に延び、且つ、前記個別流路と連通する複数の第２液体流路と、
   前記第１液体流路の前記第１方向の一方側の端部に接続された液体供給流路と、
   前記複数の第２液体流路の前記第１方向の前記一方側の端部に接続された液体排出流路と、
   前記第１液体流路の前記第１方向の他方側の端部と、前記複数の第２液体流路の前記他方側の端部とを繋ぐ、前記第１方向と交差する第２方向に延びる第３液体流路と、
   少なくとも前記第１液体流路に最も近い位置にある前記第２液体流路の、前記第３液体流路との接続部分である入口流路に設けられ、前記入口流路を、前記第１方向及び前記第２方向と同一面上で前記第１方向と直交する方向である、前記第２液体流路の幅方向に並ぶ複数の分配流路に仕切る隔壁と、を備え、
   複数の前記第１液体流路を有し、
   前記複数の第１液体流路は、前記第２液体流路側に位置するものほど、記第３液体流路との接続部分である出口流路の、前記第１方向の長さが長いことを特徴とする液体吐出装置。
5. 液体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルに連通する複数の個別流路と、
   所定の第１方向に延びる第１液体流路と、
   前記第１液体流路と並ぶ位置において互いに隣接してそれぞれ前記第１方向に延び、且つ、前記個別流路と連通する複数の第２液体流路と、
   前記第１液体流路の前記第１方向の一方側の端部に接続された液体供給流路と、
   前記複数の第２液体流路の前記第１方向の前記一方側の端部に接続された液体排出流路と、
   前記第１液体流路の前記第１方向の他方側の端部と、前記複数の第２液体流路の前記他方側の端部とを繋ぐ、前記第１方向と交差する第２方向に延びる第３液体流路と、
   少なくとも前記第１液体流路に最も近い位置にある前記第２液体流路の、前記第３液体流路との接続部分である入口流路に設けられ、前記入口流路を、前記第１方向及び前記第２方向と同一面上で前記第１方向と直交する方向である、前記第２液体流路の幅方向に並ぶ複数の分配流路に仕切る隔壁と、を備え、
   前記第３液体流路のうちの、少なくとも、前記第１液体流路側の流路部分を形成する壁部に、ダンパー膜が設けられていることを特徴とする液体吐出装置。
6. 各第１液体流路の前記出口流路は、それぞれ、隔壁によって前記第２方向に仕切られていない流路であることを特徴とする請求項３又は４に記載の液体吐出装置。
7. 前記隔壁は、前記第１方向及び前記第２方向のいずれとも直交する第３方向における、前記第２液体流路の全長にわたって延びていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の液体吐出装置。
8. ２つの前記分配流路が、前記第２液体流路の、前記分配流路よりも前記第１方向の前記一方側の部分の、前記幅方向における両端部に接続されていることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の液体吐出装置。
9. 前記２つの分配流路のうち、前記第１液体流路側に位置する前記分配流路の前記第１方向と直交する断面の流路断面積が、前記第１液体流路と反対側に位置する前記分配流路の前記第１方向と直交する断面の流路断面積よりも小さいことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出装置。
10. 前記複数の第２液体流路は、前記第１液体流路側に位置するものほど、前記分配流路の、前記第１方向と直交する断面の流路断面積が小さいことを特徴とする請求項１〜９の何れかに記載の液体吐出装置。
11. 前記複数の第２液体流路は、前記第１液体流路側に位置するものほど、前記分配流路の、前記第１方向の長さが長いことを特徴とする請求項１〜１０の何れかに記載の液体吐出装置。

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