JP2015112861A - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】環境温度が変化しても吐出基板の配置間隔のばらつきを低減することができる、液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】本発明の液体吐出ヘッドは、記録素子部３１と、記録素子部３１を支持する支持部材２と、を有する。記録素子部３１は、複数の供給口１４と、各供給口１４を挟んでそれぞれ配置され、液体を吐出させるエネルギーを生じさせる複数のエネルギー発生素子と、エネルギー発生素子にそれぞれ対応して設けられた複数の吐出口からなる複数の吐出口列１２と、を有する。支持部材２は、各供給口１４にそれぞれ液体を供給する複数の供給液室１６ａ〜１６ｃが設けられている。供給液室１６ａ〜１６ｃの配列方向に沿う断面において、支持部材２の隣接する供給液室１６ａ〜１６ｃ同士に挟まれる部分２８ｂ、２８ｃは、記録素子部３１に接する面から該面とは反対の面に向かうにつれて大きくなる。【選択図】図３

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。

従来、液体吐出装置の１つである記録装置には、各記録方式に対応した液体吐出ヘッドが搭載されている。

特にインクジェット方式では、液体吐出ヘッドから記録媒体に液体、例えばインクが直接吐出されるので、ランニングコストが比較的安く、騒音が小さい等の特徴がある。そのため、インクジェット方式は多くの記録装置に採用されている。

インクジェット方式では、多色化して色域を広げることで高精細な画像が得られる。そこで、多色化する方法の１つとして、吐出口が形成された記録素子基板を複数ならべ、記録素子基板毎に異なるインクを吐出させる方法がある。また他の方法として、特許文献１には、１つの記録素子基板にインクが供給される複数の液体供給口を設け、各液体供給口に異なるインクを供給する方法が示されている。さらに、吐出口を高密度化することでも、高精細な画像が得られる。

インクジェット方式では、インクを吐出させるためのエネルギーを生じるエネルギー発生素子が各吐出口に対応して記録素子基板の内部に設けられている。記録素子基板の中央部はエネルギー発生素子が集まっていて、冷却されにくいため、側端部に比べてエネルギー発生素子に起因する熱が集中しやすい。したがって、記録動作時（インク吐出時）における、記録素子基板の中央部と側端部との間の温度差が大きくなる。

インクの表面張力、粘度、及び密度等の物性は温度に応じて変化するので、この記録素子基板の温度分布の偏りにより、記録素子基板の中央部に位置する吐出口と側端部に位置する吐出口のそれぞれから吐出されるインクの吐出量に差異が生じる。

そこで、特許文献２では、記録素子基板を支持する支持部材に冷却液用流路を設け、その流路に冷却液を流すことで、記録素子基板内での温度分布、あるいは、記録素子基板同士の温度分布の偏りを小さくしている。

特開２００２−１５４２０９号公報 特開２００９−１３２０２４号公報

支持部材内には、記録素子基板の吐出口に液体を供給するための供給液室が複数設けられている。記録素子基板に設けられる吐出口を高密度化すると、吐出口に液体を供給する支持部材の供給液室も高密度化する。そのため、このような構成の場合、支持部材内に供給液室を避けて特許文献２の方法のような冷却液用流路を設けることは困難である。

また、特許文献２の方法の場合、記録素子基板の温度を調整するために冷却液の流量調整を行う必要があり、液体吐出ヘッドの冷却に手間がかかる。また、支持部材に冷却液用流路を形成する必要があるため、製造コストが増加する。

本発明の目的は、上記課題を鑑み、記録素子基板の中央部と側端部との温度差を軽減する、液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明の液体吐出ヘッドは、記録素子部と、記録素子部を支持する支持部材と、を有する。記録素子部は、液体を供給する複数の供給口と、各供給口を挟んでそれぞれ配置され、液体を吐出させるエネルギーを生じさせる複数のエネルギー発生素子と、エネルギー発生素子にそれぞれ対応して設けられた複数の吐出口からなる複数の吐出口列と、を有する。支持部材は、各供給口にそれぞれ液体を供給する複数の供給液室が設けられている。供給液室の配列方向に沿う断面において、支持部材の隣接する供給液室同士に挟まれる部分は、記録素子部に接する面から該面とは反対の面に向かうにつれて大きくなる。

本発明によれば、記録素子部から伝わる熱の伝熱方向と同じ方向である、記録素子部に接する面から該面とは反対の面に向かう方向に、支持部材の供給液室に挟まれる部分は大きくなっている。そのため、エネルギー発生素子で生じた熱が記録素子部とは反対側に伝わりやすくなり、支持部材を通じて外部に逃げやすくなるので、吐出口が高温になりにくい。

本発明によれば、記録素子基板の中央部と側端部との温度分布の偏りを軽減することができる。そのため、記録素子基板の中央部と側端部の各吐出口からそれぞれ吐出される液体の吐出量の差異が軽減し、画像品位が向上する。また、液体吐出ヘッドの構成が単純なため、製造コストの増加を抑制できる。

本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態の構成を示す分解概略斜視図である。 支持部材に支持された記録素子基板の概略斜視図である。 図２におけるＸＺ面での概略断面図である。 従来の記録素子ユニットにおける、支持部材に支持された記録素子基板のＸＺ面での概略断面図である。 本発明の液体吐出ヘッドの第２の実施例の概略構成図であり、支持部材に支持された記録素子基板のＸＺ面での概略断面図である。 本発明の液体吐出ヘッドの第３の実施例の概略構成図であり、支持部材に支持された記録素子基板のＸＺ面での概略断面図である。 本発明の液体吐出ヘッドの第４の実施例の概略構成図であり、支持部材に支持された記録素子基板のＸＺ面での概略断面図である。

以下に、添付の図面に基づき、本発明の実施の形態の詳細について説明する。なお、同一の機能を有する構成には添付図面中、同一の番号を付与し、その説明を省略することがある。

図１は、本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態の構成を示す分解概略斜視図である。液体吐出ヘッド９は、記録素子ユニット６と流路形成部材７とタンク保持部材８とを備える。記録素子ユニット６は、支持部材２と、プレート３と、記録素子基板１と、電気コネクト基板５と、電気配線部材４と、を備える。

記録素子基板１はエネルギー発生素子１０（図２参照）を有しており、支持部材２に支持され接合されている。支持部材２に接合された記録素子基板１と支持部材２との高さの差（図３のＺ方向の差）は、支持部材２の、記録素子基板１が接合される面内であって、記録素子基板１と接していない領域に接合されるプレート３によって緩和される。プレート３上には、記録素子基板１に電気的信号を送るための電気配線部材４が接合され、電気配線部材４は電気コネクト基板５に接合されている。記録素子ユニット６は、流路形成部材７を介して、液体が貯蔵されるタンクを保持するタンク保持部材８に固定されている。以上のようにして液体吐出ヘッド９は構成されている。

図２は、支持部材２に支持された記録素子基板１の概略斜視図である。なお、図２は、記録素子基板１の内部構造がわかるように、一部を省略して図示している。

記録素子基板１は、液体の供給口１４を複数備えたベース基板４１と、ベース基板４１上に配置され、液体を吐出する複数の吐出口１１が形成された吐出口形成部材１３とからなる。

ベース基板４１の吐出口形成部材１３側の面には、各供給口１４を挟むように複数のエネルギー発生素子１０が設けられている。吐出口形成部材１３の複数の吐出口１１は、それぞれエネルギー発生素子１０に対応して形成されている。複数の吐出口１１によって、吐出口形成部材１３の長手方向（図２のＹ方向）に沿って複数の吐出口列１２が形成されている。

なお、本実施形態では供給口１４が３つ設けられているため、吐出口列１２は、吐出口形成部材１３の長手方向に直交する方向（図２のＸ方向）に６列配置されている。

支持部材２にはベース基板４１の各供給口１４に液体を供給するための複数の供給液室１６が設けられている（図３参照）。各供給液室１６からベース基板４１の供給口１４を介して吐出口形成部材１３の吐出口１１に液体が供給される。

図３は、図２におけるＸＺ面での概略断面図である。本実施形態では、支持部材２には３つの供給液室１６が設けられている。ここで、３つの供給液室１６のうち、供給液室１６の配列方向であるＸ方向の一端（図中左）に位置する供給液室１６を第１の供給液室１６ａとする。同様に、Ｘ方向の中央に位置する供給液室１６を第２の供給液室１６ｂとし、Ｘ方向の他端に位置する供給液室１６を第３の供給液室１６ｃとする。なお、第２の供給液室１６ｂの、記録素子基板１側の開口におけるＸ方向の長さをＡ１とし、第２の供給液室１６ｂの、記録素子基板１とは反対側の開口におけるＸ方向の長さをＡ２とする。同様に、第１の供給液室１６ａの、記録素子基板１側の開口におけるＸ方向の長さをＢ１とし、第１の供給液室１６ａの、記録素子基板１とは反対側の開口におけるＸ方向の長さをＢ２とする。第１の供給液室１６ａと第３の供給液室１６ｃは第２の供給液室１６ｂを挟んで互いに対称な形状をしている。すなわち、第３の供給液室１６ｃの、記録素子基板１側の開口におけるＸ方向の長さはＢ１であり、第３の供給液室１６ｃの、記録素子基板１とは反対側の開口におけるＸ方向の長さはＢ２である。本願発明では、Ａ１＞Ａ２、Ｂ１＞Ｂ２となっている。

また、吐出口列１２に、Ｘ方向の一端から順に、１２ａ、１２ｂ、・・・１２ｆと符号をつける。したがって、第１の供給液室１６ａから吐出口列１２ａ、１２ｂに液体が供給され、第２の供給液室１６ｂから吐出口列１２ｃ、１２ｄに液体が供給され、第３の供給液室１６ｃから吐出口列１２ｅ、１２ｆに液体が供給される。

なお、図３中の黒く細い矢印２６は、液体を吐出させるためにエネルギー発生素子１０を駆動させたときの熱の移動を示している。図３中の太い矢印２７は液体を吐出させたときの液体の移動を示している。

さらに、支持部２の、Ｘ方向の一方の縁と第１の供給液室１６ａとの間の部分を第１の部分２８ａ、第１の供給液室１６ａと第２の供給液室１６ｂとの間の部分を第２の部分２８ｂとする。第２の供給液室１６ｂと第３の供給液室１６ｃとの間の部分を第３の部分２８ｃ、第３の供給液室１６ｃと支持部２の、Ｘ方向の他方の縁との間の部分を第４の部分２８ｄとする。なお、第２の部分２８ｂと第３の部分２８ｃは同じ形状であり、第１の部分２８ａと第４の部分２８ｄは同じ形状である。

また、本実施形態の説明では、１つの記録素子基板１のみを用いているが、１つの支持基板２に対して複数の記録素子基板１を搭載する構成も考えられる（第２の実施例、図５参照）。そのため、支持基板２に支持された記録素子基板１をまとめて記録素子部３１とする。

なお、以降の説明では、主に第１の供給液室１６ａ、第２の供給液室１６ｂ、第１の部分２８ａ、第２の部分２８ｂ、及び吐出口列１２ａ〜１２ｃについて説明する。これは、記録素子ユニット６は第２の供給液室１６を挟んで互いに対称になっており、対称な構成の一方と他方とで同様な効果が得られるためである。

次に、本発明の液体吐出ヘッド９の記録素子ユニット６では、中央部と側端部との間の温度差がなぜ軽減されるのかを、図３及び図４を用いて説明する。なお、以下で説明する検証結果は熱シミュレーションに基づいている。

図４は、従来の液体吐出ヘッドの記録素子ユニット１０６における、支持部材１０２に支持された記録素子基板１０１のＸＺ面での概略断面図である。なお、記録素子基板１０１の形状は本発明の記録素子基板１と同様であり、支持部材１０２の形状が本発明の支持部材２とは異なる。具体的には、第１の供給液室１１６ａ、第２の供給液室１１６ｂ、第３の供給液室１１６ｃの形状は同じである。Ａ１’＝Ａ２’＝Ｂ１’＝Ｂ２’となっている。

図４の従来の液体吐出ヘッドの場合、エネルギー発生素子（不図示）を駆動させることにより発生した熱の多くは、ベース基板１４１を介して支持部材１０２に伝わる。矢印１２６で示すように、吐出口列１１２ａに対応して設けられたエネルギー発生素子からの熱は支持部材１０２の第１の部分１２８ａに伝わる。同様に、吐出口列１１２ｂに対応して設けられたエネルギー発生素子からの熱は支持部材１０２の第２の部分１２８ｂに伝わる。そして、吐出口列１１２ｃに対応して設けられたエネルギー発生素子からの熱は支持部材１０２の第２の部分１２８ｂに伝わる。

上述したように、第１の部分１２８ａには、吐出口列１１２ａに対応して設けられたエネルギー発生素子からの熱が伝わる。一方、第２の部分１２８ｂには、吐出口列１１２ｂと吐出口列１１２ｃとにそれぞれ対応して設けられたエネルギー発生素子からの熱が伝わる。そのため、第２の部分１２８ｂには、第１の部分１２８ａに比べて伝わってくる熱の熱量が大きくなり、熱が溜まりやすい。結果として、吐出口列１１２ｂや吐出口列１１２ｃの温度は、吐出口列１１２ａの温度に比べて高くなる。上記と同様な理由で、吐出口列１１２ｄや吐出口列１１２ｅの温度は、吐出口列１１２ｆの温度に比べて高くなる。つまり、両端に位置する吐出口列１１２ａ、１１２ｆの温度に比べて、それ以外の吐出口列１１２ｂ〜１１２eの温度は高くなる。

このような現象を防ぐために、充分に吐出口列同士の間隔を大きくする、つまり第２の部分や第３の部分を大きくすると、液体吐出ヘッドが大型化してしまい、コストアップにもつながる。

そこで本発明の液体吐出ヘッド９では、Ａ１＞Ａ２、Ｂ１＞Ｂ２となっている。つまり、隣接する第１の供給液室１６ａと第２の供給液室１６ｂとに挟まれる第２の部分２８ｂは、記録素子基板１側から記録素子基板１とは反対側にいくにつれて（−Ｚ方向）、Ｘ方向に大きくなっている。−Ｚ方向は、記録素子基板１からの熱が伝わる方向と同じであるため、第２の部分２８ｂは、熱の伝わる方向にいくにつれて、Ｘ方向に大きくなっている。そのため、記録素子基板１から第２の部分２８ｂに伝わる熱が、記録素子基板１とは反対側に伝わりやすく、つまり逃げやすいため、吐出口列１２ｂや吐出口列１２ｃの温度が高くなりにくい。その結果、吐出口列１２ｂ、１２ｃと吐出口列１２ａとの間の温度差が軽減される。

また、第１の供給液室１６ａの側壁のうち、外側に位置する側壁１６ａ１は、Ｘ方向に対して垂直であるが、内側に位置する側壁１６ａ２は、Ｘ方向に対して垂直ではなく傾斜している。第１の供給液室１６ａを流れる液体の流れは、第１の供給液室１６ａの中心軸(図３の矢印Ｄと同軸)を流束の中心とするため、液体は、外側の側壁１６ａ１側よりも内側の側壁１６ａ２側が流れやすくなる。そのため、第２の部分２８ｂの熱が液体に伝わりやすくなり、第２の部分２８ｂの温度が高くなりにくい。なお、熱が伝えられた液体は、吐出口から吐出される、つまり熱は外部に放熱される。

なお、説明はしないが、第３の部分２８ｃにおいても記録素子基板１とは反対側に熱が伝わりやすいので、吐出口列１２ｄ、１２ｅと吐出口列１２ａ、１２ｆとの間の温度差が低減される。

以上のことから、本発明の液体吐出ヘッド９では、記録素子基板１の中央部に位置する吐出口列１２ｂ〜１２ｅの温度が高温になりにくい。そのため、吐出口列１２ｂ〜１２ｅと、記録素子基板１の側端部に位置する吐出口列１２ａ、１２ｆとの間の温度差が小さくなり、記録画像の品位を向上させることができる。さらに、本発明の液体吐出ヘッド９の場合、支持部材２を大型化する必要がないので、液体吐出ヘッド９が大型化することもない。また、本発明の液体吐出ヘッド９は、構成が複雑化しておらず、追加の部材も必要がないため、製造コストの増加を抑制できる。

［実施例］
以下に実施例および比較例について説明する。上述したように、ＸＺ断面において、記録素子ユニット６は第２の供給液室１６を挟んで互いに対称になっているため、支持部材２の第３、第４の部分２８ｃ、２８ｄ、第３の供給液室１６ｃ、吐出口列１２ｄ〜１２ｆについての説明は省略する。

［実施例１］
本実施例では、図２におけるＹ方向にエネルギー発生素子１０を６００ｄｐｉで１２８０個配置した。そして、各エネルギー発生素子１０に対応して吐出口１１を形成し、それにより吐出口列１２を形成した。吐出口列１２ａと吐出口列１２ｂとの間隔（図１、図３おけるＸ方向）は、１ｍｍとした。同様に、吐出口列１２ｃと吐出口列１２ｄとの間隔は１ｍｍとし、吐出口列１２ｅと吐出口列１２ｆとの間隔も１ｍｍとした。吐出口列１２ｂと吐出口列１２ｃとの間隔は１．５ｍｍとし、吐出口列１２ｄと吐出口列１２ｅとの間隔は１．５ｍｍとした。吐出口列１２ａと吐出口列１２ｂとの同一セグメントの吐出口１１は図３におけるＹ方向で、０．０２１ｍｍずれている。吐出口列１２ｃと吐出口列１２ｄとの間の吐出口１１の位置関係及び吐出口列１２ｅと吐出口列１２ｆとの間の吐出口１１の位置関係も同様である。

吐出口列１２ａと吐出口列１２ｂには、同一の液体が第１の供給液室１６ａとそれに対応する供給口１４を介して供給される。吐出口列１２ｃと吐出口列１２ｄには、第１の供給液室１６ａに供給される液体とは異なる液体（例えば異なる色の液体）が、第２の供給液室１６ｂとそれに対応する供給口１４を介して供給される。吐出口列１２ｅと吐出口列ｆには、第１及び第２の供給液室１６ａ、１６ｂに供給される液体とは異なる液体が、第３の供給液室１６ｃとそれに対応する供給口１４を介して供給される。例えば、第１〜第３の供給液室１６ａ〜１６ｃにはそれぞれシアン、マゼンタ、イエローのインクを供給することで、カラー画像が形成される構成とした。

吐出口形成部材１３は、樹脂部材をベース基板４１に積層することにより形成した。ベース基板４１が接合される支持部材２は、アルミナを焼結させたセラミック部材からなり、その厚み（図１、図３におけるＺ方向）は４ｍｍとした。支持部材２の長さＡ１は１．５ｍｍとし、長さＡ２は０．９ｍｍとし、長さＢ１は１．５ｍｍとし、長さＢ２は１．２ｍｍとした。支持部材２に接合されるプレート３は、アルミナを焼結体させたセラミック部材を用いた。電気配線部材４は、ポリイミドをベースとしたものを用いた。そして、支持部材２、プレート３、記録素子基板１、電気コネクト基板５、電気配線部材４を組み合わせ、記録素子ユニット６を形成した。そして流路形成部材７を介し、記録素子ユニット６をタンク保持部材８に組み付けて、液体吐出ヘッド１を形成した。

上記のように構成された液体吐出ヘッド９を用いた記録装置で、印字ｄｕｔｙ７５％、吐出周波数３０ｋＨｚ、印字パス数は１ｐａｓｓでＡ３縦の紙に約４０ｃｍの幅でベタ印字の後に、２次色罫線パターンがある印字パターンを印刷した（印字試験）。その結果、１０枚の紙まで良好な印字を得ることができた。

また、耐久試験において、本実施例の液体吐出ヘッド９は、６．０×１０^８パルスまで良好な印字を行うことができ、吐出口形成部材１３とベース基板４１との間の良好な接合状態が確認された。

［比較例］
また、比較例として、図４に示した従来の液体吐出ヘッドを作成して、それを本発明の実施例と比較した。比較例の液体吐出ヘッドでは、長さＡ１’、長さＡ２’、長さＢ１’、長さＢ２’をいずれも１．５ｍｍとした。それ以外の構成は本発明の実施例と同様である。

上記のように構成された比較例の液体吐出ヘッドを用いた記録装置で、第１の実施例と同様の印字試験を行った。その結果、1枚目から４枚目までは良好な印字を得ることができたが、５枚目で１枚目と色見が違うという現象が確認された。

以上のことから、本発明の第１の実施例の液体吐出ヘッド９では、比較例の液体吐出ヘッド１０９に比べて良好な印字が長期にわたって得られた。これは、第１の実施例の液体吐出ヘッド９における吐出口列１２同士の間の温度差は、比較例の液体吐出ヘッドにおける吐出口列１１２同士の間の温度差に比べて小さくなるためであると考えられ、本発明の効果が実証されたものと考えられる。

また、比較例の液体吐出ヘッドでは、耐久試験において５．０×１０^８パルスで、吐出口列１１２ｃに対応するエネルギー発生素子が配置されている位置において、吐出口形成部材１１３とベース基板１４１との接合で剥がれが生じる現象がみられた。これは、本発明の液体吐出ヘッド９（図３参照）では、エネルギー発生素子１０で生じる熱の移動がすみやかに行われるため、吐出口列１２ｃで液体を吐出するときにエネルギー発生素子１０の周囲は加熱されても高温になりにくく、かつ冷却されやすい。そのため、吐出口形成部材１３とベース基板４１との接触面に生じる、線膨張係数の差による応力が軽減し、吐出口形成部材１３とベース基板４１との間の良好な接合が維持されたと考えられる。

なお、上述では説明していないが、支持部材２の第３の部分２８ｃにおいても、記録素子基板１から第３の部分２８ｃに伝わる熱が、記録素子基板１とは反対側に伝わりやすい。そのため、吐出口列１２ｄや吐出口列１２ｅの温度が高くなりにくくなり、結果として吐出口列１２ｂ、１２ｃと吐出口列１２ａとの間の温度差が軽減される。また、吐出口列１２ｄや吐出口列１２ｅに対応して設けられているエネルギー発生素子１０で生じる熱の移動がすみやかに行われるため、吐出口形成部材１３とベース基板４１との間の良好な接合を保つことができる。

［実施例２］
図５は、本発明の液体吐出ヘッド９の第２の実施例の概略構成図であり、記録素子ユニット６における、支持部材２に支持された記録素子基板１のＸＺ面での概略断面図である。

本実施例では、１つの支持部材２上に複数の記録素子基板１が配置されている。つまり、本実施例の液体吐出ヘッド９は、第１の実施例における記録素子基板１が複数に（本実施例では３つに）分割された構成となっている。つまり、本実施例では、記録素子部３１が複数の記録素子基板１で構成されている。

第１の実施例１と同様に、支持部材２の長さＡ１は１．５ｍｍとし、長さＡ２は０．９ｍｍとし、長さＢ１は１．５ｍｍとし、長さＢ２は１．２ｍｍとした。また、吐出口列１２ａ〜１２ｆ同士の位置関係も第１の実施例と同様にした。そして、第１の実施例と同様条件で、印字試験を行ったところ、比較例に比べて良好な印字が得られた。また、耐久試験においても、６．０×１０^８パルスまで吐出口形成部材１３とベース基板４１との間の良好な接合状態が確認された。

本実施例でも、支持部材２のＸＺ断面において、第２の部分２８ｂと第３の部分２８ｃでは記録素子基板１と対向する位置から、記録素子基板１とは対向しない方向に向かって（−Ｚ方向に向かって）、Ｘ方向に大きくなる。そのため、エネルギー発生素子１０で発生した熱が支持部材２に伝わった後、支持部材２の記録素子基板１とは対向しない方向に向かって伝わりやすく、記録素子基板１や支持部材２が高温になることが防止される。

［実施例３］
図６は、本発明の液体吐出ヘッド９の第３の実施例の概略構成図であり、記録素子ユニット６における、支持部材２に支持された記録素子基板１のＸＺ面での概略断面図である。

本実施例では、長さＢ１と長さＢ２を同じにする、つまり、図６において、第１の供給液室１６ａ及び第３の供給液室１６ｃの形状は平行四辺形である。このような形状にすることで、第１の供給液室１６ａの内側に位置する側壁１６ａ２に沿って液体がより流れやすくなるため、支持部材２の第２の部分２８ｂがより冷却される。同様な理由で、第３の部分２８ｃがより冷却される。

本実施例では、長さＡ１を１．５ｍｍとし、長さＡ２を０．９ｍｍとし、長さＢ１を１．５ｍｍとし、長さＢ２を１．５ｍｍとした。そして、各吐出口列１２ａ〜１２ｆ同士の位置関係は第１の実施例と同様にした。

そして、第１の実施例と同様条件で、印字試験を行ったところ、１５枚の紙まで良好な印字を得ることができた。なお耐久試験においては、６．０×１０^８パルスまで良好な印字ならびに、吐出口形成部材１３とベース基板４１の間の良好な接合状態が確認された。

なお、図６のような断面形状の支持部材２をセラミック部材で作製する場合、金型が複雑化するため、支持部材２の製造コストの上昇が懸念される。しかしながら支持部材２を、セラミック部材ではなく、樹脂を用いて成形すれば、製造コストの上昇を抑えることができる。

［実施例４］
図７は、本発明の液体吐出ヘッド９の第４の実施例の概略構成図であり、記録素子ユニット６における、支持部材２に支持された記録素子基板１のＸＺ面での概略断面図である。

上述の実施例では、支持部材２のＸＺ断面において、第１の供給液室１６ａ及び第３の供給液室１６ｃの形状は、記録素子基板１側の開口の中心と記録素子基板１とは反対側の開口の中心とを通る軸を中心に対称ではなかった。一方、本実施例では、支持部材２のＸＺ断面において、第１の供給液室１６ａ及び第３の供給液室１６ｃの形状は、記録素子基板１側の開口の中心と記録素子基板１とは反対側の開口の中心とを通る軸を中心に対称となっている（つまり、対称性を有している）。なお、支持部材２のＸＹ断面において、第２の部分２８ｂと第３の部分２８ｃは、記録素子基板１と接する面からその面とは反対側に向かって、Ｘ方向に大きくなる必要がある。

本実施例では、長さＡ１を１．５ｍｍ、長さＡ２を０．７ｍｍ、長さＢ１を１．５ｍｍ、長さＢ２を１．１ｍｍとした。吐出口列１２ａ〜１２ｆ同士の位置関係は第１の実施例と同様にした。そして、第１の実施例と同様条件で、印字試験を行ったところ、７枚の紙まで良好な印字を得ることができた。また、耐久試験においては、６．０×１０^８パルスまで良好な印字ならびに、吐出口成形部材１３とベース基板４１の間の良好な接合状態が確認された。

本実施例では、支持部材２のＸＺ断面において、第１の供給液室１６ａ及び第３の供給液室１６ｃの形状は、記録素子基板１側の開口の中心と記録素子基板１とが反対側の開口の中心とを通る軸を中心に対称となっている。そのため、液体の流れが第１の実施例に比べて内壁１６ａ２に沿うのではなく第１の供給液室１６ａの中央を流れやすくなる。したがって、第１の実施例に比べると液体による第２の部分２８ｂの冷却効果が少なかったものと考えられる。また、同様な理由で、液体による第３の部分２８ｃの冷却効果も少なかったものと考えられる。しかしながら、従来の液体吐出ヘッドに比べて、印字試験および耐久試験の結果が改善していることから、記録素子基板１や支持部材２が高温になることを抑制する効果が得られていると考えられる。

１ 記録素子基板
２ 支持部材
１０ エネルギー発生素子
１１ 吐出口
１２、１２ａ〜１２ｆ 吐出口列
１３ 吐出口形成部材
１４ 供給口
１６ 供給液室
１６ａ 第１の供給液室
１６ｂ 第２の供給液室
１６ｃ 第３の供給液室
２８ａ 第１の部分
２８ｂ 第２の部分
２８ｃ 第３の部分
２８ｄ 第４の部分
３１ 記録素子部
４１ ベース基板

Claims (6)

1. 液体を供給する複数の供給口と、各前記供給口を挟んでそれぞれ配置され、前記液体を吐出させるためのエネルギーを生じさせる複数のエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子にそれぞれ対応して設けられ、前記供給口から前記液体が供給される複数の吐出口からなる複数の吐出口列と、を有する記録素子部と、
   前記記録素子部を支持し、各前記供給口にそれぞれ前記液体を供給する複数の供給液室が設けられた支持部材と、を有し、
   前記供給液室の配列方向に沿う断面において、前記支持部材の、隣接する前記供給液室に挟まれる部分は、前記記録素子部に接する面から該面とは反対の面に向かうにつれて大きくなっている、液体吐出ヘッド。
2. 前記支持部材の、隣接する前記供給液室の互いに対向する面は、前記記録素子部と接する面から該面とは反対の面に向かうにつれて離れている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記供給液室の配列方向において両端に位置する前記供給液室では、前記供給液室の配列方向において外側に位置する面が、前記記録素子部と接する面から該面とは反対の面に向かうにつれて前記外側に傾斜している、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記供給液室の配列方向に沿う断面において、前記供給液室の配列方向の両端に位置する前記供給液室の形状は互いに対称である、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記記録素子部は１つの記録素子基板からなる、請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記記録素子部は、少なくとも１つの供給口及びエネルギー発生素子と、少なくとも２つの吐出口列と、をそれぞれ有する、複数の記録素子基板からなる、請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

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