JP2018012303A - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】 供給路の圧力損失を低減し、高品位な画像形成が可能な液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】 支持部材は、第１及び第２の記録素子基板側に配される第１の支持部と、第１の支持部に対して第１及び第２の記録素子基板とは反対側に配される第２の支持部とを含み、第１の支持部は、第１の記録素子基板に液体を供給するための第１の個別流路と、第２の記録素子基板に液体を供給するための第２の個別流路とを備え、第２の支持部は、第１及び第２の個別流路に液体を供給するための共通流路を備えることを特徴とする。【選択図】 図３

Description

本発明は、吐出エネルギー発生素子を利用して、圧力室内の液体を吐出口から吐出する液体吐出ヘッドに関するものである。

近年、インクジェットプリンタは、家庭用印刷のみならず、ビジネスやリテールフォト用等の業務用、あるいは、電子回路描画やパネルディスプレイ用等の産業用にも用いられ、その用途は広がりつつある。このような業務用印刷におけるインクジェットプリンタの液体吐出ヘッドは、高速での印刷を強く要求される。この要求を実現させるために、インク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドの幅を記録媒体幅よりも長尺な、所謂ラインヘッドとすることが行われている。

液体吐出ヘッドの幅を長尺化する手段として、吐出口を有する複数の記録素子基板を長尺方向に、その一部を重ね合わせながら並べることが行われている。その中でも、特許文献１では、吐出口を有する記録素子基板を長尺方向に一列に並べる方法が提案されている。このように、一列に記録素子基板を配列することで、記録素子基板のつなぎ目における、印刷物の走査方向への記録素子基板同士のズレ幅を低減し、記録素子基板間での吐出口列のズレ幅を低減することができる。

特表２００８−５２６５５３号公報

一般的に記録素子基板を支持する支持部材に形成された流路である複数の個別流路の位置精度は、個別流路の加工精度の影響を受ける。特に、支持部材の厚さが厚くなると加工精度が悪化する傾向にある。

特許文献１の構成では、支持部材の形成された複数の個別流路は、支持部材の厚みが厚いため形成される個別流路の位置精度にばらつきが発生する。そのため個別流路を支持部材に端部により近い位置に形成する場合において制限される。そのため、各記録素子基板において、長尺方向最端部の個別流路と、長尺方向最端部の吐出口との供給路の距離が長くなり、供給路の圧力損失が大きくなってしまう。これにより、画像ムラ等が生じてしまうことがある。

そこで本発明は、供給路の圧力損失を低減し、高品位な画像形成が可能な液体吐出ヘッドの提供を目的とする。

本発明は、液体を吐出する吐出口と、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子とを備え、液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列される第１及び第２の記録素子基板と、前記第１及び第２の記録素子基板を支持する支持部材と、を有する液体吐出ヘッドであって、前記支持部材は、前記第１及び第２の記録素子基板側に配される第１の支持部と、前記第１の支持部に対して前記第１及び第２の記録素子基板とは反対側に配される第２の支持部とを含み、前記第１の支持部は、前記第１の記録素子基板に液体を供給するための第１の個別流路と、前記第２の記録素子基板に液体を供給するための第２の個別流路とを備え、前記第２の支持部は、前記第１及び第２の個別流路に液体を供給するための共通流路を備えることを特徴とする。

また、液体を吐出する吐出口と、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子とを備え、液体吐出ヘッドの長手方向に沿って直線状に配列される第１及び第２の記録素子基板と、前記第１及び第２の記録素子基板を支持する支持部材と、前記第１の記録素子基板と前記支持部材との間に設けられる第１の樹脂フィルム、及び前記第２の記録素子基板と前記支持部材との間に設けられる第２の樹脂フィルムと、を有する液体吐出ヘッドであって、前記第１の樹脂フィルムの一端部には、前記第１の記録素子基板に液体を供給するための第１の貫通孔が設けられており、前記第２の樹脂フィルムの前記第１の記録素子基板側の一端部には、前記第２の記録素子基板に液体を供給するための第２の貫通孔が設けられており、前記支持部材には、前記第１及び第２の貫通孔に液体を供給するための共通流路が設けられていることを特徴とする。

本発明によれば、各記録素子基板において、支持部材における長尺方向端部の個別流路と、長尺方向端部の吐出口との供給路の距離を短くすることで、供給路の圧力損失を低減することができる。その結果、画像ムラ等の不具合を低減し、高品位な画像形成が可能となる。

（ａ）〜（ｃ）は比較例としての液体吐出ヘッドの模式図である。 （ａ）（ｂ）は本発明の第１の実施形態における液体吐出ヘッドの斜視図である。 （ａ）〜（ｃ）は本発明の第１の実施形態における液体吐出ヘッドの模式図である。 （ａ）（ｂ）は本発明の第２の実施形態における液体吐出ヘッドの斜視図である。 （ａ）〜（ｃ）は本発明の第２の実施形態における液体吐出ヘッドの模式図である。 （ａ）（ｂ）は本発明の第３の実施形態における液体吐出ヘッドの斜視図である。 （ａ）〜（ｃ）本発明の第３の実施形態における液体吐出ヘッドの模式図である。 （ａ）（ｂ）は本発明の第４の実施形態における液体吐出ヘッドの斜視図である。 （ａ）〜（ｃ）は本発明の第４の実施形態における液体吐出ヘッドの模式図である。 （ａ）は図１（ａ）のＡ−Ａ’断面における記録素子基板つなぎ部の拡大図、（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ’断面における拡大図、（ｃ）は図５（ａ）のＣ−Ｃ’断面における拡大図、（ｄ）は図１０（ａ）〜（ｃ）における供給路の模式図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドについて説明する。なお、本発明の液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。例えば、バイオチップ作製や電子回路印刷等の用途としても用いることができる。

また、以下に述べる実施形態は、本発明の適切な具体例であるため、技術的に好ましい様々な限定が付けられている。しかし、本発明の思想に沿うものであれば、本実施形態は、本明細書の実施例やその他の具体的方法に限定されるものではない。

（第１の実施形態）
本発明の実施形態を説明する前に、比較例としての液体吐出ヘッドについて図１（ａ）〜（ｃ）及び図１０（ａ）を用いて説明する。図１において液体吐出ヘッド２６は、インク等の液体を吐出する吐出口２１と吐出口に液体を供給するための供給路１５を備える記録素子基板１１と、複数の記録素子基板１１を支持する支持部材１２とを備える。図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ´断面を示し、図１（ｃ）は図１（ｂ）の一部拡大図である。図１０（ａ）は図１（ａ）における一部拡大図、具体的には、隣接する記録素子基板１１のつなぎ部の拡大図を示し、説明のために吐出口２１が形成される部材を透過した状態で示している。

図１（ｂ）に示すように、本比較例の構成において支持部材１２の厚みは比較的厚い構成である。支持部材１２に液体を供給するための貫通孔として個別流路１３を形成する際に、一般的に支持部材の厚みが大きいほど貫通孔の穴あけ精度（寸法精度、位置精度）は悪化する。個別流路の形成方法としては、射出成形、エッチング、レーザー加工等があるが、いずれにおいても厚みが厚いと精度は悪化する傾向にある。後述するように流路を流れる圧力損失を考慮すると、複数の個別流路のうち、支持部材の最端部側の個別流路は出来る限り支持部材の端部に近い位置に形成することが好ましい。しかしながら支持部材の厚みが厚いと加工ばらつきのため、最端部の個別流路１３を端部に近づけるには限界がある。そのため図１０（ａ）に示すように、最端部に形成される個別流路１３と、複数の吐出口２１のうち、最端部に位置する吐出口２１ａとの距離Ｌａは比較的大きくなってしまう。それにより個別流路１３ａから供給された液体が供給路１５を介して最端部の吐出口２１ａに供給される経路（Ｌａ）が長くなり圧力損失も大きくなる。この影響により吐出口から吐出される液滴の量がばらつくなどして、記録される画像に濃度ムラが発生する等の影響がある。

上述した比較例における課題に対して、以下に本実施形態の説明を行う。図２、図３、図１０（ｂ）、（ｄ）は、本発明の第１の実施形態における説明図である。図２（ａ）は、本発明の第１の実施形態における液体吐出ヘッドの斜視図である。図２（ｂ）は、本発明の第１の実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視図である。図３（ａ）は、本発明の第１の実施形態における液体吐出ヘッドの上面図である。説明を容易にするために部材の一部を透過した状態を示している。図３（ｂ）は、図３（ａ）のＢ−Ｂ’断面における断面図である。図３（ｃ）は、図３（ｂ）の隣接する記録素子基板１１同士のつなぎ部分の拡大図である。図１０（ｂ）は、図３（ａ）のＢ−Ｂ’断面における記録素子基板１１同士のつなぎ部の拡大図である。図１０（ｄ）は、図１０（ｂ）における供給路１５の模式図である。

本発明の第１の実施形態における液体吐出ヘッド２６は、図２、図３に示すように、液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列される複数の記録素子基板１１と、支持部材１２とを有する。記録素子基板１１には、例えばインクのような液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子２２（図１０（ｂ））が形成されている。各エネルギー発生素子２２に対応して、液体を吐出する吐出口２１と、吐出口２１から吐出させる液体を充填しておく圧力室２３（図１０（ｂ））とが形成されている。支持部材１２の第１の支持部２４には、各記録素子基板１１に液体を供給する複数の個別流路１３（１３−１〜１３−５）が液体吐出ヘッドの長手方向に沿って設けられている。また、支持部材１２の第２の支持部２５には、各個別流路１３に液体を供給する複数の共通流路１４（１４−１〜１４−５）が液体吐出ヘッドの長手方向に沿って形成されている。個別流路１３の流路幅（径）は共通流路１４の流路幅（径）よりも小さい。図３（ｂ）に示すように、第１の個別流路１３−１と第２の個別流路１３−２は第１の共通流路１４−１と連通している。また第３の個別流路１３−３は第２の共通流路１４−２と、記録素子基板１１の他端部に位置する第４の個別流路１３−４は第３の共通流路１４−３と連通している。第５の個別流路１３−５は第４の共通流路１４−４と、第６の個別流路１３−６は第５の共通流路１４−５と夫々連通している。

支持部材１２は、複数の個別流路１３が形成される側（下流側）の第１の支持部２４と、第１の支持部２４に対して記録素子基板１１とは反対側（上流側）の第２の支持部２５の２つの領域を含む。本実施形態において、支持部材１３は、第１の支持部２４及び第２の支持部２５を含む一体部材として構成されている。このように支持部材１２に設けられる流路を上流側と下流側とに分けることで、下流側の第１の支持部に設けられる個別流路の供給路の長さを上述した比較例に対して短くすることができる。それにより個別供給路を形成する際の加工精度を向上させることが可能なる。

また、複数の記録素子基板１１は、支持部材１２上に並んで複数配置されている。ここで、記録素子基板１１の並びは、隣接する記録素子基板１１同士が、液体吐出ヘッド２６の長尺方向に部分的に重なり合って長尺方向に一列に（直線状に）配置されている。尚、記録素子基板１１は長尺方向に完全に一列には並んでいる必要はなく、多少ズレながら並んでいても良い。

図３において、各記録素子基板１１の裏面（支持部材１２側の面）には、支持部材１２の複数の個別流路１３から液体が供給される供給路１５が形成されている。また、本実施形態の液体吐出ヘッド２６は、吐出口から液体が吐出される方向からみて、支持部材１２上に互いに隣接して配置されている記録素子基板１１の端部を跨るように配されている共通流路１４（１４−１）を有する。第２の支持部２５においては流路の位置精度は個別流路に比べて相対的に自由度があるので、共通流路１４の流路の幅を比較的大きくし、記録素子基板１１のつなぎ部を跨ぐように配置することができる。それにより、第２の支持部の領域で、つなぎ部の流路を確保することができ、下流側の第１の支持部の領域で精度の高い個別流路を形成できる。本実施形態においては、個別流路１３は、共通流路１４よりも、支持部材１２の厚さ方向の距離を短く形成することにより、より高精度に加工することができる。そのため、個別流路１３同士の間隔は、共通流路１４同士の間隔よりも、狭くすることが可能である。

ここで、液体は、図３（ｂ）に示すように、共通流路１４、個別流路１３、供給路１５をこの順に通り、それぞれの圧力室２３、エネルギー発生素子２２に供給される。図１０（ｂ）において、吐出口２１は、記録素子基板１１の長尺方向に複数形成され、吐出口列を形成している。また、吐出口列に沿って記録素子基板１１の裏面に供給路１５が形成されている。図１０（ｂ）に示す本実施形態では、支持部材１２には、供給路１５に液体を供給する個別流路１３と、個別流路１３に液体を供給する共通流路１４とが形成されているので個別流路１３の加工精度及び位置精度を向上できる。そのため、記録素子基板１１の長尺方向一端部の個別流路１３と、長尺方向一端部の吐出口２１との供給路１５の距離Ｌｂを図１０（ａ）の比較例の構成と比べて短くすることが可能である。図１０（ｂ）中では、Ｌｂ≒０として示している。このときの供給路１５の圧力損失ΔＰ（図１０（ｄ））は、式（１）にて求めることができる。
ΔＰ＝Ｑ×Ｒ[ｍｍＡｑ] 式（１）
式（１）及び図１０（ｄ）において、ΔＰは記録素子基板１１の長尺方向最端部の供給路１５の圧力損失を、Ｑは供給路１５の吐出流量を、Ｒは供給路１５の流路抵抗を示す。Ｌは記録素子基板１１の長尺方向最端部の個別流路１３と長尺方向最端部の吐出口２１との供給路１５の長さを示す。またａは供給路１５の幅を、ｂは供給路１５の深さ方向の高さを、それぞれ示している。ここで、例えば、ノズル密度を１２００ｄｐｉ、吐出周波数を１０ｋＨｚ、液体の吐出量を５ｐｌ、液体の粘度を４ｃｐ、ａを１００μｍ、ｂを３００μｍ、比較例である図１０（ａ）のＬａを５００μｍ、本実施形態のＬｂを２００μｍと仮定する。この場合、比較例のΔＰは、およそ５．８ｍｍＡｑとなり、一方で、本発明の第１の実施形態のΔＰは、およそ０．９ｍｍＡｑとなる。そのため、第１の実施形態にすることにより、記録素子基板１１の長尺方向最端部の供給路１５の圧力損失ΔＰを、およそ８４．５％低減することが可能である。

支持部材１２に、支持部材１２上に隣接して配置されている記録素子基板１１の端部を跨るように共通流路１４を形成する。それにより各記録素子基板１１において、長尺方向における最端部の個別流路１３と、長尺方向最端部の吐出口２１との供給路１５の距離を短くできる。そうすることで、供給路１５の圧力損失を低減し、隣接する記録素子基板１１のつなぎ目において、高品位な画像形成が可能となる。また、支持部材１２の長尺方向の長さが、吐出口からの液滴が付与される記録媒体の幅以上である、所謂ライン型の液体吐出ヘッドに特に好適に適用できる。つまり、隣接する記録素子基板１１のつなぎ目での画像形成が高品位な状態で、記録素子基板１１をページ幅以上に並べることが可能となり、ページ幅に渡って高品位な画像形成が可能となる。
支持部材１２を構成する材料は各種材料が適用可能であるが、一例として、樹脂やアルミナ等で構成されるのが好ましい。樹脂で構成する場合、例えば、射出成型により個別流路１３や共通流路１４を加工する方法がある。また、アルミナで構成する場合、例えば、支持部材１２の厚さ方向が小さいアルミナ部材を複数枚積層することにより、個別流路１３や共通流路１４を作製しても良い。

（第２の実施形態）
図４、図５、図１０（ｃ）、図１０（ｄ）は、本発明の第２の実施形態における説明図である。図４（ａ）は、本発明の第２の実施形態における液体吐出ヘッドの斜視図である。図４（ｂ）は、本発明の第２の実施形態における液体吐出ヘッドの分解図斜視である。図５（ａ）は、本発明の第２の実施形態における液体吐出ヘッドの上面図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）のＣ−Ｃ’断面における断面図である。図５（ｃ）は、図５（ｂ）の記録素子基板つなぎ部分の拡大図である。図１０（ｃ）は、図５（ａ）のＣ−Ｃ’断面における記録素子基板つなぎ部の拡大図である。図１０（ｄ）は、図１０（ｂ）における供給路の模式図である。以下、第１の実施形態と異なる点について主体的に説明し、構成が同じ点については説明を省略する。

本発明の第２の実施形態における液体吐出ヘッド２６において第１の実施形態と異なる主な点は、図５（ａ）に示すように各記録素子基板の外形が略平行四辺形の形状である点である。このような構成により複数の記録素子基板１１を直線状に連続的に配置させることができ、ライン型の液体吐出ヘッドを小型化する際に特に好適に適用できる。本実施形態の構成においても、図１０（ｃ）に示すように記録素子基板１１の長尺方向最端部の個別流路１３と、長尺方向最端部の吐出口２１との供給路１５の距離Ｌｃを短くすることが可能である。図１０（ｃ）中では、Ｌｃ≒０として示している。

また、図４、図５に示すように、隣接する記録素子基板１１同士が、液体吐出ヘッド２６の長尺方向と走査方向においていずれも部分的に重なり合うように、複数の平行四辺形状の記録素子基板１１を長尺方向に配置する。それにより、隣接する記録素子基板１１同士の間隔を小さくすることができ、記録素子基板１１のつなぎ目での吐出口列のズレ幅を低減することができる。その結果、記録素子基板１１のつなぎ目において、画像ムラ等の不具合を低減し、さらに高品位な画像形成が可能となる。

（第３の実施形態）
図６、図７は、本発明の第３の実施形態における説明図である。図６（ａ）は、本発明の第３の実施形態における液体吐出ヘッドの斜視図である。図６（ｂ）は、本発明の第３の実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視図である。図７（ａ）は、本発明の第３の実施形態における液体吐出ヘッドの上面図である。図７（ｂ）は、図７（ａ）のＤ−Ｄ’断面における断面図である。図７（ｃ）は、図７（ｂ）の記録素子基板つなぎ部分の拡大図である。以下、上述した実施形態と異なる点について主体的に説明し、構成が同じ点については説明を省略する。

本発明の第３の実施形態における液体吐出ヘッド２６は、図６、図７に示すように、記録素子基板１１と、第１の支持部材１２−１と、第２の支持部材１２−２−２とを有する。つまり第１の支持部材１２−１と第２の支持部材１２−２との別部材が積層される構成となっている。図７（ｂ）に示すように、第１の支持部材１２−１には複数の個別流路１３が、第２の支持部材１２−２には複数の共通流路１４が設けられている。このように支持部材を異なる２つの積層部材とすることで、上述した各実施形態と同様に個別流路１３の流路長さを小さくできるので、個別流路１３の加工精度及び位置精度を向上させることができる。本実施形態では２部材の積層構成としたが、これに限られず３部材以上の積層体（３層以上の構成）であっても良い。

図６、図７に示すように、第１の支持部材１２−１に、各記録素子基板１１に液体を供給する複数の個別流路１３を、第２の支持部材１２−２に、各個別流路１３に液体を供給する複数の共通流路１４をそれぞれ形成する。それにより、各部材それぞれに一種類の加工を行えば済むため加工が容易となり、加工精度を高めることができる。

また本実施形態により、第１及び第２支持部材を異なる部材とすることも可能である。例えば、第２支持部材１２を構成する材料の一例として、樹脂やアルミナ等で構成されるのが好ましい。樹脂で構成する場合、例えば、射出成型により個別流路１３や共通流路１４を加工する方法がある。また、アルミナで構成する場合、例えば、支持部材１２の厚さ方向が小さいアルミナ部材を複数枚積層することにより、個別流路１３や共通流路１４を作製する方法がある。さらに、第１の支持部材１２−１の厚さは、加工精度向上の観点から、より小さい方が好ましい。また、第１の支持部材１２−１を構成する材料の一例として、シリコン基板や樹脂フィルム等で構成されるのが好ましい。ウェハ形態の記録素子基板１１にシリコン基板を接合、もしくは樹脂フィルムをラミネートすることで第１の支持部材１２−１を接合することができるため、記録素子基板１１毎に第１の支持部材１２−１を接合するよりも工程数の削減が可能となる。また半導体工程で個別流路等を形成するのでより精度の高い加工及び位置精度が可能となる。本実施形態では第１の支持部材を共通の一枚の部材としたが、記録素子基板ごとに分割した複数の第１の支持部材１２−１の構成でも良い。それにより半導体工程でより好適に実施することが可能となる。

（第４の実施形態）
図８、図９は、本発明の第４の実施形態における説明図である。図８（ａ）は、本発明の第４の実施形態における液体吐出ヘッドの斜視図である。図８（ｂ）は、本発明の第４の実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視図である。図９（ａ）は、本発明の第４の実施形態における液体吐出ヘッドの上面図である。図９（ｂ）は、図９（ａ）のＥ−Ｅ’断面における断面図である。図９（ｃ）は、図９（ｂ）の記録素子基板つなぎ部分の拡大図である。以下、上述した実施形態と異なる点について主体的に説明し、構成が同じ点については説明を省略する。

本発明の第４の実施形態における液体吐出ヘッド２６は、第２の実施形態と第３の実施形態を組み合わせた構成となっている。具体的には図８、図９に示すように、各記録素子基板１１の外形が略平行四辺形の形状であり、支持部材１２は、第１の支持部材１２−１と第２の支持部材１２−２との積層構成となっている。本実施形では、略平行四辺形の記録素子基板１１を直線状に配置することで小型のライン型ヘッドを提供でき、また複数の支持部材構成とすることで精度の高い支持部材、特に第１支持部材の提供が可能となる。

（その他の実施形態）
上述した各実施形態は各共通流路１４から記録素子基板１１に液体を供給する形態について説明したが本発明はこれに限られず、所謂、循環供給経路を備える液体吐出ヘッドについても適用可能である。この場合、共通流路１４は、記録素子基板１１への供給用の共通流路と記録素子基板１１からの液体回収用の共通流路とを備え、個別流路１３も供給用と回収用との双方の流路を備える構成となる。それによりエネルギー発生素子を内部に備える圧力室２３に液体を供給し、吐出されなかった液体を圧力室２３から回収する循環流路を備えた液体吐出ヘッドが提供できる。つまり、圧力室内の液体が圧力室の外部との間で循環される構成となる。このように供給用と回収用の流路を備えるライン型の液体吐出ヘッドは流路構成が複雑になり、一般的に液体吐出ヘッドが大型化する。しかしながら本発明を適用することで液体吐出ヘッドの大型化を抑制しつつ安定的な液体供給が可能となるので本発明の適用が特に好ましい。

また本発明は上述した各実施形態で説明した技術思想を含む液体吐出ヘッドであれば良い。例えば変形例の一例として、各記録素子基板１１に対応して複数の樹脂フィルムが設けられ、この樹脂フィルムを裏面に備えた複数の記録素子基板は、個別の支持部材に支持され、それらが共通の支持部材に支持されるような構成であっても良い。この場合、樹脂フィルムに設けられる個別流路が、第２の実施形態における個別流路１３に対応し、個別の支持部材に設けられる共通流路が、第２の実施形態における共通流路１４に対応することで、第２の実施形態同様に本発明の効果を適用できる。本変形例では上記構成に加えて共通の支持部材を含む構成となる。本変形例の場合、個別の第１の支持部材は薄膜の樹脂フィルム部材で構成し、個別の支持部材はアルミナ等の剛性の高い部材で構成し、共通に支持する長手の共通の支持部材は樹脂のモールド部材で構成する。

１１ 記録素子基板
１２ 支持部材
１３ 個別流路
１４ 共通流路
１５ 供給路
１２−１ 第１の支持部材
１２−２ 第２の支持部材
２１ 吐出口
２４ 第１の支持部
２５ 第２の支持部
２６ 液体吐出ヘッド

Claims (21)

1. 液体を吐出する吐出口と、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子とを備え、液体吐出ヘッドの長手方向に沿って配列される第１及び第２の記録素子基板と、
   前記第１及び第２の記録素子基板を支持する支持部材と、
   を有する液体吐出ヘッドであって、
   前記支持部材は、前記第１及び第２の記録素子基板側に配される第１の支持部と、前記第１の支持部に対して前記第１及び第２の記録素子基板とは反対側に配される第２の支持部とを含み、
   前記第１の支持部は、前記第１の記録素子基板に液体を供給するための第１の個別流路と、前記第２の記録素子基板に液体を供給するための第２の個別流路とを備え、
   前記第２の支持部は、前記第１及び第２の個別流路に液体を供給するための共通流路を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第１の支持部の厚みは前記第２の支持部の厚みより薄い、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１及び第２の記録素子基板は前記長手方向に沿って直線状に配されており、前記第１の個別流路は前記第１の記録素子基板の一端部と連通しており、前記第２の個別流路は前記第２の記録素子基板の前記第１の記録素子基板側の一端部と連通している、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記吐出口から液体が吐出される方向から見て、前記共通流路は前記第１の記録素子基板の一端部と前記第２の記録素子基板の一端部とに跨って配されている、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１の支持部は、前記第１の記録素子基板に液体を供給するための第３の個別流路と、前記第２の記録素子基板に液体を供給するための第４の個別流路を備える、請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第３の個別流路は前記第１の記録素子基板の前記一端部とは反対の他端部に配されており、前記第４の個別流路は前記第２の記録素子基板の前記一端部とは反対の他端部に配されている、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第２の支持部は、前記第３の個別流路に液体を供給するための第２の共通流路を備える、請求項５又は６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記第２の支持部は、前記第４の個別流路に液体を供給するための第３の共通流路を備える、請求項５から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１の支持部は、前記第１の記録素子基板に液体を供給するための第５の個別流路と、前記第２の記録素子基板に液体を供給するための第６の個別流路とを備え、前記第５の個別流路は前記第１の個別流路と前記第３の個別流路との間に配され、前記第６の個別流路は前記第２の個別流路と前記第４の個別流路との間に配されている、請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記第２の支持部は、前記第５の個別流路に液体を供給するための第４の共通流路と、前記第６の個別流路に液体を供給するための第５の共通流路とを備える、請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第１及び第２の支持部を含む前記支持部材は一体部材により構成されている、請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記支持部材は、前記第１の支持部を含む第１の支持部材と、前記第２の支持部を含む第２の支持部材とを含む、請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記第１の支持部材の厚みは前記第２の支持部材の厚みより薄い、請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記支持部材は、前記第１及び第２の記録素子基板を含む３つ以上の記録素子基板が前記長手方向に沿って直線状に配されている、請求項１から１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
15. 前記液体吐出ヘッドの長手方向の長さは、前記吐出口から吐出した液体が付与される記録媒体の前記長手方向の長さよりも長い、請求項１から１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
16. 前記支持部材は、前記第１及び第２の支持部材を含む３層以上の積層体である、請求項１２又は１３に記載の液体吐出ヘッド。
17. 前記エネルギー発生素子を内部に備える圧力室を備え、前記圧力室内の液体は当該圧力室の外部との間で循環される、請求項１から１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
18. 液体を吐出する吐出口と、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子とを備え、液体吐出ヘッドの長手方向に沿って直線状に配列される第１及び第２の記録素子基板と、
    前記第１及び第２の記録素子基板を支持する支持部材と、
    前記第１の記録素子基板と前記支持部材との間に設けられる第１の樹脂フィルム、及び前記第２の記録素子基板と前記支持部材との間に設けられる第２の樹脂フィルムと、
    を有する液体吐出ヘッドであって、
    前記第１の樹脂フィルムの一端部には、前記第１の記録素子基板に液体を供給するための第１の貫通孔が設けられており、
    前記第２の樹脂フィルムの前記第１の記録素子基板側の一端部には、前記第２の記録素子基板に液体を供給するための第２の貫通孔が設けられており、
    前記支持部材には、前記第１及び第２の貫通孔に液体を供給するための共通流路が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
19. 前記第１の樹脂フィルムには、前記第１の貫通孔を含む複数の貫通孔が前記長手方向に沿って配列されており、
    前記第２の樹脂フィルムには、前記第２の貫通孔を含む複数の貫通孔が前記長手方向に沿って配列されている、請求項１８に記載の液体吐出ヘッド。
20. 前記吐出口から液体が吐出される方向から見て、前記共通流路は前記第１の記録素子基板の一端部と前記第２の記録素子基板の一端部とに跨って配されている、請求項１８又は１９に記載の液体吐出ヘッド。
21. 前記エネルギー発生素子を内部に備える圧力室を備え、前記圧力室内の液体は当該圧力室の外部との間で循環される、請求項１８から２０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
    

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