JP6743011B2 - 撮像装置、駆動方法、電子機器 - Google Patents

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Description

本技術は、撮像装置、駆動方法、電子機器に関する。詳しくは、フレームレートを向上させることができる撮像装置、駆動方法、電子機器に関する。
<関連出願の相互参照>
本出願は、2014年12月11日に出願された米国特許出願第62/090741号の利益を主張するものであり、該出願の内容の全てが参照により本明細書に組み込まれる。
非特許文献1では、フォトダイオードを、太陽電池と同様に、開回路で動作させ、出力電圧を計測する対数センサについて提案されている。この提案によると、PNジャンクションの順方向に電流を流したときに生じる電位差、すなわち電圧が、電流の対数と比例する関係を用いている。この順方向の電流を、光電変換によって発生した光電流に置き換えて、PNジャンクションの順方向の電圧をモニタすることで、光電流を対数圧縮した信号を得ることができる。
このような対数センサを用いた提案が、特許文献1乃至4でなされている。特許文献1と特許文献2は、太陽電池モードの対数センサと一般的な蓄積型CMOSイメージセンサを空間分割で組み合わせることを提案している。特許文献3と特許文献4は、両者を時分割で組み合わせることを提案している。
特開2013−187727号公報 特開2013−187728号公報 特開2013−58960号公報 特開2013−118595号公報
2011年 International Image Sensor Workshop (IISW), 2011/6/9, 講演 R35, "A 768x576 Logarithmic Image Sensor with Photodiode in Solar Cell mode
特許文献1乃至4で提案されているように、太陽電池モードの対数センサと一般的な蓄積型CMOSイメージセンサを組み合わせるのは、太陽電池モードの対数センサは、暗時および低照度特性に課題があるためである。
太陽電池モードの対数センサの構造を、一般的な蓄積型CMOSイメージセンサの構造に対応させると、フォトダイオードに直接コンタクトを具備した構造に相当する。この場合にはフォトダイオードを完全空乏化することができないのでkTCノイズを除去できない、残像が発生する、フォトダイオード表面をピニング(Pinning)できないので界面準位起因の白点・暗電流が悪化する、等が要因となり、暗時および低照度特性として所望の結果が得られづらい。
このため一般的な蓄積型CMOSイメージセンサは、転送トランジスタを具備して変調領域を浮遊拡散領域(FD)としてフォトダイオードと分離することにより、前記の課題を解消している。そこで太陽電池モードの対数センサの暗時および低照度特性の弱点を一般的な蓄積型CMOSイメージセンサを組み合わせることで補うという提案がなされているという背景がある。
太陽電池モードの対数センサと蓄積型CMOSイメージセンサは、一方が他方の弱点を補うこともできるが、ブルーミングにより一方が他方の特性に悪影響を与えたり、対数センサがフレームレートに制約を与える可能性があるため、ブルーミングによる悪影響を抑制し、対数センサの改善によりフレームレートを上げることが望まれている。
本技術は、このような状況に鑑みてなされたものであり、ブルーミングの発生を抑え、フレームレートを上げることができるようにするものである。
本技術の一側面の第1の撮像装置は、光を受光するフォトダイオードと、前記フォトダイオードの第1の半導体領域の電位を固定するウェルタップ部と、前記フォトダイオードをリセットするリセット部と、前記フォトダイオードの第2の半導体領域と離間した位置に形成された第2の半導体領域の充電部とを備え、電荷を供給するための信号線が接続された構成であり、前記フォトダイオードの第2の半導体領域は光電流を対数圧縮したのと等価な電圧信号を出力する、対数特性を有する。
前記リセット部によるリセット動作後に所定の電位を印加することで前記フォトダイオードのPNジャンクションで構成される容量の充電を行うようにすることができる。
前記充電部および前記ウェルタップ部は、中間電位を供給するための信号線がそれぞれ接続された構成であるようにすることができる。
前記ウェルタップ部は、前記リセット部によるリセット動作後の所定の時間、前記N型領域に対する前記中間電位をオフにすることで前記フォトダイオードのPNジャンクションで構成される容量の充電を行うようにすることができる。
前記ウェルタップ部は、前記リセット部がリセット動作を行うときに、第1の電位を供給し、リセット動作を行っていないときに、第2の電位を供給するための信号線が接続された構成であるようにすることができる。
本技術の一側面の第2の撮像装置は、線形特性を有し、第1の半導体領域と前記第1の半導体領域の反導電体型である第2の半導体領域を有する第1のフォトダイオードと、対数特性を有し、第3の半導体領域と前記第3の半導体領域の反導電体型である第4の半導体領域を有する第2のフォトダイオードとを有し、前記第1のフォトダイオードと前記第2のフォトダイオードは空間分割で配置され、前記第1の半導体領域と前記第3の半導体領域は異なる反導電体型で構成される。
本技術の一側面の第の駆動方法は、光を受光するフォトダイオードと、前記フォトダイオードの第1の半導体領域の電位を固定するウェルタップ部と、前記フォトダイオードをリセットするリセット部とを備える対数特性を有する撮像装置の駆動方法において、前記リセット部によるリセット動作後に、前記フォトダイオードを構成する第2の半導体領域と離間した位置に形成された第2の半導体領域の充電部に所定の電位を印加することで前記フォトダイオードの前記第1の半導体領域と前記第2の半導体領域のジャンクションで構成される容量の充電を行うステップを含む。
本技術の一側面の第の駆動方法は、光を受光するフォトダイオードと、前記フォトダイオードの第1の半導体領域の電位を固定するウェルタップ部と、前記フォトダイオードをリセットするリセット部とを備える対数特性を有する撮像装置の駆動方法において、前記フォトダイオードを構成する第2の半導体領域と離間した位置に形成された第2の半導体領域の充電部に、中間電位を供給し、前記フォトダイオードを構成する第2の半導体領域と離間した位置に形成された第1の半導体領域に、リセット動作後の所定の時間以外は前記中間電位を供給し、リセット動作後の前記所定の時間は、前記中間電位をオフにするステップを含む。
本技術の一側面の第1の電子機器は、光を受光するフォトダイオードと、前記フォトダイオードの第1の半導体領域の電位を固定するウェルタップ部と、前記フォトダイオードをリセットするリセット部と、前記フォトダイオードの第2の半導体領域と離間した位置に形成された第2の半導体領域の充電部とを備え、電荷を供給するための信号線が接続された構成であり、前記フォトダイオードの第2の半導体領域は光電流を対数圧縮したのと等価な電圧信号を出力する、対数特性を有する撮像装置と、前記撮像装置から出力される信号に対して信号処理を行う信号処理部とを備える。
本技術の一側面の第2の電子機器は、線形特性を有し、第1の半導体領域と前記第1の半導体領域の反導電体型である第2の半導体領域を有する第1のフォトダイオードと、対数特性を有し、第3の半導体領域と前記第3の半導体領域の反導電体型である第4の半導体領域を有する第2のフォトダイオードとを有し、前記第1のフォトダイオードと前記第2のフォトダイオードは空間分割で配置され、前記第1の半導体領域と前記第3の半導体領域は異なる反導電体型で構成される撮像装置と、前記撮像装置から出力される信号に対して信号処理を行う信号処理部とを備える。
本技術の一側面の第1の撮像装置においては、フォトダイオードのPNジャンクションで構成される容量が充電される。
本技術の一側面の第2の撮像装置においては、異なる特性のフォトダイオードが空間分割されて配置され、フォトダイオードを構成する半導体領域が異なる導電型で構成されている。
本技術の一側面の第1,2の駆動方法においては、フォトダイオードの第1の半導体領域と第2の半導体領域のジャンクションで構成される容量を充電するように前記撮像装置を駆動させる。
本技術の一側面の第1の電子機器においては、前記第1の撮像装置を含む構成とされ、前記第1の撮像装置からの信号が処理される。本技術の一側面の第2の電子機器においては、前記第2の撮像装置を含む構成とされ、前記第2の撮像装置からの信号が処理される。
本技術の一側面によれば、ブルーミングにより一方のセンサが他方のセンサの特性に悪影響を与えるのを抑制し、対数特性を有する撮像装置の改善によりフレームレートを上げることができる。
なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。
本技術を適用した撮像装置の一実施の形態の構成を示す図である。 線形画素の構成を示す図である。 線形画素の回路構成を示す図である。 線形画素の信号特性について説明するための図である。 対数画素の構成を示す図である。 対数画素の回路構成を示す図である。 対数画素の動作について説明するためのタイミングチャートである。 対数画素の信号特性について説明するための図である。 第1の実施の形態における対数画素の構成を示す図である。 第1の実施の形態における対数画素の回路構成を示す図である。 第2の実施の形態における対数画素の構成を示す図である。 第2の実施の形態における対数画素の回路構成を示す図である。 第2の実施の形態における対数画素の充電について説明するための図である。 第2および第4の実施の形態における対数画素の動作について説明するためのタイミングチャートである。 第3の実施の形態における対数画素の構成を示す図である。 第3の実施の形態における対数画素の回路構成を示す図である。 第3の実施の形態における対数画素の動作について説明するためのタイミングチャートである。 第4の実施の形態における対数画素の構成を示す図である。 第4の実施の形態における対数画素回路構成示す図である。 1段増幅の場合の対数画素の構成を示す図である。 ブルーミング対策について説明するための図である。 電子機器について説明するための図である。 使用例について説明するための図である。
以下に、本技術を実施するための形態(以下、実施の形態と言う)について説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
1.固体撮像素子の構成
2.線形画素の構成
3.対数画素の構成
4.第1の実施の形態における対数画素の構成
5.第2の実施の形態における対数画素の構成
6.第3の実施の形態における対数画素の構成
7.第4の実施の形態における対数画素の構成
8.ブルーミング対策について
9.電子機器の構成
10.撮像装置の使用例
<固体撮像素子の構成>
図1は、本発明が適用される固体撮像素子としてのCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサの構成例を示すブロック図である。
CMOSイメージセンサ30は、画素アレイ部41、垂直駆動部42、カラム処理部43、水平駆動部44、およびシステム制御部45を含んで構成される。画素アレイ部41、垂直駆動部42、カラム処理部43、水平駆動部44、およびシステム制御部45は、図示しない半導体基板(チップ)上に形成されている。
画素アレイ部41には、入射光量に応じた電荷量の光電荷を発生して内部に蓄積する光電変換素子を有する単位画素が行列状に2次元配置されている。なお、以下では、入射光量に応じた電荷量の光電荷を、単に「電荷」と記述し、単位画素を、単に「画素」と記述する場合もある。
画素アレイ部41には、特性の異なる第1画素と第2画素とが混在している。第1画素は、フォトダイオード(PD)を有し、線形特性を持った画素(以下、適宜、線形画素と記述する)である。第2画素は、フォトダイオードを有し、対数特性を持った画素(以下、適宜、対数画素と記述する)である。また、第2画素は太陽電池モードで駆動する。各画素については後ほど詳しく説明する。
画素アレイ部41にはさらに、行列状の画素配列に対して行ごとに画素駆動線46が図の左右方向(画素行の画素の配列方向)に沿って形成され、列ごとに垂直信号線47が図の上下方向(画素列の画素の配列方向)に沿って形成されている。画素駆動線46の一端は、垂直駆動部42の各行に対応した出力端に接続されている。
CMOSイメージセンサ30はさらに、信号処理部48およびデータ格納部49を備えている。信号処理部48およびデータ格納部49については、CMOSイメージセンサ30とは別の基板に設けられる外部信号処理部、例えばDSP(Digital Signal Processor)やソフトウェアによる処理部でも構わないし、CMOSイメージセンサ30と同じ基板上に搭載しても構わない。
垂直駆動部42は、シフトレジスタやアドレスデコーダなどによって構成され、画素アレイ部41の各画素を、全画素同時あるいは行単位等で駆動する画素駆動部である。この垂直駆動部42は、その具体的な構成については図示を省略するが、読み出し走査系と、掃き出し走査系あるいは、一括掃き出し、一括転送を有する構成となっている。
読み出し走査系は、単位画素から信号を読み出すために、画素アレイ部41の単位画素を行単位で順に選択走査する。行駆動(ローリングシャッタ動作)の場合、掃き出しについては、読み出し走査系によって読み出し走査が行われる読み出し行に対して、その読み出し走査よりもシャッタスピードの時間分だけ先行して掃き出し走査が行われる。また、グローバル露光(グローバルシャッタ動作)の場合は、一括転送よりもシャッタスピードの時間分先行して一括掃き出しが行われる。
この掃き出しにより、読み出し行の単位画素の光電変換素子から不要な電荷が掃き出される(リセットされる)。そして、不要電荷の掃き出し(リセット)により、いわゆる電子シャッタ動作が行われる。ここで、電子シャッタ動作とは、光電変換素子の光電荷を捨てて、新たに露光を開始する(光電荷の蓄積を開始する)動作のことを言う。
読み出し走査系による読み出し動作によって読み出される信号は、その直前の読み出し動作または電子シャッタ動作以降に入射した光量に対応するものである。行駆動の場合は、直前の読み出し動作による読み出しタイミングまたは電子シャッタ動作による掃き出しタイミングから、今回の読み出し動作による読み出しタイミングまでの期間が、単位画素における光電荷の蓄積期間(露光期間)となる。グローバル露光の場合は、一括掃き出しから一括転送までの期間が蓄積期間(露光期間)となる。
垂直駆動部42によって選択走査された画素行の各単位画素から出力される画素信号は、垂直信号線47の各々を通してカラム処理部43に供給される。カラム処理部43は、画素アレイ部41の画素列ごとに、選択行の各単位画素から垂直信号線47を通して出力される画素信号に対して所定の信号処理を行うとともに、信号処理後の画素信号を一時的に保持する。
具体的には、カラム処理部43は、信号処理として少なくとも、ノイズ除去処理、例えばCDS(Correlated Double Sampling;相関二重サンプリング)処理を行う。このカラム処理部43による相関二重サンプリングにより、リセットノイズや増幅トランジスタの閾値ばらつき等の画素固有の固定パターンノイズが除去される。なお、カラム処理部43にノイズ除去処理以外に、例えば、AD(アナログ−デジタル)変換機能を持たせ、信号レベルをデジタル信号で出力することも可能である。
水平駆動部44は、シフトレジスタやアドレスデコーダなどによって構成され、カラム処理部43の画素列に対応する単位回路を順番に選択する。この水平駆動部44による選択走査により、カラム処理部43で信号処理された画素信号が順番に信号処理部48に出力される。
システム制御部45は、各種のタイミング信号を生成するタイミングジェネレータ等によって構成され、タイミングジェネレータで生成された各種のタイミング信号を基に垂直駆動部42、カラム処理部43、および水平駆動部44などの駆動制御を行う。
信号処理部48は、少なくとも加算処理機能を有し、カラム処理部43から出力される画素信号に対して加算処理等の種々の信号処理を行う。データ格納部49は、信号処理部48での信号処理に当たって、その処理に必要なデータを一時的に格納する。
<線形画素の構造>
次に、図1の画素アレイ部41に行列状に配置されている単位画素の具体的な構造について説明する。
図2は、単位画素の構成例を示している。図3は、単位画素の回路構成を示している。図2、図3に示した単位画素は、線形画素である。以下、線形画素は、線形画素100とする。
線形画素100は、光電変換素子として、例えばフォトダイオード(PD)61を有している。フォトダイオード61は、例えば、n型基板62上に形成されたp型ウェル層63に対して、p型層61−1を基板表面側に形成してn型埋め込み層61−2を埋め込むことによって形成される埋め込み型フォトダイオードである。
線形画素100は、フォトダイオード61に加えて、TRGゲート64および浮遊拡散領域(FD:Floating Diffusion)65を有する。TRGゲート64は、フォトダイオード61に蓄積された電荷を、TRGゲート64のゲート電極に駆動信号TRGが印加されることによって、浮遊拡散領域65に転送する。
浮遊拡散領域65は、n型層からなる電荷電圧変換部であり、TRGゲート64によって転送された電荷を電圧に変換する。
線形画素100はさらに、リセットトランジスタ(RST)66、増幅トランジスタ(AMP)67、および選択トランジスタ(SEL)68を有している。なお、図2では、リセットトランジスタ66、増幅トランジスタ67、および選択トランジスタ68に、nチャネルのMOSトランジスタを用いた例を示している。しかしながら、リセットトランジスタ66、増幅トランジスタ67、および選択トランジスタ68の導電型の組み合わせは、これらの組み合わせに限られるものではない。
リセットトランジスタ66は、電源Vrstと浮遊拡散領域65との間に接続されている。リセットトランジスタ66は、ゲート電極に駆動信号RSTが印加されることによって浮遊拡散領域65をリセットする。増幅トランジスタ67は、ドレイン電極が電源Vddに接続され、ゲート電極が浮遊拡散領域65に接続されており、浮遊拡散領域65の電圧を読み出す。
選択トランジスタ68は、例えば、ドレイン電極が増幅トランジスタ67のソース電極に、ソース電極が垂直信号線69にそれぞれ接続されている。選択トランジスタ68は、ゲート電極に駆動信号SELが印加されることで、画素信号を読み出すべき線形画素100を選択する。なお、選択トランジスタ68については、電源Vddと増幅トランジスタ67のドレイン電極との間に接続した構成を採用することも可能である。
なお、リセットトランジスタ66、増幅トランジスタ67、および選択トランジスタ68については、その1つあるいは複数を画素信号の読み出し方法によって省略することも可能である。
また、図2の線形画素100においては、p型ウェル層63にn型の埋め込みチャネルを形成するようにしたが、逆の導電型を採用するようにしてもよい。
後述するように、線形画素100と対数画素を隣り合うように配置した場合、線形画素100と対数画素とで取り扱うキャリアを異ならせることで、ブルーミングを防ぐことができる。そのような構成とした場合、線形画素100と対数画素の一方が、キャリアとして電子を扱い、他方が、キャリアとして正孔を扱う。したがって、線形画素100どちらを扱うかにより、線形画素100の構成として、p型ウェル層63にn型の埋め込みチャネルを形成するか、逆の導電型を採用するかが決定される。
図4は、図2、図3に示した線形画素100の光電変換特性の一例を示したグラフである。縦軸(線形軸)はシグナル成分信号を示し、横軸(対数軸)は入射光強度を示している。図4に示すように、線形画素100は、入射光強度が増大するにつれて、シグナル成分信号が線形に増大する線形特性の光電変換特性を持っていることが分かる。
さらに、所定の入射光強度を超えると、シグナル成分信号が飽和していることが分かる。なお、図4に示すグラフは横軸が対数軸であるため、図4に示すような曲線が入射光強度に対して線形な出力となる。したがって、図4に示されるように、線形特性は、ダイナミックレンジは小さいが、感度が高いという特性を持っていることが分かる。
<対数画素の構成>
次に、図1の画素アレイ部41に行列状に配置されている単位画素のうちの対数画素の構造について説明する。
図5は、単位画素の構成例を示し、図6は、単位画素の回路構成を示している。図5、図6に示した単位画素は、対数画素である。
対数画素200は、後述するように、PNジャンクションに起因する容量を持っており、この容量を充電してから対数領域が始まるという特徴を有する。充電するための蓄積時間を必要とするため、フレームレートを上げることが困難である。しかし、この蓄積時間を短くし、フレームレートを上げることができる対数画素について説明する。
まず比較のため、また蓄積時間を必要とし、フレームレートを上げることが困難であることを説明するために、フレームレートを上げるための対策をとっていない対数画素200について、図5、図6を参照して説明を加える。
対数画素200は、フォトダイオード161、リセットトランジスタ164、第1の増幅トランジスタ166、第2の増幅トランジスタ167、および選択トランジスタ168を備える。
対数画素200も、線形画素100と同じく、光電変換素子として、フォトダイオード161を有している。フォトダイオード161は、例えば、n型ウェル層161−2に対して、p型層161−1を基板表面側に形成することによって構成される表面型フォトダイオードである。
領域162は、フォトダイオード161の一部を構成し、ウェルタップとして用いられる。n領域162は、フォトダイオード161のカソード側に相当し、フォトダイオード161のカソードには、中間電位を印加する電源Vmidが接続されている。フォトダイオード161のアノードには、リセットトランジスタ164が接続されている。
フォトダイオード161はリセット時において、リセットトランジスタ164がオンされ、カソードとアノードとには共に電源Vmidが印加される。これにより、フォトダイオード161はゼロバイアス状態でリセットされ、露光時において入射光強度に応じた電流を流す。この電流によってフォトダイオード161のアノードおよびカソード間の電圧が変化する。
リセットトランジスタ164は、例えば、nMOSにより構成され、ゲートにリセット信号RSTが印加される。リセットトランジスタ164は、リセット信号RST=Hiになるとオンして、フォトダイオード161をゼロバイアス状態でリセットする。
第1の増幅トランジスタ166は、例えば、nMOSにより構成される。第1の増幅トランジスタ166のゲートはフォトダイオード161のアノード側に接続される。第1の増幅トランジスタ166の一方の端子には、電圧Vddを印加する電源Vddが接続され、他方の端子には、バイアス電圧biasを印加するバイアストランジスタ165が接続されている。
第2の増幅トランジスタ167は、例えば、nMOSにより構成され、ゲートがバイアス電圧biasを印加するバイアストランジスタ165に接続される。第2の増幅トランジスタ167の一方の端子には、電圧Vddを印加する電源Vddが接続され、他方の端子には、選択トランジスタ168が接続されている。
第1の増幅トランジスタ166および第2の増幅トランジスタ167は、フォトダイオード161のアノードおよびカソード間の電圧を電流増幅して、選択トランジスタ168に供給する。
選択トランジスタ168は、例えば、nMOSにより構成され、ゲートに選択信号SELが印加される。選択トランジスタ168の一方の端子が第2の増幅トランジスタ167に接続され、他方の端子が垂直信号線VSLに接続されている。そして、選択トランジスタ168は、選択信号SEL=Hiとなるとオンし、第1の増幅トランジスタ166および第2の増幅トランジスタ167により電流増幅されたフォトダイオード161の電圧を画像信号として、垂直信号線VSLに出力する。
図7は、対数画素200のタイミングチャートである。時刻t0は、露光期間中で、フォトダイオード161のカソードには入射光強度に応じた電圧が現れる(不図示)。
時刻t1の状態は、選択信号SEL=Hiとされ、フォトダイオード161のカソードに発生しているシグナルレベルの電圧が、ノイズ・シグナル成分信号としてカラム処理部43(図1)に読み出される。カラム処理部43は、ランプ波生成回路(不図示)から出力される信号RAMPのレベルがノイズ・シグナル成分信号のレベルを超えるまでの時間を計測することで、アナログのノイズ・シグナル成分信号をAD変換する。
時刻t2の状態は、リセット信号RST=Hiとされ、リセットトランジスタ164および選択トランジスタ168がオンされ、フォトダイオード161のカソードの電圧がシグナルレベルからリセットレベルまで下がり、リセットレベルがノイズ成分信号として、カラム処理部43に読み出される。カラム処理部43は、ランプ波生成回路(不図示)から出力される信号RAMPのレベルがノイズ成分信号のレベルを超えるまでの時間をカウントすることで、アナログのノイズ成分信号をAD変換する。
そして、カラム処理部43は、デジタルのノイズ・シグナル成分信号からデジタルのノイズ成分信号を除去し、デジタルのシグナル成分信号を画像信号として出力する。
時刻t3では、リセット信号RST=Lo、選択信号SEL=Loにされ、リセットトランジスタ164および選択トランジスタ168がオフされる。
以後、このような駆動シーケンスが1水平期間で行われ、この駆動シーケンスが繰り返され、1行ずつ画像信号が順次に得られる。
図8は、対数画素200の光電変換特性を示したグラフである。縦軸(線形軸)はシグナル成分信号を示し、横軸(対数軸)は入射光強度を示している。図8に示すように、対数画素200は、入射光強度が増大するにつれて、シグナル成分信号が対数的に増大する対数特性の光電変換特性を持っていることが分かる。なお、図8では、横軸が対数軸であるため、対数的な変化が直線で表されている。
図8に示すように、対数画素200の対数領域が始まるのは、時刻T1を過ぎてからである。これは、対数画素200はPNジャンクションに起因する容量を持っているためであり、この容量を充電してから対数領域が始まるためである。このような特徴を有するため、対数画素200は、低照度では対数領域が始まるまでの蓄積時間が長くなってしまう課題があった。
対数画素200が、低照度で対数領域が始まるまでの蓄積時間が長くなると、フレームレートを向上させることが困難となる可能性がある。そこで、この蓄積時間を短くすることができる対数画素について、以下に説明する。
<第1の実施の形態における対数画素の構成>
第1の実施の形態における対数画素について説明する。図9は、第1の実施の形態における対数画素の構成例を示し、図10は、回路構成を示している。以下の説明において、図5、図6に示した対数画素200と同様の機能を有する部分には、同様の符号を付し、その説明は省略する。
基本的に、バイアストランジスタ165、第1の増幅トランジスタ166、第2の増幅トランジスタ167、選択トランジスタ168の配置や接続関係は、図5、図6に示した対数画素200と同様である。
図9、図10に示した対数画素300は、フォトダイオード301を充電する機能を有する。フォトダイオード301は、対数画素200と同じく、例えば、n型ウェル層301−2に対して、p型層301−1を基板表面側に形成することによって構成される表面型フォトダイオードである。このフォトダイオード301のp型層301−1(P型領域)は、光電流を対数圧縮したのと等価な電圧信号を出力する対数特性を有する。
領域302は、フォトダイオード301の一部を構成し、ウェルタップとして用いられる。図5、図6に示した対数画素200では、このn領域162は、リセットトランジスタ164と同じ、リセットドレインの電源Vmidに接続されている。
図9、図10に示した対数画素300では、n領域302とリセットトランジスタ304に接続される電源は分離され、n領域302とリセットトランジスタ304はそれぞれ異なる電源に接続されている。リセットトランジスタ304は、リセットドレインの電源Vmid2に接続され、リセット動作時に、中間電位Vmid2が印加される構成とされている。n領域302は、電源Vmid1に接続されている。
電源Vmid1の電位Vmid1と電源Vmid2の電位Vmid2は、例えば、電位Vmid1<電位Vmid2という関係を満たす。このように、電位Vmid1<電位Vmid2の関係を満たすように電位が設定されていることにより、リセットトランジスタ304がリセット動作を行ったときに、出力ノード(p領域301−1)がn領域302に対して順方向にバイアスされ、出力ノードがプラスに充電される状態となる。
このように、本技術を適用した対数画素300においては、PNジャンクションに起因する容量を充電してから対数領域が始まるという特徴を有し、対数画素300はこの容量を充電する機能を有する。
対数画素300の駆動方法は、対数画素200と同じく、図7に示したタイミングチャートに基づいて行われる。再度図7を参照する。時刻t0の状態は、露光期間中で、フォトダイオード301に入射光強度に応じた電圧が現れる状態である。
時刻t1の状態は、選択信号SEL=Hiとされ、フォトダイオード301のアノードに発生しているシグナルレベルの電圧が、ノイズ・シグナル成分信号としてカラム処理部43(図1)に読み出されている状態である。
時刻t2の状態は、リセット信号RST=Hiとされ、リセットトランジスタ304および選択トランジスタ168がオンされ、フォトダイオード301のアノードの電圧がシグナルレベルからリセットレベルまで下がり、リセットレベルがノイズ成分信号として、カラム処理部43に読み出される状態である。
時刻t2の状態のときには、出力ノードがn領域302に対して順方向にバイアスされ、出力ノードがプラスに充電された状態となる。したがって、対数領域が開始されるまでの時間が短縮されることになる。このように、リセット動作が行われているときに、フォトダイオード301のPNジャンクションで構成される容量への電荷の注入が行われることで、容量への充電が行われるため、上記したように、対数領域が開始されるまでの時間が短縮されることになる。
時刻t3では、リセット信号RST=Lo、選択信号SEL=Loにされ、リセットトランジスタ164および選択トランジスタ168がオフの状態に戻される。
このように、リセット時にフォトダイオード301が充電されることで、蓄積時間を短くすることができる。蓄積時間が短くなることで、フレームレートを向上させることも可能となる。
<第2の実施の形態における対数画素の構成>
次に、第2の実施の形態における対数画素について説明する。第2の実施の形態における対数画素400も、第1の実施の形態における対数画素300と同じく、フォトダイオードを充電する機能を有する。
図11は、第2の実施の形態における対数画素の構成例を示し、図12は、回路構成を示している。以下の説明において、図5、図6に示した対数画素200と同様の機能を有する部分には、同様の符号を付し、その説明は省略する。
図11、図12に示した対数画素400は、フォトダイオード401に対して、充電を行う領域が設けられている。フォトダイオード401は、対数画素200と同じく、例えば、n型ウェル層401−2に対して、p型層401−1を基板表面側に形成することによって構成される表面型フォトダイオードとすることができる。また、フォトダイオード401の一部を構成し、ウェルタップとして用いられるn領域402も備えられている。
さらに、対数画素400は、p領域403がn型層401−2に設けられており、このp領域403は、電位Vddを印加する信号線CIと接続されている。
このように、対数画素400は、フォトダイオード401のN型領域内、かつフォトダイオード401のP型領域と離間した位置にP型領域を形成し、そのP型領域に、充電時に電荷を供給するための信号線が接続され、その信号線を介して、電荷が容量に注入される構成とされている。
対数画素400は、順バイアスで電荷を注入するタイプであり、電荷を注入するのが電源Vddであり、電荷が注入される領域(充電される領域)が、p領域401−1である。p領域403に、電位Vddの電圧が印加されることで、図13に示すように、p領域403からn領域402に電流が流れる。このときフォトダイオード401を構成するp領域401−1にも、ホールが流入し、充電される。
対数画素400の駆動方法について、図14に示したタイミングチャートを参照して説明する。時刻t10の状態は、露光期間中で、フォトダイオード401に入射光強度に応じた電圧が現れる状態である。
時刻t11の状態は、選択信号SEL=Hiとされ、フォトダイオード401のカソードに発生しているシグナルレベルの電圧が、ノイズ・シグナル成分信号としてカラム処理部43(図1)に読み出されている状態である。
時刻t12の状態は、リセット信号RST=Hiとされ、リセットトランジスタ404および選択トランジスタ168がオンされ、フォトダイオード401のカソードの電圧がシグナルレベルからリセットレベルまで下がり、リセットレベルがノイズ成分信号として、カラム処理部43に読み出される状態である。
時刻t13の状態は、リセット信号RST=Loにされ、リセットトランジスタ404がオフの状態に戻されている状態である。リセットトランジスタ404がオフの状態にされた時点で、信号線CIは、電位Vddに昇圧される。この状態のとき、上記したように、p領域403からn領域402に電流が流れ、その一部は、p領域401−1にも流入し、p領域401−1は、正孔で充電される。
時刻t14では、選択信号SEL=Loにされ、選択トランジスタ168がオフの状態に戻される。また信号線CIも、グランド(GND)に電位が落とされる。
このように、リセット後にフォトダイオード401が充電されることで、次回の読み出し時の蓄積時間を短くすることができる。蓄積時間が短くなることで、フレームレートを向上させることができる。
<第3の実施の形態における対数画素の構成>
次に、第3の実施の形態における対数画素について説明する。第3の実施の形態における対数画素500も、第1の実施の形態における対数画素300と同じく、フォトダイオードを充電する機能を有する。
図15は、第3の実施の形態における対数画素の構成例を示し、図16は、回路構成を示している。以下の説明において、図5に示した対数画素200と同様の機能を有する部分には、同様の符号を付し、その説明は省略する。
図15、図16に示した対数画素500は、図11に示した対数画素400と同様の構成を有するが、供給される電圧が異なる。対数画素500のフォトダイオード501を構成するn領域502は、信号線CIと接続され、電位Vmidが印加される。n型層501−2内に設けられているp領域503は、電位Vmidが印加される。
対数画素500は、図11に示した対数画素400と同じく、順バイアスで電荷を注入するタイプであり、電荷を注入するのが電源Vmidであり、電荷が注入される領域が、p領域501−1である。
このように、対数画素500は、フォトダイオード501のN型領域内、かつフォトダイオード501のP型領域と離間した位置にP型領域を形成し、そのP型領域に、中間電位Vmidを印加する電位供給線を接続し、フォトダイオード501のP型領域と離間した位置にN型領域を形成し、そのN型領域に、充電時に電荷を供給するための電位供給線が接続され、その電位供給線を介して、電荷が容量に注入される構成となっている。
領域503に、電位Vmidの電圧が印加され、n領域502に、グランド(GND)の電圧が印加(接地)されることで、対数画素500も図11に示した対数画素400と同じく、図13に示したように、p領域503(図13ではp領域403と示した部分に該当)からn領域502(図13ではn領域402と示した部分に該当)に電流が流れる。このときフォトダイオード501を構成するp領域501−1にも、ホールが流入し、充電される。
対数画素500の駆動方法について、図17に示したタイミングチャートを参照して説明する。時刻t20乃至時刻t22の状態は、図14に示した時刻t10乃至時刻t12と同様なので、その説明は省略する。
時刻t23の状態は、リセット信号RST=Loにされ、リセットトランジスタ504がオフの状態に戻されている。リセットトランジスタ504がオフの状態にされた時点で、信号線CIは、電位GNDに降圧される(信号線CIの中間電位Vmidもオフにされる)。この状態のとき、上記したように、p領域503からn領域502に電流が流れ、その一部は、p領域501−1にも流入し、p領域501−1は、正孔で充電される。
このように、対数画素500においては、リセットトランジスタ504がリセット動作を行った後の所定の時間だけ、n領域502に印加される電位が0(グランド)にされる(中間電位Vmidの供給を停止する)ことで、対数画素500のPNジャンクションに起因する容量が充電される。
時刻t24では、選択信号SEL=Loにされ、選択トランジスタ168がオフの状態に戻される。また信号線CIは、電位Vmidの状態に戻される。
このように、リセット後にフォトダイオード501が充電されることで、次回の読み出し時の蓄積時間を短くすることができる。蓄積時間が短くなることで、フレームレートを向上させることができる。
<第4の実施の形態における対数画素の構成>
次に、第4の実施の形態における対数画素について説明する。第4の実施の形態における対数画素600も、第1の実施の形態における対数画素300と同じく、フォトダイオードを充電する機能を有する。
図18は、第4の実施の形態における対数画素の構成例を示し、図19は、回路構成を示している。以下の説明において、図5に示した対数画素200と同様の機能を有する部分には、同様の符号を付し、その説明は省略する。
図18に示した対数画素600は、図9に示した対数画素300と、同様の構成を有するが、フォトダイオード601に供給される電圧が異なる。対数画素600のフォトダイオード601を構成するn領域602は、信号線CIが接続され、電位Vddまたは電位Vmidが印加される。
領域602には、信号線CIがオンの状態のとき電位Vddが印加され、信号線CIがオフの状態のとき電位Vmid(中間電位)が印加される。図18に示した対数画素600は、逆バイアスで電荷がフォトダイオード601に注入される構成とされている。
対数画素600においては、p型ウェル層163と第1の増幅トランジスタ166のゲートを介して容量結合しているため、リセットトランジスタ604をオフにしてもバイアス印加が可能な構成とされている。
このように、対数画素600は、フォトダイオード601に、中間電位Vmidまたは電位Vddを印加する信号線を接続し、その信号線を介して、電荷が容量に注入される構成とされている。
対数画素600の駆動方法について、図14に示したタイミングチャートを再度参照して説明する。時刻t10の状態は、露光期間中で、フォトダイオード601に入射光強度に応じた電圧が現れる状態である。
時刻t11の状態は、選択信号SEL=Hiとされ、フォトダイオード601のカソードに発生しているシグナルレベルの電圧が、ノイズ・シグナル成分信号としてカラム処理部43(図1)に読み出されている状態である。
時刻t12の状態は、リセット信号RST=Hiとされ、リセットトランジスタ604および選択トランジスタ168がオンされ、フォトダイオード601のカソードの電圧がシグナルレベルからリセットレベルまで下がり、リセットレベルがノイズ成分信号として、カラム処理部43に読み出される状態である。
時刻t13の状態は、リセット信号RST=Loにされ、リセットトランジスタ604がオフの状態に戻されている状態である。リセットトランジスタ604がオフの状態にされた時点で、信号線CIは、電位Vmidから電位Vddに昇圧される。
時刻t14では、選択信号SEL=Loにされ、選択トランジスタ168がオフの状態に戻される。また信号線CIも、電位Vmidに電位が落とされる。
このように、リセット後にフォトダイオード401が充電されることで、次回の読み出し時の蓄積時間を短くすることができる。蓄積時間が短くなることで、フレームレートを向上させることも可能となる。
上記した第1の実施の形態における対数画素300、第2の実施の形態における対数画素400、第3の実施の形態における対数画素500、および第4の実施の形態における対数画素600においては、第1の増幅トランジスタ166と第2の増幅トランジスタ167の2つの増幅トランジスタを備える2段増幅の構成である場合を例に挙げて説明した。
対数画素は、2段増幅の構成に限定されるわけではなく、例えば、図20に示すような1段増幅の構成であってもよい。図20に示した対数画素300’は、図10に示した対数画素300を1段増幅で構成したときの対数画素である。
1段増幅のため、対数画素300’は、増幅トランジスタ166’を備え、第2の増幅トランジスタ167(図10)は削除された構成とされている。
このような1段増幅の構成は、第2の実施の形態における対数画素400、第3の実施の形態における対数画素500、および第4の実施の形態における対数画素600に対しても適用できる。すなわち、本技術を適用した対数画素は、1段増幅の構成とすることも可能であるし、2段増幅の構成とすることも可能である。
<ブルーミング対策について>
上記したように、本技術を適用した対数画素(以下、対数画素300を例に挙げて説明を続ける)は、対数領域になるまでの時間を短縮することができる。このような対数画素300と、蓄積型CMOSの画素、例えば、図2に示した線形画素100を、隣接して配置した(空間分割配置した)場合、ブルーミングにより一方の画素が他方の特性に悪影響を与える可能性がある。
より具体的には対数画素300は、常にキャリアがブルーミングしている状態であると言える。そのような対数画素300に近接して線形画素100を配置すると、対数画素300のブルーミングが線形画素100の信号を破壊してしまう可能性がある。
そこで、対数画素300と線形画素100を隣接して配置する場合、互いに扱うキャリアが異なる構成とする。
例えば、図21Aに示すように、線形画素100の取扱いキャリアを正孔とした場合、対数画素300の取扱いキャリアは電子とする。
または、図21Bに示すように、線形画素100の取扱いキャリアを電子とした場合、対数画素300の取扱いキャリアは正孔とする。
フォトダイオード61(または301)は、上記したように、n領域とp領域とから構成されている。このことを換言すると、フォトダイオードは、第1の半導体領域と第2の半導体領域とから構成され、第1の半導体領域と第2の半導体領域は、互いに異なる導電型とされている。
対数画素300と線形画素100が、互いに扱うキャリアが異なる構成とする場合、例えば、以下のような構成が考えられる。線形画素100のフォトダイオード61の第1の半導体領域の導電型をP型で形成した場合、第2の半導体領域は、第1の半導体領域の反導電型であるN型で形成される。このように線形画素100のフォトダイオード61を形成した場合、対数画素300のフォトダイオード301の第1の半導体領域に該当する第3の半導体領域はN型で形成され、第2の半導体領域に該当する第4の半導体領域はP型で形成される。
また例えば、線形画素100のフォトダイオード61の第1の半導体領域の導電型をN型で形成した場合、第2の半導体領域は、第1の半導体領域の反導電型であるP型で形成される。このように線形画素100のフォトダイオード61を形成した場合、対数画素300のフォトダイオード301の第3の半導体領域はP型で形成され、第4の半導体領域はN型で形成される。
このように、線形画素100のフォトダイオード61に含まれる第1の半導体領域と、対数画素300のフォトダイオード301に含まれる第1の半導体領域は、反導電型の関係に形成される。
このように、対数画素300と線形画素100を隣接して配置する場合、互いに扱うキャリアが異なる構成とすることで、対数画素300のブルーミングにより線形画素100の信号が破壊されることを防ぐことが可能となる。
以上のように、本技術によれば、太陽電池モードの対数画素と線形画素(蓄積型CMOSイメージセンサ)を、空間分割で組み合わせた場合においても、ブルーミングが互いの撮像特性に悪影響を及ぼす懸念がなくなる。
また本技術によれば、対数画素において、対数領域が始まるまでの時間を短縮することが可能となり、蓄積型CMOSイメージセンサ(線形画素)のフレームレートを犠牲にする必要がなくなる。よって、対数画素と線形画素を用いた撮像装置においても、フレームレートを向上させた撮像処理を行うことが可能となる。
<電子機器の構成>
上記した対数画素や線形画素で構成される撮像素子は、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像装置や、携帯電話機などの撮像機能を有する携帯端末装置や、画像読取部に撮像装置を用いる複写機など、画像取込部(光電変換部)に撮像素子を用いる電子機器全般に対して適用可能である。
図22は、本技術に係る電子機器、例えば撮像装置の構成の一例を示すブロック図である。図22に示すように、本技術に係る撮像装置1000は、レンズ群1001等を含む光学系、撮像素子(撮像デバイス)1002、DSP回路1003、フレームメモリ1004、表示装置1005、記録装置1006、操作系1007および電源系1008等を有する。そして、DSP回路1003、フレームメモリ1004、表示装置1005、記録装置1006、操作系1007および電源系1008がバスライン1009を介して相互に接続されている。
レンズ群1001は、被写体からの入射光(像光)を取り込んで撮像素子1002の撮像面上に結像する。撮像素子1002は、レンズ群1001によって撮像面上に結像された入射光の光量を画素単位で電気信号に変換して画素信号として出力する。
表示装置1005は、液晶表示装置や有機EL(electro luminescence)表示装置等のパネル型表示装置からなり、撮像素子1002で撮像された動画または静止画を表示する。記録装置1006は、撮像素子1002で撮像された動画または静止画を、DVD(Digital Versatile Disk)、HDD(Hard disk drive)等の記録媒体に記録する。
操作系1007は、ユーザによる操作の下に、本撮像装置が持つ様々な機能について操作指令を発する。電源系1008は、DSP回路1003、フレームメモリ1004、表示装置1005、記録装置1006および操作系1007の動作電源となる各種の電源を、これら供給対象に対して適宜供給する。
上記の構成の撮像装置は、ビデオカメラやデジタルスチルカメラ、さらには携帯電話機等のモバイル機器向けカメラモジュールなどの撮像装置として用いることができる。そして、当該撮像装置において、撮像素子1002として、上述した対数画素や線形画素を用いることができる。
<撮像装置の使用例>
図23は、上述の対数画素や線形画素で構成される撮像素子や撮像素子を含む電子機器を使用する使用例を示す図である。
上述した撮像素子は、例えば、以下のように、可視光や、赤外光、紫外光、X線等の光をセンシングする様々なケースに使用することができる。
・デジタルカメラや、カメラ機能付きの携帯機器等の、鑑賞の用に供される画像を撮影する装置
・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置
・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置
・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置
・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置
・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置
・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置
・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置
なお、本明細書において、システムとは、複数の装置により構成される装置全体を表すものである。
なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また他の効果があってもよい。
なお、本技術の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本技術の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
(1)
光を受光するフォトダイオードと、
前記フォトダイオードの第1の半導体領域の電位を固定するウェルタップ部と、
前記フォトダイオードをリセットするリセット部と
を備え、
前記フォトダイオードの第2の半導体領域は光電流を対数圧縮したのと等価な電圧信号を出力する、対数特性を有する
撮像装置。
(2)
前記ウェルタップ部に供給される第1の電位は、前記リセット部に供給される第2の電位よりも小さいようにすることによって前記リセット部によるリセット動作時に前記フォトダイオードで生成される容量を充電する
前記(1)に記載の撮像装置。
(3)
前記フォトダイオードの第2の半導体領域と離間した位置に形成された第2の半導体領域の充電部をさらに備え、
電荷を供給するための信号線が前記充電部に接続された構成である
前記(1)に記載の撮像装置。
(4)
前記リセット部によるリセット動作後に所定の電位を印加することで前記フォトダイオードで生成される容量の充電を行う
前記(3)に記載の撮像装置。
(5)
前記充電部および前記ウェルタップ部は、中間電位を供給するための信号線がそれぞれ接続された構成である
前記(3)に記載の撮像装置。
(6)
前記ウェルタップ部は、前記リセット部によるリセット動作後の所定の時間、前記第1の半導体領域に対する前記中間電位をオフにすることで前記フォトダイオードで生成される容量の充電を行う
前記(5)に記載の撮像装置。
(7)
前記ウェルタップ部は、前記リセット部がリセット動作を行うときに、第1の電位を供給し、リセット動作を行っていないときに、第2の電位を供給するための信号線が接続された構成である
前記(1)に記載の撮像装置。
(8)
前記フォトダイオードからの出力は、2段増幅される
前記(1)乃至(7)のいずれかに記載の撮像装置。
(9)
前記フォトダイオードからの出力は、1段増幅される
前記(1)乃至(7)のいずれかに記載の撮像装置。
(10)
前記フォトダイオードは、線形特性を有するフォトダイオードと隣接して配置される場合、前記線形特性を有するフォトダイオードが扱うキャリアとは異なるキャリアを扱う構成とされる
前記(1)乃至(9)のいずれかに記載の撮像装置。
(11)
線形特性を有し、第1の半導体領域と前記第1の半導体領域の反導電体型である第2の半導体領域を有する第1のフォトダイオードと、
対数特性を有し、第3の半導体領域と前記第3の半導体領域の反導電体型である第4の半導体領域を有する第2のフォトダイオードと
を有し、
前記第1のフォトダイオードと前記第2のフォトダイオードは空間分割で配置され、
前記第1の半導体領域と前記第3の半導体領域は異なる反導電体型で構成される
撮像装置。
(12)
光を受光するフォトダイオードと、
前記フォトダイオードの第1の半導体領域の電位を固定するウェルタップ部と、
前記フォトダイオードをリセットするリセット部と
を備える対数特性を有する撮像装置の駆動方法において、
前記リセット部によるリセット動作時に、前記リセット部に供給される電位よりも小さい電位を印加することにより、前記フォトダイオードで生成される容量の充電を行う
ステップを含む駆動方法。
(13)
光を受光するフォトダイオードと、
前記フォトダイオードの第1の半導体領域の電位を固定するウェルタップ部と、
前記フォトダイオードをリセットするリセット部と
を備える対数特性を有する撮像装置の駆動方法において、
前記リセット部によるリセット動作後に、前記フォトダイオードを構成する第2の半導体領域と離間した位置に形成された第2の半導体領域の充電部に所定の電位を印加することで前記フォトダイオードで生成される容量の充電を行う
ステップを含む駆動方法。
(14)
光を受光するフォトダイオードと、
前記フォトダイオードの第1の半導体領域の電位を固定するウェルタップ部と、
前記フォトダイオードをリセットするリセット部と
を備える対数特性を有する撮像装置の駆動方法において、
前記フォトダイオードを構成する第2の半導体領域と離間した位置に形成された第2の半導体領域の充電部に、中間電位を供給し、前記フォトダイオードを構成する第2の半導体領域と離間した位置に形成された第1の半導体領域に、リセット動作後の所定の時間以外は前記中間電位を供給し、リセット動作後の前記所定の時間は、前記中間電位をオフにする
ステップを含む駆動方法。
(15)
光を受光するフォトダイオードと、
前記フォトダイオードの半導体領域の電位を固定するウェルタップ部と、
前記フォトダイオードをリセットするリセット部と
を備える対数特性を有する撮像装置の駆動方法において、
前記フォトダイオードを構成する半導体領域に、前記リセット部がリセット動作を行うときに、第1の電位を供給し、リセット動作を行っていないときに、第2の電位を供給する
ステップを含む駆動方法。
(16)
光を受光するフォトダイオードと、
前記フォトダイオードの第1の半導体領域の電位を固定するウェルタップ部と、
前記フォトダイオードをリセットするリセット部と
を備え、
前記フォトダイオードの第2の半導体領域は光電流を対数圧縮したのと等価な電圧信号を出力する、対数特性を有する
を備える電子機器。
(17)
線形特性を有し、第1の半導体領域と前記第1の半導体領域の反導電体型である第2の半導体領域を有する第1のフォトダイオードと、
対数特性を有し、第3の半導体領域と前記第3の半導体領域の反導電体型である第4の半導体領域を有する第2のフォトダイオードと
を有し、
前記第1のフォトダイオードと前記第2のフォトダイオードは空間分割で配置され、
前記第1の半導体領域と前記第3の半導体領域は異なる反導電体型で構成される
撮像装置と、
前記撮像装置から出力される信号に対して信号処理を行う信号処理部と
を備える電子機器。
当業者であれば、設計上の要件や他の要因に応じて、種々の修正、コンビネーション、サブコンビネーション、および変更を想到し得るが、それらは添付の請求の範囲やその均等物の範囲に含まれるものであることが理解される。
300 対数画素
301 フォトダイオード
302 n領域
400 対数画素
401 フォトダイオード
402 n領域
403 p領域
500 対数画素
501 フォトダイオード
502 n領域
503 p領域
600 対数画素
601 フォトダイオード
602 n領域

Claims (10)

  1. 光を受光するフォトダイオードと、
    前記フォトダイオードの第1の半導体領域の電位を固定するウェルタップ部と、
    前記フォトダイオードをリセットするリセット部と
    前記フォトダイオードの第2の半導体領域と離間した位置に形成された第2の半導体領域の充電部と
    を備え、
    電荷を供給するための信号線が接続された構成であり、
    前記フォトダイオードの第2の半導体領域は光電流を対数圧縮したのと等価な電圧信号を出力する、対数特性を有する
    撮像装置。
  2. 前記リセット部によるリセット動作後に所定の電位を印加することで前記フォトダイオードの前記第1の半導体領域と前記第2の半導体領域のジャンクションで構成される容量の充電を行う
    請求項に記載の撮像装置。
  3. 前記充電部および前記ウェルタップ部は、中間電位を供給するための信号線がそれぞれ接続された構成である
    請求項に記載の撮像装置。
  4. 前記ウェルタップ部は、前記リセット部によるリセット動作後の所定の時間、前記第1の半導体領域に対する前記中間電位をオフにすることで前記フォトダイオードの前記第1の半導体領域と第2の半導体領域のジャンクションで構成される容量の充電を行う
    請求項に記載の撮像装置。
  5. 前記ウェルタップ部は、前記リセット部がリセット動作を行うときに、第1の電位を供給し、リセット動作を行っていないときに、第2の電位を供給するための信号線が接続された構成である
    請求項1に記載の撮像装置。
  6. 線形特性を有し、第1の半導体領域と前記第1の半導体領域の反導電体型である第2の半導体領域を有する第1のフォトダイオードと、
    対数特性を有し、第3の半導体領域と前記第3の半導体領域の反導電体型である第4の半導体領域を有する第2のフォトダイオードと
    を有し、
    前記第1のフォトダイオードと前記第2のフォトダイオードは空間分割で配置され、
    前記第1の半導体領域と前記第3の半導体領域は異なる反導電体型で構成される
    撮像装置。
  7. 光を受光するフォトダイオードと、
    前記フォトダイオードの第1の半導体領域の電位を固定するウェルタップ部と、
    前記フォトダイオードをリセットするリセット部と
    を備える対数特性を有する撮像装置の駆動方法において、
    前記リセット部によるリセット動作後に、前記フォトダイオードを構成する第2の半導体領域と離間した位置に形成された第2の半導体領域の充電部に所定の電位を印加することで前記フォトダイオードの前記第1の半導体領域と前記第2の半導体領域のジャンクションで構成される容量の充電を行う
    ステップを含む駆動方法。
  8. 光を受光するフォトダイオードと、
    前記フォトダイオードの第1の半導体領域の電位を固定するウェルタップ部と、
    前記フォトダイオードをリセットするリセット部と
    を備える対数特性を有する撮像装置の駆動方法において、
    前記フォトダイオードを構成する第2の半導体領域と離間した位置に形成された第2の半導体領域の充電部に、中間電位を供給し、前記フォトダイオードを構成する第2の半導体領域と離間した位置に形成された第1の半導体領域に、リセット動作後の所定の時間以外は前記中間電位を供給し、リセット動作後の前記所定の時間は、前記中間電位をオフにする
    ステップを含む駆動方法。
  9. 光を受光するフォトダイオードと、
    前記フォトダイオードの第1の半導体領域の電位を固定するウェルタップ部と、
    前記フォトダイオードをリセットするリセット部と、
    前記フォトダイオードの第2の半導体領域と離間した位置に形成された第2の半導体領域の充電部と
    を備え、
    電荷を供給するための信号線が接続された構成であり、
    前記フォトダイオードの第2の半導体領域は光電流を対数圧縮したのと等価な電圧信号を出力する、対数特性を有する
    撮像装置と、
    前記撮像装置から出力される信号に対して信号処理を行う信号処理部と
    を備える電子機器。
  10. 線形特性を有し、第1の半導体領域と前記第1の半導体領域の反導電体型である第2の半導体領域を有する第1のフォトダイオードと、
    対数特性を有し、第3の半導体領域と前記第3の半導体領域の反導電体型である第4の半導体領域を有する第2のフォトダイオードと
    を有し、
    前記第1のフォトダイオードと前記第2のフォトダイオードは空間分割で配置され、
    前記第1の半導体領域と前記第3の半導体領域は異なる反導電体型で構成される
    撮像装置と、
    前記撮像装置から出力される信号に対して信号処理を行う信号処理部と
    を備える電子機器。
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9735188B2 (en) * 2015-01-15 2017-08-15 Hoon Kim Image sensor with solar cell function
JP2017098698A (ja) 2015-11-20 2017-06-01 セイコーエプソン株式会社 撮像装置、電子機器および撮像方法
US10687003B2 (en) * 2016-08-04 2020-06-16 Omnivision Technologies, Inc. Linear-logarithmic image sensor
JP7027175B2 (ja) * 2018-01-16 2022-03-01 キヤノン株式会社 半導体装置および機器
FR3084553B1 (fr) * 2018-07-30 2020-09-04 New Imaging Tech Capteur optique
JP7282500B2 (ja) * 2018-10-19 2023-05-29 キヤノン株式会社 半導体装置、機器、半導体装置の製造方法
WO2020121724A1 (ja) * 2018-12-11 2020-06-18 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像装置及び電子機器
JP2020188386A (ja) * 2019-05-15 2020-11-19 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 固体撮像装置及び電子機器
US11196947B2 (en) * 2019-09-17 2021-12-07 New Imaging Technologies Optical sensor
WO2022110135A1 (en) * 2020-11-30 2022-06-02 Huawei Technologies Co., Ltd. A solid-state imaging device having a high dynamic range

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11261046A (ja) * 1998-03-12 1999-09-24 Canon Inc 固体撮像装置
US6999122B1 (en) 1999-07-22 2006-02-14 Minolta Co., Ltd. Solid-state logarithmic image sensing device
JP3725007B2 (ja) * 2000-06-06 2005-12-07 シャープ株式会社 対数変換型画素構造およびそれを用いた固体撮像装置
JP4185771B2 (ja) * 2002-12-27 2008-11-26 シャープ株式会社 固体撮像装置
JP2008263546A (ja) * 2007-04-13 2008-10-30 Konica Minolta Holdings Inc 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法、及びこれを用いた撮像システム
FR2920590B1 (fr) 2007-08-28 2009-11-20 New Imaging Technologies Sas Pixel actif cmos a tres grande dynamique de fonctionnement
JP5422362B2 (ja) * 2009-12-15 2014-02-19 株式会社東芝 固体撮像装置
US8836835B2 (en) * 2010-10-04 2014-09-16 International Business Machines Corporation Pixel sensor cell with hold node for leakage cancellation and methods of manufacture and design structure
CN102185592B (zh) * 2011-01-27 2013-07-17 电子科技大学 一种电平位移电路
JP2013058960A (ja) 2011-09-09 2013-03-28 Konica Minolta Advanced Layers Inc 固体撮像装置
JP2013118595A (ja) 2011-12-05 2013-06-13 Konica Minolta Advanced Layers Inc 固体撮像装置
JP2013187728A (ja) 2012-03-08 2013-09-19 Konica Minolta Inc 固体撮像装置
JP2013187727A (ja) 2012-03-08 2013-09-19 Konica Minolta Inc 固体撮像装置
KR20130140445A (ko) * 2012-06-14 2013-12-24 삼성디스플레이 주식회사 표시장치, 전원제어장치 및 그 구동 방법
FR2997596B1 (fr) * 2012-10-26 2015-12-04 New Imaging Technologies Sas Structure d'un pixel actif de type cmos
US9426395B2 (en) * 2014-03-25 2016-08-23 Samsung Electronics Co., Ltd. Methods of calibrating knee-point and logarithmic slope in linear-logarithmic image sensors
KR102182870B1 (ko) * 2014-04-08 2020-11-25 삼성전자주식회사 선형-로그형 이미지 센서 및 이를 포함하는 전자 기기

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