JP7282500B2 - 半導体装置、機器、半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- H01L2224/05644—Gold [Au] as principal constituent
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- H01L2224/05647—Copper [Cu] as principal constituent
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- H01L2224/081—Disposition
- H01L2224/0812—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding
- H01L2224/08135—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding the bonding area connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/08137—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding the bonding area connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
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- H01L2224/08—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas after the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/081—Disposition
- H01L2224/0812—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding
- H01L2224/08135—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding the bonding area connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/08145—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding the bonding area connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
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- H01L2224/07—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas after the connecting process
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- H01L2224/0812—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding
- H01L2224/08151—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding the bonding area connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/08221—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding the bonding area connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/08225—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding the bonding area connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/07—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas after the connecting process
- H01L2224/09—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas after the connecting process of a plurality of bonding areas
- H01L2224/0951—Function
- H01L2224/09515—Bonding areas having different functions
- H01L2224/09517—Bonding areas having different functions including bonding areas providing primarily mechanical support
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- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/80001—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by connecting a bonding area directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding
- H01L2224/80009—Pre-treatment of the bonding area
- H01L2224/8001—Cleaning the bonding area, e.g. oxide removal step, desmearing
- H01L2224/80013—Plasma cleaning
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- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/80001—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by connecting a bonding area directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding
- H01L2224/8034—Bonding interfaces of the bonding area
- H01L2224/80357—Bonding interfaces of the bonding area being flush with the surface
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/80001—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by connecting a bonding area directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding
- H01L2224/808—Bonding techniques
- H01L2224/80894—Direct bonding, i.e. joining surfaces by means of intermolecular attracting interactions at their interfaces, e.g. covalent bonds, van der Waals forces
- H01L2224/80895—Direct bonding, i.e. joining surfaces by means of intermolecular attracting interactions at their interfaces, e.g. covalent bonds, van der Waals forces between electrically conductive surfaces, e.g. copper-copper direct bonding, surface activated bonding
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- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/80001—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by connecting a bonding area directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding
- H01L2224/808—Bonding techniques
- H01L2224/80894—Direct bonding, i.e. joining surfaces by means of intermolecular attracting interactions at their interfaces, e.g. covalent bonds, van der Waals forces
- H01L2224/80896—Direct bonding, i.e. joining surfaces by means of intermolecular attracting interactions at their interfaces, e.g. covalent bonds, van der Waals forces between electrically insulating surfaces, e.g. oxide or nitride layers
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- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/80001—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by connecting a bonding area directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding
- H01L2224/80905—Combinations of bonding methods provided for in at least two different groups from H01L2224/808 - H01L2224/80904
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- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/80001—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by connecting a bonding area directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding
- H01L2224/80905—Combinations of bonding methods provided for in at least two different groups from H01L2224/808 - H01L2224/80904
- H01L2224/80907—Intermediate bonding, i.e. intermediate bonding step for temporarily bonding the semiconductor or solid-state body, followed by at least a further bonding step
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
- H01L2224/92—Specific sequence of method steps
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- H01L2224/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
- H01L2224/92—Specific sequence of method steps
- H01L2224/9202—Forming additional connectors after the connecting process
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- H01L2224/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
- H01L2224/92—Specific sequence of method steps
- H01L2224/921—Connecting a surface with connectors of different types
- H01L2224/9212—Sequential connecting processes
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- H01L2224/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
- H01L2224/92—Specific sequence of method steps
- H01L2224/922—Connecting different surfaces of the semiconductor or solid-state body with connectors of different types
- H01L2224/9222—Sequential connecting processes
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- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/02—Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/07—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas after the connecting process
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Description
基板と、
半導体層と、
前記基板と前記半導体層との間に、積層された複数の配線層と積層された複数の絶縁膜とから構成される配線構造体部と、
を備え、
前記半導体層および前記配線構造体部には、前記配線構造体部が有する外部接続電極に接続部材を接続するための開口部が形成されており、
前記半導体層は、前記開口部の外周を囲う、絶縁膜が埋め込まれている分離領域を有し、
前記配線構造体部は、前記開口部の外周を囲う、前記複数の配線層により形成されたガードリングを有し、
前記開口部に最も近い前記ガードリングと前記開口部との距離は、前記開口部に最も近い前記分離領域と前記開口部との距離よりも大きく、
前記基板と前記半導体層との積層方向から見て、前記開口部に最も近い前記分離領域の
外周を囲うように、前記開口部に最も近い前記ガードリングが構成されている、
ことを特徴とする半導体装置である。
基板と、絶縁膜が埋め込まれている分離領域を有する半導体層と、積層された複数の配線層と積層された複数の絶縁膜とから構成される配線構造体部と、を備え、前記配線構造体部が前記基板と前記半導体層との間に配された部材を用意するステップと、
前記配線構造体部に含まれる外部接続電極の一部を外部に露出させる開口部を、前記半導体層および前記配線構造体部に形成するステップと、
を有し、
前記配線構造体部は、前記複数の配線層により形成されたガードリングを有しており、
前記開口部を形成するステップでは、
1)前記開口部に最も近い前記ガードリングと前記開口部との距離が、前記開口部に最も近い前記分離領域と前記開口部との距離よりも大きくなるように、かつ、2)前記基板と前記半導体層との積層方向から見て、前記開口部に最も近い前記ガードリングが、前記開口部に最も近い前記分離領域の外周を囲うように、前記開口部を形成する、
ことを特徴とする半導体装置の製造方法である。
図1は、本実施形態に係る半導体装置APRを説明する模式図である。半導体装置APRは、半導体層100および半導体層200を含む半導体デバイスICのほかに、半導体デバイスICを実装するためのパッケージPKGを含む。本実施形態では、半導体装置APRは、光電変換装置である。半導体デバイスICは、画素回路PXCがマトリックス配列された画素領域PXとその周辺の周辺領域PRを有する。周辺領域PRには、周辺回路を設けることができる。
配線構造体010は、絶縁膜103、コンタクトプラグ104、配線層105、絶縁膜106、配線層107、ビアプラグ108、絶縁膜109、ビアプラグ110、配線層111a、外部接続電極111bを含む。また、配線構造体010は、配線層111aの上に配置された絶縁膜112と、導電体部113aを含む。
ビアプラグ110は、配線層107と配線層111aを接続する。
配線層111aは、外部から接続するための外部接続電極111bと同時に形成される。
外部接続電極111bは、例えば、主成分をアルミニウムとする電極である。また、外部接続電極111bは、主成分よりも少ない副成分としてシリコンや銅を含有しうる。外部接続電極111bは、半導体装置APRにおいて外部に露出されている必要があるため、積層方向において空間である開口部400の下に位置する。
導電体部113aは、本実施形態では、トレンチおよびビアを有するようなデュアルダマシン構造を有している。導電体部113aのうち、デュアルダマシン構造のトレンチに対応する領域の一部が、導電体部213aと接合する接合領域311を構成する。導電体部113aのうち、デュアルダマシン構造のビアに対応する領域の一部が、配線層111aと接続する接続領域312を構成する。
配線構造体020は、絶縁膜203、コンタクトプラグ204、配線層205、絶縁膜206、配線層207、ビアプラグ208、絶縁膜209、配線層210、ビアプラグ211を含む。配線構造体020は、さらに、絶縁膜212と、導電体部213aを含む。さらに、配線構造体020は、ガードリング240を有している。
ビアに対応する領域の一部が、配線層210と接続する接続領域322を構成する。
半導体層100には、素子分離101、複数のトランジスタのゲート電極102が設けられている。なお、光電変換装置としての半導体装置APRでは、半導体層100の集積回路には、画素信号を処理する、AD変換回路やノイズ除去回路などの信号処理回路を含むことができる。また、半導体層100を「基板」、または「半導体基板」と呼ぶことができる。
半導体層200には、素子分離201、転送ゲート202、フォトダイオード220、フローティングディフュージョン221、分離領域230が設けられている。
ることができる。
図3は、図2が示す本実施形態に係る半導体装置APRの開口部400と分離領域230とガードリング240と外部接続電極111bの配置関係を、上(Z軸方向)から透視した平面図で示している。ここでは、開口部400の外周を囲うように分離領域230が設けられている。なお、分離領域230の外周には、ガードリング240が構成されており、ガードリングは半導体層200に接続される。また、図3が示すガードリング240は、複数のガードリング240のうち、開口部400を最も内側で囲うガードリングである。従って、図3では、開口部400とガードリング240との間に、分離領域230が配置されている。より詳細には、開口部400に最も近いガードリング240と開口部400との距離よりも、開口部400との距離が短い分離領域230が1つ以上存在している。つまり、開口部400に最も近いガードリング240と開口部400との距離は、開口部400に最も近い分離領域230と開口部400との距離よりも大きい。なお、本実施形態では、2つの構成の間の距離とは、当該2つの構成の間隔を示し、より詳細には、一方の構成における他方の構成に最も近い端から、当該他方の構成における当該一方の構成に最も近い端までの最短距離を示す。
図4A~図4Cのフローチャートを用いて、第1半導体部品001、第2半導体部品002、半導体装置APRの製造方法を説明する。以下では、第1半導体部品001の製造方法と第2半導体部品002の製造方法を順に説明し、その後、第1半導体部品001と第2半導体部品002を用いた半導体装置APRの製造方法を説明する。なお、以下の製造方法は、人である作製者が半導体装置APRなどを製造するものとしてもよいし、製造装置などによって当該製造方法が行われてもよい。
まず、図4Aのフローチャート、および第1半導体部品001の製造工程における外観図(断面図)である図5A~図6Bを用いて、第1半導体部品001の製造方法を説明する。
される。よって、接合前の第1半導体部品001の表面の平坦性が向上する。従って、第1半導体部品001と第2半導体部品002との接合の際の段差起因により生じる不具合を低減することができる。
つづいて、図4Bのフローチャート、および第2半導体部品002の製造工程における外観図(断面図)である図7A~図8Bを用いて、第2半導体部品002の製造方法を説明する。
つづいて、図4Cのフローチャート、および半導体装置APRの製造工程における外観図(断面図)である図9~図11を用いて、半導体装置APRの製造方法を説明する。
成されている。つまり、開口部400に最も近いガードリング240と開口部400との距離が、開口部400に最も近い分離領域230と開口部400との距離よりも大きくなるように、開口部400が形成される。また、開口部400を挟んだガードリング240の間隔D1は、開口部400を挟んだ分離領域230の間隔D2よりも大きい。このように、開口部400の外周に、分離領域230があることで半導体層200にある素子へのドライエッチングで生じるチャージアップの影響を低減することができる。また、分離領域230の外周にガードリング240もあるので、ガードリング240がチャージアップの影響を受けて破壊される可能性を低減することができる。
以下、図1が示す、半導体装置APRを備える機器EQPについて詳細に説明する。ここで、半導体装置APRは、上述のように、半導体層100を有する半導体デバイスICのほかに、半導体デバイスICを収容するパッケージPKGを含むことができる。パッケージPKGは、半導体デバイスICが固定された基体と、半導体デバイスICに対向するガラスなどの蓋体と、基体に設けられた端子と半導体デバイスICに設けられた端子とを接続するボンディングワイヤやバンプなどの接続部材と、を含むことができる。
器EQPが備える通信装置(不図示)によって外部に送信したりする。そのために、機器EQPは、半導体装置APRが有する記憶回路や演算回路とは別に、記憶装置MMRYや処理装置PRCSをさらに備えることが好ましい。機械装置MCHNは、半導体装置APRから出力され信号に基づいて制御されてもよい。
本実施形態によれば、ガードリングがアンテナとして動作することを抑制できるため、静電気やプラズマを取得して半導体装置に影響を与える可能性を抑制できる。さらに、半導体層に対してドライエッチングを行って開口部を形成する際のプラズマによるチャージアップによって生じうる、半導体部品の破壊やガードリングの破壊を引き起こす可能性も低減することができる。よって、半導体装置の信頼性が向上する。
変形例1に係る半導体装置APRでは、図12が示すように、半導体装置APRにおいて、外部接続電極111bの近傍に、導電体部113aと導電体部213aとの接合部330が設けられている。つまり、半導体装置APRにおける第1半導体部品001および第2半導体部品002はそれぞれ、開口部400に最も近いガードリング240と開口部400との距離よりも、開口部400との距離が短い導電体部113a,213aを有している。なお、第1半導体部品001および第2半導体部品002はそれぞれ、この条件を満たす、導電体部113a、213aを1つずつ有している場合に限らず、2以上有していてもよい。なお、開口部400と導電体部113a,213aとの距離は、開口部400と分離領域230との距離よりも短くてもよいし長くてもよい。
接合強度を強くすることができる。よって、ワイヤボンディング時に生じるストレスによる接合界面のはがれによる不良を低減することができる。
変形例2に係る半導体装置APRでは、図14が示すように、ガードリング340が、コンタクトプラグ204、配線層205、ビアプラグ208、配線層207、ビアプラグ211、配線層210、接合領域311を含むように構成されている。つまり、ガードリング340は、実施形態1におけるガードリング240と、導電体部113aおよび導電体部213aとが接続されている構成である。また、本変形例に係る半導体装置APRでは、外部接続電極111b上に接続される第2ガードリング350が形成されている。第2ガードリング350は、導電体部113aにおける接続領域312および接合領域311と、導電体部213aにおける接合領域321とを含むように構成されている。つまり、第2ガードリング350は、接続領域312および接合領域311と接合領域321とを接合することにより形成することができ、例えば、銅を主成分として構成される。
変形例3に係る半導体装置APRでは、図15が示すように、ガードリング340は、変形例2と同様に構成されている。また、絶縁膜112の構成のうち、配線層111aおよび外部接続電極111bと接合領域311との間の一部をパッシベーション膜として機能する絶縁膜118が形成されている。より詳細には、ガードリング340と外部接続電極111bとの間に、パッシベーション膜である絶縁膜118が配置されている。絶縁膜118は、例えば窒素を含むシリコン化合物膜(例えばSiNやSiON)である。
変形例4に係る半導体装置APRでは、図17が示すように、変形例1~3の各構成要
素を組合わせた半導体装置を示している。具体的には、変形例4に係る半導体装置APRは、変形例1と同様に開口部400の近傍に接合部330を有し、変形例2と同様のガードリング340を有し、変形例3と同様に絶縁膜118を有する。
実施形態1では、半導体装置APRにおける開口部の近傍におけるガードリングと分離領域との位置関係によって、半導体層への静電気による影響を抑制していた。これに対して、実施形態2では、ウェットエッチングにより半導体層に開口部を形成することによって、当該開口部を形成する際に生じる半導体層への静電気による影響を抑制することのできる半導体装置APRの製造方法について説明する。なお、以下では、第1半導体部品001、第2半導体部品002の製造方法を説明した後に、それらを用いた半導体装置APRの製造方法について説明する。なお、以下の製造方法は、人である作製者が半導体装置APRなどを製造するものとしてもよいし、製造装置などによって当該製造方法が行われてもよい。
以下、図18Aが示すフローチャートを用いて第1半導体部品001の製造方法について説明する。図18Aのフローチャートにしたがって製造される第1半導体部品001はおおむね図6Bに記載された第1半導体部品と同様であり、以下の説明における符号について、図5、図6を参照することができる。
質はアルミニウムなどがあり得る。
以下、図18Bが示すフローチャートを用いて第2半導体部品002の製造方法について説明する。図18Bのフローチャートにしたがって製造される第2半導体部品002はおおむね図8Bに記載された第2半導体部品と同様であり、以下の説明における符号について、図7、図8を参照することができる。
続し、ビアプラグ211は、配線層207と配線層210を接続する。なお、コンタクトプラグ204の一部はガードリング240である。ガードリング240は、分離領域230の外周を取り囲むように配置されている。また、半導体層200の表面にMOSトランジスタを配置しているものとするが、実施形態1と同様に、本実施形態はこれに限ったものではない。
以下、図19が示すフローチャートを用いて、本実施形態に係る半導体装置APRの製造方法について説明する。
の一部は金属膜305aに形成され、また一部はガードリング305b(メタルリング)に形成される。なお、同時に金属膜305aと半導体層200を接続するビアプラグ304aとガードリング304bとが形成される。ガードリング304bは、分離領域230の外周を取り囲むように配置されている。
このように、本実施形態では、半導体層に対して開口部を形成する際には、ウェットエッチングを用いることによって、プラズマで行うドライエッチングを行う場合の際に生じる半導体層へのプラズマダメージを生じさせない。従って、半導体装置の信頼性が向上する。また、半導体層と分離領域とでエッチングレートが異なるようにウェットエッチングをすることにより、開口部用のフォトリソグラフィによるアライメント誤差が発生した場合でも、分離領域によってエッチングを停止できる。このため、半導体層の開口部の径と
開口部位置が容易に制御できるという効果がある。
変形例5として、実施形態2よりも容易に半導体装置APRを製造する方法を図26Aのフローチャートを用いて説明を行う。S2301~S2303までの処理は、実施形態2と同様に実施されるため、説明は省略する。以下では、S2303から遷移するS3304以降の処理について説明を行う。
bの一部を露出するための開口部310bがドライエッチングにより形成される。
本変形例では、後の工程で開口部にされる箇所の金属酸化膜301などをあらかじめ除去しているため、実施形態2と比較して、半導体層200より上に形成された層に対して開口部を形成する際におけるエッチングが容易である。
変形例6として、実施形態2より半導体装置の信頼性の低下を抑制することができる半導体装置APRの製造方法を図32Aのフローチャートを用いて説明を行う。S2301~S2309までの処理は、実施形態2と同様に実施されるため、説明は省略する。以下では、S2309から遷移するS4310以降の処理について説明を行う。ここで、S4310の遷移時には、図22が示すような半導体装置APRが形成されている。
半導体層200より上に形成された層に開口部310に形成するドライエッチングを、半導体層200上の金属酸化膜301で停止させてから、半導体層200に対するウェットエッチングを行う。このため、実施形態2に比べてドライエッチングにより生じる半導体層200へのプラズマダメージが抑えられる。よって、実施形態2よりも半導体装置の信頼性の低下を抑制することができる。
変形例7として、実施形態2より半導体装置の信頼性の低下を抑制することができる半導体装置APRの製造方法を図32Bのフローチャートを用いて説明を行う。S2301~S2309までの処理は、実施形態2と同様に実施されるため、説明は省略する。以下では、S2309から遷移するS5310以降の処理について説明を行う。
り、開口部310aが形成される。この際、半導体層200と分離領域230とでエッチグレートを異ならせるようにエッチングがされることにより、分離領域230で囲まれた内側のみが開口部310aに形成される。
ドライエッチングを半導体層200上の反射防止膜302で停止させてから、半導体層200に対するウェットエッチングを行うため、実施形態2に比べてドライエッチングにより生じる半導体層200へのプラズマダメージが抑えられる。よって、実施形態2よりも半導体装置の信頼性の低下を抑制することができる。
変形例8として、実施形態2より半導体装置の信頼性の低下を抑制することができる半導体装置APRの製造方法を図26Bのフローチャートを用いて説明を行う。S2301~S2303、S3304~S3305までの処理は、変形例5と同様に実施されるため、説明は省略する。以下では、S3305から遷移するS6306以降の処理について説明を行う。ここで、S6306に遷移する時点では、図27が示す半導体装置APRの半導体層200や反射防止膜302の表面の全域にわたって導電体305が形成されている状態である。
010:配線構造体、020:配線構造体、100:半導体層、200:半導体層、
230:分離領域、240:ガードリング、400:開口部
Claims (18)
- 基板と、
半導体層と、
前記基板と前記半導体層との間に、積層された複数の配線層と積層された複数の絶縁膜とから構成される配線構造体部と、
を備え、
前記半導体層および前記配線構造体部には、前記配線構造体部が有する外部接続電極に接続部材を接続するための開口部が形成されており、
前記半導体層は、前記開口部の外周を囲う、絶縁膜が埋め込まれている分離領域を有し、
前記配線構造体部は、前記開口部の外周を囲う、前記複数の配線層により形成されたガードリングを有し、
前記開口部に最も近い前記ガードリングと前記開口部との距離は、前記開口部に最も近い前記分離領域と前記開口部との距離よりも大きく、
前記基板と前記半導体層との積層方向から見て、前記開口部に最も近い前記分離領域の外周を囲うように、前記開口部に最も近い前記ガードリングが構成されている、
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記ガードリングは、前記半導体層のうちの、前記開口部から見て前記分離領域よりも離れた部分へ電気的に接続している、
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記基板は、トランジスタが設けられた半導体基板であり、
前記配線構造体部は、
前記半導体基板と前記半導体層との間に位置する第1配線構造体と、
前記半導体層と第1配線構造体との間に位置する第2配線構造体と、
を有し、
前記配線構造体部は、前記第1配線構造体と前記第2配線構造体とが接合している、
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。 - 前記外部接続電極は、前記第1配線構造体に設けられている、
ことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。 - 前記第1配線構造体と前記第2配線構造体は、それぞれ導電体部を有し、
前記第1配線構造体の前記導電体部と前記第2配線構造体の前記導電体部とが互いに接合している、
ことを特徴とする請求項3または請求項4に記載の半導体装置。 - 前記第1配線構造体および前記第2配線構造体のそれぞれは、
前記開口部に最も近い前記ガードリングと前記開口部との距離よりも、前記開口部との距離が短い前記導電体部を1つ以上有する、
ことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。 - 前記ガードリングは、前記導電体部に接続して形成されている、
ことを特徴とする請求項5または請求項6に記載の半導体装置。 - 前記ガードリングと前記開口部との間に、前記外部接続電極に接続されており、かつ、前記ガードリングが接続されている前記導電体部とは別の導電体部を含む第2ガードリングをさらに備える、
ことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。 - 前記開口部を挟んだ前記ガードリングの間隔は、前記開口部を挟んだ前記分離領域の間隔よりも大きい、
ことを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記ガードリングと前記外部接続電極との間には、窒素を含むシリコン化合物膜である絶縁膜を有する、
ことを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記外部接続電極はアルミニウムを主成分とし、
前記ガードリングは銅を主成分とする部分を含む、
ことを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記半導体層に対して前記基板とは反対側に設けられた絶縁膜を備え、
前記開口部が前記絶縁膜にも設けられており、
前記絶縁膜の前記開口部の外周を囲う、メタルリングを有し、
前記開口部に最も近い前記ガードリングと前記開口部との距離は、前記開口部に最も近い前記メタルリングと前記開口部との距離よりも大きい、
ことを特徴とする請求項1から11のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記開口部を挟んだ前記分離領域の間隔は、前記開口部を挟んだ前記メタルリングの間隔よりも小さい、
ことを特徴とする請求項12に記載の半導体装置。 - 前記半導体層には、フォトダイオードが設けられている、
ことを特徴とする請求項1から13のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 請求項1から14のいずれか1項に記載の半導体装置と、
前記半導体装置に結像する光学系、
前記半導体装置を制御する制御装置、
前記半導体装置から出力された信号を処理する処理装置、
前記半導体装置が得る情報を表示する表示装置、
前記半導体装置が得る情報を記憶する記憶装置、
可動部または推進部を有する機械装置、
の6つのうち少なくともいずれかと、
を備える機器。 - 基板と、絶縁膜が埋め込まれている分離領域を有する半導体層と、積層された複数の配線層と積層された複数の絶縁膜とから構成される配線構造体部と、を備え、前記配線構造体部が前記基板と前記半導体層との間に配された部材を用意するステップと、
前記配線構造体部に含まれる外部接続電極の一部を外部に露出させる開口部を、前記半導体層および前記配線構造体部に形成するステップと、
を有し、
前記配線構造体部は、前記複数の配線層により形成されたガードリングを有しており、
前記開口部を形成するステップでは、
1)前記開口部に最も近い前記ガードリングと前記開口部との距離が、前記開口部に最も近い前記分離領域と前記開口部との距離よりも大きくなるように、かつ、2)前記基板と前記半導体層との積層方向から見て、前記開口部に最も近い前記ガードリングが、前記開口部に最も近い前記分離領域の外周を囲うように、前記開口部を形成する、
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記開口部を形成するステップでは、
前記半導体層に対して、ドライエッチングをすることにより前記開口部を形成する、
ことを特徴とする請求項16に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記開口部を形成するステップでは、
前記半導体層に対して、ウェットエッチングをすることにより前記開口部を形成する、
ことを特徴とする請求項16に記載の半導体装置の製造方法。
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