JP6739892B2 - ガラス用洗浄剤 - Google Patents
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Description
[1](a)成分として無機アルカリ剤、有機アルカリ剤、及びアルカリ性のキレート剤のうち少なくとも1種のアルカリ成分、(b)成分としてHLBが5〜10である非イオン界面活性剤を少なくとも1種、(c)成分として陰イオン界面活性剤、HLBが11〜16である非イオン界面活性剤のうち少なくとも1種、を含有するガラス用洗浄剤。
[2](c)成分を、陰イオン界面活性剤、及びHLBが11〜16である非イオン界面活性剤のうち、それぞれ少なくとも1種を含有する成分とすることを特徴とする[1]に記載のガラス用洗浄剤。
[3](a)成分5〜20質量%、(b)成分0.1〜2.5質量%、(c)成分1〜20質量%、残部水であることを特徴とする[1]又は[2]に記載のガラス用洗浄剤。
[4](a)アルカリ成分が、無機アルカリ剤とアルカリ性のキレート剤、又は有機アルカリ剤とアルカリ性のキレート剤からなるアルカリ成分であることを特徴とする[1]〜[3]のいずれか1項に記載のガラス用洗浄剤。
[5]ガラス用洗浄剤が、液晶用ガラス基板、太陽電池用ガラス基板用であることを特徴とする[1]〜[4]のいずれか1項に記載のガラス用洗浄剤。
液晶用ガラス基板を本発明のガラス用洗浄剤を用いて、50℃の洗浄剤浸漬層中に10分間浸漬洗浄し、次いで純水で1分間、すすぎ処理を繰り返し、十分乾燥させてから、常法によりブラックレジストインキ(新日鉄住金化学株式会社製)を用い、ポストベーク後の膜厚を1.2μmになるように、塗布し、70℃、1分間プレベークした。その後、露光を50mJ/cm2、現像を0.04%KOH現像液を用い、23℃、現像圧0.1MPa、水洗圧0.5MPa、現像時間を80秒、90秒、95秒、100秒と変えた時のブラックマトリックスの現像密着性の評価を、最少密着パターン(ライン、ドット)としてマスク開口(μm)と現像時間との関係でパターンテストを行った。
(a)アルカリ成分として、水酸化カリウム5質量%、水酸化ナトリウム4質量%、エチレンジアミン四酢酸ナトリウム塩2.9質量%、(b)成分として、非イオン界面活性剤:ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールPOE/POP(HLB9.4)0.3質量%、(c)成分として、陰イオン界面活性剤(トルエンスルホン酸ナトリウム)8.8質量%、ポリオキシエチレンクミルフェニルエーテル(HLB13.3)2.0質量%、pH調整剤としてホスホン酸2.1質量%、残部として水を混合し洗浄剤組成物1を調製した。洗浄剤組成物の1%溶液の20℃で測定した表面張力は、34.6mN/mである。以下同様である。
(a)アルカリ成分として、モノエタノールアミン19.5質量%、エチレンジアミン四酢酸ナトリウム塩2.9質量%、(b)成分として、非イオン界面活性剤:ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールPOE/POP(HLB9.4)0.3質量%、(c)成分として、陰イオン界面活性剤(トルエンスルホン酸ナトリウム)8.8質量%、ポリオキシエチレンクミルフェニルエーテル(HLB13.3)2.0質量%、pH調整剤としてホスホン酸2.1質量%、残部として水を混合し洗浄剤組成物2を調製した。洗浄剤組成物の表面張力は、26.5mN/mである。
実施例1において、(c)成分として、陰イオン界面活性剤(トルエンスルホン酸ナトリウム)8.8質量%、ポリオキシエチレンクミルフェニルエーテル(HLB13.3)2.0質量%に変え、陰イオン界面活性剤(トルエンスルホン酸ナトリウム)8.8質量%を用いる以外は、実施例1と同様にして洗浄剤組成物3を調製した。洗浄剤組成物の表面張力は、30.5mN/mである。
実施例1において、(b)成分として、非イオン界面活性剤:ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールPOE/POP(HLB9.4)に変え、非イオン界面活性剤:ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールPOE/POP(株式会社ADEKA製、プルロニックL−61:HLB9.1)を用いる以外は、実施例1と同様にして洗浄剤組成物4を調製した。洗浄剤組成物の表面張力は、38.0mN/mである。
実施例1において、(b)成分として、非イオン界面活性剤:ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールPOE/POP(HLB9.4)に変え、非イオン界面活性剤:ポリオキシエチレンアルキルエーテル(株式会社ADEKA製、アデカノールPA−756:HLB8.0)を用いる以外は、実施例1と同様にして洗浄剤組成物5を調製した。洗浄剤組成物の表面張力は、29.0mN/mである。
実施例1において、(b)成分として、非イオン界面活性剤:ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールPOE/POP(HLB9.4)に変え、非イオン界面活性剤:オレイン酸エトキシレート(日油株式会社製、ノニオンO−2:HLB8.3)を用いる以外は、実施例1と同様にして洗浄剤組成物6を調製した。洗浄剤組成物の表面張力は、32.2mN/mである。
実施例1において、(b)成分として、非イオン界面活性剤:ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールPOE/POP(HLB9.4)に変え、非イオン界面活性剤:ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル(EO:2 第一工業製薬株式会社製、ノイゲンPA−756:HLB5.7)を用いる以外は、実施例1と同様にして洗浄剤組成物7を調製した。 洗浄剤組成物の表面張力は、29.5mN/mである。
(a)アルカリ成分として、水酸化カリウム10質量%、エチレンジアミン四酢酸3.2質量%、(c)成分として、陰イオン界面活性剤(m−キシレンスルホン酸ナトリウム)10.0質量%、ポリオキシエチレンクミルフェニルエーテル(HLB13.3)4.8質量%、pH調整剤としてホスホン酸3質量%、残部として水を混合し比較洗浄剤組成物1を調製した。洗浄剤組成物の表面張力は、43.2mN/mである。
(a)アルカリ成分として、水酸化カリウム5質量%、水酸化ナトリウム4質量%、エチレンジアミン四酢酸ナトリウム塩2.9質量%、(c)成分として、陰イオン界面活性剤(m−キシレンスルホン酸ナトリウム)8.8質量%、ポリオキシエチレンクミルフェニルエーテル(HLB13.3)2.0質量%、pH調整剤としてホスホン酸2.1質量%、残部として水を混合し比較洗浄剤組成物2を調製した。洗浄剤組成物の表面張力は、42.2mN/mである。
以 上
Claims (4)
- (a)成分として無機アルカリ剤、有機アルカリ剤、及びアルカリ性のキレート剤のうち少なくとも1種のアルカリ成分を5〜20質量%、(b)成分としてHLBが5〜10である非イオン界面活性剤を少なくとも1種を0.1〜2.5質量%、(c)成分として陰イオン界面活性剤、HLBが11〜16である非イオン界面活性剤のうち少なくとも1種を1〜20質量%、および水を含有する、表面改質機能を有するガラス用洗浄剤。
- (c)成分を、陰イオン界面活性剤、及びHLBが11〜16である非イオン界面活性剤のうち、それぞれ少なくとも1種を含有する成分とすることを特徴とする請求項1に記載のガラス用洗浄剤。
- (a)アルカリ成分が、無機アルカリ剤とアルカリ性のキレート剤、又は有機アルカリ剤とアルカリ性のキレート剤からなるアルカリ成分であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のガラス用洗浄剤。
- ガラス用洗浄剤が、液晶用ガラス基板、太陽電池用ガラス基板用であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のガラス用洗浄剤。 以 上
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