JP6707970B2 - Icチップ実装基板 - Google Patents

Icチップ実装基板 Download PDF

Info

Publication number
JP6707970B2
JP6707970B2 JP2016084858A JP2016084858A JP6707970B2 JP 6707970 B2 JP6707970 B2 JP 6707970B2 JP 2016084858 A JP2016084858 A JP 2016084858A JP 2016084858 A JP2016084858 A JP 2016084858A JP 6707970 B2 JP6707970 B2 JP 6707970B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cavity
chip
converter module
switching
magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016084858A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017195708A (ja
Inventor
佳弘 淺田
佳弘 淺田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2016084858A priority Critical patent/JP6707970B2/ja
Publication of JP2017195708A publication Critical patent/JP2017195708A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6707970B2 publication Critical patent/JP6707970B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)
  • Dc-Dc Converters (AREA)

Description

本発明は、ICチップ実装基板に関し、さらに詳しくは、小型化されたICチップ実装基板に関する。
基板にICチップが実装されたICチップ実装基板が、電子モジュールなどとして種々の電子機器に使用されている。
特許文献1(WO2015-152333号公報)に、そのようなICチップ実装基板が開示されている。なお、特許文献1に開示されたICチップ実装基板は、積層基板に、ICチップとしてスイッチングICや、キャパシタが実装されて、DC-DCコンバータモジュールが構成されている。
図12に、特許文献1に開示されたDC-DCコンバータモジュール(ICチップ実装基板)1000を示す。
DC-DCコンバータモジュール1000は、積層基板101を備える。
積層基板101の主面には、2個のスイッチングIC(IC)102a、102bと、2個のキャパシタ103a、103bとが実装されている。
WO2015-152333号公報
電子機器の小型化に伴い、電子機器に使用される電子部品や電子モジュール(ICチップ実装基板など)にも、小型化が求められている。たとえば、電子機器の一例であるスマートフォンでは、薄型化を含めた小型化が進んでおり、内蔵される電子部品や電子モジュールに対して、縦寸法および横寸法を小さくすること(平面方向における小型化)、および、高さ寸法を小さくすること(高さ方向における小型化=低背化)が強く求められている。
しかしながら、上述したDC-DCコンバータモジュール1000は、積層基板101の主面とスイッチングIC102a、102bとが平行となるように、積層基板101にスイッチングIC102a、102bが実装されているため、積層基板101の主面にスイッチングIC102a、102bを実装するための大きなスペースが必要となり、平面方向に大型化しているという問題があった。
また、DC-DCコンバータモジュール1000は、積層基板101の主面上にスイッチングIC102a、102bなどが実装されているため、高さ方向にも大型化しているという問題があった。
本発明は、上述した従来の問題を解決するためになされたものであり、その手段として本発明のICチップ実装基板は、1対の主面を有し、少なくとも一方の主面にキャビティが形成された基板と、キャビティ内に形成された接続用電極と、1対の主面を有し、一方の主面に端子電極が形成された板状のICチップと、を備え、ICチップがキャビティ内に収容され、端子電極が接続用電極に導電性接合材を介して接続されたものであって、基板に、さらに、キャビティの深さ方向に巻回軸を有するコイルが内蔵され、キャビティは、コイルの内側に形成され、接続用電極がキャビティの側壁に形成され、ICチップの主面がキャビティの側壁に沿うように、ICチップがキャビティ内に縦方向に収容されたものとした。
基板が、磁性体によって形成された磁性体部を有し、その磁性体部内に、コイルが内蔵されたものとしても良い。この場合には、内蔵されたコイルを使って電子モジュールを構成することができる。なお、上述したように、本発明のICチップ実装基板は、ICチップの主面がキャビティの側壁に沿うようにICチップがキャビティ内に収容されているため、ICチップが基板に内蔵されているにもかかわらず、コイルの形成する磁束がICチップの影響を受けにくい。
磁性体部の内部にコイルを内蔵させた場合には、磁性体部に、基板の主面と平行な方向に広がる、非磁性体によって形成された非磁性体層を設けても良い。この場合には、その非磁性体層によって、コイルの直流重畳特性を改善することができる。
キャビティとICチップとの隙間に樹脂が充填されたものとしても良い。この場合には、樹脂によって、ICチップを保護することができる。また、樹脂によって、基板の強度を向上させることができる。
ICチップにスイッチングICを用いて、DC-DCコンバータモジュールを構成することができる。
本発明のICチップ実装基板は、ICチップの主面が基板に形成されたキャビティの側壁に沿うようにICチップがキャビティ内に収容されているため、小型化がはかられている。
図1(A)は、第1実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール100を示す斜視図である。図1(B)は、DC-DCコンバータモジュール100を示す断面図である。 DC-DCコンバータモジュール100の要部斜視図である。 DC-DCコンバータモジュール100の等価回路図である。 図4(A-1)は、実施例にかかるICチップ実装基板Xの平面方向の透視図である。図4(A-2)は、ICチップ実装基板Xを示す側面方向の透視図である。図4(B-1)は、比較例にかかるICチップ実装基板Yの平面方向の透視図である。図4(B-2)は、ICチップ実装基板Yを示す側面方向の透視図である。 図5(A)は、DC-DCコンバータモジュール100の製造方法の一例において実施される工程を示す断面図である。 図6(B)は、図5(A)の続きであり、DC-DCコンバータモジュール100の製造方法の一例において実施される工程を示す断面図である。 図7(C)、(D)は、図6(B)の続きであり、それぞれ、DC-DCコンバータモジュール100の製造方法の一例において実施される工程を示す断面図である。 図8(E)、(F)は、図7(D)の続きであり、それぞれ、DC-DCコンバータモジュール100の製造方法の一例において実施される工程を示す断面図である。 図9(G)、(H)は、図8(F)の続きであり、それぞれ、DC-DCコンバータモジュール100の製造方法の一例において実施される工程を示す断面図である。 図10(A)は、第2実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール200を示す斜視図である。図10(B)は、DC-DCコンバータモジュール200を示す断面図である。 第3実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール300を示す断面図である。 従来のICチップ実装基板(DC-DCコンバータモジュール1000)を示す斜視図である。
以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。
なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。また、図面は、実施形態の理解を助けるためのものであり、必ずしも厳密に描画されていない場合がある。たとえば、描画された構成要素ないし構成要素間の寸法の比率が、明細書に記載されたそれらの寸法の比率と一致していない場合がある。また、明細書に記載されている構成要素が、図面において省略されている場合や、個数を省略して描画されている場合などがある。
[第1実施形態]
第1実施形態においては、ICチップ実装基板として、DC-DCコンバータモジュール100を構成した。すなわち、本実施形態のICチップ実装基板は、DC-DCコンバータモジュールしての機能を有している。DC-DCコンバータモジュール100の斜視図を図1(A)に、断面図を図1(B)に、要部斜視図を図2は、等価回路図を図3に、それぞれ示す。
DC-DCコンバータモジュール100は、積層基板1を備える。
積層基板1は、下から順に、第1の非磁性体部1Aと、磁性体部1Bと、第2の非磁性体部1Cとが積層された構造を有する。第1の非磁性体部1Aは、複数の非磁性体層1aが積層されている。磁性体部1Bは、複数の磁性体層1bが積層されている。第2の非磁性体部1Cは、複数の非磁性体層1cが積層されている。非磁性体部1A、1C(非磁性体層1a、1c)は、低透磁率または非磁性のセラミックにより形成されている。磁性体部1B(磁性体層1b)は、非磁性体部1A、1C(非磁性体層1a、1c)よりも透磁率が大きい磁性セラミックにより形成されている。磁性体部1B(磁性体層1b)の材料としては、例えば、磁性フェライトセラミックが用いられる。具体的には、酸化鉄を主成分とし、亜鉛、ニッケルおよび銅のうち少なくとも1つ以上を含むフェライトが用いられる。非磁性体部1A、1C(非磁性体層1a、1c)の材料としては、例えば、非磁性フェライトセラミックスやアルミナおよびガラスを主成分とする絶縁性ガラスセラミックスが用いられる。
第1の非磁性体部1Aには、非磁性体層1aの層間に形成された配線パターン2や、非磁性体層1aを貫通して形成されたビア電極3によって、内部配線が形成されている。配線パターン2、ビア電極3は、たとえば、銀を主成分として形成されている。
磁性体部1Bには、コイルL1が内蔵されている。コイルL1は、磁性体層1bの層間に形成されたコイルパターン4が、磁性体層1bを貫通して形成されたビア電極(図示せず)によって螺旋状に接続されて形成されている。コイルパターン4は、たとえば、銀を主成分として形成されている。また、磁性体部1Bには、磁性体層1bの層間に形成された配線パターン2や、磁性体層1bを貫通して形成されたビア電極3によって、内部配線が形成されている。
第2の非磁性体部1Cには、2つのキャパシタC1、C2が内蔵されている。キャパシタC1、C2は、それぞれ、非磁性体層1cの層間に形成された対向する1対のキャパシタ電極5によって形成されている。キャパシタ電極5は、たとえば、銀を主成分として形成されている。また、第2の非磁性体部1Cには、非磁性体層1cの層間に形成された配線パターン(図示せず)や、非磁性体層1cを貫通して形成されたビア電極(図示せず)によって、内部配線が形成されている。
積層基板1の下側の主面には、DC‐DCコンバータモジュール100を基板などに実装する際に使用する、複数の実装用電極6が形成されている。実装用電極6は、積層基板1の第1の非磁性体部1Aに形成された内部配線と接続されている。なお、実装用電極6は、図3の等価回路図においては、入力端子T1、出力端子T2、制御端子T3、グランド端子T4として示している。
積層基板1の上側の主面の中央部分には、キャビティ7が形成されている。キャビティ7は、積層基板1の主面と垂直方向に深さ方向を有している。
キャビティ7の側壁には、接続用電極8が形成されている。接続用電極8は、図2に示すように、本実施形態においては、磁性体部1Bや第2の非磁性体部1Cに設けられた配線パターン2やビア電極3が、キャビティ7を形成する際の切削加工によって露出されたのである。
キャビティ7には、スイッチングIC(ICチップ)S1が収容されている。スイッチングICS1は、板状で、本実施形態においては平面方向の形状が矩形をしている。ただし、平面方向の形状は任意であり、矩形には限定されない。
図2に示すように、スイッチングIC S1は、一方の主面(底面)に端子電極9が形成されている。そして、スイッチングICS1の各端子電極9の表面には、予め、はんだバンプ(導電性接合材)10が形成されている。スイッチングIC S1は、キャビティ7に収容された後に、加熱され、はんだバンプ10がリフローされ、再び自然冷却されて固化されることによって、はんだバンプ10によって端子電極9が接続用電極8に接続されている。この結果、スイッチングIC S1の主面は、積層基板1の主面に対して、ほぼ垂直に配置される。
キャビティ7の側壁と、スイッチングIC S1の上側の主面(天面)との隙間(クリアランス)の大きさは、50μm〜500μm程度とするのが好ましい。また、キャビティ7の側壁と、スイッチングIC S1の側面との隙間の大きさは、両側の合計で、50μm〜500μm程度とするのが好ましい。隙間がこれよりも小さいと、スイッチングIC S1をキャビティ7内に収容するのが難しくなるからである。また、隙間がこれよりも大きいと、磁性体部1Bの体積が減少して、コイルL1のインダクタンス形成にとって好ましくないからである。なお、キャビティ7の内底面と、スイッチングIC S1の側面との隙間の大きさは任意であり、スイッチングIC S1の側面がキャビティ7の内底面に接していても良いし、接していなくても良い。
キャビティ7とスイッチングIC S1との隙間に、樹脂21が充填されている。樹脂21は、スイッチングIC S1を保護するとともに、積層基板1の強度を向上させている。
以上の構造を有する、第1実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール100は、図3に示す等価回路を有する。
DC-DCコンバータモジュール100は、入力端子T1、出力端子T2、制御端子T3、グランド端子T4を備える。入力端子T1と出力端子T2との間に、スイッチングIC S1とコイルL1とが接続されている。コイルL1は、チョークコイルとして機能する。入力端子T1とスイッチングIC S1との接続点が、キャパシタC1を介して、グランド端子T4に接続されている。また、スイッチングIC S1と出力端子T2との接続点が、キャパシタC2を介して、グランド端子T4に接続されている。さらに、制御端子T3とグランド端子T4とが、それぞれ、スイッチングIC S1に接続されている。
以上の構造および等価回路を有する、第1実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール100は、次のような特長を備えている。
DC-DCコンバータモジュール100は、スイッチングIC S1の主面がキャビティ7の側壁に沿うように、スイッチングIC S1がキャビティ7内に収容されているため、小型化がはかられている。すなわち、DC-DCコンバータモジュール100は、積層基板1の主面に、スイッチングIC S1を実装するためのスペースを必要としないため、平面方向の大きさ(縦寸法および横寸法)が抑制されている。また、DC-DCコンバータモジュール100は、スイッチングIC S1がキャビティ7内に収容されているため、高さ方向の大きさ(高さ寸法)も抑制されている。
また、DC-DCコンバータモジュール100は、スイッチングIC S1の主面がキャビティ7の側壁に沿うように、スイッチングIC S1がキャビティ7内に収容されているため、コイルL1の形成する磁束が、スイッチングIC S1によって妨げられにくい。以下に、図面を参照しながら説明する。図4(A-1)、(A-2)に、DC-DCコンバータモジュール100と同じく、ICチップ51の主面が基板52の主面に対して垂直となるように、ICチップ51を基板52の内部に埋設した、実施例にかかるICチップ実装基板Xを示す。また、図4(B-1)、(B-2)に、ICチップ61の主面が基板62の主面に対して平行となるように、ICチップ61を基板62の内部に埋設した、比較例にかかるICチップ実装基板Yを示す。ただし、図4(A-1)、図4(B-1)は平面方向の透視図、図4(A-2)、図4(B-2)は側面方向の透視図である。
実施例にかかるICチップ実装基板Xは、図4(A-1)、(A-2)に示すように、コイル53が形成する磁束(矢印で示す)が、ICチップ51によって妨げられにくい。これに対し、比較例にかかるICチップ実装基板Yは、図4(B-1)、(B-2)に示すように、コイル63が形成する磁束(矢印で示す)が、ICチップ61によって妨げられている。この結果、コイル53とコイル63とが同じ条件で形成されている場合には、コイル53のインダクタンス値の方がコイル63のインダクタンス値よりも大きくなる。そして、コイル53の直流重畳特性の方が、コイル63の直流重畳特性よりも優れたものになる。
DC-DCコンバータモジュール100は、スイッチングIC S1の主面がキャビティ7の側壁に沿うように、スイッチングIC S1がキャビティ7内に収容されているため、コイルL1の形成する磁束がスイッチングIC S1によって妨げられにくく、大きなインダクタンス値を備えている。
次に、本実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール100の製造方法の一例について説明する。
まず、図5(A)に示すように、非磁性体層1aを形成するためのセラミックグリーンシート11a、磁性体層1bを形成するためのセラミックグリーンシート11b、非磁性体層1cを形成するためのセラミックグリーンシート11cを作製する。セラミックグリーンシート11a、11cは、たとえば、非磁性フェライトを主成分にして形成されている。セラミックグリーンシート11bは、たとえば、磁性フェライトを主成分にして形成されている。続いて、同じく図5(A)に示すように、セラミックグリーンシート11a〜11cに、必要に応じて、レーザー光を照射するなどの方法によって、ビア電極3を形成するための孔13を形成する。
次に、図6(B)に示すように、セラミックグリーンシート11a〜11cの孔13に、導電性ペースト23を充填する。併せて、セラミックグリーンシート11a〜11cの主面に、配線パターン2を形成するための導電性ペースト22、コイルパターン4を形成するための導電性ペースト24、キャパシタ電極5を形成するための導電性ペースト25、実装用電極6を形成するための導電性ペースト26を、それぞれ、所定のパターン形状に塗布する。導電性ペースト22〜26には、たとえば、銀を主成分とする導電性ペーストを用いることができる。導電性ペースト23の充填および導電性ペースト22、24、25、26の塗布は、たとえばスクリーン印刷により、同時におこなうことができる。
次に、図7(C)に示すように、セラミックグリーンシート11a〜11cを積層し、加圧して一体化し、所定のプロファイルで焼成して積層基板1を作製する。
次に、図7(D)に示すように、積層基板1の上側の主面(天面)をドリル71などで切削加工して、図8(E)に示すように、積層基板1の上側の主面にキャビティ7を形成する。このとき、キャビティ7の側壁に、接続用電極8が露出する。
次に、図8(F)に示すように、キャビティ7に、スイッチングIC S1を収容する。
次に、積層基板1を例えばリフローにより所定の温度で加熱し、はんだバンプ10を溶融させ、再び自然冷却させて固化させて、図9(G)に示すように、スイッチングIC S1の端子電極(図9(G)には図示せず)を、はんだバンプ(導電性接合材)10によって、キャビティ7の側壁に設けられた接続用電極8に接続する。このとき、スイッチングIC S1がセルフアライメントによって移動するため、端子電極と接続用電極8とが確実に接続される。なお、この工程は、図9(G)に示された積層基板1を、図における反時計回りに90度回転させ、スイッチングIC S1のはんだバンプ10が形成された主面が下側になるようにしたうえで、おこなうことが好ましい。この場合には、スイッチングIC S1のセルフアライメントが、より適正におこなわれる。
次に、図9(H)に示すように、スイッチングIC S1とキャビティ7との隙間に、樹脂21を充填する。以上により、第1実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール100が完成する。
[第2実施形態]
図10(A)、(B)に、第2実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール(ICチップ実装基板)200を示す。なお、図10(A)はDC-DCコンバータモジュール200の斜視図、図10(B)は断面図である。
DC-DCコンバータモジュール200は、第1実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール100に変更を加えた。
DC-DCコンバータモジュール100では、図1(B)に示すように、キャパシタC1、C2が、それぞれ、積層基板1の第2の非磁性体部1Cの非磁性体層1cの層間に形成された対向する1対のキャパシタ電極5によって形成されていた。DC-DCコンバータモジュール200は、これに代えて、キャパシタC1、C2を別部品として構成するとともに、積層基板1の上側の主面(天面)にランド電極36を形成して、キャパシタC1、C2をランド電極36に実装した。
また、DC-DCコンバータモジュール100では、図1(A)、(B)に示すように、スイッチングIC S1が、キャビティ7内に完全に収容されていた。DC-DCコンバータモジュール200は、これに代えて、スイッチングIC S1の一部を、キャビティ7の外部に露出させた。DC-DCコンバータモジュール200の他の構成は、DC-DCコンバータモジュール100と同じにした。
第2実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール200も、スイッチングIC S1の主面がキャビティ7の側壁に沿うように、スイッチングIC S1がキャビティ7内に収容されており、積層基板1の主面にスイッチングIC S1を実装するためのスペースを必要としないため、平面方向の大きさ(縦寸法および横寸法)が抑制されている。また、DC-DCコンバータモジュール200は、スイッチングIC S1の主面がキャビティ7の側壁に沿うように、スイッチングIC S1がキャビティ7内に収容されているため、コイルL1の形成する磁束が、スイッチングIC S1によって妨げられにくい。さらに、DC-DCコンバータモジュール200は、DC-DCコンバータモジュール100よりもキャビティ7の深さを小さくすることができるため、DC-DCコンバータモジュール100よりも積層基板1の強度が向上している。
[第3実施形態]
図11に、第3実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール(ICチップ実装基板)300を示す。なお、図11は、DC-DCコンバータモジュール300の断面図である。
DC-DCコンバータモジュール300は、第1実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール100に変更を加えた。具体的には、積層基板1の磁性体部1Bを構成する磁性体層1bのうちの1層を、非磁性体層1xに置換えた。非磁性体層1xは、非磁性体層1aや非磁性体層1cと同じ材質によって形成されている。DC-DCコンバータモジュール300の他の構成は、DC-DCコンバータモジュール100と同じにした。
第3実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール300は、非磁性体層1xを設けたことにより、コイルL1の直流重畳特性が改善されている。
以上、第1〜第3実施形態にかかるDC-DCコンバータモジュール(ICチップ実装基板)100〜300について説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って、種々の変更をなすことができる。
たとえば、第1〜第3実施形態では、ICチップ実装基板としてDC-DCコンバータモジュールを作製したが、作製される電子モジュールはDC-DCコンバータモジュールには限られない。たとえば、RFIDモジュール、RFフロントエンドモジュールなどであっても良い。
1・・・積層基板
1A・・・第1の非磁性体部
1a・・・非磁性体層
1B・・・磁性体部
1b・・・磁性体層
1C・・・第2の非磁性体部
1c・・・非磁性体層
1x・・・非磁性体層(磁性体部1Bに設けられたもの)
2・・・配線パターン
3・・・ビア電極
4・・・コイルパターン
5・・・キャパシタ電極
6・・・実装用電極
7・・・キャビティ
8・・・接続用電極
9・・・端子電極
10・・・はんだバンプ
21・・・樹脂
36・・・ランド電極
S1・・・スイッチングIC(ICチップ)
T1・・・入力端子
T2・・・出力端子
T3・・・制御端子
T4・・・グランド端子
L1・・・コイル
C1、C2・・・キャパシタ
100、200、300・・・DC-DCコンバータモジュール(ICチップ実装基板)

Claims (5)

  1. 1対の主面を有し、少なくとも一方の前記主面にキャビティが形成された基板と、
    前記キャビティ内に形成された接続用電極と、
    1対の主面を有し、一方の前記主面に端子電極が形成された板状のICチップと、を備え、
    前記ICチップが前記キャビティ内に収容され、前記端子電極が前記接続用電極に導電性接合材を介して接続されたICチップ実装基板であって、
    前記基板に、さらに、前記キャビティの深さ方向に巻回軸を有するコイルが内蔵され、
    前記キャビティは、前記コイルの内側に形成され、
    前記接続用電極が前記キャビティの側壁に形成され、前記ICチップの前記主面が前記キャビティの前記側壁に沿うように、前記ICチップが前記キャビティ内に縦方向に収容されたICチップ実装基板。
  2. 前記基板が、磁性体によって形成された磁性体部を有し、当該磁性体部内に、前記コイルが内蔵されている、請求項1に記載されたICチップ実装基板。
  3. 前記磁性体部に、前記基板の前記主面と平行な方向に広がる、非磁性体によって形成された非磁性体層が設けられた、請求項2に記載されたICチップ実装基板。
  4. 前記キャビティと前記ICチップとの隙間に樹脂が充填されている、請求項1ないし3のいずれか1項に記載されたICチップ実装基板。
  5. 前記ICチップがスイッチングICであり、DC-DCコンバータモジュールを構成し
    ている請求項1ないし4のいずれか1項に記載されたICチップ実装基板。
JP2016084858A 2016-04-20 2016-04-20 Icチップ実装基板 Active JP6707970B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016084858A JP6707970B2 (ja) 2016-04-20 2016-04-20 Icチップ実装基板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016084858A JP6707970B2 (ja) 2016-04-20 2016-04-20 Icチップ実装基板

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017195708A JP2017195708A (ja) 2017-10-26
JP6707970B2 true JP6707970B2 (ja) 2020-06-10

Family

ID=60155014

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016084858A Active JP6707970B2 (ja) 2016-04-20 2016-04-20 Icチップ実装基板

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6707970B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7159992B2 (ja) * 2019-07-29 2022-10-25 トヨタ自動車株式会社 燃料電池モジュール

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10163415A (ja) * 1996-10-04 1998-06-19 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置およびモジュール
WO2005076351A1 (ja) * 2004-02-09 2005-08-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. 部品内蔵モジュールおよびその製造方法
EP1942574B1 (en) * 2005-10-28 2017-09-27 Hitachi Metals, Ltd. Dc-dc converter
TWI530241B (zh) * 2010-03-16 2016-04-11 A multi - layer circuit board manufacturing method for embedded electronic components
JP5921074B2 (ja) * 2011-03-17 2016-05-24 株式会社村田製作所 積層基板の製造方法
JP5967028B2 (ja) * 2012-08-09 2016-08-10 株式会社村田製作所 アンテナ装置、無線通信装置およびアンテナ装置の製造方法
WO2015152333A1 (ja) * 2014-04-03 2015-10-08 株式会社村田製作所 積層型コイル部品およびモジュール部品ならびに積層型コイル部品の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017195708A (ja) 2017-10-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6508145B2 (ja) 電子部品
JP6648689B2 (ja) 積層型電子部品の製造方法および積層型電子部品
EP1895590A1 (en) Passive component and electronic component module
JP4354472B2 (ja) 電子部品モジュール
JP5517379B1 (ja) 回路モジュール
KR101883046B1 (ko) 코일 전자 부품
JP6064860B2 (ja) 複合電子部品及び複合電子部品の製造方法
JP7369546B2 (ja) コイル部品
JP6648690B2 (ja) 積層型電子部品の製造方法および積層型電子部品
KR20160019265A (ko) 칩형 코일 부품 및 그 제조방법
US9799722B1 (en) Inductive component and package structure thereof
CN108701527B (zh) 电感器部件以及电感器部件的制造方法
JP2008060427A (ja) 受動部品及び電子部品モジュール
JP6620885B2 (ja) 複合部品内蔵回路基板、及び、複合部品
JP6662204B2 (ja) 電子部品
JP2005045103A (ja) チップインダクタ
KR101823189B1 (ko) 인덕터 어셈블리
JP6489286B2 (ja) インダクタモジュール
JP2007305830A (ja) 電子部品の製造方法、電子部品、及び電子機器
JP6707970B2 (ja) Icチップ実装基板
US10091886B2 (en) Component built-in multilayer board
JP5831633B2 (ja) 積層型素子およびその製造方法
JP5716391B2 (ja) コイル内蔵基板
JP2005167468A (ja) 電子装置および半導体装置
JP6572791B2 (ja) コイル複合部品及び多層基板、ならびに、コイル複合部品の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190115

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20191122

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20191203

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200125

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200421

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200504

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6707970

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150