JP6703102B2 - 光変調器 - Google Patents
光変調器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6703102B2 JP6703102B2 JP2018520362A JP2018520362A JP6703102B2 JP 6703102 B2 JP6703102 B2 JP 6703102B2 JP 2018520362 A JP2018520362 A JP 2018520362A JP 2018520362 A JP2018520362 A JP 2018520362A JP 6703102 B2 JP6703102 B2 JP 6703102B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- optical
- shunt
- connection point
- optical modulator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 163
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 67
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 22
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 13
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/225—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure
- G02F1/2255—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure controlled by a high-frequency electromagnetic component in an electric waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/015—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements having potential barriers, e.g. having a PN or PIN junction
- G02F1/017—Structures with periodic or quasi periodic potential variation, e.g. superlattices, quantum wells
- G02F1/01708—Structures with periodic or quasi periodic potential variation, e.g. superlattices, quantum wells in an optical wavequide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/015—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements having potential barriers, e.g. having a PN or PIN junction
- G02F1/025—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements having potential barriers, e.g. having a PN or PIN junction in an optical waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/225—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure
- G02F1/2257—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference in an optical waveguide structure the optical waveguides being made of semiconducting material
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
- G02F1/212—Mach-Zehnder type
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/50—Phase-only modulation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
また、本発明に係る別の光変調器は、分岐した光を伝搬させる第1、第2の光導波路と、第1の光導波路に第1の高周波信号を入力する第1の信号電極と、第2の光導波路に、第1の高周波信号と逆相の第2の高周波信号を入力する第2の信号電極と、第1の信号電極の終端部側に接続された第1の終端抵抗と、第2の信号電極の終端部側に接続された第2の終端抵抗と、第1、第2の終端抵抗を介して第1、第2の信号電極を接続する接続点と、接続点に接続された直流電圧源と、を備え、第1の終端抵抗の抵抗値は、第1の信号電極の特性インピーダンスと等しく、第2の終端抵抗の抵抗値は、第2の信号電極の特性インピーダンスと等しく、接続点と直流電圧源とを接続する主路から分岐する少なくとも1つの分路をさらに備え、分路には第3のキャパシタが接続されている。
本発明の実施形態を説明する前に、本発明の前提となる技術を説明する。図8は、本発明の第1の前提技術における光変調器1の構成を示す図である。光変調器1は、半導体マッハツェンダー型光変調器(MZM)である。光変調器1は、第1、第2の光導波路10,20と、第1、第2の信号電極30,40と、終端抵抗140,150と、直流電圧源7とを備えている。
図1は、本実施の形態1における光変調器100の構成を示す図である。また、図2は、図1中の線分A−Aに沿った断面図である。図3は、図1中の線分B−Bに沿った断面図である。
本実施の形態1における光変調器100は、分岐した光を伝搬させる第1、第2の光導波路10,20と、第1の光導波路10に第1の高周波信号を入力する第1の信号電極30と、第2の光導波路20に、第1の高周波信号と逆相の第2の高周波信号を入力する第2の信号電極40と、第1の信号電極30の終端部9側に接続された第1の終端抵抗50と、第2の信号電極40の終端部9側に接続された第2の終端抵抗60と、第1、第2の終端抵抗50,60を介して第1、第2の信号電極30,40を接続する接続点6と、接続点6に接続された直流電圧源7と、を備え、第1の終端抵抗50の抵抗値は、第1の信号電極30の特性インピーダンスと等しく、第2の終端抵抗60の抵抗値は、第2の信号電極40の特性インピーダンスと等しい。
図4は、本実施の形態2における光変調器200の構成を示す図である。図4において、図1に示した実施の形態1における光変調器100と共通する構成要素に関しては、同一の符号を付して説明を省略する。
図5は、実施の形態2における光変調器200の変形例としての光変調器200Aを示す図である。光変調器200(図4)においては、第1の分路70および第2の分路80を各1個ずつ設けた。一方、光変調器200Aにおいては、複数の第1の分路71,72,73および複数の第2の分路81,82,83を設ける。
本実施の形態2における光変調器200は、第1の終端抵抗50と接続点6とを接続する主路から分岐する少なくとも1つの第1の分路70と、第2の終端抵抗60と接続点6とを接続する主路から分岐する少なくとも1つの第2の分路80と、をさらに備え、第1の分路70にはキャパシタ220が接続されていて、第2の分路80にはキャパシタ230が接続されている。
図6は、本実施の形態3における光変調器300の構成を示す図である。図6において、実施の形態1における光変調器100(図1)又は実施の形態2における光変調器200(図4)と共通する構成要素に関しては、同一の符号を付して説明を省略する。
図7は、実施の形態3における光変調器300の変形例としての光変調器300Aを示す図である。光変調器300(図6)においては、分路90を1個設けた。一方、光変調器300Aにおいては複数の分路91,92,93を設ける。
本実施の形態3における光変調器300は、接続点6と直流電圧源7とを接続する主路から分岐する少なくとも1つの分路90をさらに備え、分路90にはキャパシタ240が接続されている。
Claims (4)
- 分岐した光を伝搬させる第1、第2の光導波路と、
前記第1の光導波路に第1の高周波信号を入力する第1の信号電極と、
前記第2の光導波路に、前記第1の高周波信号と逆相の第2の高周波信号を入力する第2の信号電極と、
前記第1の信号電極の終端部側に接続された第1の終端抵抗と、
前記第2の信号電極の終端部側に接続された第2の終端抵抗と、
前記第1、第2の終端抵抗を介して前記第1、第2の信号電極を接続する接続点と、
前記接続点に接続された直流電圧源と、
を備え、
前記第1の終端抵抗の抵抗値は、前記第1の信号電極の特性インピーダンスと等しく、
前記第2の終端抵抗の抵抗値は、前記第2の信号電極の特性インピーダンスと等しく、
前記第1の終端抵抗と前記接続点とを接続する主路から分岐する少なくとも1つの第1の分路と、
前記第2の終端抵抗と前記接続点とを接続する主路から分岐する少なくとも1つの第2の分路と、
をさらに備え、
前記第1の分路には第1のキャパシタが接続されていて、
前記第2の分路には第2のキャパシタが接続されている、
光変調器。 - 前記少なくとも1つの第1の分路は複数であり、
複数の前記第1の分路のそれぞれに接続されている前記第1のキャパシタの容量値は互いに異なり、
前記少なくとも1つの第2の分路は複数であり、
複数の前記第2の分路のそれぞれに接続されている前記第2のキャパシタの容量値は互いに異なる、
請求項1に記載の光変調器。 - 分岐した光を伝搬させる第1、第2の光導波路と、
前記第1の光導波路に第1の高周波信号を入力する第1の信号電極と、
前記第2の光導波路に、前記第1の高周波信号と逆相の第2の高周波信号を入力する第2の信号電極と、
前記第1の信号電極の終端部側に接続された第1の終端抵抗と、
前記第2の信号電極の終端部側に接続された第2の終端抵抗と、
前記第1、第2の終端抵抗を介して前記第1、第2の信号電極を接続する接続点と、
前記接続点に接続された直流電圧源と、
を備え、
前記第1の終端抵抗の抵抗値は、前記第1の信号電極の特性インピーダンスと等しく、
前記第2の終端抵抗の抵抗値は、前記第2の信号電極の特性インピーダンスと等しく、
前記接続点と前記直流電圧源とを接続する主路から分岐する少なくとも1つの分路をさらに備え、
前記分路には第3のキャパシタが接続されている、
光変調器。 - 前記少なくとも1つの分路は複数であり、
複数の前記分路のそれぞれに接続されている前記第3のキャパシタの容量値は互いに異なる、
請求項3に記載の光変調器。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016111475 | 2016-06-03 | ||
JP2016111475 | 2016-06-03 | ||
PCT/JP2017/006805 WO2017208526A1 (ja) | 2016-06-03 | 2017-02-23 | 光変調器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017208526A1 JPWO2017208526A1 (ja) | 2018-09-13 |
JP6703102B2 true JP6703102B2 (ja) | 2020-06-03 |
Family
ID=60478281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018520362A Active JP6703102B2 (ja) | 2016-06-03 | 2017-02-23 | 光変調器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10534239B2 (ja) |
JP (1) | JP6703102B2 (ja) |
CN (1) | CN109154728B (ja) |
DE (1) | DE112017002791B4 (ja) |
WO (1) | WO2017208526A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6770549B2 (ja) * | 2018-05-16 | 2020-10-14 | 日本電信電話株式会社 | 光変調器 |
JP7091969B2 (ja) * | 2018-09-25 | 2022-06-28 | 日本電信電話株式会社 | 光変調器モジュール |
JP7139965B2 (ja) * | 2019-01-16 | 2022-09-21 | 日本電信電話株式会社 | 半導体マッハツェンダ光変調器 |
CN113424100A (zh) * | 2019-02-14 | 2021-09-21 | 日本电信电话株式会社 | 半导体马赫-曾德光学调制器和iq调制器 |
CN113875103B (zh) * | 2019-05-29 | 2024-05-10 | 三菱电机株式会社 | 光模块 |
JP7404696B2 (ja) * | 2019-07-30 | 2023-12-26 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光デバイス |
CN113625476B (zh) * | 2020-05-07 | 2024-06-18 | 华为技术有限公司 | 电光调制器、电光调制电路以及光通信设备 |
JP2022131936A (ja) * | 2021-02-26 | 2022-09-07 | Tdk株式会社 | 光変調素子および光変調器 |
GB2614523A (en) * | 2021-11-09 | 2023-07-12 | Smart Photonics Holding B V | Electro-optical modulator |
GB2619055A (en) * | 2022-05-26 | 2023-11-29 | Axenic Ltd | A travelling wave electro-optic modulator |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002328348A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Toshiba Corp | 光変調装置および交番位相化パルス発生装置 |
JP4376795B2 (ja) | 2003-03-24 | 2009-12-02 | 富士通株式会社 | 導波路型光変調器 |
US6980706B2 (en) | 2003-03-24 | 2005-12-27 | Fujitsu Limited | Waveguide optical modulator |
JP2012078759A (ja) * | 2010-10-06 | 2012-04-19 | Mitsubishi Electric Corp | 光変調器 |
EP2538272B1 (en) * | 2011-06-20 | 2014-01-01 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Electro-optic Mach-Zehnder modulator and method for fabricating an electro-optic Mach-Zehnder modulator |
JP5806174B2 (ja) | 2012-06-27 | 2015-11-10 | 日本電信電話株式会社 | マッハツェンダ光変調器を用いた光強度変調装置 |
US8948608B1 (en) * | 2012-09-27 | 2015-02-03 | Inphi Corporation | Direct-coupled driver for mach-zehnder optical modulators |
JP6217268B2 (ja) | 2013-09-13 | 2017-10-25 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | 光モジュールおよび光送信機 |
EP2876495A1 (en) * | 2013-11-25 | 2015-05-27 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Electrical line arrangement |
JP6330549B2 (ja) * | 2014-07-25 | 2018-05-30 | 住友電気工業株式会社 | 光半導体素子およびその製造方法 |
JP2017173365A (ja) | 2016-03-18 | 2017-09-28 | 日本電信電話株式会社 | 光変調器 |
-
2017
- 2017-02-23 DE DE112017002791.8T patent/DE112017002791B4/de active Active
- 2017-02-23 US US16/092,357 patent/US10534239B2/en active Active
- 2017-02-23 WO PCT/JP2017/006805 patent/WO2017208526A1/ja active Application Filing
- 2017-02-23 JP JP2018520362A patent/JP6703102B2/ja active Active
- 2017-02-23 CN CN201780031577.0A patent/CN109154728B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109154728A (zh) | 2019-01-04 |
US20190129273A1 (en) | 2019-05-02 |
DE112017002791T5 (de) | 2019-02-14 |
US10534239B2 (en) | 2020-01-14 |
WO2017208526A1 (ja) | 2017-12-07 |
DE112017002791B4 (de) | 2024-07-25 |
JPWO2017208526A1 (ja) | 2018-09-13 |
CN109154728B (zh) | 2022-03-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6703102B2 (ja) | 光変調器 | |
US9244327B2 (en) | Mach-Zehnder modulator with backplane voltage equalization | |
US9482925B2 (en) | Mach-Zehnder optical modulator with embedded active elements | |
US9606416B2 (en) | Differential TWE MZM driver for silicon photonics | |
US10678112B2 (en) | Fully differential traveling wave series push-pull mach-zehnder modulator | |
US9008469B2 (en) | Mach-zehnder optical modulator having an asymmetrically-loaded traveling wave electrode | |
JP5729303B2 (ja) | 光変調器モジュール及び光信号の変調方法 | |
JP2003530592A (ja) | 予め決められた周波数チャープを有する光変調器 | |
JP2018105975A (ja) | 光変調素子 | |
JP6701115B2 (ja) | 光送信機 | |
US8903202B1 (en) | Mach-Zehnder optical modulator having a travelling wave electrode with a distributed ground bridging structure | |
JP4917253B2 (ja) | 分布型低域フィルタ伝送線回路装置 | |
CN110573940A (zh) | 半导体马赫-曾德尔型光调制器 | |
JP2015125153A (ja) | 光モジュール | |
US9915849B2 (en) | Optical modulator | |
JP2019045666A (ja) | 半導体マッハツェンダ光変調器およびiq変調器 | |
JP2015212769A (ja) | 半導体マッハツェンダ光変調器 | |
Mao et al. | Design, analysis, and characterization of a compact silicon photonic modulator with meandered phase shifters | |
EP3477362B1 (en) | Electro-optic modulator | |
JP6145035B2 (ja) | 光変調器 | |
WO2019176665A1 (ja) | 光変調器 | |
JP6639375B2 (ja) | 光変調器 | |
WO2023248352A1 (ja) | 光変調器 | |
WO2023248360A1 (ja) | 光変調器 | |
JP5532038B2 (ja) | 光変調器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180521 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190611 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190717 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191029 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200407 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6703102 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |