JP6673651B2 - プラズマリアクタ用電源装置 - Google Patents
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Description
5 プラズマリアクタ用電源装置
31 DC電源(直流電源)
34 スナバ回路(スナバコンデンサ)
36 コンパレータ(スイッチング手段)
37 制御回路(スイッチング手段)
38 ゲートドライブ回路(スイッチング手段)
41 フライバック型昇圧トランス
42 スイッチング素子
43 一次コイル
44 二次コイル
51 コンデンサ(スナバコンデンサ)
Claims (1)
- プラズマリアクタに印加される電圧を発生するプラズマリアクタ用電源装置であって、
直流電源と、
フライバック型昇圧トランスと、
前記フライバック型昇圧トランスの一次コイル側への通電を許容する寄生ダイオードを有し、前記直流電源から前記一次コイルへの通電/遮断を切り替えるためにオン/オフされるスイッチング素子と、
前記スイッチング素子と並列に接続されたスナバコンデンサと、
ツェナーダイオードのカソードに第1の抵抗の一端を接続した直列回路により構成され、前記スイッチング素子および前記スナバコンデンサと並列に接続された電圧検出回路と、
前記スイッチング素子をオフからオンを経てオフさせた後、前記スナバコンデンサの電圧が前記一次コイルから開放されるエネルギによる前記スナバコンデンサの充電時と正負が逆の電圧であって、その絶対値が所定値以上である期間、前記スイッチング素子をオンさせるスイッチング手段とを含み、
前記スイッチング手段は、前記電圧検出回路の前記ツェナーダイオードと前記第1の抵抗との接続点が第2の抵抗を介してプラス入力端子と接続され、前記所定値の負電圧がマイナス入力端子に入力され、前記プラス入力端子に入力される電圧が前記マイナス入力端子に入力される負電圧以下であるとき、出力端子に電流が流れるコンパレータを備え、
前記コンパレータの前記出力端子に電流が流れるとき、前記スイッチング素子がオンになる、プラズマリアクタ用電源装置。
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