JP6644921B1 - 半田平坦化装置、ダイボンダ、半田平坦化方法、及びボンディング方法 - Google Patents
半田平坦化装置、ダイボンダ、半田平坦化方法、及びボンディング方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
W ワーク
1 半田供給部位
2 半田押圧面
3 半田平坦化用治具
4 水平度調整手段
5 打痕
6 観察機構
10 X方向修正機構
11 Y方向修正機構
12 中心合わせ手段
Claims (10)
- ワークの半田供給部位に供給された半田を押圧面にて押圧して平坦状とする半田平坦化用治具を備えた半田平坦化装置であって、
半田平坦化用治具の押圧面の水平度を調整する水平度調整手段と、
ワークの半田供給部位に半田が供給されていない状態で、半田平坦化用治具の半田押圧面の打痕が半田供給部位に形成され、この打痕を観察する観察機構と、
観察機構にて観察した打痕に基づいて水平度調整手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする半田平坦化装置。 - 押圧面は、矩形乃至正方形の平坦面であることを特徴とする請求項1に記載の半田平坦化装置。
- 半田供給部位に平行な平面を基準面とし、基準面内で直交する2方向をX方向とY方向とし、前記水平度調整手段は、X方向の傾きを修正するX方向修正機構と、Y方向の傾きを修正するY方向修正機構とを備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半田平坦化装置。
- X方向修正機構とY方向修正機構とは、それぞれ、モータと、このモータの駆動力を半田平坦化用治具に伝達するカム機構とを備えることを特徴とする請求項3に記載の半田平坦化装置。
- 半田平坦化用治具の押圧面の中心と半田供給部位の中心とを合わせる中心合わせ手段を備えることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の半田平坦化装置。
- 前記中心合わせ手段は、前記水平度調整手段の調整量に基づいてズレ量を算出して、そのズレ量分だけ半田平坦化用治具を移動させることを特徴とする請求項5に記載の半田平坦化装置。
- 前記請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の半田平坦化装置を具備したことを特徴とするダイボンダ。
- ワークの半田供給部位に供給された半田を半田平坦化用治具の押圧面にて押圧して平坦状とする半田平坦化方法であって、
ワークの半田供給部位に半田が供給されていない状態で、半田平坦化用治具の半田押圧面の打痕を半田供給部位に形成し、この打痕を観察して、観察した打痕に基づいて、半田平坦化用治具の押圧面の水平度の調整を行うことを特徴とする半田平坦化方法。 - 半田平坦化用治具の押圧面の中心と半田供給部位の中心とを合わせることを特徴とする請求項8に記載の半田平坦化方法。
- 前記請求項8又は請求項9に記載の半田平坦化方法にて調整された半田平坦化用治具の押圧面にて、ワークの半田供給部位に供給された半田を押圧して平坦状として、この平坦状とした半田上にチップをボンディングすることを特徴とするボンディング方法。
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