JP5981795B2 - 基板の溝加工方法及び溝加工装置 - Google Patents
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Description
この装置は、基板Wが載置されるテーブル1と、溝加工ツール(以下、単にツールと記す)2が装着されたヘッド3と、基板の姿勢確認装置としての2つのカメラ4及び2つのモニタ5と、を備えている。
図2にヘッド3を抽出して示している。ヘッド3は、板状のベース16と、ホルダ17と、エアシリンダ19と、を有している。
この溝加工装置は、各部の制御を行う制御部40を有している。図4に示すように、制御部40には、カメラ4からの画像データが入力される。また、制御部40は、ヘッド3のエアシリンダ19、テーブル1をY方向に移動するためのY方向駆動機構6a、ヘッド3をX方向に移動するためのX方向駆動機構6c、テーブル1を水平面内で回転するためのθ駆動機構6bに接続されている。
ツール2の先端部には刃が形成されている。具体的には、図2に示すように、刃の先端において、移動方向の両側には第1刃38a及び第2刃38bが形成されている。ここでは、第1刃38aが往動時に溝加工をするための刃であり、第2刃38bが復動時に溝加工をするための刃である。
以上のような装置を用いて薄膜太陽電池基板に溝加工を行う動作について、図5のフローチャートを用いて説明する。
ヘッド3の移動する加工予定ラインが、Y方向に対して所定角度だけ傾斜しているので、加工時において、加工抵抗によって揺動部材18は揺動軸の軸方向一方側に押し付けられる。このため、加工中において揺動部材18の姿勢が安定し、溝を精度よく形成することができる。
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
2 ツール
3 ヘッド
4 カメラ(基板姿勢確認装置)
6a Y方向駆動機構
6b θ駆動機構(基板姿勢制御機構)
6c X方向駆動機構
17 ホルダ
18 揺動部材
19 エアシリンダ
22 ホルダ本体(規制機構)
23 支持部材(規制機構)
36 ツール本体
38a,38b 刃
40 制御部
Claims (7)
- 基板が載置される載置面を有するテーブルと、
溝加工ツールが揺動自在に支持されX方向に延びる揺動軸と、前記溝加工ツールが前記揺動軸に沿って移動するのを規制する規制機構と、を有するヘッドと、
前記テーブルと前記ヘッドとを水平面内で前記X方向及び前記X方向と直交するY方向に相対的に移動させるための移動機構と、
前記テーブル上に載置された基板の姿勢を確認する基板姿勢確認装置と、
前記ヘッドに対する前記テーブル上の基板の姿勢を制御する基板姿勢制御機構と、
前記基板姿勢確認装置からの確認結果に基づいて、前記移動機構及び前記基板姿勢制御機構を制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、
前記テーブルに載置された基板における加工予定ラインの加工開始位置と加工終了位置とを演算する加工位置演算機能と、
前記加工位置演算機能の演算結果に基づいて前記移動機構を制御し、前記溝加工ツールを前記加工開始位置から加工終了位置まで移動させる移動制御機能と、
を有し、
前記ヘッドは、
ベースと、
前記ベースに対して上下方向に移動自在に支持されるとともに、前記溝加工ツールを保持するホルダと、
前記ホルダに保持された前記溝加工ツールを基板に対して所定の押圧力で押圧する押圧部材と、
を有し、
前記ホルダは、
ホルダ本体と、
前記ホルダ本体に固定された支持部材と、
前記ホルダ本体と前記支持部材に揺動自在に、かつ前記揺動軸の軸方向に沿って移動自在に支持され、先端に前記溝加工ツールが装着され、前記揺動軸の回りに揺動して往動位置と復動位置とを取り得る揺動部材と、
を有する、
加工装置によって、前記Y方向に延びる加工予定ラインに沿って基板表面に溝を形成する基板の溝加工方法であって、
基板の加工予定ラインが前記Y方向に対して所定の角度範囲内で傾斜するように基板をテーブル上に載置する基板載置ステップと、
前記基板の加工予定ラインの加工開始位置と加工終了位置とを演算する加工位置演算ステップと、
前記演算された加工開始位置と加工終了位置とに基づいて、溝加工ツールを前記基板に対して前記X方向及び前記Y方向に相対移動させながら加工予定ラインに沿って溝加工を実行する加工ステップと、
を含む基板の溝加工方法。 - 前記基板載置ステップは、
基板をテーブル上に載置する第1ステップと、
テーブルに載置された基板の姿勢を確認する第2ステップと、
前記基板における加工予定ラインが前記Y方向に対して所定の傾斜角度の範囲内にあるか否かを判定する第3ステップと、
前記基板の加工予定ラインが前記所定の傾斜角度範囲内でない場合に、前記所定の角度範囲内になるように前記基板の姿勢を制御する第4ステップと、
を含む、請求項1に記載の基板の溝加工方法。 - 前記第2ステップでは、テーブル上に載置された基板のアライメントマークを撮像して基板の姿勢を確認する、請求項2に記載の基板の溝加工方法。
- 前記ホルダ本体と前記支持部材との間には、前記揺動軸に支持された前記揺動部材が収容される空間が形成されており、
前記規制機構は前記ホルダ本体と前記支持部材とにより構成されている、
請求項1から3のいずれかに記載の基板の溝加工方法。 - Y方向に延びる加工予定ラインに沿って基板表面に溝を形成する溝加工装置であって、
基板が載置される載置面を有するテーブルと、
前記Y方向と直交するX方向に延びる揺動軸を有し、前記揺動軸に溝加工ツールが揺動自在に支持され、前記溝加工ツールが前記揺動軸に沿って移動するのを規制する規制機構を有するヘッドと、
前記テーブルと前記ヘッドとを水平面内で前記X方向及び前記Y方向に相対的に移動させるための移動機構と、
前記テーブル上に載置された基板の姿勢を確認する基板姿勢確認装置と、
前記ヘッドに対する前記テーブル上の基板の姿勢を制御する基板姿勢制御機構と、
前記基板姿勢確認装置からの確認結果に基づいて、前記移動機構及び前記基板姿勢制御機構を制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、
基板の加工予定ラインが前記Y方向に対して所定の角度範囲内になるように前記テーブルに載置された基板における加工予定ラインの加工開始位置と加工終了位置とを演算する加工位置演算機能と、
前記加工位置演算機能の演算結果に基づいて前記移動機構を制御し、前記溝加工ツールを前記加工開始位置から加工終了位置まで移動させる移動制御機能と、
を有し、
前記ヘッドは、
ベースと、
前記ベースに対して上下方向に移動自在に支持されるとともに、前記溝加工ツールを保持するホルダと、
前記ホルダに保持された前記溝加工ツールを基板に対して所定の押圧力で押圧する押圧部材と、
を有し、
前記ホルダは、
ホルダ本体と、
前記ホルダ本体に固定された支持部材と、
前記ホルダ本体と前記支持部材に揺動自在に、かつ前記揺動軸の軸方向に沿って移動自在に支持され、先端に前記溝加工ツールが装着され、前記揺動軸の回りに揺動して往動位置と復動位置とを取り得る揺動部材と、
を有する、
基板の溝加工装置。 - 前記溝加工装置は、
前記ヘッドに対する前記テーブル上の基板の姿勢を制御する基板姿勢制御機構をさらに備え、
前記制御手段は、
前記基板姿勢確認装置で得られた確認結果に基づいて、テーブルに載置された基板において、加工予定ラインが前記Y方向に対して所定の角度範囲内で傾斜しているか否かを判定する基板姿勢判定機能と、
前記基板の加工予定ラインが前記所定の傾斜角度範囲内でない場合に、前記基板姿勢制御機構を制御して、基板の加工予定ラインが前記所定の角度範囲内になるように前記基板の姿勢を制御する基板姿勢制御機能と、
をさらに有し、
前記基板姿勢確認装置からの確認結果に基づいて、前記基板姿勢制御機構および前記移動機構を制御する、
請求項5に記載の基板の溝加工装置。 - 前記ホルダ本体と前記支持部材との間には、前記揺動軸に支持された前記揺動部材が収容される空間が形成されており、
前記規制機構は前記ホルダ本体と前記支持部材とにより構成されている、
請求項5又は6に記載の基板の溝加工装置。
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