JP6640680B2 - 炭化珪素単結晶の製造方法 - Google Patents
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Description
SiO2+3C→SiC+2CO ・・・(1)
まず、無機珪酸質原料として非晶質のシリカ粉末を、炭素質原料としてカーボンブラック(アモルファスカーボン)を用意した。そして、これらの原料を2軸ミキサーを用いて、炭素と珪素のモル比(C/SiO2)が3.0となるように混合して、炭化珪素粉末製造用の原料を得た。
θ=tan−1[(2h/(D−d)] ・・・(2)
実施例2〜8では、実施例1で塊状物を粉砕して得られた炭化珪素粉末を、用いるふるいを変えて、粒度を表1に記載した範囲に限定した。表1に示すように、安息角は25°から41°であり、軽装かさ密度は1.01g/cm3から1.33g/cm3であった。
アチソン炉での焼成時間を2500℃以上、保持時間を18時間とし、実施例1と同様に塊状物を粉砕して得られた炭化珪素粉末を、用いるふるいを変えて、粒度を表1に記載した範囲に限定した。実施例1、2と同様の粒度に調整した。表1に示すように、安息角は、それぞれ28°,26°であり、軽装かさ密度は1.30g/cm3,1.38g/cm3であった。
実施例1と同様にして得られた炭化珪素粉末を、目開き45μm及び1700μmのふるいを用いて、粒度が45μm以上1700μm未満の範囲に限定した。安息角は32°であるが、軽装かさ密度は1.52g/cm3であり、1.5g/cm3を超えていた。
実施例1と同様にして得られた炭化珪素粉末を、目開き45μm及び4750μmのふるいを用いて、粒度が45μm以上4750μm未満の範囲に限定した。表1に示すように、安息角は34°であり、軽装かさ密度は1.41g/cm3であった。
比較例1〜4では、焼成の際に、木材チップを添加しなかったことを除いて、実施例1と同様に、アチソン炉を用いて炭化珪素粉末の焼成を行った。そして、得られた塊状物をボールミルで粉砕して、炭化珪素粉末を得た。
比較例5,6では、市販の炭化珪素粉末を、用いるふるいを変えて、粒度を表1に記載した範囲に限定した。表1に示すように、安息角はそれぞれ23°、21°であり、軽装かさ密度は1.45g/cm3、1.53g/cm3であった。
比較例7,8では、実施例1と同様に、アチソン炉を用いて炭化珪素粉末の焼成を行った。そして、得られた塊状物を強化ナイロン製ハンマーで粉砕して、炭化珪素粉末を得た。
Claims (4)
- 容器内に原料となる炭化珪素粉末を充填し、前記炭化珪素粉末を昇華させて、単結晶炭化珪素を製造する方法において、
前記炭化珪素粉末の安息角は25°以上45°以下であることを特徴する炭化珪素単結晶の製造方法。 - 前記炭化珪素粉末の安息角は30°以上40°以下であることを特徴する請求項1に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 前記炭化珪素粉末の軽装かさ密度は0.8g/cm3以上1.5g/cm3以下であることを特徴する請求項1又は2に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
- 前記炭化珪素粉末の粒度範囲は、45μm以上3350μm未満であることを特徴する請求項1から3の何れか1項に記載の炭化珪素単結晶の製造方法。
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