JP6778100B2 - 炭化珪素粉末及びこれを原料とする炭化珪素単結晶の製造方法 - Google Patents
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SiO2+3C→SiC+2CO ・・・(1)
まず、無機珪酸質原料として太平洋セメント株式会社製の非晶質のシリカ粉末を用意した。このシリカ粉末は、粒径が2mmであり、不純物を測定した結果、ホウ素を0.5ppm、リンを1.0ppm未満、アルミニウムを0.5ppm、鉄を0.5ppm、チタンを0.6ppm、それぞれ含有していた。炭素質原料として東海カーボン株式会社製のカーボンブラック(アモルファスカーボン、商品名シーストV)を用意した。
実施例2では、実施例1で塊状物を粉砕して得られた炭化珪素粉末を、ジョークラッシャー、トップグラインダ及びボールミルを用いて2mm以下に粉砕した。次に、自動篩機を用いて、この粉砕物を、0.9mm以上1.5mm未満の粉体A、150μm以上0.5mm以下の粉体B、44μm以下の粉体Cに分離した。
実施例3では、実施例1で塊状物を粉砕して得られた炭化珪素粉末を、実施例2と同様に、ジョークラッシャー、トップグラインダ及びボールミルを用いて2mm以下に粉砕した。ただし、ボールミルの運転時間を、実施例2と比較して30分短縮した。次に、自動篩機を用いて、この粉砕物を、1.0mm以上2.0mm未満の粉体A、350μm以上1.0mm以下の粉体Bに分離した。
比較例1では、実施例1で塊状物を粉砕して得られた炭化珪素粉末を、実施例1と同様にして2mm以下に粉砕した。このように粉砕されたままの炭化珪素粉末の初期かさ密度は1.20g/cm3、タップかさ密度は1.23g/cm3、ブレーン比表面積は360cm2/g、粒度が44μm以下の粉末の割合は1.7%であった。
比較例2では、実施例1で塊状物を粉砕して得られた炭化珪素粉末を、実施例2と同様に、ジョークラッシャー、トップグラインダ及びボールミルを用いて2mm以下に粉砕した。ただし、ボールミルの運転時間を、実施例2と比較して2時間延長した。次に、自動篩機を用いて、この粉砕物を、600μm以上1.0mm未満の粉体A、150μm以上400μm以下の粉体B、44μm以下の粉体Cに分離した。
比較例3では、実施例1で塊状物を粉砕して得られた炭化珪素粉末を、比較例2と同様に、ジョークラッシャー、トップグラインダ及びボールミルを用いて2mm以下に粉砕した。ただし、ボールミルの運転時間を、比較例2と比較して1時間延長した。このように粉砕されたままのの炭化珪素粉末の初期かさ密度は1.51g/cm3、タップかさ密度は1.55g/cm3、ブレーン比表面積は450cm2/g、粒度が44μm以下の粉末の割合は2.5%であった。
比較例4では、実施例1で塊状物を粉砕して得られた炭化珪素粉末を、比較例1と同様に、ジョークラッシャー、トップグラインダ及びジェットミルを用いて2mm以下に粉砕した。ただし、ジェットミルで粉砕を行う際、比較例1よりも粉砕エアを低圧に設定した。このように粉砕されたままのの炭化珪素粉末の初期かさ密度は0.79g/cm3、タップかさ密度は0.82g/cm3、ブレーン比表面積は340cm2/g、粒度が44μm以下の粉末の割合は2.6%であった。
Claims (4)
- 初期かさ密度が0.85g/cm3以上1.75g/cm3以下、タップかさ密度が0.9g/cm3以上1.8g/cm3以下、ブレーン比表面積が300cm2/g以上400cm2/g以下である炭化珪素粉末であって、
44μmを超え2000μm以下の粒度範囲である前記炭化珪素粉末の割合が98.5%以上、44μm以下の粒度範囲である前記炭化珪素粉末の割合が1.5%以下であることを特徴とする炭化珪素粉末。 - ホウ素、リン、アルミニウム、鉄及びチタンのそれぞれの含有率が、1.0ppm以下であることを特徴する請求項1に記載の炭化珪素粉末。
- 初期かさ密度とタップかさ密度との差が0.05g/cm3以上0.1g/cm3以下であることを特徴する請求項1又は2に記載の炭化珪素粉末。
- 請求項1から3の何れか1項に記載の炭化珪素粉末を原料として容器内に充填し、前記炭化珪素粉末を昇華させて、炭化珪素単結晶を製造することを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。
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