JP6632627B2 - ナノ結晶質の磁性合金およびその熱処理の方法 - Google Patents

ナノ結晶質の磁性合金およびその熱処理の方法 Download PDF

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Description

[0001]本発明の態様は、高い飽和磁気誘導、低い保磁力および低い鉄損を有するナノ結晶質の磁性合金、この合金をベースとする磁性部材、およびその熱処理の方法に関する。
[0002]結晶質のケイ素鋼、フェライト、コバルト基の非晶質軟質磁性合金、鉄基で非晶質かつナノ結晶質の合金は、誘導磁力計、電気チョークコイル、パルス電源装置、変圧器、モーター、発電機、電流センサー、アンテナ用磁心および電磁波遮断シートにおいて広く用いられてきた。広く用いられているケイ素鋼は安価で、高い飽和磁気誘導を示すが、しかし、高い周波数において損失が多い。高い磁気損失の理由の一つは、それらの保磁力Hが約5A/mと高いことである。フェライトは低い飽和磁気誘導を有し、従って、高出力の誘導磁力計において用いられるときに磁気的に飽和する。コバルト基の非晶質合金は比較的高価であり、通常1T未満の飽和磁気誘導をもたらす。コバルト基の非晶質合金から構成された磁性部材は、それらの低い飽和磁気誘導の故に、低いレベルの動作磁気誘導(これは飽和磁気誘導Bよりも低い)を補うために大きなものである必要がある。鉄基の非晶質合金は1.5〜1.6TのBを有し、これはケイ素鋼についての約2TのBよりも低い。以上で要約したように、1.6Tを超える飽和磁気誘導と5A/m未満の保磁力Hを有する磁性合金が、明らかに必要とされている。
[0003]高い飽和磁気誘導と低い保磁力を有する鉄基のナノ結晶質合金が、国際出願の特許公開公報WO2007/032531号(以下、「’531公報」と呼ぶ)において教示されている。この合金は、Fe100−x−y−zCu(X:Si、S、C、P、Al、Ge、Ga、およびBeからなる群からの少なくとも一つ)(ここで、x、y、zについては0.1≦x≦3、10≦y≦20、0<z≦10、および10<y+z≦24(全て原子パーセント))の化学組成を有し、また60nm未満の平均直径を有する結晶質粒子が分散していて合金の30容積パーセントよりも多くを占めている局所的構造を有する。この合金は銅を含有するが、しかし、合金中でのその技術的な役割は明確には示されていない。’531公報の時点においては、銅の原子はナノ結晶のための種として提供される原子のクラスターを形成し、ナノ結晶は材料を製造した後の熱処理によってサイズを大きくして、これにより’531公報に定義された局所的構造を有するようになる、と考えられた。加えて、銅の混合の熱は一般的な冶金上の法則に従って鉄とともに正になるために銅のクラスターは溶融した合金の中に存在することができ、このことが溶融した合金における銅の上方の含有量を決定する、と考えられた。しかし、急速に凝固する間に銅はその固溶限に達し、そのために析出し、そしてナノ結晶化のプロセスを開始する、ということが後に明らかになった。過冷条件の下では、急速に凝固するときに初期のナノ結晶化を可能にするような想定される局所的な原子構造を達成するためには、銅の含有量xは1.2と1.6の間でなければならない。従って、’531公報における0.1≦x≦3という銅の含有量の範囲は大きく低減された。実際のところ、’531公報の合金は部分的な結晶化のために脆いことが見いだされ、従って、得られた磁気特性は許容できるものではあったが、扱うことが困難であった。加えて、’531公報の合金についての急冷凝固の条件は凝固速度によって大きく変化したので、安定した材料の鋳造は困難であることが見いだされた。従って、’531公報の製品を上回る改良が望まれている。
国際公開WO2007/032531号
[0004] ’531公報の製品を上回るような改良の過程において、本発明の態様に従う合金において、鋳造によらない微細な結晶粒子を最初に有する合金を急速に加熱することによって、微細なナノ結晶構造が形成されることが見いだされた。また、熱処理した合金は、1.7Tを超える高い飽和磁気誘導といった、優れた軟質の磁気特性を示すことも見いだされた。
[0005]本発明の態様に従う合金におけるナノ結晶化の機構は、PやNbのようなガラス形成元素を他の元素で置き換えることによって、結晶化の際に合金中に形成される非晶質相の熱安定性が向上するという点で、関連する技術分野の合金(例えば、米国特許8007600号および国際特許公開WO2008/133301号を参照)の機構とは異なる。さらに、元素の置換によって、熱処理の間に析出する結晶質粒子の成長が抑制される。加えて、合金リボンの急速な加熱は材料中の原子の拡散速度を低下させ、その結果、結晶の核形成位置の数が低減する。元素のPがその純度を材料中で維持するのは困難である。Pは300℃未満の温度で拡散する傾向があり、それにより合金の熱安定性が低下する。従って、Pはこの合金において望ましい元素ではない。NbやMoのような元素はガラス質または非晶質の状態にあるFe基合金の成形性を改善することで知られているが、しかし、それらは非磁性であってそれらの原子サイズは大きいので、合金の飽和磁気誘導を低下させる傾向がある。従って、望ましい合金においてはこれらの元素の含有量は可能な限り低くするべきである。
[0006]本発明の一つの側面は、合金の熱処理を行う際の加熱速度を増大させ、それによりナノ結晶化材料における鉄心損失のような磁気損失を低減し、改善した性能を有する磁性部材が得られるようなプロセスを開発することである。
[0007]前の段落で記述した成分元素の効果を考慮すると、合金は、Fe100−x−y−zCuSiの化学組成を有することができ、ここで、0.6≦x<1.2、10≦y≦20、0<z≦10、10≦(y+z)≦24であり、数値は原子パーセントである。この合金は、米国特許4142571号において教示される急冷凝固方法によってリボン状に鋳造することができる。
[0008]前の段落で示した化学組成を有する急冷凝固したリボンは、最初に450℃と500℃の間の温度でこのリボンをチャンバ内で金属またはセラミックの表面に直接接触させ、次いで、10℃/秒の加熱速度で300℃を超えるまでリボンを急速加熱することによって熱処理することができる。一次焼鈍温度のプロフィールの一例を図1の左側に示す。この図において、500℃における一次焼鈍に対する1秒の時間帯は「A」で示される。
[0009]上で説明した熱処理プロセスは、40nm未満の平均の粒子サイズを有するナノ結晶が非晶質のマトリックスの中に30容積パーセントよりも多くを占めるように分散している局所的構造を生成し、またリボンの曲率半径は200mmよりも大きかった。
[0010]上述したナノ結晶を有する熱処理したリボンは、80A/mにおいて1.6Tを超える磁気誘導、1.7Tを超える飽和磁気誘導および6.5A/m未満の保磁力Hを有する。加えて、この熱処理したリボンは1.5Tおよび50Hzにおいて0.27W/kg未満の鉄心損失を示した。
[0011]本発明の第1の態様によれば、ナノ結晶質合金のリボンは、
で表される合金組成を有し、ここで0.6≦x≦1.2、10≦y≦20、0<z≦10、10≦(y+z)≦24、0≦a≦10、0≦b≦5、そして残部はFeおよび付随的不純物であり、またAはNi、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、TaおよびWから選択される少なくとも一つの元素である任意の含有物であり、またXはRe、Y、Zn、As、In、Snおよび希土類元素から選択される少なくとも一つの元素である任意の含有物であり、全ての数値は原子パーセントであり、またこのリボンは非晶質のマトリックスの中に分散している40nm未満の平均の粒子サイズのナノ結晶を有する局所的構造を有し、ナノ結晶はリボンの30容積パーセントよりも多くを占めていて、そしてリボンは少なくとも200mmのリボン曲率半径を有する。
[0012]本発明の第2の態様において、本発明の第1の態様に係るナノ結晶質合金のリボンは0.92〜0.98のB80/B比を有し、ここでB80は80A/mにおける磁気誘導である。
[0013]本発明の第3の態様において、本発明の第1または第2の態様に係るナノ結晶質合金のリボンは80A/mにおいて1.6Tを超える磁気誘導、1.7Tを超える飽和磁気誘導Bおよび6.5A/m未満の保磁力Hを有する。
[0014]本発明の第4の態様において、本発明の第1から第3までの態様のいずれかに係るナノ結晶質合金のリボンは熱処理されていて、そして1.5Tおよび50Hzにおいて0.27W/kg未満の鉄心損失を示す。
[0015]本発明の第5の態様において、本発明の第1から第4までの態様のいずれかに係るナノ結晶質合金のリボンにおいて、Feの含有量は75原子パーセントを超えるか、好ましくは77原子パーセントを超えるか、より好ましくは78原子パーセントを超える。
[0016]本発明の第6の態様において、本発明の第1から第5までの態様のいずれかに係るナノ結晶質合金のリボンにおいて、合金の組成は元素Fe、Cu、BおよびSiおよび付随的不純物からなる。
[0017]本発明の第7の態様において、本発明の第1から第6までの態様のいずれかに係るナノ結晶質合金のリボンにおいて、「a」は0.01原子パーセントから10原子パーセントまでの範囲、好ましくは0.01原子パーセントから3原子パーセントまでの範囲である。
[0018]本発明の第8の態様において、第7の態様に係るナノ結晶質合金のリボンにおいて、「a」は0.01原子パーセントから1.5原子パーセントまでの範囲である。
[0019]本発明の第9の態様において、本発明の第1から第8までの態様のいずれかに係るナノ結晶質合金のリボンにおいて、合金の組成におけるNb、Zr、TaおよびHfの全体の含有量は0.4原子パーセント未満、好ましくは0.3原子パーセント未満である。
[0020]本発明の第10の態様において、本発明の第1から第9までの態様のいずれかに係るナノ結晶質合金のリボンにおいて、bは2.0原子パーセント未満である。
[0021]本発明の第11の態様において、本発明の第1から第10までの態様のいずれかに係るナノ結晶質合金のリボンにおいて、bは1.0原子パーセント未満である。
[0022]本発明の第12の態様において、本発明の第1から第11までの態様のいずれかに係るナノ結晶質合金のリボンは、最初に、50℃/秒よりも大きな平均の加熱速度で、少なくとも室温から、好ましくは300℃から、430℃を超えて、好ましくは450℃よりも高く、そして550℃未満、好ましくは520℃未満の所定の保持温度まで熱処理されていて、このとき保持時間は90分未満、好ましくは30分未満である。
[0023]本発明の第13の態様において、本発明の第12の態様に係るナノ結晶質合金のリボンは、最初に、50℃/秒よりも大きな平均の加熱速度で、300℃から、450℃を超えて520℃未満の所定の保持温度まで熱処理されていて、このとき保持時間は10分未満である。
[0024]本発明の第14の態様において、本発明の第12または第13の態様に係るナノ結晶質合金のリボンは、熱処理を行う間に加えられる磁界を用いて処理されていて、加えられる磁界はリボンを磁気的に飽和させるのに十分なほどに高く、それは好ましくはDC(直流)、AC(交流)またはパルスの形のいずれかで0.8kA/mよりも高く、そして加えられる磁界の方向は四角形、円形または線形のBHループの必要性に応じて予め決定される。
[0025]本発明の第15の態様において、本発明の第12または第13の態様に係るナノ結晶質合金のリボンは、リボンに加えられる1MPaよりも大きくて500MPa未満の機械的な張力を用いて製造されたものである。
[0026]本発明の第16の態様において、本発明の第12から第15までの態様のいずれかに係るナノ結晶質合金のリボンは、400℃と500℃の間の温度で30分よりも短い時間にわたって行われる二次の熱処理で処理されたものである。
[0027]本発明の第17の態様において、方法には以下のことが含まれる:ナノ結晶質合金のリボンを50℃/秒よりも大きな平均の加熱速度で、室温またはそれよりも高い温度から、430℃から530℃までの範囲の所定の保持温度まで加熱し、このリボンは、
で表される合金組成を有し、ここで0.6≦x<1.2、10≦y≦20、0<z≦10、10≦(y+z)≦24、0≦a≦10、0≦b≦5、そして残部はFeおよび付随的不純物であり、またAはNi、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、TaおよびWから選択される少なくとも一つの元素である任意の含有物であり、またXはRe、Y、Zn、As、In、Snおよび希土類元素から選択される少なくとも一つの元素である任意の含有物であり、全ての数値は原子パーセントであり、そしてリボンを保持温度において90分未満にわたって保持する。
[0028]本発明の第18の態様において、本発明の第17の態様に係る方法において、加熱速度は80℃/秒から100℃/秒までの範囲である。
[0029]本発明の第19の態様において、本発明の第17または第18の態様に係る方法において、加熱と保持の合わせた時間は3秒から15秒までである。
[0030]本発明の第20の態様において、本発明の第17から第19までの態様のいずれかに係る方法において、熱処理を行う間に磁界が加えられ、その加えられる磁界はリボンを磁気的に飽和させるのに十分なほどに高く、それは好ましくはDC、ACまたはパルスの形のいずれかで0.8kA/mよりも高く、そして加えられる磁界の方向は四角形、円形または線形のBHループの必要性に応じて予め決定される。
[0031]本発明の第21の態様において、本発明の第17から第19までの態様のいずれかに係る方法において、加熱を行う間に1MPaから500MPaまでの範囲の機械的な張力が加えられる。
[0032]本発明の第22の態様において、本発明の第17から第21までの態様のいずれかに係る方法において、加熱は6%と18%の間の酸素ガスの含有量、またはより好ましくは8%と15%の間の酸素ガスの含有量を有する環境の中で行われる。
[0033]本発明の第23の態様において、本発明の第17から第22までの態様のいずれかに係る方法において、酸素ガスの含有量は9%と13%の間である。
[0034]本発明の第24の態様において、本発明の第17から第23までの態様のいずれかに係る方法は、加熱した後に、400℃と500℃の間の温度で30分またはそれよりも短い時間にわたって第二の加熱を行うことをさらに含む。
[0035]本発明の別の態様において、ナノ結晶質合金のリボンは、0.6ないし1.2原子パーセントの量のCu、10ないし20原子パーセントの量のB、および0原子パーセントよりも多く10原子パーセントまでの量のSi(BとSiは10ないし24原子パーセントの合わせた含有量を有する)を含む鉄基合金の組成と、非晶質のマトリックスの中に分散している40nm未満の平均の粒子サイズのナノ結晶を有する局所的構造を有し、ナノ結晶はリボンの30容積パーセントよりも多くを占めていて、そしてリボンは少なくとも200mmのリボン曲率半径を有する。本発明のこの態様に係るナノ結晶質合金のリボンは、上で論じた第1から第16までの(1.7Tを超える飽和磁気誘導B、80A/mにおいて1.6Tを超える磁気誘導、および6.5A/m未満の保磁力Hのような磁気特性を含めた)態様あるいは本明細書の他の箇所で論じている態様の特徴のうちの一つ以上を含むか、あるいは満たしていてもよい。
[0036]本発明の別の態様において、ナノ結晶質合金のリボンは、
で表される合金組成を有し、ここで0.6≦x<1.2、10≦y≦20、0<z≦10、10≦(y+z)≦24、0≦a≦10、0≦b≦5、そして残部はFeおよび付随的不純物であり、またAはNi、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、P、C、AuおよびAgから選択される少なくとも一つの元素である任意の含有物であり、またXはRe、Y、Zn、As、In、Snおよび希土類元素から選択される少なくとも一つの元素である任意の含有物であり、全ての数値は原子パーセントであり、またこのリボンは非晶質のマトリックスの中に分散している40nm未満の平均の粒子サイズのナノ結晶を有する局所的構造を有し、ナノ結晶はリボンの30容積パーセントよりも多くを占めていて、そしてリボンは少なくとも200mmのリボン曲率半径を有する。本発明のこの態様に係るナノ結晶質合金のリボンは、上で論じた第1から第16までの(1.7Tを超える飽和磁気誘導B、80A/mにおいて1.6Tを超える磁気誘導、および6.5A/m未満の保磁力Hのような磁気特性を含めた)態様あるいは本明細書の他の箇所で論じている態様の特徴のうちの一つ以上を含むか、あるいは満たしていてもよい。
[0037]実施態様についての以下の詳細な説明および添付する図面について論究することによって、本発明はより十分に理解され、またさらなる利点が明らかになるだろう。
[0038]図1は、左側に一次焼鈍についての温度プロフィールを示し、右側に二次焼鈍についての温度プロフィールを示している。500℃における約1秒の保持時間および430℃における約90分の保持時間の例は、それぞれ「A」および「B」で示される。 [0039]図2は本発明の態様の熱処理したリボンのB-H挙動を例示していて、ここで、Hは加えた磁界であり、Bは生じた磁気誘導である。 [0040]図3A、3Bおよび3Cは、本発明の態様の熱処理したリボンの平らな表面(図3A)、くぼんだ表面(図3B)および凸状の表面(図3C)について観察された磁区構造を示す。 [0041]図4は、図3Cに示す1、2、3、4、5および6の箇所における詳細な磁区パターンを示す。 [0042]図5Aおよび5Bは、最初に470℃の加熱浴の中で15秒にわたって50℃/sの加熱速度で焼鈍し(点線)、次いで、1.5kA/mの磁界の中で5400秒にわたって430℃で二次焼鈍を行ったFe81CuMo0.2Si13.8合金の5プライ(5層)のリボンのサンプルについて得られたBH挙動(図5A)、および最初に481℃の加熱浴の中で8秒にわたって3MPaの張力を用いて50℃/sの加熱速度で焼鈍し(点線)、次いで、1.5kA/mの磁界を用いて5400秒にわたって430℃で二次焼鈍を行った同じ組成を有するサンプルについて得られたBH挙動(図5B)を示す。
[0043]本発明の態様において用いられる延性金属のリボンは、米国特許4142571号に記載された急冷凝固方法によって鋳造することができる。リボンの形状は、リボンを製造した後の熱処理に適していて、この熱処理は鋳造したリボンの磁気特性を制御するために用いられる。
[0044]リボンのこの組成は、0.6ないし1.2原子パーセントの量のCu、10ないし20原子パーセントの量のB、および0原子パーセントよりも多く10原子パーセントまでの量のSi(BとSiの合わせた含有量は10ないし24原子パーセントの範囲である)を含む鉄基合金の組成とすることができる。この合金はまた、Ni、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、P、C、AuおよびAgの群から選択される少なくとも一つの元素を0.01〜10原子パーセントまでの量で含んでいてもよい(この範囲には0.01〜3原子%および0.01〜1.5原子%の範囲の値といった値が含まれる)。組成の中にNiが含まれるとき、Niは0.1〜2または0.5〜1原子パーセントの範囲であってもよい。Coが含まれるとき、Coは0.1〜2または0.5〜1原子パーセントの範囲で含まれていてもよい。Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、TaおよびWの群から選択される元素が含まれるとき、これらの元素の合計の含有量は、合計で0.4原子パーセント未満(これには0.3未満および0.2未満のいかなる値も含まれる)のいかなる値であってもよい。この合金はまた、Re、Y、Zn、As、In、Sn、および希土類元素の群から選択される少なくとも一つの元素を5原子パーセント以下および未満の任意の値の量で含んでいてもよい(これには2、1.5および1原子パーセント以下および未満の値も含まれる)。
[0045]Ni、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、P、C、AuおよびAgの群から選択される少なくとも一つの元素についての上述した範囲(これにはCoおよびNiについての個々の所定の範囲も含まれる)の各々は、Re、Y、Zn、As、In、Sn、および希土類元素の群から選択される少なくとも一つの元素についての上記の所定の範囲の各々と共存していてもよい。上記の組成の構成のいずれにおいても、PおよびNbの元素は合金組成から排除されうる。上で論じたものを含めて、組成の変化のいずれにおいても、Feならびに全ての付随的または不可避の不純物は、100の合計の原子パーセントを構成するための残部の構成要素であるか、または実質的に構成要素となりうる。上で論じたものを含めて、組成の変化のいずれにおいても、Feの含有量は少なくとも75、77または78原子パーセントの量とすることができる。
[0046]本発明の態様に適した一つの組成範囲の例は、80〜82原子%のFe、0.8〜1.1原子%または0.9〜1.1原子%のCu、3〜5原子%のSi、12〜15原子%のB、およびNi、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、P、C、AuおよびAgの群から選択される一つ以上の元素で構成されるものを合わせて0〜0.5原子%であり、上述した原子パーセントは、付随的または不可避の不純物は別として、合計で100原子%となるように選択される。
[0047]合金の組成は、前の三つの段落において具体的に列挙した所定の範囲の元素ならびに付随的または不可避の不純物だけから成るか、あるいは実質的に成っていてもよい。合金の組成はまた、Fe、Cu、B、およびSiの元素の(これら特定の元素についての)上記の所定の範囲ならびに付随的または不可避の不純物だけから成るか、あるいは実質的に成っていてもよい。実際的に不可避な不純物を含めて、いかなる付随的不純物の存在も、ここで権利請求するいかなる組成によっても排除されない。選択成分(Ni、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、P、C、Au、Ag、Re、Y、Zn、As、In、Sn、および希土類元素)のいずれかが存在する場合、それらは少なくとも0.01原子%の量で存在しうる。
[0048]本発明の態様において、リボンの化学組成は、Fe100−x−y−zCuSiで表すことができて、ここで、0.6≦x<1.2、10≦y≦20、0<z≦10、10≦(y+z)≦24であり、全ての数値は原子パーセントである。
[0049]0.6≦x<1.2のCu含有量が用いられるが、その理由は、x≧1.2の場合、Cu原子が形成するクラスターはbccFeの微細な結晶質粒子のための種として役立つからである。そのようなクラスターのサイズは熱処理したリボンの磁気特性に影響を及ぼしたが、そのサイズを制御するのは困難であった。従って、xは1.2原子パーセント未満になるように設定される。熱処理によってリボンにナノ結晶化を誘導するためには特定の量のCuが必要であったため、それはCu≧0.6と決定された。
[0050]非晶質のFe-B-Siマトリックスにおける混合の正の熱(positive heat)のために、Cu原子は密集して、マトリックスとCuクラスター相の間の境界エネルギーを低下させる傾向があった。先行技術の合金において、合金中でのCu原子の拡散を制御するために、PやNbなどの元素が添加された。これらの元素は熱処理したリボンにおける飽和磁気誘導を低下させたので、本発明の態様においては合金中で排除するか、または最小限にしてもよい。従って、PおよびNbの元素のいずれか一方または両者は合金中に存在しなくてもよいか、あるいは、偶発的または不可避的な量を除けば存在しなくてもよい。あるいは、Pが存在しない代わりに、Pは本明細書で論じている最小限の量で含まれていてもよい。
[0051]前に説明したように合金にPまたはNbを添加することによってCuの拡散を制御する代わりに、リボンを急速に加熱することによってCu原子が拡散するのに十分な時間を与えないようなやり方で、熱処理のプロセスが修正された。
[0052]前に提示したFe100−x−y−zCuSi(0.6≦x<1.2、10≦y≦20、0<z≦10、10≦(y+z)≦24)という組成において、bcc-Feのナノ結晶を含む熱処理した合金において1.7Tよりも大きな飽和磁気誘導を達成するために、(このような飽和磁気誘導が望ましい場合は)Feの含有量は、75原子パーセント、好ましくは77原子パーセント、より好ましくは78原子パーセントを超えるか、あるいは少なくともこれらの値であるべきである。Feの含有量が1.7Tを超える飽和磁気誘導を達成するのに十分である限りは、Feの原材料の中に通常見いだされる付随的不純物は許容可能であった。75、77または78原子パーセントよりも多いFeのこれらの量は、以下で論じるNi、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、P、C、Au、およびAgの含有物、およびRe、Y、Zn、As、In、Sn、および希土類元素の含有物とは無関係に、本開示のいかなる組成においても実施することができる。
[0053]前に提示したFe100−x−y−zCuSi(0.6≦x<1.2、10≦y≦20、0<z≦10、10≦(y+z)≦24)という組成において、Fe100−x−y−z によって示されるFeの含有量の0.01原子パーセントから10原子パーセントまで、好ましくは0.01〜3原子パーセントまで、最も好ましくは0.01〜1.5原子パーセントまでは、Ni、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、P、C、Au、およびAgの群から選択される少なくとも一つで置換されていてもよい。Ni、Mn、Co、VおよびCrなどの元素は熱処理したリボンの非晶質相の中で合金化する傾向があり、その結果、微細な粒子サイズを有するFeに富むナノ結晶が生じ、ひいては飽和磁気誘導を増大させ、そして熱処理したリボンの軟磁性を向上させる。これらの元素の存在は(以下で論じる個々の元素の範囲を含めて)、75、77または78原子パーセントよりも多い量である合計のFe含有量との組み合わせにおいて存在してもよい。
[0054]上述したFeの置換元素であるNi、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、P、C、Au、およびAgのうち、CoとNiの添加はCu含有量を増大させ、その結果、熱処理したリボンにおいて微細なナノ結晶を生じさせ、ひいては、リボンの軟磁性を改善した。Niの場合、その含有量は好ましくは0.1原子パーセントから2原子パーセントまで、より好ましくは0.5ないし1原子パーセントであった。Niの含有量が0.1原子パーセント未満のとき、リボンの加工適正が劣った。Niの含有量が2原子パーセントを超えると、リボンにおける飽和磁気誘導と保磁力が低下した。Coの場合、Coの含有量は好ましくは0.1原子パーセントと2原子パーセントの間であり、より好ましくは0.5原子パーセントと1原子パーセントの間であった。
[0055]さらに、上述したFeの置換元素であるNi、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、P、C、Au、およびAgのうち、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、TaおよびWなどの元素は熱処理したリボンの非晶質相の中で合金化する傾向があり、非晶質相の安定性に寄与し、また熱処理したリボンの軟磁性を改善した。しかし、これらの元素の原子サイズはFeのような他の遷移金属よりも大きく、それらの含有量が多い場合は、熱処理したリボンにおける軟磁性は低下した。従って、これらの元素の含有量は合計で0.4原子パーセント未満、好ましくは0.3原子パーセント未満、またはより好ましくは0.2原子パーセント未満であろう。
[0056]前に提示したFe100−x−y−zCuSi(0.6≦x<1.2、10≦y≦20、0<z≦10、10≦(y+z)≦24)という組成において、Fe100−x−y−z によって示されるFeの5原子パーセント未満、より好ましくは2原子パーセント未満はRe、Y、Zn、As、In、Sn、および希土類元素の群からの少なくとも一つで置換されてもよい。高い飽和磁気誘導が望ましいときは、これらの元素の含有量は好ましくは1.5原子パーセント未満、より好ましくは1.0原子パーセント未満であった。これらの元素の存在は(以下で論じる個々の元素の範囲を含めて)、上述した含有物であるNi、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、P、C、Au、およびAgの群から選択される少なくとも一つとの組み合わせにおいて存在してもよく、このとき、合計のFeの含有量は75、77または78原子パーセントよりも多い量である。
[0057]Fe100−x−y−zCuSi(0.6≦x<1.2、10≦y≦20、0<z≦10、10≦(y+z)≦24)の組成を有する急冷凝固したリボンは、最初に10℃/秒を超える加熱速度で所定の保持温度までリボンを加熱することによって熱処理された。保持温度が300℃に近いとき、加熱速度は概して10℃/秒を超えなければならなかった。というのは、それは熱処理したリボンにおける磁気特性にかなり影響を及ぼしたからである。保持温度は(Tx2−50)℃を超えることが好ましかったが、ここで、Tx2は結晶質の粒子が析出した温度である。保持温度は430℃よりも高いことが好ましかった。保持温度が430℃よりも低いとき、析出とそれに続く微細な結晶粒子の成長は十分なものではなかった。しかし、最も高い保持温度は530℃よりも低く、これはFe100−x−y−zCuSi(0.6≦x<1.2、10≦y≦20、0<z≦10、10≦(y+z)≦24、x+y+z=100)の合金のTx2に相当する。保持時間は90分未満であることが好ましく、より好ましくは60分未満、さらに好ましくは10分未満であった。保持時間は理想的には一次焼鈍のための保持時間と同程度に短くてもよいが、最も短い時間は約1秒である。90分の保持時間を用いる二次焼鈍についての温度プロフィールを図1に示す。これにおいて、90分の保持時間は「B」で示される。上のプロセスの幾つかの例を実施例1および2に提示する。
[0058]上の段落に示す熱処理の環境は空気であってもよい。しかし、熱処理を行う間に形成される酸化物の層を制御するために、環境の酸素含有量は、好ましくは6%と18%の間、より好ましくは8%と15%の間、そしてさらに好ましくは9%と13%の間であった。環境の雰囲気は酸素と窒素、アルゴンおよびヘリウムなどの不活性ガスとの混合物であった。環境の雰囲気の露点は好ましくは−30℃未満、より好ましくは−60℃未満であった。
[0059]熱処理のプロセスにおいて、リボンに磁気異方性を誘起させるために磁界が加えられた。加えられた磁界はリボンを磁気的に飽和させるのに十分なほどに高いものであったが、それは好ましくは0.8kA/mよりも高かった。加えられた磁界はDC(直流)、AC(交流)またはパルスの形のいずれかであった。熱処理を行う間に加えられた磁界の方向は、四角形、円形または線形のBHループの必要性に応じて予め決定された。加えた磁界がゼロのとき、中程度の角形比を伴うBH挙動が生じた。磁気異方性は磁性材料において磁気損失のような磁気的性能を制御するのに重要な因子であり、本発明の態様の合金の熱処理によって磁気異方性を制御するのが容易であることが有利であった。実施例3は上のプロセスによって得られた幾つかの結果(図5A)を示す。
[0060]熱処理の間に適用される磁界の代わりに、機械的な張力が加えられた。これにより、熱処理したリボンにおいて張力で誘起される磁気異方性が生じた。有効な張力は1MPaよりも大きく500MPa未満であった。
[0061]磁界誘起の磁気異方性を含むプロセスと張力誘起の磁気異方性を含むプロセスのさらなる修正において、前の二つの段落の一次熱処理に続く二次熱処理がリボンに適用された。二次熱処理は400℃と500℃の間の温度で行われ、その時間は30分よりも長かった。この追加のプロセスは熱処理したリボンの磁気特性を均質にすることがわかった。実施例3は上述したプロセスによって得られた結果の幾つか(図5B)を示す。
実施例1
[0062]Fe81Cu1.0Si14 の組成を有する急冷凝固させたリボンを、490℃に加熱した30cmの長さの真鍮板の上を3〜15秒にわたって移動させた。リボンが真鍮板の温度である490℃に達するのに5〜6秒かかり、加熱速度は80〜100℃/秒となった。熱処理したリボンについて市販のBHループトレーサーで特徴づけを行い、その結果を図2に示す。ここで、薄い実線は鋳造したままのリボンについてのBHループに相当し、また実線、点線および半点線はそれぞれ、4.5m/分、3m/分、および1.5m/分の速度を用いて張力焼鈍(テンション・アニーリング)したリボンについてのBHループに相当する。
[0063]図3A、3Bおよび3Cは、実施例1のリボンについてKerr顕微鏡によって観察された磁区構造を示す。図3A、3Bおよび3Cはそれぞれ、リボンの平らな表面、凸状の表面、およびくぼんだ表面からのものである。そこで示されるように、黒い部分における磁化の方向は、白い部分とは180°違う方に向いている。図3Aと3Bは、磁気特性がリボンの幅にわたって、また長さ方向に沿って均一であることを示している。一方、図3Cに相当する圧縮した部分においては、局所的な応力が地点ごとに変化している。
[0064]図4は、図3Cにおけるリボンの1、2、3、4、5および6の箇所における詳細な磁区パターンを示す。これらの磁区パターンはリボンの表面近傍での磁化の方向を示していて、これらはリボンにおける局所的な応力の分布を反映している。図3A、3Bおよび3Cはそれぞれ2mmのスケールバーを示している。図4は部分画像のそれぞれにおいて25μmのスケールバーを示している。
実施例2
[0065]熱処理したリボンは比較的平らではあったが、本発明の態様に従ってリボンの最初の熱処理を行う間にリボンに曲率半径が生じた。リボンの曲率半径R(mm)の範囲を決定するために、B80/B が0.90よりも大きい熱処理したリボンにおいて、B80/B 比をリボンの曲率半径の関数として調査したが、その曲率半径は、既知の曲率半径を有する丸い表面の上に熱処理したリボンを巻きつけることによって変化した。結果を表1に示す。表1におけるデータは、B80/B=0.0028R+0.48 でまとめている。表1におけるデータは磁心を設計するために、例えば、積層リボンから製造される磁心を設計するために用いられる。
[0066]サンプル1は実施例1における図3Aの平らなリボンの場合に相当し、磁化の分布は比較的均一であるが、大きな値のB80/B になり、これは好ましいものである。
[0067]本発明の態様において、曲率半径は上の表に示す値の間での任意の値の範囲になりうるが、それには、200mmから無限大までの範囲の曲率半径、あるいは200mmの曲率半径からリボンが平らであるか、または実質的に平らであるような形状まで含まれる。B80/B の値は、例えば、0.52と0.98の間の任意の値であってよく、それには0.92と0.98の間の値が含まれる。
実施例3
[0068]Fe81CuMo0.2Si13.8合金のリボンのストリップサンプル(細長いサンプル)を、最初に470℃の加熱浴の中で50℃/秒よりも大きな加熱速度を用いて15秒間焼鈍し、次いで、1.5kA/mの磁界中で430℃において5400秒にわたって二次焼鈍した。最初の焼鈍の加熱速度は10000℃/秒程度まで大きいことがわかった。同じ化学組成のストリップを、最初に481℃の加熱浴の中で50℃/秒よりも大きな加熱速度を用いて3MPaの張力を加えながら8秒間焼鈍し、次いで、1.5kA/mの磁界を用いて430℃において5400秒にわたって二次焼鈍した。これらのストリップについて得られたBHループの例を図5Aおよび5Bに示す。
[0069]図5Aは、最初に470℃の加熱浴の中で15秒にわたって50℃/sの加熱速度で焼鈍し(点線)、次いで、1.5kA/mの磁界の中で5400秒にわたって430℃で二次焼鈍を行ったFe81CuMo0.2Si13.8のサンプルについて得られたBH挙動を示し、図5Bは、最初に481℃の加熱浴の中で8秒にわたって3MPaの張力を用いて50℃/sの加熱速度で焼鈍し(点線)、次いで、1.5kA/mの磁界を用いて5400秒にわたって430℃で二次焼鈍を行った同じ組成を有するサンプルについて得られたBH挙動を示す。
実施例4
[0070]下の表に示すように、本発明の態様の合金および(比較例としての)’531公報の二つの合金について180°曲げ延性試験を行った。180°曲げ延性試験は、リボン形状の材料が180°曲げたときに破断するか、または亀裂が入るかどうかを試験するために一般的に用いられる。ここに示すように、本発明の態様の製品は曲げ試験において破壊を示さなかった。
[0071]本明細書の全体を通して用いられているものとして、「まで」という用語は、包括する終点を指す。従って、「xからyまで」は、xとを含めた範囲およびそれらの間の全ての地点を指し、そのような中間点も本開示の部分である。さらに、数値で示す量の偏差も可能であることを、当業者であれば理解するだろう。従って、明細書または請求項において数値について言及しているときは常に、おおよそその数値であるか、あるいはほぼその数値であるような追加の値も本発明の範囲に入ることを理解されたい。
[0072]幾つかの態様を示して説明したが、本発明の原理と精神から逸脱することなくこれらの態様において変更がなされうることを当業者であれば認識するだろう。本発明の範囲は請求項およびそれらの同等物において明確にされる。

Claims (30)

  1. ナノ結晶質合金のリボンであって、
    該ナノ結晶質合金のリボンは鉄基合金組成を有し、ここで該鉄基合金組成は0.6原子パーセント以上1.2原子パーセント未満の量のCu、10ないし20原子パーセントの量のB、および0原子パーセントよりも多く10原子パーセントまでの量のSi、ただしBとSiは合計で10ないし24原子パーセントの含有量であり、該鉄基合金の組成において合計で0.3原子パーセント未満であるNb、Zr、TaおよびHf、付随的不純物、ならびに該鉄基合金組成100原子パーセントの残部である鉄からなり;そして
    該ナノ結晶質合金リボンは、非晶質のマトリックスの中に分散している40nm未満の平均の粒子サイズのナノ結晶を含み、かつ該ナノ結晶質合金のリボンの30容積パーセントよりも多くを占めている局所的構造を有し;そして
    該ナノ結晶質合金リボンは、該局所的構造に基づく6.5A/m未満の保磁力H
    および少なくとも200mmのリボン曲率半径を示す、
    上記のナノ結晶質合金のリボン。
  2. ナノ結晶質合金のリボンであって、

    で表される合金組成を有し、ここで0.6原子%≦x<1.2原子%、10原子%≦y≦20原子%、0原子%<z≦10原子%、10原子%≦(y+z)≦24原子%、0原子%≦a≦10原子%、0原子%≦b≦5原子%であり、そして[不純物]は付随的不純物の原子%での量であり、またAはNi、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、TaおよびWから選択される少なくとも一つの元素である任意の含有物であり、またXはRe、Y、Zn、As、Inおよび希土類元素から選択される少なくとも一つの元素である任意の含有物であり、原子%は原子パーセントであり、そして合金の組成におけるTi、Zr、Nb、Mo、Hf、TaおよびWの全体の含有量は0.4原子パーセント未満である;
    該ナノ結晶質合金リボンは、非晶質のマトリックスの中に分散している40nm未満の平均の粒子サイズのナノ結晶を含む局所的構造を有し、このナノ結晶はリボンの30容積パーセントよりも多くを占めている;そして
    該ナノ結晶質合金リボンは、該局所的構造に基づく6.5A/m未満の保磁力H、および少なくとも200mmのリボン曲率半径を示す。
    上記のナノ結晶質合金のリボン。
  3. 0.92〜0.98のB80/B比を有し、ここでB80は80A/mにおける磁気誘導であり、Bは飽和磁気誘導である、請求項1または2に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  4. 80A/mにおいて1.6Tを超える磁気誘導を有する、請求項1または2に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  5. 1.7Tを超える飽和磁気誘導Bを有する、請求項1または2に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  6. 熱処理されていて、そして1.5Tおよび50Hzにおいて0.27W/kg未満の鉄心損失を示す、請求項1または2に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  7. Feの含有量は75原子パーセントを超える、請求項1または2に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  8. 合金の組成は元素Fe、Cu、BおよびSiおよび付随的不純物からなる、請求項1または2に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  9. 「a」は0.01原子パーセントから10原子パーセントまでの範囲である、請求項2に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  10. 「a」は0.01原子パーセントから1.5原子パーセントまでの範囲である、請求項9に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  11. 「b」は2.0原子パーセント未満である、請求項2に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  12. 「b」は1.0原子パーセント未満である、請求項2に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  13. 最初に50℃/秒よりも大きな平均の加熱速度で少なくとも室温から熱処理されている、請求項1または2に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  14. 最初に50℃/秒よりも大きな平均の加熱速度で300℃から450℃を超えて520℃未満の所定の保持温度まで熱処理されていて、このとき保持時間は10分未満である、請求項13に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  15. 熱処理を行う間に加えられる磁界を用いて処理されていて、加えられる磁界はリボンを磁気的に飽和させるのに十分なほどに高く、その磁界はDC、ACまたはパルスの形であり、そして加えられる磁界の方向は四角形、円形または線形のBHループの必要性に応じて予め決定される、請求項13に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  16. リボンに加えられる1MPaよりも大きくて500MPa未満の機械的な張力を用いて製造されたものである、請求項13に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  17. 400℃と500℃の間の温度で30分よりも短い時間にわたって行われる二次の熱処理で処理されたものである、請求項13に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  18. 以下の工程:
    ナノ結晶質合金のリボンを50℃/秒よりも大きな平均の加熱速度で、室温またはそれよりも高い温度から、450℃より高く530℃までの範囲の保持温度まで加熱すること、このリボンは、

    で表される合金組成を有し、ここで0.6原子%≦x<1.2原子%、10原子%≦y≦20原子%、0原子%<z≦10原子%、10原子%≦(y+z)≦24原子%、0原子%≦a≦10原子%、0原子%≦b≦5原子%であり、そして[不純物]は付随的不純物の原子%での量であり、またAはNi、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、TaおよびWから選択される少なくとも一つの元素である任意の含有物であり、またXはRe、Y、Zn、As、Inおよび希土類元素から選択される少なくとも一つの元素である任意の含有物であり、原子%は原子パーセントであり、そして合金の組成におけるTi、Zr、Nb、Mo、Hf、TaおよびWの全体の含有量は0.4原子パーセント未満である;および
    該ナノ結晶質合金のリボンを該保持温度において90分未満にわたって保持すること;
    を含み、
    前記方法により形成されたナノ結晶質合金の局所的構造が、非晶質のマトリックスの中に分散している40nm未満の平均の粒子サイズのナノ結晶を有し、このナノ結晶が前記製造されたナノ結晶質合金のリボンの30容積パーセントよりも多くを占めており、
    前記方法により形成された該ナノ結晶質合金のリボンは、該局所的構造に基づく6.5A/m未満の保磁力H、および少なくとも200mmのリボン曲率半径を示す、
    方法。
  19. 加熱速度は80℃/秒から100℃/秒までの範囲である、請求項18に記載の方法。
  20. 加熱と保持の合わせた時間は3秒から15秒までである、請求項18に記載の方法。
  21. 熱処理を行う間に磁界が加えられ、その加えられる磁界はリボンを磁気的に飽和させるのに十分なほどに高く、その磁界はDC、ACまたはパルスの形のいずれかで0.8kA/mよりも高く、そして加えられる磁界の方向は四角形、円形または線形のBHループの必要性に応じて予め決定される、請求項18に記載の方法。
  22. 加熱を行う間に1MPaから500MPaまでの範囲の機械的な張力が加えられる、請求項18に記載の方法。
  23. 加熱は6%と18%の間の酸素ガスの含有量を有する環境の中で行われる、請求項18に記載の方法。
  24. 酸素ガスの含有量は9%と13%の間である、請求項18に記載の方法。
  25. 加熱した後に、400℃と500℃の間の温度で30分またはそれよりも短い時間にわたって第二の加熱を行うことをさらに含む、請求項18に記載の方法。

  26. で表される合金組成を有するナノ結晶質合金のリボンであって、ここで0.6原子%≦x<1.2原子%、10原子%≦y≦20原子%、0原子%<z≦10原子%、10原子%≦(y+z)≦24原子%、0原子%≦a≦10原子%、0原子%≦b≦5原子%であり、そして[不純物]は付随的不純物の原子%での量であり、またAはNi、Mn、Co、V、Cr、Ti、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、CおよびAuから選択される少なくとも一つの元素である任意の含有物であり、またXはRe、Y、Zn、As、Inおよび希土類元素から選択される少なくとも一つの元素である任意の含有物であり、原子%は原子パーセントであり、そして合金の組成におけるTi、Zr、Nb、Mo、Hf、TaおよびWの全体の含有量は0.4原子パーセント未満である;
    該ナノ結晶質合金のリボンは、非晶質のマトリックスの中に分散している40nm未満の平均の粒子サイズのナノ結晶を含む局所的構造を有し、このナノ結晶はリボンの30容積パーセントよりも多くを占めている;そして
    該ナノ結晶質合金のリボンは、該局所的構造に基づく6.5A/m未満の保磁力H、および少なくとも200mmのリボン曲率半径を示す、
    上記のナノ結晶質合金のリボン。
  27. 1.7Tを超える飽和磁気誘導Bを有する、請求項26に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  28. 80A/mにおいて1.6Tを超える磁気誘導を有する、請求項26に記載のナノ結晶質合金のリボン。
  29. 最初に50℃/秒よりも大きな平均の加熱速度で300℃から450℃を超えて520℃未満の所定の保持温度まで熱処理されていて、このとき保持時間は10分未満である、請求項18に記載の方法。
  30. 熱処理を行う間に加えられる磁界を用いて処理されていて、加えられる磁界はリボンを磁気的に飽和させるのに十分なほどに高く、その磁界はDC、ACまたはパルスの形であり、そして加えられる磁界の方向は四角形、円形または線形のBHループの必要性に応じて予め決定される、請求項18に記載の方法。
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