JP6623028B2 - インダクタ装置及びその製造方法 - Google Patents
インダクタ装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6623028B2 JP6623028B2 JP2015210439A JP2015210439A JP6623028B2 JP 6623028 B2 JP6623028 B2 JP 6623028B2 JP 2015210439 A JP2015210439 A JP 2015210439A JP 2015210439 A JP2015210439 A JP 2015210439A JP 6623028 B2 JP6623028 B2 JP 6623028B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- via hole
- layer
- insulating layer
- metal layer
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 241
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 241
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 83
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 66
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 9
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims description 3
- 238000007665 sagging Methods 0.000 claims 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 310
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 7
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0013—Printed inductances with stacked layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/5227—Inductive arrangements or effects of, or between, wiring layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/041—Printed circuit coils
- H01F41/042—Printed circuit coils by thin film techniques
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/12—Insulating of windings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/5226—Via connections in a multilevel interconnection structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/528—Geometry or layout of the interconnection structure
- H01L23/5283—Cross-sectional geometry
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0013—Printed inductances with stacked layers
- H01F2017/002—Details of via holes for interconnecting the layers
Description
図3〜図13は第1実施形態のインダクタ装置の製造方法を説明するための図、図14は第1実施形態のインダクタ装置を示す図である。以下、インダクタ装置の製造方法を説明しながら、インダクタ装置の構造について説明する。
図15〜図17は第2実施形態のインダクタ装置の製造方法を示す図、図18は第2実施形態のインダクタ装置を示す図である。第2実施形態では、第1実施形態と同一の工程及び同一の要素については、同一符号を付してその詳細な説明は省略する。
Claims (9)
- 第1ビアホールを有する第1絶縁層と、
前記第1絶縁層の上に形成され、前記第1ビアホールの上端側に、先端が前記第1ビアホール内に入り込むだれ部を備えた第1金属層と、
前記第1絶縁層の下に形成され、前記第1ビアホールの底面に第1接続部を露出する第2金属層と、
前記第1ビアホール内に形成され、前記第1接続部と前記第1金属層のだれ部とを接続する第1金属めっき層と、
前記第1金属層の上に形成され、前記第1ビアホール上及び前記第1ビアホールの周囲の前記第1金属層の上に開口部が配置された第2絶縁層と
を有し、
前記第1金属めっき層は、前記第1ビアホール内から前記第2絶縁層の開口部内の前記第1金属層の上にかけて形成されていることを特徴とするインダクタ装置。 - 前記第1ビアホールの側面の上端側が凸状曲面となっており、前記第1金属層のだれ部が前記凸状曲面を被覆していることを特徴とする請求項1に記載のインダクタ装置。
- 前記第1金属めっき層の上面と前記第2絶縁層の上面とは面一になっていることを特徴とする請求項1又は2に記載のインダクタ装置。
- 前記第1金属層は第2接続部を有し、
前記第2絶縁層に形成され、前記第2接続部上に配置された接続用開口部と、
前記第2絶縁層上と前記接続用開口部内に形成された第3絶縁層と、
前記第3絶縁層に形成され、前記第2接続部に到達する第2ビアホールと、
前記第3絶縁層の上に形成され、前記第2ビアホールの上端側に、先端が前記第2ビアホール内に入り込むだれ部を備えた第3金属層と、
前記第2ビアホール内に形成され、前記第1金属層と前記第3金属層のだれ部とを接続する第2金属めっき層とを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインダクタ装置。 - 第1金属層の下に第1絶縁層が形成された積層基材を用意する工程と、
パンチによって前記積層基材を打ち抜き加工することにより、前記第1絶縁層に第1ビアホールを形成して、前記第1ビアホールの上端側に、先端が前記第1ビアホール内に入り込む前記第1金属層のだれ部を得る工程と、
前記第1絶縁層の下に、前記第1ビアホールの底面に第1接続部を露出する第2金属層を形成する工程と、
前記第2金属層をめっき給電経路に利用する電解めっきにより、前記第1ビアホール内に、前記第1接続部と前記第1金属層のだれ部とを接続する第1金属めっき層を前記第1ビアホールの底面から上側に形成する工程と
を有することを特徴とするインダクタ装置の製造方法。 - 前記第1金属層のだれ部を得る工程において、
前記第1ビアホールの側面の上端側が凸状曲面となっており、前記第1金属層のだれ部が前記凸状曲面を被覆することを特徴とする請求項5に記載のインダクタ装置の製造方法。 - 前記積層基材を用意する工程において、
前記積層基材は、前記第1金属層の上に形成され、前記第1ビアホール上及び前記第1ビアホールの周囲の前記第1金属層の上に開口部が配置された第2絶縁層を含み、
前記第1金属めっき層を形成する工程において、
前記第1金属めっき層は、前記第1ビアホール内から前記第2絶縁層の開口部内の前記第1金属層の上にかけて形成されることを特徴とする請求項5又は6に記載のインダクタ装置の製造方法。 - 前記第1金属めっき層を形成する工程において、
前記第1金属めっき層の上面と前記第2絶縁層の上面とが面一になることを特徴とする請求項7に記載のインダクタ装置の製造方法。 - 前記積層基材を用意する工程において、
前記積層基材の第2絶縁層は、前記第1金属層の第2接続部上に配置された接続用開口部を備え、
前記第1金属めっき層を形成する工程の後に、
第2ビアホールを備えた第3絶縁層と、前記第3絶縁層の上に形成され、前記第2ビアホールの上端側に、先端が前記第2ビアホール内に入り込むだれ部を備えた第3金属層とを有するユニット基材を用意する工程と、
前記ユニット基材の第2ビアホールが前記第2絶縁層の接続用開口部内の前記第1金属層の上に配置されるように、前記ユニット基材の第3絶縁層を前記第2絶縁層の上に積層する工程と、
前記第1金属層をめっき給電経路に利用する電解めっきにより、前記第2ビアホール内に、前記第1金属層と前記第3金属層のだれ部とを接続する第2金属めっき層を形成する工程とを有することを特徴とする請求項7又は8に記載のインダクタ装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015210439A JP6623028B2 (ja) | 2015-10-27 | 2015-10-27 | インダクタ装置及びその製造方法 |
US15/332,611 US9721884B2 (en) | 2015-10-27 | 2016-10-24 | Inductor device and method of manufacturing the same |
CN201610955882.6A CN106611644B (zh) | 2015-10-27 | 2016-10-27 | 电感器件及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015210439A JP6623028B2 (ja) | 2015-10-27 | 2015-10-27 | インダクタ装置及びその製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017084920A JP2017084920A (ja) | 2017-05-18 |
JP2017084920A5 JP2017084920A5 (ja) | 2018-09-20 |
JP6623028B2 true JP6623028B2 (ja) | 2019-12-18 |
Family
ID=58558992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015210439A Active JP6623028B2 (ja) | 2015-10-27 | 2015-10-27 | インダクタ装置及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9721884B2 (ja) |
JP (1) | JP6623028B2 (ja) |
CN (1) | CN106611644B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230163515A (ko) | 2021-05-10 | 2023-11-30 | 니뽄 다바코 산교 가부시키가이샤 | 에어로졸 생성 장치의 전원 유닛 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6167293A (ja) * | 1984-09-10 | 1986-04-07 | キヤノン電子株式会社 | プリント回路板の導通方法 |
JPH06104546A (ja) | 1992-09-22 | 1994-04-15 | Alps Electric Co Ltd | フレキシブルプリント基板のスルーホールおよびその形成方法 |
JPH07176869A (ja) * | 1993-12-21 | 1995-07-14 | Hitachi Chem Co Ltd | 多層配線板の製造法 |
US6133079A (en) * | 1999-07-22 | 2000-10-17 | Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. | Method for reducing substrate capacitive coupling of a thin film inductor by reverse P/N junctions |
JP2002009434A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-01-11 | Toray Ind Inc | 導通孔形成方法 |
JP2005286122A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Daisho Denshi:Kk | プリント配線板とその製造方法 |
JP2007134364A (ja) * | 2005-11-08 | 2007-05-31 | Hitachi Cable Ltd | 多層配線基板の製造方法及び多層配線基板並びにそれを用いた電子装置 |
JP5795225B2 (ja) * | 2011-09-27 | 2015-10-14 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板の製造方法 |
JP5669773B2 (ja) * | 2012-02-24 | 2015-02-18 | 三菱電機株式会社 | 曲面形状基板および曲面形状基板の製造方法 |
JP2014170909A (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-18 | Fujifilm Corp | フレキシブル回路基板、及び内視鏡 |
JP6393457B2 (ja) | 2013-07-31 | 2018-09-19 | 新光電気工業株式会社 | コイル基板及びその製造方法、インダクタ |
JP6312997B2 (ja) | 2013-07-31 | 2018-04-18 | 新光電気工業株式会社 | コイル基板及びその製造方法、インダクタ |
JP6425375B2 (ja) | 2013-10-11 | 2018-11-21 | 新光電気工業株式会社 | コイル基板及びその製造方法、インダクタ |
KR102107037B1 (ko) * | 2014-02-21 | 2020-05-07 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판 및 그 제조방법 |
-
2015
- 2015-10-27 JP JP2015210439A patent/JP6623028B2/ja active Active
-
2016
- 2016-10-24 US US15/332,611 patent/US9721884B2/en active Active
- 2016-10-27 CN CN201610955882.6A patent/CN106611644B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170117219A1 (en) | 2017-04-27 |
CN106611644A (zh) | 2017-05-03 |
US9721884B2 (en) | 2017-08-01 |
JP2017084920A (ja) | 2017-05-18 |
CN106611644B (zh) | 2020-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6226059B2 (ja) | コイル部品およびコイルモジュール、並びに、コイル部品の製造方法 | |
US11437174B2 (en) | Inductor and method of manufacturing same | |
CN108376604B (zh) | 电感器件及其制造方法 | |
JP6381432B2 (ja) | インダクタ、コイル基板及びコイル基板の製造方法 | |
JP5727521B2 (ja) | 印刷回路基板及びその製造方法 | |
KR20130080294A (ko) | 커패시터 내장형 인쇄회로기판 및 그의 제조방법 | |
JP6564614B2 (ja) | インダクタ及びインダクタの製造方法 | |
CN103889168A (zh) | 承载电路板、承载电路板的制作方法及封装结构 | |
JP2017038044A (ja) | 配線基板及びその製造方法と電子部品装置 | |
JP2016066705A (ja) | プリント配線板およびその製造方法 | |
JP2010003800A (ja) | チップ部品及びその製造方法並びに部品内蔵モジュール及びその製造方法 | |
US20160189849A1 (en) | Electronic component and method of manufacturing the same | |
TWI578864B (zh) | Base board for built-in parts and method of manufacturing the same | |
JP6623028B2 (ja) | インダクタ装置及びその製造方法 | |
JP6673304B2 (ja) | 多層基板 | |
US10362672B2 (en) | Resin multilayer substrate and method of manufacturing the same | |
CN107645855B (zh) | 无导线电镀电路板及其制作方法 | |
CN203850271U (zh) | 半导体装置 | |
JP2011044523A (ja) | 樹脂多層基板及び該樹脂多層基板の製造方法 | |
JP6096641B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
CN109950017A (zh) | 电子部件以及电子部件的制造方法 | |
JP2014222686A (ja) | 樹脂多層基板 | |
WO2011086795A1 (ja) | コンデンサ素子及びコンデンサ内蔵基板 | |
JP2016219762A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
KR20160034168A (ko) | 인쇄회로기판 및 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20180207 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20180215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180807 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180807 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190605 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190611 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190801 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6623028 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |