JP6614542B2 - 検査方法、検査システム、製造方法 - Google Patents
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Description
本発明に係る一実施形態の検査方法は、例えば、図2Aに示すような、物品100の検査方法である。
本発明の実施形態は、上記の実施形態に限定されない。上記の実施形態は、本発明の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
以上述べた実施形態及び変形例から明らかなように、本発明に係る第1の態様の検査方法は、透明基材(200)及び前記透明基材(200)の表面(210)の所定位置(400)に配置される部品(300)を備える物品(100)の検査方法である。第1の態様の検査方法は、撮像ステップと、評価ステップと、を含む。前記撮像ステップは、照明装置(10)から前記表面(210)に光を照射しながら撮像装置(20)で前記表面(210)の画像(P,P10)を撮像するステップである。前記評価ステップは、前記撮像装置(20)で撮像された前記画像(P,P10)のうち前記所定位置(400)に対応する位置(400P)の周辺の画像(R1〜R12)とテンプレート(T1,T2,T3)との一致度を評価するステップである。前記テンプレート(T1,T2,T3)は、前記部品(300)が正しく前記所定位置(400)に配置されている場合の前記部品(300)の実像(300R)と虚像(300I)との位置関係を示す。第1の態様によれば、透明基材(200)を備える物品(100)についての検査の精度を向上できる。
20 撮像装置
30 処理装置
71 第1偏光フィルタ(偏光フィルタ)
72 第2偏光フィルタ(偏光フィルタ)
100 物品
200 透明基材
210 表面
220 裏面
300,301〜312 部品
400,401〜412 所定位置
R1〜R12 マッチング範囲
300R,301R〜312R 実像
300I,301I〜312I 虚像
400P,401P〜412P 位置
P,P10 画像
T1,T2,T3 テンプレート
Claims (9)
- 透明基材及び前記透明基材の表面の所定位置に配置される部品を備える物品の検査方法であって、
照明装置から前記表面に光を照射しながら撮像装置で前記表面の画像を撮像する撮像ステップと、
前記撮像装置で撮像された前記画像のうち前記所定位置に対応する位置の周辺の画像とテンプレートとの一致度を評価する評価ステップと、
を含み、
前記テンプレートは、前記部品が正しく前記所定位置に配置されている場合の前記部品の実像と虚像との位置関係を示す、
検査方法。 - さらに、前記一致度が所定の閾値以上であれば前記部品が破損せずに前記所定位置に配置されていると判断し、前記一致度が前記所定の閾値未満であれば前記部品が前記所定位置に配置されていない又は破損していると判断する判断ステップを含む、
請求項1の検査方法。 - 前記撮像ステップにおいて、前記照明装置及び前記撮像装置を、前記照明装置からの光のうち前記表面における正反射光を前記撮像装置が受け取るように配置する、
請求項1又は2の検査方法。 - 前記撮像ステップにおいて、1以上の偏光フィルタを用いて、前記透明基材の裏面に存在する物体に起因する反射光を前記撮像装置が受け取る光から除去する、
請求項1〜3のいずれか一つの検査方法。 - 透明基材及び前記透明基材の表面の所定位置に配置される部品を備える物品の検査システムであって、
前記表面に光を照射する照明装置と、
前記表面の画像を撮像する撮像装置と、
請求項1の検査方法を実行する処理装置と、
を備える、
検査システム。 - 前記処理装置は、
前記一致度が所定の閾値以上であれば前記部品が破損せずに前記所定位置に配置されていると判断し、
前記一致度が前記所定の閾値未満であれば前記部品が前記所定位置に配置されていない又は破損していると判断する、
ように構成される、
請求項5の検査システム。 - 前記照明装置及び前記撮像装置は、前記照明装置からの光のうち前記表面における正反射光を前記撮像装置が受け取るように配置される、
請求項5又は6の検査システム。 - さらに、前記透明基材の裏面に存在する物体に起因する反射光を前記撮像装置が受け取る光から除去する1以上の偏光フィルタを備える、
請求項5〜7のいずれか一つの検査システム。 - 透明基材及び前記透明基材の表面の所定位置に配置される部品を備える物品の製造方法であって、
前記透明基材の前記表面の前記所定位置に前記部品を形成する形成処理を行うステップと、
請求項1〜4のいずれか一つの検査方法により、前記物品の検査を行うステップと、
前記検査の結果が不合格であれば、再度、前記形成処理を行うステップと、
を含む、
製造方法。
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