JP6601984B2 - インターポーザアセンブリ - Google Patents

Description

成形プラスチックプレートとプレートに挿入された金属コンタクトとを有するインターポーザアセンブリは、対向する基板上のコンタクトパッド間の電気的接続を形成するために使用される。コンタクト及びパッドはランドグリッドアレイの行及び列において互いに非常に近接して離間されて、プレートを通って延伸している複数の差動対信号及び接地接続を確立する。

従来のインターポーザアセンブリは、基板上のパッドと係合するコンタクト端部を有する金属ストリップから形成されたコンタクトを使用する。各コンタクトは、プレートを通って延伸している通路に嵌め込まれている。ストリップは２つの機能を有する。それは、対向する基板上のパッド間に回路経路を確立し、パッドに接触圧力を提供するばねを含む。対向する基板間にインターポーザアセンブリを挟み込むことは、アセンブリプレートのコンタクトを圧縮して、ばねに応力が加えられ、コンタクトとパッドとの間の良好な電気的接続に必要な接触圧力を提供する。

従来のインターポーザアセンブリのコンタクトは、プレートの上部と底部におけるコンタクトの端部に集中された弾性ビーム歪の単一モードによる、ストリップのエネルギー蓄積を制限する非効率なばねを有する。ベリリウム銅、等の高価な性能向上合金を有する銅ストリップストックからコンタクトを形成することによって、ばね性能が高められることができる。これらの合金の使用は、望ましくないことに、コンタクトのコストを増加させる。

この結果、パッド間の信頼できる電気的接続を保証するために、高導電性及び高コンプライアンスを有する、好ましくは高価な強化合金を有さない金属から形成されたコンタクトを使用して、対向する基板パッド間に信頼できる電気的接続を形成するためのインターポーザアセンブリが必要とされる。

コンタクトのばねは、圧縮されたエネルギーが、コンタクトの弾性歪を介して蓄積され、基板がコンタクトとの係合から取り外されるときに回収されるように、機械的に効率的であるべきである。コンタクトとプレートを通って延伸しているコンタクト通路の壁との間の係合による摩擦損失は、最小化されるべきである。コンタクトのコンプライアンス及び対向するパッドとの信頼できる電気的接続が高められるべきである。

開示されたインターポーザアセンブリは、改善されたプレートと、対向する基板上のパッド間の電気的接続を形成するためのコンタクトとを有する。各コンタクトは、コンタクトに沿って離間された複数の同様のコンタクトユニットを含む。各コンタクトユニットは、インターポーザアセンブリが基板間で圧縮されるとき、弾性的に圧縮される複数のばねを有する。コンタクトユニットは、コンタクトの圧縮及び拡張の間にプレートの通路を通って自由に移動し、アレイ内の各コンタクトの独立した動作を保証する。基板間の間隔が、それらがアセンブリから後退するにつれて増加するとき、コンタクトユニットは拡張し、圧縮されたコンタクトユニットに蓄積されたエネルギーは、コンタクト端部をプレートから外方に延伸する。結果として、コンタクトは、高コンプライアンスを有し、パッドとの有効接触圧力係合を維持する。

コンタクトは、対向する一対のパッドの間の低抵抗回路経路を形成する。電流は、抵抗及び温度上昇を最小化するように、各コンタクトユニットにおいてばねを通って均一に流れる。

本発明によるインターポーザアセンブリの斜視図である。 インターポーザアセンブリの上面図である。 上側基板及び下側基板が示された、図２の線３−３に沿ったインターポーザアセンブリの断面図である。 上側基板及び下側基板が示された、図２の線４−４に沿ったインターポーザアセンブリの断面図である。 圧縮前の基板上のパッドと係合するアセンブリ通路内のコンタクトを示す垂直断面図である。 圧縮前の基板上のパッドと係合するアセンブリ通路内のコンタクトを示す垂直断面図である。 圧縮前の基板上のパッドと係合するアセンブリ通路内のコンタクトを示す垂直断面図である。 図６の線８−８に沿った断面図である。 圧縮されていないコンタクトの側面図である。 圧縮されていないコンタクトの側面図である。 圧縮されていないコンタクトの側面図である。 圧縮されていないコンタクトの側面図である。 部分的に圧縮されたコンタクトの側面図である。 部分的に圧縮されたコンタクトの側面図である。 部分的に圧縮されたコンタクトの側面図である。 部分的に圧縮されたコンタクトの側面図である。 部分的に圧縮されたコンタクトを示すアセンブリ及び基板を通る断面図である。 部分的に圧縮されたコンタクトを示すアセンブリ及び基板を通る断面図である。 部分的に圧縮されたコンタクトを示すアセンブリ及び基板を通る断面図である。 圧縮されていないコンタクトの斜視図である。 部分的に圧縮されたコンタクトの斜視図である。 更に圧縮されたコンタクトの斜視図である。 完全に圧縮されたコンタクトの斜視図である。 圧縮されていないコンタクトユニットの拡大側面図である。 部分的に圧縮されたコンタクトユニットの拡大側面図である。 完全に圧縮されたコンタクトユニットの拡大側面図である。 インターポーザアセンブリコンタクトの製造中のキャリアストリップの図である。 インターポーザアセンブリコンタクトの製造中のキャリアストリップの図である。

インターポーザアセンブリ１０は、基板１４の下面上のコンタクトパッド１２と、基板１８の上面上のコンタクトパッド１６との対向する一対の間の電気接続を形成する。パッド１２及び１６は、ランドグリッドアレイの行及び列に配置されてもよい。

アセンブリ１０は、上面２４と底面２６との間に延在している複数の積層された成形プラスチックウェハ２２から形成された長方形の絶縁本体２０を有する。（図示されない）ウェハアライメントピンがウェハのピン通路２７に嵌め込まれる。アセンブリ１０は、基板間に適切に支持されている。

複数のコンタクト通路２８が、表面２４と２６との間で本体２０を通って垂直に延伸している。通路２８は、図８に示される均一な長方形の断面を有し、対向する平行の長壁３０と、対向する平行の短壁３２とを有する。通路の曲がり角３４は、丸みを帯びていてもよい。

細長い一体の金属コンタクト３６が各コンタクト通路２８に嵌め込まれている。各コンタクト３６は、上側コンタクト端部３８、下側コンタクト端部４０、及び端部３８と４０との間のコンタクトの長さに沿って離間された複数のＵ字型コンタクトユニット４２を有する。コンタクト３６は、１２個の同様のユニット４２を有する。ユニットの数は、アセンブリ本体２０の高さ、接触圧力、及びコンプライアンス要件によって必要に応じて変わってもよい。

下側コンタクト端部４０は、ユニット４２の下方に配置されたＵ字型の取り付け部材４４とコンタクト先端部４６とを含む。先端部４６は、コンタクトの底部に２つの離間されたコンタクト点４８と、点４８の上方に挿入／引き出し開口部５０とを有する。先端部４６は、ユニット４２の下方に中央に位置する。開口部５０は、先端部４６から離れる方向に平坦な挿入面５２を有する。挿入面４３は、ユニットから離れる方向に向いている。開口部５０におけるＶ字型の引き出し凹部５４は、点４８に隣接する。コンタクト３６を通路２８の中に挿入するために、工具が面４３又は面５２に対して押し付けられてもよい。コンタクトを通路２８から引き出すために、狭い工具が開口部５０の中に挿入され、凹部５４に着座されてもよい。

取り付け部材４４は、通路２８においてコンタクトの下端部を整列させるための整列折り曲げ部５６を含む。折り曲げ部５６は、Ｕ字屈曲部６２によって接続された対向する平坦な案内壁５８及び６０を有する。壁５８及び６０は、コンタクト３６が通路２８にあるとき、通路の長壁３０の下端部に沿って延伸している。

カンチレバー保持アーム６４は、案内壁５８と６０との間で先端部４６から内方に延伸している。アーム６４の自由端部における対応する摩擦突起部６６は、コンタクト端部４０から外に向き、コンタクトが通路内にあるとき、通路の短壁３２と係合するように圧縮されて、コンタクトの独立性を大幅に低下させることなく、空洞内の位置にコンタクトを維持する適度な保持力を確立する。アーム６４は、コンタクト端部４０を通路２８の下端部に取り付ける。このアーム６４は、ばね部分の圧縮をもたらす摩擦制限が発生しないように、ばね部分の全体が通路に入った後にのみ偏向される。結果として、コンタクト本体は、挿入工程全体を通して、通路断面形状の長さ及び幅の両方において、コンタクト通路内の一方の側から他方の側へ自由に蛇行する。

整列折り曲げ部５６は、本体２０の底面２６に衝突することなく、コンタクトの端部を通路２８の中に案内するために、ユニット４２から外方に向く斜めの挿入面６８を有する。上側コンタクト端部３８は、保持アーム６４を有しない下側コンタクト端部４０のようである。端部３８はまた、最初に通路の中に挿入されたコンタクトの端部に対して連続した導入角を確立する挿入面４３を含まない。

１２個の同様のＵ字型のコンタクトユニット４２は、端部３８と４０との間のコンタクト３６の長さに沿って離間されている。コンタクトユニットは導電性であって弾性である。各ユニット４２は、互いに重なり合う２つの離間された細長い支持ストリップ７０と、ストリップ７０を接続する３つの同様のＵ字型のばねアーム７２とを有する。ストリップ７０は、１つの通路の短壁３２においてコンタクトの長さに沿って延伸している。アーム７２のそれぞれは、ストリップ７０から長壁３０に沿って通路を横切って対向する短壁３２に向かって延伸している２つの脚７６と、対向する短壁において脚を接合するＵ字曲げ部７８とを含む。アーム７２は、各コンタクトユニットにおいてストリップ７０間に３つの連続配向の物理的及び電気的接続を形成する。ばねアーム７２は、長方形又は正方形の横断面を有してもよい。ブリッジ７４は、各ストリップ７０の一端を、コンタクトの同じ側に位置する隣接するコンタクトユニットのストリップ７０の端部に接合する。

ユニット４２が圧縮されていないとき、各ばねアームの直線ばね脚７６は、長手方向にオフセットしたストリップ７０を接合するように、Ｕ字曲げ部７８から離れる方向に互いから分岐している（図１０を参照）。

ユニット４２は、３つのＵ字型のばねアームによって接続された２つの離間された支持ストリップを有する。支持ストリップに沿って離間されたアーム７２のような２つ以上のばねアームによって接続された２つの支持ストリップを有するユニットを含む、異なるタイプのコンタクトユニットが考えられる。

ユニット４２は、端部３８と４０との間のコンタクト３６の長さに沿って離間されている。各ユニットの２つの支持ストリップ７０はそれぞれ、コンタクト端部、又は隣接するユニットの異なる端部における隣接するユニットの支持ストリップの何れかに接続されている。隣接するコンタクトユニットの接合された支持ストリップ７０間のブリッジ７４は、コンタクトの両側に配置されている。このように、ユニット４２は、図１９、図２５、及び図２６に示されるように、コンタクトの長さに沿って延伸している交互のパターンで配置されている。

図９〜図１２は、コンタクト側面８０に位置する支持ストリップ７０及びブリッジ７４、並びにコンタクト側面８２に位置するＵ字曲げ部７８を有する圧縮されていないコンタクト３６を示す。各ユニット４２の直線ばね脚７６は、コンタクト側面８４と８６の平面に位置し、側面８０と８２との間に延伸している。交互のブリッジ７４は、対向するコンタクト側面８４と８６に配置されている。コンタクト３６が圧縮されていないとき、隣接するユニットにおいてブリッジ７４で接合された一対の支持ストリップ７０は、図１０に示されるように、互いに１８０°よりわずかに小さい角度７５で交差する。

各金属コンタクト３６は、本体２０の通路２８に挿入される。上側コンタクト端部３８は、好ましくは、底面２６において通路の下端部の中に延伸され、端部３８及び４０のコンタクト点４８が表面２４及び２６の上及び下に位置する図４及び図５〜図７に示された非圧縮位置まで通路を通って上方に移動される。端部３８の上側傾斜面６８は、通路の下端部の中に端部を供給することを容易にする。

コンタクト３６は、長方形の通路２８に自由に嵌め込まれた略長方形の形状を有する。コンタクトが完全に挿入されるとき、取り付け部材４４は通路２８の下側長方形端部にあって、カンチレバーアーム６４は内方に弾性的に曲げられて、摩擦保持突起部６６を隣接する通路の短壁３２に押し付け、コンタクト４０を本体２０に把持する。アーム６４は、アセンブリが基板１４と１８との間に挟まれるまで、コンタクトをアセンブリ１０の定位置に把持する。基板によるコンタクトの圧縮は、通路２８においてコンタクトの下端部を移動させてもよい。下端部の上のコンタクトの上側部分は、通路において垂直に自由に移動する。

基板１４及び１８は、図１７〜図１９の位置にアセンブリ１０に向かって移動されて、一対のパッド１２と１６の間の電気的接続を確立する。アセンブリ１０は、好ましくは、パッド１２と１６と係合する先端部４６におけるコンタクト点４８で、基板１４と１８との間に支持されている。この位置において、各コンタクトの垂直高さは、コンタクト通路２８において部分的に圧縮される。コンタクトの垂直圧縮は、各ユニット４２のストリップ７０及びアーム７２に弾性的に応力を加える。ユニットは、通路において垂直に移動する。パッド１２及び１６における圧力及びコンタクトのコンプライアンスは、本体２０との摩擦係合によって著しく減少されない。

通路２８におけるコンタクト３６の垂直圧縮は、ユニット４２を互いにより近接するように移動させて、エネルギーを弾性的に貯蔵するように、弾性的にそれらの高さを減少させ、同時に各ユニットの金属を曲げて回転させる。コンタクトの弾性圧縮は、点４８において高コンプライアンス及び高接触圧力を提供する。

コンタクトの弾性圧縮の間に、各ユニット４２の２つの支持ストリップ７０は、通路２８の長さに沿って異なる方向にシフトされて、ユニットの軸線方向の高さを減少させる。これが起こるとき、各ユニット４２のＵ字型のばねアーム７２の脚７６は、通路において共に回転され、分岐位置から互いに重なり合う部分的に圧縮された平行位置へと曲げられる（図１７〜図１９を参照）。Ｕ字曲げ部７８は、図１３に示されるように、ねじりばねとして横軸線７９の周りにねじられる。軸線７９は、曲げ部７８でコンタクト３６を横切って横方向に延伸している。

各ばねアーム７２のばね脚７６及びＵ字曲げ部７８は、曲げられたカンチレバーばね及びねじれたねじりばねとして、それらの長さに沿って弾性的に応力が加えられる。ユニット４２の弾性応力は、エネルギーを蓄積し、コンタクトに沿ったコンプライアンス及び点４８における圧力を提供する。更に、隣接する支持ストリップ７０が、図１０に示されるように角度７５を平坦化するように、応力が加えられ、遠方の通路の短壁３２に向かって短い距離を回転すると、隣接するストリップ７０間のブリッジ７４は弾性的に曲げられる。

通路２８におけるコンタクト３６の圧縮は、点４８とパッド１２及び１６との間の高コンプライアンス及び信頼できる接続を維持するように、ユニット４２の金属を弾性的に曲げてねじる。圧縮範囲全体にわたる、通路２８におけるコンタクト３６の摺動嵌めは、圧縮及び減圧の間の摩擦エネルギー損失を実質的に防止する。通路の１つ又は２つの隣接面でのコンタクトの非常に軽い法線力のみが、通路部分の区域を超えて自由座屈からコンタクトを支持するために必要である。

電流は、最小化された抵抗でコンタクト３６を通って流れる。各ユニット４２の支持ストリップ７０は、隣接するストリップ７０から電流を受け取り、３つのＵ字型のＵ字曲げ部７８に均一に電流を通過させる。隣接するユニット４２間のストリップ７０の幅は、主に機械的な応力分布を最適化するために、ブリッジ７４から離れる方向に減少し、一方、ユニット４２の個々のストリップ７０を均一に通る等しい電流の流れを同時に支持する。電流の流れを収束させるために断面積を適切に増加させることによって、抵抗を最小化し、局所的な熱蓄積を減少して、コンタクト３６の長さに沿って全電流が流れる。

図２０〜図２３は、コンタクト３６の垂直圧縮を示す。図２０は、各ユニット４２の金属に応力が加えられていない、圧縮されていないコンタクトを示す。この位置において、各ユニット４２のばね脚７６はＵ字曲げ部７８から離れる方向の角度で延伸している。

図２１は、通路２８において部分的に圧縮されたコンタクト３６を示す。各ばねアーム７２の脚７６は互いに向かって回転されている。角度７５は、コンタクトが圧縮されると増加する。

図２１及び図２２は、互いの上に回転された脚７６、増加した角度７５、互いにより近接するように移動されたユニット４２を有するコンタクト３６の更なる圧縮を示す。

図２３は、コンタクト３６の完全の圧縮を示す。この位置において、隣接するユニット４２のストリップ７０の端部は、互いに当接し、ユニットの金属は、エネルギーを蓄積するように弾性的にねじれて曲がられる。完全な圧縮並びにユニットのねじれ及び曲がりにもかかわらず、ユニットは、図２０の位置へのコンタクトの完全な拡張を可能にするために永続的に変形されない。この結果、コンタクト３６は、互いに当接するユニットと共に完全に圧縮され、そして、ばね性能又は電気的性能を損なうことなく解放されてもよい。

図２０〜図２３に示されるように、コンタクト３６の圧縮の間に、コンタクトは軽い摩擦によってアセンブリ通路２８に把持される。コンタクト３６の圧縮は、コンタクトのサイズを僅かに変化させるが、通路側壁と係合するように充分にコンタクトを拡大しない。コンタクトは、圧縮移動の設計された範囲内で説明されたように、自由に折り畳まれ、拡張される。

図２０〜図２３は、図２０に示されるその完全な長さから図２３に示される圧縮された長さに圧縮されたコンタクト３６を示す。完全に圧縮された長さは、完全に拡張された長さより約１５％短い。通常、コンタクト３６は、図２３に示される完全に圧縮された長さへのコンタクトの圧縮を防止するために充分な厚さを有する本体２０に配置される。所望であれば、特定のコンタクト３６のコンプライアンスは、コンタクトに沿って離間されたユニットの数を減少させることによって低減してもよい。コンタクトは、上側及び下側端部と、端部に接続された複数のユニット４２とを含む。

図２４、図２５、及び図２６は、コンタクト３６の側面図である。図２４は、ブリッジ７４及び隣接する支持ストリップ７０が平坦であって、各一対の支持ストリップ７０間で延伸しているＵ字型のばねアーム７２がブリッジ７４から離れる方向に傾斜している、圧縮されていないときのコンタクトを示す。

図２５は、角度７５を減少させるように、支持ストリップ７０とストリップの両側に外方に曲げられたブリッジ７４とで部分的に圧縮されたコンタクトを示し、ばねアーム７２は互いに平行に曲げられている。

図２６は、互いに当接した、コンタクトの各側の隣接するストリップ７０で完全に圧縮されたときのコンタクトを示す。ストリップ及びブリッジは、更に外方に弓状に曲げられ、アーム７２は、エネルギーの蓄積のために曲げられてねじられる。図２５及び図２６は、圧縮されたときのコンタクトのジグザグ形状又は蛇行形状を示す。

コンタクト３６は、熱処理されたベリリウム銅、等の最も高価な強化合金に依存することなく、銅ストリップストックから製造されてもよい。強化合金は接触性能を改善するが、材料及び加工のコストも増加させる。コンタクト３６は、熱処理を必要としない非ベリリウム合金を使用して所望のコンプライアンス及び伝導性を達成する。

図２７及び図２８は、導電性金属ストリップ９０からのコンタクト３６の製造を示す。ストリップ９０は、２つの細長いキャリア９２と、キャリア間に延伸している複数の平坦なコンタクトプリフォーム９４とを有する。コンタクト３６及びコンタクトが形成されたストリップ９０は、５０ミクロンの厚さを有してもよい。プリフォーム９４は、ストリップを機械的に切断することによって、又はストリップをエッチングすることによって、ストリップ９０から形成されてもよい。ストリップ９０は、典型的にはローラで平らに延ばされ、ストリップの長さに沿って延伸している木目軸線方向１１０を有する。

各コンタクトプリフォーム９４は、上側端部分９６と、下側端部分９８と、部分９６と９８との間に離間された複数の傾斜した３条のコンタクトユニット部分１００を含む。各部分１００は、３つの平行な対等のビーム１０２と、対向する端部支持ストリップ１０４とを有する。プリフォーム９４は、接合ストリップ１０８においてキャリアストリップ支持レール１０６に接続されている。

コンタクト３６は、図２８に示されるように、プリフォーム９４の各エッジにおいてプリフォームブリッジ７４を互いの上に配置し、折り畳まれたコンタクト３６を形成するように、ストリップ９２に垂直な折り曲げ軸線１１２の周りでビーム１０２を曲げることによってプリフォーム９４から形成される。

Ｕ字曲げ部７８における内部半径は非常に小さく、ストリップの厚さに等しくてもよい。木目軸線１１０に垂直な軸線１１２の周りでプリフォームを曲げることが望ましく、木目軸線に平行でない軸線の周りでプリフォームを曲げることより容易である。

折り畳み後、コンタクトはストリップから切断され、通路２８の中に挿入される前に処理される。

コンタクト３６は、環境性及び導電性要件を達成するために必要な金属の層で必要に応じて被覆されてもよい。上側及び下側コンタクト端部３８及び４０は、基板パッド１２及び１６との信頼できる電気的接触を保証するために、金、等の貴金属材料で更に被覆されてもよい。

形成されたコンタクト３６は、隣接する支持ストリップ７０に対して同一平面上にある接合ストリップ１０８を切断することによって、ストリップ９０から取り外されて、ストリップ７０に隆起した突起１１４を生じる。突起１１４は、切断された突起面が、コンタクトが挿入された通路２８の隣接面と係合することを防止するように、ストリップ７０の外側隆起端部の下にある。

金属コンタクト３６は、１０．８ｍｍの先端部間の圧縮されていない高さを有してもよい。通路２８は、０．７００ｍｍ及び０．２４５ｍｍの横断寸法を有してもよい。１２個のばねユニットを有するコンタクトを支持する本体２０は、９．５ｍｍの厚さを有してもよい。

Claims (7)

1. 対向する基板（１４、１８）上のコンタクトパッド（１２、１６）間の電気的接続を形成するためのインターポーザアセンブリ（１０）であって、前記インターポーザアセンブリは、絶縁本体（２０）と、前記絶縁本体を通って延伸している複数の貫通通路（２８）と、各々が前記複数の貫通通路のいずれか１つに配置されている複数のコンタクト（３６）であって、各コンタクトは、一体型の金属であって、前記絶縁本体の上面及び底面（２
   ４、２６）に位置する対向する端部を備える、複数のコンタクトとを備え、
   各コンタクト（３６）は、少なくとも１つのコンタクトユニット（４２）を含み、各コンタクトユニット（４２）は、前記貫通通路に沿って延伸している２つの細長い支持ストリップ（７０）及び前記２つの細長い支持ストリップ（７０）間で延伸している複数のばねアーム（７２）を有し、各コンタクトユニット（４２）は、前記貫通通路に沿って延伸している非圧縮状態の長さと、前記非圧縮状態の長さより短い前記貫通通路に沿って延伸している圧縮状態の長さとを有し、
   前記複数のコンタクトが前記複数の貫通通路において圧縮されたとき、前記コンタクトユニット（４２）はエネルギーを蓄積し、前記コンタクトが解放され、且つ、前記コンタクトユニットが前記非圧縮状態の長さまで長くなるとき、前記蓄積されたエネルギーは回収可能である、インターポーザアセンブリ。
2. 各コンタクトは、コンタクト保持部材（６４、６６）を備え、各コンタクト保持部材は、前記貫通通路（２８）における前記コンタクトの緩い保持のために前記貫通通路の壁（３２）と係合している、請求項１に記載のインターポーザアセンブリ。
3. 各コンタクト保持部材は、保持アーム（６４）と摩擦突起部（６６）とを備え、前記コンタクトが前記貫通通路（２８）にあるとき、前記保持アームは弾性的に圧縮されて、前記摩擦突起部（６６）は、前記貫通通路における前記コンタクトの移動を可能にする一方で、前記貫通通路において前記コンタクトを保持するように、前記壁（３２）に対して把持されている、請求項２に記載のインターポーザアセンブリ。
4. 各ばねアーム（７２）は、Ｕ字型のばねアーム（７２）である、請求項１に記載のインターポーザアセンブリ。
5. 各貫通通路（２８）は、長方形の輪郭を有し、前記ばねアーム（７２）は、前記貫通通路において摺動嵌合している、請求項４に記載のインターポーザアセンブリ。
6. 各貫通通路（２８）は、２つの対向する壁（３２）を含み、前記２つの細長い支持ストリップ（７０）は、一方の壁（３２）に隣接して配置され、前記複数のばねアーム（７２）は、他方の壁（３２）に隣接して配置され、前記コンタクトユニットが圧縮されていないとき、前記複数のばねアーム（７２）は概して前記貫通通路に沿って延伸し、それによって、前記貫通通路における前記コンタクトユニットの圧縮は、同時に、ねじりばねとして各コンタクト（３６）の横軸線（７９）の周りに前記複数のばねアーム（７２）を弾性的にねじり、且つ、カンチレバービームとして前記複数のばねアーム（７２）のうちのあるばねアーム（７２）を、前記複数のばねアーム（７２）のうちの隣接するばねアーム（７２）に向かって弾性的に曲げる、請求項４に記載のインターポーザアセンブリ。
7. 各ばねアーム（７２）は、前記貫通通路の前記他方の壁（３２）に隣接しているＵ字曲げ部（７８）を含む、請求項６に記載のインターポーザアセンブリ。