JP2011071435A - インターポーザ - Google Patents
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Abstract
【課題】小型で信頼性があり、構造が簡単なインターポーザを提供する。
【解決手段】上下に対向状態で位置する複数の外部の電極4,6を、圧縮された状態で導通させるインターポーザ20を、グリッドアレイ状に開けられた貫通孔9を備えた誘電体材料からなる平板状基板8と、この貫通孔9にそれぞれ挿入される弾性接触子10とから構成し、この弾性接触子10は、貫通孔9の全長よりも長い幅と、貫通孔9に内接する円の円周の長さ以上の長さを備えるメッシュ状の弾性導電性シートから構成して、これを貫通孔9内に丸めた状態で挿入する。貫通孔9に挿入した弾性導電性シートは貫通孔9内で重なっても良く、また、貫通孔9の上側と下側の両方から突出させる。
【選択図】図2
【解決手段】上下に対向状態で位置する複数の外部の電極4,6を、圧縮された状態で導通させるインターポーザ20を、グリッドアレイ状に開けられた貫通孔9を備えた誘電体材料からなる平板状基板8と、この貫通孔9にそれぞれ挿入される弾性接触子10とから構成し、この弾性接触子10は、貫通孔9の全長よりも長い幅と、貫通孔9に内接する円の円周の長さ以上の長さを備えるメッシュ状の弾性導電性シートから構成して、これを貫通孔9内に丸めた状態で挿入する。貫通孔9に挿入した弾性導電性シートは貫通孔9内で重なっても良く、また、貫通孔9の上側と下側の両方から突出させる。
【選択図】図2
Description
本出願はインターポーザに関する。特に、本出願は、対向する複数の電極を所定の圧力が印加された状態で電気的に接続する場合に使用されるインターポーザに関する。このようなインターポーザは、集積回路を回路基板に実装する際の、集積回路の底面にある端子電極と基板上にある電極パターンとを接続する用途に多く使用される。
従来、半導体集積回路(IC)を回路基板上に実装する場合は、ICパッケージの側面に設けられたリードを回路基板上の回路パターンのランド部に設けられたスルホールに挿入し、半田付けによってランド部に電気的に接続していた。一方、近年、ICの集積密度の向上によりICの入出力端子数が増大し、更に、ICの動作周波数が高くなり、高周波特性の向上要求から、回路基板への高密度実装、短距離接続、狭ピッチ化の要求が高くなってきている。
このような要求の下で、入出力端子を効率的に配置するために、ICパッケージの底面にグリッドアレイ状に入出力端子を設け、これをインターポーザを用いて回路基板に実装する技術が提案されている。インターポーザとは、絶縁素材のシートに、ICパッケージのグリッドアレイ状の入出力端子に対応する孔を開け、この孔に絶縁素材のシートの表裏方向を導通させる導電体(コネクタ)を挿入した高端子密度薄型コネクタのことである。回路基板上にも同様のグリッドアレイ状の端子パターンが設けられていることは言うまでもない。ここで、インターポーザを用いたICパッケージの回路基板上への実装を、図1を用いて説明する。
図1(a)は、本出願を適用するインターポーザ2が回路基板3とICパッケージ1の間に実装される状態を示すものである。また、図1(b)は図1(a)の状態を側面方向から見たものであり、インターポーザ2のみ断面が示してある。ICパッケージ1の裏面には入出力端子(電極)4がグリッドアレイ状に設けられており、回路基板3のICパッケージ1の取り付け部位には、この入出力端子4に対向する位置にそれぞれ端子パターン(電極)6が形成されている。回路基板3の上には端子パターン6に接続する回路パターンや電子部品が存在するが、ここではその図示を省略してある。
インターポーザ2は、ICパッケージ1と回路基板3との間に取り付けられ、ICパッケージ1の裏面にある入出力端子4を回路基板3の上の端子パターン6にそれぞれ接続するものである。このようなインターポーザ2は、絶縁素材のシート(以後インターポーザ基板という)8に、ICパッケージ1のグリッドアレイ状の入出力端子4に対応する孔9を開け、この孔9にコネクタ5を挿入した高端子密度薄型コネクタである。コネクタ5は全て同じ長さであり、インターポーザ基板8の表裏方向を導通させる導電体から構成されている。
このようなインターポーザ2は一般に、図1(c)に示すようなソケット7の内側に取り付けられて使用され、このソケット7が回路基板4に半田付け等によって実装される。ソケット7を使用すると、ICパッケージ1の回路基板4からの着脱が容易になる。
以上のように構成されたインターポーザ2においては、インターポーザ基板8の表裏方向を導通させる導電体から構成されるコネクタ5の構造が重要である。コネクタ5は、ICパッケージ1の裏面にある入出力端子4と回路基板3の上の端子パターン6に挟まれて圧縮されるので、上下からの圧力に対して収縮しながら両者間を導通させる弾力性を持たせることが行われている。
コネクタ5に弾力性を持たせた構造としては、特許文献1にコネクタ(特許文献1では導電コンタクトと記載)5を発泡金属から構成したり、発泡金属とエラストマとを組み合わせて形成した構成が開示されている。発泡金属は、銅、銅合金、銀、銀合金、金、ニッケル、モリブデン、等の導電金属を様々なプロセスを通じて生産される。このプロセスでは、気体を入れて溶融金属を泡立たせ、発泡剤を溶融金属に入れてかき混ぜ、微粒状発泡剤を用いて金属粉末を固め、溶融金属をワックス又は発泡ポリマ前駆物質に加圧浸透させ、発泡ポリマ前駆物質上に金属を付着させる蒸着処理が行われる。
しかしながら、特許文献1に開示の発泡金属から構成される導電コンタクトは、その生産処理に多くのプロセスが必要であり、製造コストが高いという課題があった。
この出願のインターポーザは、上下に対向状態で位置する複数の外部の電極を、圧縮された状態で導通させるインターポーザであって、誘電体材料からなる平板状基板と、平板状基板にグリッドアレイ状に開けられた貫通孔と、貫通孔にそれぞれ挿入される弾性導電コンタクトとからなり、弾性導電コンタクトは、貫通孔の全長よりも長い幅と、貫通孔に内接する円の円周の長さ以上の長さを備えるメッシュ状の弾性導電性シートから構成され、貫通孔内に丸めた状態で挿入されることを特徴としている。
本出願のインターポーザによれば、コネクタに相当する導電コンタクトが複雑な構造を有さず、廉価に構成することが可能である上に、安定した低抵抗の接触を実現できる。更に、高速で大型パッケージのスタック実装の信号品質と信頼度の高さを向上させることができ、より高速化、高密度化した装置を開発することが容易になる。
以下、添付図面を用いて本出願におけるインターポーザの実施の形態を、具体的な実施例に基づいて詳細に説明する。なお、この出願におけるインターポーザは、図1において説明したICパッケージ1と回路基板3の間に実装されるインターポーザ2と同様に使用されるものである。よって、以後の説明においては、図1で説明した構成部材と同じ構成部材については同じ符号を付して説明する。
まず、本出願のインターポーザの基本形態について図2を用いて説明する。図2(a)は、本出願において弾性接触子として使用するメッシュ状の弾性導電性シート10の形状を示すものである。メッシュ状の弾性導電性シート10は長方形状をしており、ステンレスのようなばね性を備えたシート状の金属をエッチングして製造することができる。メッシュ状の弾性導電性シート10の短尺方向の長さHは、この形態では図1に示したインターポーザ基板8の厚さよりも長くしてある。また、この形態では、メッシュ状の弾性導電性シート10の長尺方向の長さWを、図1に示したインターポーザ基板8に設けられた貫通孔9の内周の長さよりも僅かに長くしてある。
図2(a)に示したメッシュ状の弾性導電性シート10は、その両端部を同じ方向に曲げて図2(b)に示す状態にし、この状態から更に丸めて図2(c)に示すように円筒形にする。そして、円筒形にしたメッシュ状の弾性導電性シート10を、インターポーザ基板8に設けられた貫通孔9に挿入する。前述のように、メッシュ状の弾性導電性シート10の長尺方向の長さWは、貫通孔9の内周の長さよりも僅かに長いので、円筒形にしたメッシュ状の弾性導電性シート10には僅かに重なる部分がある。
図2(d)は、丸められたメッシュ状の弾性導電性シート10を、インターポーザ基板8に設けられている貫通孔9に挿入し、インターポーザ20を構成した状態を示すものである。メッシュ状の弾性導電性シート10は弾性を備えているので、貫通孔9に挿入した状態で貫通孔9の内周面方向に広がろうとする。従って、メッシュ状の弾性導電性シート10は貫通孔9に挿入した状態で固定しなくても、貫通孔9から外れることはない。また、メッシュ状の弾性導電性シート10は貫通孔9に挿入した状態で、インターポーザ基板8の上面から突出する高さH1と、下面から突出する高さH2とを同じにしておく。しかし、インターポーザ基板8の上面から突出するメッシュ状の弾性導電性シート10の高さH1と、下面から突出する高さH2とが異なっていても、インターポーザ20の使用時には多く突出している方が先に押されて突出高さは最終的に同じになるので問題はない。
図2(e)は、図2(d)に示したインターポーザ20の上部側にICパッケージ1が取り付けられ、下部側が回路基板3に載置された状態を示すものである。インターポーザ20のメッシュ状の弾性導電性シート10の上端部がICパッケージ1の入出力端子4に押され、下端部が回路基板3の端子パターン6に押されると、メッシュ状の弾性導電性シート10に押圧力が加わり、メッシュ状の弾性導電性シート10が収縮する。そして、入出力端子4と端子パターン6がメッシュ状の弾性導電性シート10を通じて接続される。このときの電流路はメッシュ状の弾性導電性シート10を構成する多数のビームである。
ここで、メッシュ状の弾性導電性シート10と貫通孔9がとり得る種々の形態(実施例)について図3と図4を用いて説明する。なお、図3では、メッシュ状の弾性導電性シート10を破線で示し、その端部を黒い丸で示している。
図3(a)は、図2(a)に示したメッシュ状の弾性導電性シート10の長尺方向の長さWを貫通孔9の内周よりも短くした場合の実施例を示すものである。この場合は、メッシュ状の弾性導電性シート10の両端部の間に僅かな隙間が生じる。この隙間は、長すぎるとメッシュ状の弾性導電性シート10が上下方向から押された時に、円筒形が崩れることがあるが、多少の隙間であれば問題は無い。
図3(b)は、図2(a)に示したメッシュ状の弾性導電性シート10の長尺方向の長さWを貫通孔9の内周と同じにした場合の実施例である。この実施例では、メッシュ状の弾性導電性シート10の両端部を接合しているが、接合するとメッシュ状の弾性導電性シート10を貫通孔9に挿入した後に広がらないので寸法管理が重要である。従って、メッシュ状の弾性導電性シート10の長尺方向の長さWを貫通孔9の内周と同じにした場合でも、メッシュ状の弾性導電性シート10の両端部は接合しなくても良い。
図3(c)は、図2(a)に示したメッシュ状の弾性導電性シート10の長尺方向の長さWを貫通孔9の内周よりも僅かに長くした場合の実施例を示すものである。この実施例は図2と同じであるので、これ以上の説明を省略する。
図3(d)は、図2(a)に示したメッシュ状の弾性導電性シート10の長尺方向の長さを貫通孔9の内周よりも2倍以上長くした場合の実施例を示すものである。この場合は円筒形にしたメッシュ状の弾性導電性シート10の上側の端部と下側の短部との間に、図3(a)から(c)に示した実施例に比べて2倍の電流路が形成される。よって、円筒形にしたメッシュ状の弾性導電性シート10の上側の端部と下側の短部との間の抵抗値が減る。なお、1枚のメッシュ状の弾性導電性シート10を2回巻いて二重にする以外にも、2枚のメッシュ状の弾性導電性シート10を重ねて丸めても二重の円筒形の導電性シート10を作ることができる。
図3(e)は、図3(d)と同様に、図2(a)に示したメッシュ状の弾性導電性シート10の長尺方向の長さを貫通孔9の内周よりも2倍以上長くした場合の実施例を示すものである。図3(d)に示した実施例では、メッシュ状の弾性導電性シート10を丸めてそのまま貫通孔9に挿入していた。一方、図3(e)に示す実施例では、メッシュ状の弾性導電性シート10を丸める際に成形し、メッシュ状の弾性導電性シート10の中央部分が平面視螺旋状の形状を保つようにしたものである。
図3(f)は,インターポーザ基板8に設けられた貫通孔9の断面形状が正方形である場合の実施例である。この場合は、図2(a)に示したメッシュ状の弾性導電性シート10の長尺方向の長さWを、この正方形に内接する円の円周と同じにすれば良い。メッシュ状の弾性導電性シート10の端部は接合して貫通孔9に挿入しても、接合せずに貫通孔9に挿入しても、どちらでも良い。
図3(g)は、インターポーザ基板8に設けられた貫通孔9の断面形状が正三角形である場合の実施例である。この場合は、図2(a)に示したメッシュ状の弾性導電性シート10の長尺方向の長さWを、この三角形に内接する円の円周と同じにすれば良い。メッシュ状の弾性導電性シート10の端部は接合して貫通孔9に挿入しても、接合せずに貫通孔9に挿入しても、どちらでも良い。
図3(h)は、インターポーザ基板8に設けられた貫通孔9の断面形状が楕円形である場合の実施例である。この場合は、図2(a)に示したメッシュ状の弾性導電性シート10の長尺方向の長さWを、この楕円形の内周と同じ長さにすれば良い。メッシュ状の弾性導電性シート10の端部は接合して貫通孔9に挿入しても、接合せずに貫通孔9に挿入しても、どちらでも良い。
更に、図4は、インターポーザ基板8に設けられた貫通孔9の断面形状が六角形である場合の実施例である。この実施例では、図2(a)に示したメッシュ状の弾性導電性シート10の長尺方向の長さWをこの六角形の内周の長さと同じにし、更に、導電性シートを中空の六角柱状に成形して貫通孔9に挿入するようにしたものである。メッシュ状の弾性導電性シート10の端部は接合して貫通孔9に挿入しても、接合せずに貫通孔9に挿入しても、どちらでも良い。
図5(a)は、本出願における第1の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート11を示すものである。第1の実施例ではメッシュ形状を、四角形状の孔を長尺方向に連続させると共に、短尺方向に複数列に並べ、奇数列と偶数列の四角形状の孔は、孔の全長の半分ずつずらして並べてできる形状としたものである。図5(b)は図5(a)のメッシュ状の弾性導電性シート11を丸めて両端部を接合し、円筒形にした状態を示すものである。また、図5(c)は図5(b)に示した円筒形にした第1の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート11を側面から見たものである。更に、図5(d)は、図5(c)に示した第1の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート11を貫通孔9に挿入して構成したインターポーザ20を示すものである。
図6(a)は、本出願における第2の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート12を示すものである。第2の実施例ではメッシュ形状を、V字状の孔12Aを長尺方向に連続させると共に、短尺方向にも複数列並べてできる形状としたものである。また、図6(b)は、本出願における第3の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート13を示すものである。第3の実施例ではメッシュ形状を、ジグザグ状のスリット13Aを長尺方向に連続させて並べてできる形状としたものである。更に、図6(c)は、本出願における第4の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート14を示すものである。第4の実施例ではメッシュ形状を、菱形の孔14Aをその斜辺が隣接するように並べてできる形状としたものである。
以上説明したように、本出願に使用するメッシュ状の弾性導電性シート10のメッシュ形状には、第1から第4の実施例に示したように、種々の形状が考えられるが、いずれの形状も、貫通孔9に丸めて挿入されたメッシュ状の弾性導電性シート10が、上下方向から付勢された時に、メッシュ状の弾性導電性シート10が上下方向に収縮できるような形状でなければならない。
図5並びに図6に示した第1から第4の実施例に示されるメッシュ状の弾性導電性シート11〜14は、図7に示すように何れもこの条件を満たすものである。まず、図7(a)に示す第1の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート11は、上下方向から押圧された時に、図7(b)に示すようにメッシュを構成するビームが上下方向に撓んで押圧力を吸収する。図7(c)に示す第2の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート12は、上下方向から押圧された時に、図7(d)に示すようにメッシュを構成するビームが横方向に移動して押圧力を吸収する。
更に、図7(e)に示す第3の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート13は、上下方向から押圧された時に、図7(f)に示すようにスリット13Aの長さが縮んで押圧力を吸収する。そして、図7(g)に示す第4の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート14は、上下方向から押圧された時に、図7(h)に示すようにメッシュを構成するビームが上下方向に撓んで押圧力を吸収する。
このように、本出願に係るインターポーザでは、簡単な構成で多ピン接続でも安定しており、信頼度が高いという効果がある。従って、本出願のインターポーザでは、高速で大型パッケージのスタック実装の信号品質と信頼度を向上させ、より高速化、高密度化した装置を開発することができる。
以上、本発明を特にその好ましい実施の形態を参照して詳細に説明した。本発明の容易な理解のために、本発明の具体的な形態を以下に付記する。
(付記1) 上下に対向状態で位置する複数の外部の電極を、圧縮された状態で導通させるインターポーザであって、
誘電体材料からなる平板状基板と、
前記平板状基板にグリッドアレイ状に開けられた貫通孔と、
前記貫通孔にそれぞれ挿入される弾性接触子とからなり、
前記弾性接触子は、前記貫通孔の全長よりも長い幅と、前記貫通孔に内接する円の円周の長さ以上の長さを備えるメッシュ状の弾性導電性シートから構成され、前記貫通孔内に丸めた状態で挿入されることを特徴とするインターポーザ。
(付記2) 前記貫通孔の断面形状が円形であることを特徴とする付記1に記載のインターポーザ。
(付記3) 前記貫通孔の断面形状が楕円であることを特徴とする付記1に記載のインターポーザ。
(付記4) 前記貫通孔の断面形状が多角形であることを特徴とする付記1に記載のインターポーザ。
(付記5) 前記導電性シートは、前記貫通孔内に、前記貫通孔の上部からも下部からも突出するように挿入されることを特徴とする付記1から4の何れかに記載のインターポーザ。
誘電体材料からなる平板状基板と、
前記平板状基板にグリッドアレイ状に開けられた貫通孔と、
前記貫通孔にそれぞれ挿入される弾性接触子とからなり、
前記弾性接触子は、前記貫通孔の全長よりも長い幅と、前記貫通孔に内接する円の円周の長さ以上の長さを備えるメッシュ状の弾性導電性シートから構成され、前記貫通孔内に丸めた状態で挿入されることを特徴とするインターポーザ。
(付記2) 前記貫通孔の断面形状が円形であることを特徴とする付記1に記載のインターポーザ。
(付記3) 前記貫通孔の断面形状が楕円であることを特徴とする付記1に記載のインターポーザ。
(付記4) 前記貫通孔の断面形状が多角形であることを特徴とする付記1に記載のインターポーザ。
(付記5) 前記導電性シートは、前記貫通孔内に、前記貫通孔の上部からも下部からも突出するように挿入されることを特徴とする付記1から4の何れかに記載のインターポーザ。
(付記6) 前記導電性シートの、前記貫通孔の上部から突出する長さと、下部から突出する長さが同じであることを特徴とする付記5に記載のインターポーザ。
(付記7) 前記導電性シートの長さは、前記貫通孔に内接する円の円周の長さと同じであり、前記貫通孔内に両端部分が接合された状態で挿入されることを特徴とする付記1から6の何れかに記載のインターポーザ。
(付記8) 前記導電性シートの長さは、前記貫通孔に内接する円の円周の長さよりも長く、前記貫通孔内に両端部分が重なった状態で挿入されることを特徴とする付記1から6の何れかに記載のインターポーザ。
(付記9) 前記導電性シートの長さは、前記貫通孔に内接する円の円周の長さの2倍以上の長さであり、前記貫通孔内に二重以上の重なった状態で挿入されることを特徴とする付記1から6の何れかに記載のインターポーザ。
(付記10) 前記導電性シートは、前記多角形状の貫通孔の断面形状に合わせて折り曲げられて成形された状態で、前記貫通孔内に挿入されることを特徴とする付記4に記載のインターポーザ。
(付記7) 前記導電性シートの長さは、前記貫通孔に内接する円の円周の長さと同じであり、前記貫通孔内に両端部分が接合された状態で挿入されることを特徴とする付記1から6の何れかに記載のインターポーザ。
(付記8) 前記導電性シートの長さは、前記貫通孔に内接する円の円周の長さよりも長く、前記貫通孔内に両端部分が重なった状態で挿入されることを特徴とする付記1から6の何れかに記載のインターポーザ。
(付記9) 前記導電性シートの長さは、前記貫通孔に内接する円の円周の長さの2倍以上の長さであり、前記貫通孔内に二重以上の重なった状態で挿入されることを特徴とする付記1から6の何れかに記載のインターポーザ。
(付記10) 前記導電性シートは、前記多角形状の貫通孔の断面形状に合わせて折り曲げられて成形された状態で、前記貫通孔内に挿入されることを特徴とする付記4に記載のインターポーザ。
(付記11) 前記導電性シートは、四角形状の孔がその長さ方向に複数列に並び、奇数列と偶数列の孔は、孔の全長の半分ずつずれて並んだメッシュ形状をしていることを特徴とする付記1から10の何れかに記載のインターポーザ。
(付記12) 前記導電性シートは、V字状の孔がその長さ方向に複数列に並んだメッシュ形状をしていることを特徴とする付記1から10の何れかに記載のインターポーザ。
(付記13) 前記導電性シートは、菱形の孔がその斜辺が隣接するように並んだメッシュ形状をしていることを特徴とする付記1から10の何れかに記載のインターポーザ。
(付記14) 前記導電性シートは、ジグザグ状のスリットがその長さ方向に並んだメッシュ形状をしていることを特徴とする付記1から10の何れかに記載のインターポーザ。
(付記15) 前記導電性シートは、ステンレス材で構成されていることを特徴とする付記1から14の何れかに記載のインターポーザ。
(付記12) 前記導電性シートは、V字状の孔がその長さ方向に複数列に並んだメッシュ形状をしていることを特徴とする付記1から10の何れかに記載のインターポーザ。
(付記13) 前記導電性シートは、菱形の孔がその斜辺が隣接するように並んだメッシュ形状をしていることを特徴とする付記1から10の何れかに記載のインターポーザ。
(付記14) 前記導電性シートは、ジグザグ状のスリットがその長さ方向に並んだメッシュ形状をしていることを特徴とする付記1から10の何れかに記載のインターポーザ。
(付記15) 前記導電性シートは、ステンレス材で構成されていることを特徴とする付記1から14の何れかに記載のインターポーザ。
1 ICパッケージ
2 インターポーザ
3 回路基板
4 入出力端子
5 コネクタ
6 端子パターン
7 ソケット
8 インターポーザ基板
9 孔
10 弾性接触子(メッシュ状の弾性導電性シート)
11 第1の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート
12 第2の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート
13 第3の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート
14 第4の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート
20 この出願のインターポーザ
2 インターポーザ
3 回路基板
4 入出力端子
5 コネクタ
6 端子パターン
7 ソケット
8 インターポーザ基板
9 孔
10 弾性接触子(メッシュ状の弾性導電性シート)
11 第1の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート
12 第2の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート
13 第3の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート
14 第4の実施例のメッシュ状の弾性導電性シート
20 この出願のインターポーザ
Claims (10)
- 上下に対向状態で位置する複数の外部の電極を、圧縮された状態で導通させるインターポーザであって、
誘電体材料からなる平板状基板と、
前記平板状基板にグリッドアレイ状に開けられた貫通孔と、
前記貫通孔にそれぞれ挿入される弾性接触子とからなり、
前記弾性接触子は、前記貫通孔の全長よりも長い幅と、前記貫通孔に内接する円の円周の長さ以上の長さを備えるメッシュ状の弾性導電性シートから構成され、前記貫通孔内に丸めた状態で挿入されることを特徴とするインターポーザ。 - 前記貫通孔の断面形状が円形であることを特徴とする請求項1に記載のインターポーザ。
- 前記前記貫通孔の断面形状が多角形であることを特徴とする請求項1に記載のインターポーザ。
- 前記導電性シートは、前記貫通孔内に、前記貫通孔の上部からも下部からも突出するように挿入されることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載のインターポーザ。
- 前記導電性シートの長さは、前記貫通孔に内接する円の円周の長さと同じであり、前記貫通孔内に両端部分が接合された状態で挿入されることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載のインターポーザ。
- 前記導電性シートの長さは、前記貫通孔に内接する円の円周の長さよりも長く、前記貫通孔内に両端部分が重なった状態で挿入されることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載のインターポーザ。
- 前記導電性シートの長さは、前記貫通孔に内接する円の円周の長さの2倍以上の長さであり、前記貫通孔内に二重以上の重なった状態で挿入されることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載のインターポーザ。
- 前記導電性シートは、四角形状の孔がその長さ方向に複数列に並び、奇数列と偶数列の孔は、孔の全長の半分ずつずれて並んだメッシュ形状をしていることを特徴とする請求項1から7の何れか1項に記載のインターポーザ。
- 前記導電性シートは、V字状の孔がその長さ方向に複数列に並んだメッシュ形状をしていることを特徴とする付記1から7の何れか1項に記載のインターポーザ。
- 前記導電性シートは、ジグザグ状のスリットがその長さ方向に並んだメッシュ形状をしていることを特徴とする請求項1から7の何れか1項に記載のインターポーザ。
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