JP6598521B2 - 真空積層方法 - Google Patents
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つぎに、前記真空一体化装置20(図2参照)と真空源(真空ポンプP)との間に介在配置された減圧速度制御手段50(図5参照)の効果を確認するために行った、確認試験の結果について説明する。
真空引きの流路上に、減圧速度制御手段を介在させた場合と介在させない場合とで、真空引き開始(大気圧)から、本実施形態で好ましいとした真空度(100Pa以下)に到達するまでの時間(秒)を比較した。
真空引きの流路上に減圧速度制御手段を介在させ、前記スピードコントローラのニードル回転数(ニードル弁の開度)を「1」として、上記真空ポンプPを用いて減圧空間が100Pa以下に到達するまでゆっくり減圧を行ったところ、減圧に要した時間は17.9秒であった。なお、搬送用フィルムF,F’に振動は観察されなかった。
真空引きの流路上に減圧速度制御手段を介在させ、前記スピードコントローラのニードル回転数(ニードル弁の開度)を「1.25」として、上記と同様に減圧空間が100Pa以下に到達するまでゆっくり減圧を行ったところ、減圧に要した時間は16.4秒であった。なお、搬送用フィルムF,F’に振動は観察されなかった。
真空引きの流路上に減圧速度制御手段を介在させ、前記スピードコントローラのニードル回転数(ニードル弁の開度)を「1.5」として、上記と同様に減圧空間が100Pa以下に到達するまでゆっくり減圧を行ったところ、減圧に要した時間は15.5秒であった。なお、搬送用フィルムF,F’に振動は観察されなかった。
真空引きの流路上に減圧速度制御手段を介在させ、前記スピードコントローラのニードル回転数(ニードル弁の開度)を「1.75」として、上記と同様に減圧空間が100Pa以下に到達するまでゆっくり減圧を行ったところ、減圧に要した時間は12.0秒であった。なお、搬送用フィルムF,F’に振動は観察されなかった。
真空引きの流路上に減圧速度制御手段を介在させ、前記スピードコントローラのニードル回転数(ニードル弁の開度)を「2」として、上記と同様に減圧空間が100Pa以下に到達するまでゆっくり減圧を行ったところ、減圧に要した時間は10.9秒であった。なお、搬送用フィルムF,F’に振動は観察されなかった。
真空引きの流路上に減圧速度制御手段を介在させ、前記スピードコントローラのニードル回転数(ニードル弁の開度)を「2.5」として、上記と同様に減圧空間が100Pa以下に到達するまでゆっくり減圧を行ったところ、減圧に要した時間は10.6秒であった。なお、搬送用フィルムF,F’に振動は観察されなかった。
これらに対して、減圧速度制御手段を介在させない場合(従来法)、減圧空間が100Pa以下に到達するのに6.1秒を要した。なお、減圧空間に気流(風)が巻き起こるため、搬送用フィルムF,F’が上下に振動し、ワークWが所定の位置からずれる現象が観察された。
50 減圧速度制御手段
F,F’ 搬送用フィルム
P 真空ポンプ
W ワーク
Claims (1)
- 回路基板の上にラミネート用の樹脂フィルムが載置されたワークを、搬送用フィルムの間に挟んで搬送する基板搬送手段を有するワーク搬送工程と、ワークを減圧状態で一対の押圧体の間に挟んで加圧し上記樹脂フィルムを回路基板表面に密着させる真空一体化手段、および、上記一対の押圧体の間の空間を減圧するための真空源を含む減圧手段を有する真空積層工程とを備え、
上記真空積層工程における真空源と真空一体化手段との間に、上記真空源が吸引する空気の流量を調節する減圧速度制御手段が介在配置され、上記減圧手段によるワーク周囲の空間の真空引きの速度が調節可能になっており、
上記減圧速度制御手段が、ピストンロッドを有するエアーシリンダと、このエアーシリンダのピストンロッドの往復動に連動して上記真空源による真空引きの作動を開と閉との間で切り替える開閉弁と、上記エアーシリンダに供給される作動流体の流量を調節する流量調整弁とを有しており、上記開閉弁の開閉が所定の時間をかけて定速で行われるようになっており、真空引きの時間の経過とともに上記開閉弁の開度が大きくなり、上記開閉弁を通過する空気の流量が多くなることを特徴とする真空積層方法。
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