JP6591808B2 - パワーモジュールおよびインバータ装置 - Google Patents
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Description
本実施の形態に係るパワーモジュール20の鳥瞰構成は、図1に示すように表される。また、本実施の形態に係るパワーモジュール20において、セラミックス基板(実装基板)8上に形成された金属パターン(金属基板)3の周辺部にセラミックス枠(枠部材)10を配置した、図1のII−II線に沿う主要部の模式的断面構造は、図2に示すように表される。
本実施の形態に係るパワーモジュール20の製造方法は、主に、セラミックス基板8上の金属パターン3の周辺部にセラミックス枠10を形成する工程と、セラミックス枠10の内側の金属パターン3上に半導体デバイス1を配置する工程と、セラミックス枠10を含んで、半導体デバイス1およびセラミックス基板8を封止する樹脂層14を形成する工程とを有する。
本実施の形態の変形例1に係るパワーモジュールにおいて、セラミックス枠10の平面パターン構成は、図15(a)に示すように表され、図15(a)のXVII−XVII線に沿う模式的断面構造は、図15(b)に示すように表される。
本実施の形態の変形例2に係るパワーモジュールにおいて、セラミックス枠10の模式的断面構造は、図15(c)に示すように表される。
本実施の形態の変形例3に係るパワーモジュールにおいて、セラミックス枠10の模式的断面構造は、図15(d)に示すように表される。
本実施の形態の変形例4に係るパワーモジュールにおいて、セラミックス枠10の模式的断面構造は、図16(a)に示すように表される。
本実施の形態の変形例5に係るパワーモジュールにおいて、セラミックス枠10の模式的断面構造は、図16(b)に示すように表される。
本実施の形態の変形例6に係るパワーモジュールにおいて、セラミックス枠10の模式的断面構造は、図16(c)に示すように表される。
本実施の形態の変形例7に係るパワーモジュールにおいて、セラミックス枠10の模式的断面構造は、図16(d)に示すように表される。
本実施の形態の変形例8に係るパワーモジュールにおいて、セラミックス枠10の平面パターン構成は、図17(a)〜図17(d)に示すように表される。
本実施の他の形態に係るパワーモジュール20としては、図18に示すように、ボンディングワイヤ4・6の代わりに、ブロック端子電極17を備えるようにしても良い。
本実施の他の形態に係るパワーモジュール20としては、図19および図20に示すように、セラミックス枠10の内側の金属パターン3上に、ボンディングワイヤ19とブロック端子電極23とを切り替える中継用基板18、および半導体デバイス1上のソース電極とセラミックス基板8上の金属パターン7との間を接続するブロック端子電極21を備えるようにしても良い。
本実施の他の形態に係るパワーモジュール200であって、2個の半導体デバイスが1つのモジュールに内蔵された、いわゆるツーインワンモジュール(2 in 1 Module:ハーフブリッジ内蔵モジュール)の鳥瞰構成は、図21に示すように表される。
以下、本実施の形態に係るパワーモジュール20の具体例を説明する。もちろん、以下に説明するパワーモジュール20においても、金属パターン3上の半導体デバイス1の周囲にセラミックス枠10を形成し、金属パターン3と半導体デバイス1とのCTE値の差を緩和させる構成を採用している。
本実施の形態に係るパワーモジュール20・20Tに適用可能な半導体デバイスの例であって、SiC MISFET110の模式的断面構造は、図28(a)に示すように表され、IGBT110Aの模式的断面構造は、図28(b)に示すように表される。
本実施の形態に係るパワーモジュール20Tに適用可能な半導体デバイスの例であって、SiC DIMISFET110の模式的断面構造は、図31に示すように表される。
本実施の形態に係るパワーモジュール20Tに適用可能な半導体デバイスの例であって、SiC TMISFET110の模式的断面構造は、図32に示すように表される。
本実施の形態に係るパワーモジュール20Tを用いて構成した3相交流インバータ140の回路構成において、半導体デバイスとしてSiC MISFETを適用し、電源端子PL・接地端子NL間にスナバコンデンサCを接続した回路構成例は、図33(a)に示すように表される。
次に、図34を参照して、半導体デバイスとしてSiC MISFETを適用した本実施の形態に係るパワーモジュール20Tを用いて構成した3相交流インバータ140について説明する。
上記のように、いくつかの実施の形態について記載したが、開示の一部をなす論述および図面は例示的なものであり、実施の各形態を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
2…チップ下接合層
3…金属パターン(金属基板)
5、7…金属パターン
4、6、19…ボンディングワイヤ
8…セラミックス基板(実装基板)
9…金属パターン
10、101 、104 、10a、10b、10c、10d…セラミックス枠(枠部材)
11…枠下接合層
12、13、17、21、23…ブロック端子電極
14…樹脂層
16…基板下半田層
18…中継用基板
20、20T、200…パワーモジュール
221 ・224 …上面板電極
241 ・244 …信号基板
251 ・254 …柱状電極
321 ・324 …主配線導体(金属基板)
100…ヒートシンク
Claims (19)
- 絶縁性の実装基板の表面上に形成された第1の金属パターンと、
前記第1の金属パターン上に接合された複数のパワーデバイスと、
前記第1の金属パターン上の、複数の前記パワーデバイスをまとめて囲うように配置された枠部材であって、前記パワーデバイスの厚みよりも厚い枠部材と、
前記枠部材を含み、複数の前記パワーデバイスおよび前記第1の金属パターンの側面を封止する樹脂層と
を備え、
前記枠部材の線熱膨張係数は、前記第1の金属パターンの線熱膨張係数よりも低く、且つ前記パワーデバイスの線熱膨張係数よりも高く、前記枠部材の断面構造は、T字構造、逆L字構造もしくはΓ字構造のいずれかを有することを特徴とするパワーモジュール。 - 前記第1の金属パターンは、DBC基板または銅フレームを有するセラミックス基板であることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール。
- 前記枠部材は、セラミックスまたは線熱膨張係数が前記銅フレームよりも低い金属またはセラミックスと金属の複合材料であることを特徴とする請求項2に記載のパワーモジュール。
- 前記第1の金属パターンは、線熱膨張係数の値が16ppm/Kで、前記パワーデバイスは、線熱膨張係数の値が3ppm/K、とした場合の前記枠部材の線熱膨張係数は、2ppm/K〜10ppm/Kの範囲内の値を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のパワーモジュール。
- 前記枠部材は、前記第1の金属パターンの縁に沿って配置されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のパワーモジュール。
- 前記枠部材は、前記第1の金属パターンの縁よりも内側に配置されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のパワーモジュール。
- 前記枠部材は、平面視形状が前記パワーデバイスを挟むように平行する複数の線形であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のパワーモジュール。
- 前記枠部材は、その表面が粗面化処理されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のパワーモジュール。
- 前記実装基板上に第2の金属パターンを備え、
前記パワーデバイスの電極に一端が接続され、他端が前記枠部材を乗り越えて前記第2の金属パターンに接続されるブロック端子電極を備えることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載のパワーモジュール。 - 前記パワーデバイスに接続されるボンディングワイヤとブロック端子電極とを備えることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載のパワーモジュール。
- ヒートシンクをさらに備え、
前記実装基板は、前記ヒートシンク上に配置されることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール。 - 前記実装基板は、その裏面側に形成された金属フレームをさらに備え、
前記金属フレームが前記ヒートシンクに接続されることを特徴とする請求項11に記載のパワーモジュール。 - 前記樹脂層は、トランスファーモールド成形されることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール。
- 前記樹脂層は、線熱膨張係数の値が12ppm/K〜14ppm/Kの範囲内であることを特徴とする請求項1または13に記載のパワーモジュール。
- 前記パワーデバイスは、IGBT、ダイオード、Si系MISFET、SiC系MISFET、GaNFETのいずれかの半導体チップを備えることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール。
- 前記第1の金属パターンは、DBA基板またはAMB基板であることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール。
- 電源端子間に複数のスイッチング素子を直並列に接続し、前記複数のスイッチング素子の接続部を出力とする回路を有し、請求項1〜16に記載のパワーモジュールを少なくとも1つ以上搭載するインバータ装置であって、前記枠部材は、複数の前記スイッチング素子をまとめて囲むように配置されることを特徴とするインバータ装置。
- 前記複数のスイッチング素子は、それぞれの上面に接合された柱状電極と、前記柱状電極を共通接続する上面板電極を介して接続される外部端子を有することを特徴とする請求項17に記載のインバータ装置。
- 前記枠部材の厚みが前記第1の金属パターンの厚みと同じである請求項1に記載のパワーモジュール。
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