JP6553224B1 - 磁気記憶装置 - Google Patents
磁気記憶装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6553224B1 JP6553224B1 JP2018040445A JP2018040445A JP6553224B1 JP 6553224 B1 JP6553224 B1 JP 6553224B1 JP 2018040445 A JP2018040445 A JP 2018040445A JP 2018040445 A JP2018040445 A JP 2018040445A JP 6553224 B1 JP6553224 B1 JP 6553224B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- magnetic layer
- magnetic
- layer
- axis direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 728
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims abstract description 176
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 9
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 3
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 105
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 45
- 230000008859 change Effects 0.000 description 37
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 14
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 7
- 101100167360 Drosophila melanogaster chb gene Proteins 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 229910019236 CoFeB Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 3
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 2
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000003936 working memory Effects 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018936 CoPd Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018979 CoPt Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015187 FePd Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005335 FePt Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000002902 ferrimagnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1675—Writing or programming circuits or methods
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/161—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect details concerning the memory cell structure, e.g. the layers of the ferromagnetic memory cell
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1659—Cell access
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/16—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using elements in which the storage effect is based on magnetic spin effect
- G11C11/165—Auxiliary circuits
- G11C11/1673—Reading or sensing circuits or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/80—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/80—Constructional details
- H10N50/85—Magnetic active materials
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N52/00—Hall-effect devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N52/00—Hall-effect devices
- H10N52/80—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B61/00—Magnetic memory devices, e.g. magnetoresistive RAM [MRAM] devices
- H10B61/20—Magnetic memory devices, e.g. magnetoresistive RAM [MRAM] devices comprising components having three or more electrodes, e.g. transistors
- H10B61/22—Magnetic memory devices, e.g. magnetoresistive RAM [MRAM] devices comprising components having three or more electrodes, e.g. transistors of the field-effect transistor [FET] type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
- Mram Or Spin Memory Techniques (AREA)
Abstract
Description
本発明の実施形態によれば、磁気記憶装置は、導電層、第1磁性層、第2磁性層及び第1非磁性層を含む。前記導電層は、第1領域と、第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間の第3領域と、を含む。前記第2磁性層は、前記第1領域から前記第2領域への第2方向と交差する第1方向において前記第3領域と前記第1磁性層との間に設けられる。前記第1非磁性層は、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられる。前記第3領域は、第1端部及び第2端部を含み、前記第2端部から前記第1端部への方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む第1平面と交差する。前記第1端部は、第1後退部を含む。前記第2端部は、第2後退部を含む。前記第1後退部の前記第2方向に沿う第1位置は、前記第2後退部の前記第2方向に沿う第2位置とは異なる。
本発明の実施形態によれば、磁気記憶装置は、導電層、第1磁性層、第2磁性層及び第1非磁性層を含む。前記導電層は、第1領域と、第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間の第3領域と、を含む。前記第2磁性層は、前記第1領域から前記第2領域への第2方向と交差する第1方向において前記第3領域と前記第1磁性層との間に設けられる。前記第1非磁性層は、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられる。前記第3領域は、第1端部及び第2端部を含む。前記第2端部から前記第1端部への方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む第1平面と交差する。前記第1端部は、突出部を含む。前記第2端部は、後退部を含む。
本発明の実施形態によれば、磁気記憶装置は、導電層、第1磁性層、第2磁性層及び第1非磁性層を含む。前記導電層は、第1領域と、第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間の第3領域と、を含む。前記第2磁性層は、前記第1領域から前記第2領域への第2方向と交差する第1方向において前記第3領域と前記第1磁性層との間に設けられる。前記第1非磁性層は、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられる。前記第3領域の形状は、前記第2方向に沿う線に対して非対称である。前記第3領域の前記形状は、前記第3領域の前記形状の重心に対して点対称である。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)及び図1(b)は、第1実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
図1(a)の一部は、図1(b)の中心線Lcに沿う断面図の例を示している。図1(b)は、磁気記憶装置の一部の例を示す平面図である。
図2は、導電層21を流れる電流を例示している。この例では、この電流は、第2電流Iw2(図1(a)参照:第2領域21bから第1領域21aへの向き)に対応する。
これらの図は、実施形態に係る1つの例の磁気記憶装置111を例示している。磁気記憶装置111に関する以下の説明において、磁気記憶装置110と共通する部分の少なくとも一部の説明を省略する。図3(a)は、第2磁性層12を例示している。図3(b)は、磁気記憶装置111における電流を例示している。
図4に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置112において、方向12LA(例えば長軸方向)は、Y軸方向に沿う。方向12SA(例えば短軸方向)は、X軸方向に沿う。この場合も、例えば、書き込み電流Icm(図3(b)参照)の向きは、方向12LA及び方向12SAに対して、傾斜する。例えば、導電層21の第3領域21cにおいて、電流は、第2磁性層12の磁化容易軸の方向(例えば第2磁化12M)に対して傾斜する。
図5(a)及び図5(b)に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置113において、第2磁性層12の一部(部分12a)は、第1突出部21paの少なくとも一部に沿う。第2磁性層12の別の一部(部分12b)は、第2突出部21pbの少なくとも一部に沿う。第2磁性層12の平面形状は、実質的に平行四辺形である。
図6(a)及び図6(b)に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置114において、第2磁性層12の一部(部分12a)は、第1突出部21paの少なくとも一部に沿う。第2磁性層12の別の一部(部分12b)は、第2突出部21pbの少なくとも一部に沿う。
これらの図に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置115a〜115cにおいても、第1突出部21pa及び第2突出部21pbが設けられている。第3領域21cは、非線対称である。第2磁性層12の平面形状は、実質的に偏平円(楕円を含む)である。磁気記憶装置115aにおいて、第1突出部21pa及び第2突出部21pbのそれぞれの突出量は、実質的に同じである。磁気記憶装置115bにおいて、第1突出部21paの突出量は、第2突出部21pbの突出量とは異なる。磁気記憶装置115cにおいて、第1突出部21paから第2突出部21pbへの方向は、第2磁性層12の長軸(または短軸)と交差する。磁気記憶装置115cにおいて、第2磁性層12の長軸は、Y軸方向に沿う。磁気記憶装置115cにおいて、第2磁性層12の短軸は、X軸方向に沿う。
図8(a)の一部は、図8(b)の中心線Lcに沿う断面図の例を示している。図8(b)は、磁気記憶装置の一部の例を示す平面図である。
これらの図は、導電層21及び磁性層の形状の例を示している。
図10は、図1(a)に対応する模式的断面図に対応する。
図10に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置117においても、導電層21、第1磁性層11、第2磁性層12及び第1非磁性層11iが設けられる。磁気記憶装置117においては、導電層21の厚さが場所(領域)によって異なる。磁気記憶装置117におけるこれ以外の構成は、磁気記憶装置110(または、実施形態に係る上記の磁気記憶装置)と同様である。
第2実施形態においても、磁気記憶装置において、導電層21、第1磁性層11、第2磁性層12及び第1非磁性層11iが設けられる。これらの断面の構造は、例えば、磁気記憶装置110(図1(a)参照)における断面の構造と同様である。第2実施形態においては、導電層21の平面形状が、第1実施形態における導電層21の平面形状とは異なる。以下、第2実施形態における導電層21の平面形状の例について説明する。以下の説明において、第1実施形態と同様の構成の少なくとも一部については、適宜省略する。
図11は、実施形態に係る磁気記憶装置120の一部(導電層21)の例を示す平面図である。図11に示すように、この例においても、導電層21は、第1領域21a、第2領域21b及び第3領域21cを含む。この場合も、第3領域21cは、第1領域21a及び第2領域21bの間に設けられる。この場合も、第3領域21cは、第1端部21ca及び第2端部21cbを含む。第2端部21cbから第1端部21caへの方向は、第1平面(Z−X平面)と交差する。第1平面は、第1方向(Z軸方向)及び第2方向(例えば、X軸方向)を含む。
図12は、導電層21を流れる電流を例示している。この例では、この電流は、第2電流Iw2(図1(a)参照:第2領域21bから第1領域21aへの向き)に対応する。
これらの図は、実施形態に係る1つの例の磁気記憶装置121を例示している。磁気記憶装置121に関する以下の説明において、磁気記憶装置120と共通する部分の少なくとも一部の説明を省略する。図13(a)は、第2磁性層12を例示している。図13(b)は、磁気記憶装置121における電流を例示している。
図14(a)に示すように、磁気記憶装置122aにおいては、方向12LAは、Y軸方向に沿う。方向12SAは、X軸方向に沿う。第2磁性層12の端部(短辺)は、X軸方向に沿う。
図15に示すように、磁気記憶装置123においては、第2磁性層12の一部(部分12a)は、第1後退部21raの少なくとも一部に沿う。第2磁性層12の別の一部(部分12b)は、第2後退部21rbの少なくとも一部に沿う。第2磁性層12の平面形状は、実質的に平行四辺形である。このような形状により、第2磁性層12の中心の近傍における電流密度JNに比べて、第2磁性層12のエッジ部分12epの近傍における電流密度JLを高くできる。
図16(a)及び図16(b)に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置124において、第2磁性層12の一部(部分12a)は、第1後退部21raの少なくとも一部に沿う。第2磁性層12の別の一部(部分12b)は、第2後退部21rbの少なくとも一部に沿う。
図17(a)に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置125aにおいては、導電層21及び第2磁性層12に加えて、第4磁性層14が設けられる。磁気記憶装置125aにおいては、第1磁性層11、第1非磁性層11i、第3磁性層13及び第2非磁性層12iが設けられる(図8(a)参照)。これらの層の断面の構成は、磁気記憶装置116(図8(a)参照)と同様である。以下、磁気記憶装置125aに関して、導電層21及び第4磁性層14の例について説明する。
第3実施形態においても、磁気記憶装置において、導電層21、第1磁性層11、第2磁性層12及び第1非磁性層11iが設けられる。これらの断面の構造は、例えば、磁気記憶装置110(図1(a)参照)における断面の構造と同様である。第3実施形態においては、導電層21の平面形状が、第1実施形態及び第2実施形態における導電層21の平面形状とは異なる。以下、第3実施形態における導電層21の平面形状の例について説明する。以下の説明において、第1実施形態または第2実施形態と同様の構成の少なくとも一部については、適宜省略する。
図18は、実施形態に係る磁気記憶装置130の一部(導電層21)の例を示す平面図である。図18に示すように、この例においても、導電層21は、第1領域21a、第2領域21b及び第3領域21cを含む。この場合も、第3領域21cは、第1領域21a及び第2領域21bの間に設けられる。この場合も、第3領域21cは、第1端部21ca及び第2端部21cbを含む。第2端部21cbから第1端部21caへの方向は、第1平面(Z−X平面)と交差する。第1平面は、第1方向(Z軸方向)及び第2方向(例えば、X軸方向)を含む。
図19は、実施形態に係る磁気記憶装置131の一部(導電層21)の例を示す平面図である。図19に示すように、この例においても、導電層21の第1端部21caに突出部21ppが設けられ、導電層21の第2端部21cbに後退部21rrが設けられる。この例においては、突出部21ppの第2方向(例えば、X軸方向)に沿う第1位置21pepは、後退部21rrの第2方向に沿う第2位置21repとは異なる。例えば、第1位置21pepは、第2方向において、第2位置21repからシフトしている。
図20に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置132においては、第2磁性層12に関する1つの方向12LA(例えば長軸方向)は、Y軸方向に沿う。第2磁性層12に関する別の1つの方向12SA(例えば短軸方向)は、X軸方向に沿う。
図21に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置133においては、第2磁性層12に関する1つの方向12LA(例えば長軸方向)は、トップボトム方向Dpに沿う。トップボトム方向Dpは、後退部21rrのボトム部21reから、突出部21ppのトップ部21peに向かう。第2磁性層12に関する別の1つの方向12SA(例えば短軸方向)は、トップボトム交差方向Dnに沿う。トップボトム交差方向Dnは、第1方向(Z軸方向)に対して垂直でトップボトム方向Dpと交差する。トップボトム方向Dp及びトップボトム交差方向Dnは、第2方向(例えばX軸方向)に対して傾斜する。
第4実施形態においても、磁気記憶装置において、導電層21、第1磁性層11、第2磁性層12及び第1非磁性層11iが設けられる。これらの断面の構造は、例えば、磁気記憶装置110(図1(a)参照)における断面の構造と同様である。第4実施形態においては、導電層21の平面形状が、第1〜3実施形態における導電層21の平面形状とは異なる。以下、第4実施形態における導電層21の平面形状の例について説明する。以下の説明において、第1〜第3実施形態と同様の構成の少なくとも一部については、適宜省略する。
図22に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置140においても、導電層21及び第2磁性層12が設けられる。本実施形態においても、第1磁性層11及び第1非磁性層11iが設けられる(図1(a)参照)。図22においては、これらの層は省略されている。
図23(a)及び図24(a)に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置141及び142においても、第3領域21cの平面形状(X−Y平面における形状)は、第2方向(例えば、X軸方向)に沿う1つの線(例えば中心線Lc)に対して非対称(非線対称)である。この線(例えば中心線Lc)は、第3方向(例えばY軸方向)における第1領域21aの中心、及び、第3方向における第2領域21bの中心を通る。第1領域21a及び第2領域21bは、この線(例えば、中心線Lc)に対して線対称である。
図25(a)〜図25(d)に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置143a〜143dにおいては、第1領域21aの端部L11は、第2領域21bの端部L21の延長線からシフトしている。第1領域21aの端部L12は、第2領域21bの端部L22の延長線からシフトしている。Y軸方向における第1領域21aの中心は、Y軸方向における第2領域21bの中心からシフトする。
図26(a)〜図26(c)は、第5実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
図26(a)は、磁気記憶装置に含まれる一部の要素の平面図である。図26(b)は、図26(a)のA1−A2線断面図である。図26(c)は、図26(a)のB1−B2線断面図である。
これらの図に示す磁気記憶装置151及び152において、例えば、導電層21及び磁性層12の平面形状は、図26(a)と同様である。図27(a)及び図28(a)は、図26(a)のA1−A2線断面に対応する。図27(b)及び図28(b)は、図26(a)のB1−B2線断面に対応する。
図29に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置153においても、導電層21及び磁性層12が設けられる。磁気記憶装置153においては、第3領域21cの第1端部21ca及び第2端部21cbは、X軸方向に沿う。第3領域21cにおいて、第1後退部21ra及び第2後退部21rbが設けられている。この例では、第3領域21cと第1領域21aとの間の境界は、ボトム部方向Drpに沿う。第3領域21cと第2領域21bとの間の境界は、ボトム部方向Drpに沿う。
以下の第6実施形態に関する説明において、第1〜第5実施形態と同様の構成の少なくとも一部については、適宜省略される。
図30(a)は、平面図である。図30(b)は、図30(a)の中心線Lc(Z−X平面)における断面図である。図30(c)は、図30(a)のC1−C2線断面図である。図30(d)は、図30(a)のA1−A2線断面図である。図30(d)は、図30(a)のB1−B2線断面図である。
図38(a)及び図39(a)は、図30(a)のC1−C2線断面に対応する。図38(b)及び図39(b)は、図30(a)のA1−A2線断面に対応する。図38(c)及び図39(c)は、図30(a)のB1−B2線断面に対応する。
以下の第7実施形態に関する説明において、第1〜第6実施形態と同様の構成の少なくとも一部については、適宜省略される。
図40(a)は、平面図である。図40(b)は、図40(a)のA1−A2線断面図である。図40(c)は、図40(a)のB1−B2線断面図である。
これらの図に示す磁気記憶装置171において、平面形状は、例えば、磁気記憶装置170と同様である。
既に説明したように、制御部70は、第1積層体SB1(第1磁性層11)及び第2積層体SB2(第3磁性層13)と、電気的に接続されている。第1積層体SB1に情報を書き込むときには、第1磁性層11に所定の選択電圧が印加される。このとき、第2積層体SB2には、非選択電圧が印加される。一方、第2積層体SB2に情報を書き込むときには、第3磁性層13に所定の選択電圧が印加される。このとき、第1積層体SB1には、非選択電圧が印加される。0ボルトの電圧の印加も、「電圧の印加」に含まれる。選択電圧の電位は、非選択電圧の電位とは異なる。
図42(a)に示すように、制御部70と第1磁性層11とが、第1配線70aにより電気的に接続される。制御部70と第3磁性層13とが、第2配線70bにより電気的に接続される。この例では、第1配線70a上に第1スイッチSw1が設けられている。第2配線70b上に第2スイッチSw2が設けられている。制御部70が、第1配線70aの電位を制御することで、第1磁性層11の電位が制御される。第1配線70aにおける電位の変化は実質的に小さい。このため、第1配線70aの電位を、第1磁性層11の電位と見なすことができる。同様に、第2配線70bの電位を、第3磁性層13の電位と見なすことができる。以下では、第1磁性層11の電位は、第1配線70aの電位と同じとみなす。以下では、第3磁性層13の電位は、第2配線70bの電位と同じとみなす。
図43(a)〜図43(c)は、実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式的斜視図である。
図43(a)に示すように、実施形態にかかる磁気記憶装置220において、複数の積層体(第1積層体SB1及び第2積層体SB2)が設けられる。磁気記憶装置220においては、第1積層体SB1に流れる電流と、第2積層体SB2に流れる電流とは別である。
読み出し動作QP3において、第4端子T4の電位を第4電位V4とする。そして、第5端子T5の電位を第5電位V5とする。第4電位V4は、例えば、接地電位である。第4電位V4と第5電位V5との間の電位差をΔVとする。複数の積層体のそれぞれにおける2つの電気抵抗を、高抵抗Rh及び低抵抗Rlとする。高抵抗Rhは、低抵抗Rlよりも高い。例えば、第1磁化11Mと第2磁化12Mとが反平行であるときの抵抗が、高抵抗Rhに対応する。例えば、第1磁化11Mと第2磁化12Mとが平行であるときの抵抗が、低抵抗Rlに対応する。例えば、第3磁化13Mと第4磁化14Mとが反平行であるときの抵抗が、高抵抗Rhに対応する。例えば、第3磁化13Mと第4磁化14Mとが平行であるときの抵抗が、低抵抗Rlに対応する。
Vr1={Rl/(Rl+Rh)}×ΔV …(1)
一方、図43(b)に例示する動作QP2(”0”状態)の状態において、第3端子T3の電位Vr2は、(2)式で表される。
Vr2={Rh/(Rl+Rh)}×ΔV …(2)
従って、”1”状態と”0”状態との間における、電位変化ΔVrは、(3)式で表される。
ΔVr=Vr2−Vr1={(Rh−Rl)/(Rl+Rh)}×ΔV …(3)
電位変化ΔVrは、第3端子T3の電位を測定することによって得られる。
図44に示すように、磁気記憶装置310においては、メモリセルアレイMCA、複数の第1配線(例えば、ワード線WL1及びWL2など)、複数の第2配線(例えば、ビット線BL1、BL2及びBL3など)、及び、制御部70が設けられる。複数の第1配線は、1つの方向に延びる。複数の第2配線は、別の1つの方向に延びる。制御部70は、ワード線選択回路70WS、第1ビット線選択回路70BSa、第2ビット線選択回路70BSbと、第1書込み回路70Wa、第2書き込み回路70Wb、第1読出し回路70Ra、及び、第2読出し回路70Rb、を含む。メモリセルアレイMCAにおいて、複数のメモリセルMCが、アレイ状に並ぶ。
書込みを行なう1つのメモリセルMC(選択メモリセル)のスイッチSwS1がオン状態とされる。例えば、オン状態においては、この1つのスイッチSwS1のゲートが接続されたワード線WL2が、ハイレベルの電位に設定される。電位の設定は、ワード線選択回路70WSにより行われる。上記の1つのメモリセルMC(選択メモリセル)を含む列の他のメモリセルMC(非選択メモリセル)におけるスイッチSwS1もオン状態となる。1つの例では、メモリセルMC(選択メモリセル)内のスイッチSw1のゲートに接続されるワード線WL1、及び、他の列に対応するワード線WL1及びWL2は、ロウレベルの電位に設定される。
読出しを行なうメモリセルMC(選択セル)に接続されたワード線WL1がハイレベルの電位に設定される。上記のメモリセルMC(選択セル)内のスイッチSw1がオン状態にされる。このとき、上記のメモリセルMC(選択セル)を含む列の他のメモリセルMC(非選択セル)におけるスイッチSw1もオン状態となる。上記のメモリセルMC(選択セル)内のスイッチSwS1のゲートに接続されるワード線WL2、及び、他の列に対応するワード線WL1及びWL2は、ロウレベルの電位に設定される。
Lc…中心線、 MC…メモリセル、 MCA…メモリセルアレイ、 OP1〜OP4…第1〜第4動作、 P13、P23…点、 QP1〜OP3…動作、 SB1、SB2…第1、第2積層体、 SBn…積層体、 Sw1、Sw2…第1、第2スイッチ、 SwS1…スイッチ、 SwSn…スイッチ、 Swn…スイッチ、 T1〜T5…第1〜第5端子、 V0…電位、 V1…第1電圧、 V2…第2電圧、 WL1、WL2…ワード線
Claims (11)
- 第1領域と、第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間の第3領域と、を含む導電層と、
第1磁性層と、
前記第1領域から前記第2領域への第2方向と交差する第1方向において前記第3領域と前記第1磁性層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた第1非磁性層と、
を備え、
前記第3領域は、第1端部及び第2端部を含み、前記第2端部から前記第1端部への方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む第1平面と交差し、
前記第1端部は、第1突出部を含み、
前記第2端部は、第2突出部を含み、
前記第1突出部の前記第2方向に沿う第1位置は、前記第2突出部の前記第2方向に沿う第2位置とは異なる、磁気記憶装置。 - 前記第2磁性層の一部は、前記第1突出部の少なくとも一部に沿う、請求項1記載の磁気記憶装置。
- 第1領域と、第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間の第3領域と、を含む導電層と、
第1磁性層と、
前記第1領域から前記第2領域への第2方向と交差する第1方向において前記第3領域と前記第1磁性層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた第1非磁性層と、
を備え、
前記第3領域は、第1端部及び第2端部を含み、前記第2端部から前記第1端部への方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む第1平面と交差し、
前記第1端部は、第1後退部を含み、
前記第2端部は、第2後退部を含み、
前記第1後退部の前記第2方向に沿う第1位置は、前記第2後退部の前記第2方向に沿う第2位置とは異なる、磁気記憶装置。 - 前記第2磁性層の一部は、前記第1後退部の少なくとも一部に沿う、請求項3記載の磁気記憶装置。
- 第1領域と、第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間の第3領域と、を含む導電層と、
第1磁性層と、
前記第1領域から前記第2領域への第2方向と交差する第1方向において前記第3領域と前記第1磁性層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた第1非磁性層と、
を備え、
前記第3領域は、第1端部及び第2端部を含み、前記第2端部から前記第1端部への方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む第1平面と交差し、
前記第1端部は、突出部を含み、
前記第2端部は、後退部を含む、磁気記憶装置。 - 前記第1平面に対して垂直な少なくとも1つの断面における前記第1端部の形状は、前記少なくとも1つの断面における前記第2端部の形状とは異なる、請求項1〜5のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
- 第1領域と、第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間の第3領域と、を含む導電層と、
第1磁性層と、
前記第1領域から前記第2領域への第2方向と交差する第1方向において前記第3領域と前記第1磁性層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた第1非磁性層と、
を備え、
前記第3領域の形状は、前記第2方向に沿う線に対して非対称であり、
前記第3領域の前記形状は、前記第3領域の前記形状の重心に対して点対称である、磁気記憶装置。 - 前記第3領域は、前記第1方向において前記第2磁性層と重なる領域を含み、
前記重なる領域の前記第1方向に沿った厚さは、前記第1領域の前記第1方向に沿った厚さよりも厚く、前記第2領域の前記第1方向に沿った厚さよりも厚い、請求項1〜7のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。 - 前記導電層は、タンタル及びタングステンよりなる群より選択された少なくとも1つを含む、請求項1〜8のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
- 前記第1領域及び第2領域と電気的に接続された制御部をさらに備え、
前記制御部は、少なくとも、前記第1領域から前記第2領域への第1電流を前記導電層に供給する第1動作と、前記第2領域から前記第1領域への第2電流を前記導電層に供給する第2動作と、を実施する、請求項1〜9のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。 - 前記制御部は、前記第1磁性層とさらに電気的に接続され、
前記制御部は、
前記第1動作において前記第1領域と前記第1磁性層との間の第1電位差を第1電圧とし、
前記第2動作において前記第1電位差を前記第1電圧とし、
前記制御部は、第3動作及び第4動作をさらに実施し、
前記制御部は、
前記第3動作において、前記第1領域と前記第1磁性層との間の第1電位差を前記第1電圧とは異なる第2電圧とし、前記第1電流を前記導電層に供給し、
前記第4動作において、前記第1電位差を前記第2電圧とし、前記第2電流を前記導電層に供給し、
前記第1動作後における前記第1磁性層と前記導電層との間の第1電気抵抗は、前記第2動作後における前記第1磁性層と前記導電層との間の第2電気抵抗とは異なり、
前記第1電気抵抗と前記第2電気抵抗との差の絶対値は、前記第3動作後における前記第1磁性層と前記導電層との間の電気抵抗と、前記第4動作後における前記第1磁性層と前記導電層との間の電気抵抗と、の差の絶対値よりも大きい、請求項10記載の磁気記憶装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018040445A JP6553224B1 (ja) | 2018-03-07 | 2018-03-07 | 磁気記憶装置 |
US16/106,694 US10529399B2 (en) | 2018-03-07 | 2018-08-21 | Magnetic memory device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018040445A JP6553224B1 (ja) | 2018-03-07 | 2018-03-07 | 磁気記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6553224B1 true JP6553224B1 (ja) | 2019-07-31 |
JP2019160821A JP2019160821A (ja) | 2019-09-19 |
Family
ID=67473268
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018040445A Active JP6553224B1 (ja) | 2018-03-07 | 2018-03-07 | 磁気記憶装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10529399B2 (ja) |
JP (1) | JP6553224B1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210145564A (ko) | 2020-05-25 | 2021-12-02 | 삼성전자주식회사 | 자기 기억 소자 |
CN114068613A (zh) * | 2020-08-05 | 2022-02-18 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体结构及其形成方法 |
US11682514B2 (en) | 2020-08-19 | 2023-06-20 | Globalfoundries U.S. Inc. | Memory cell having a free ferromagnetic material layer with a curved, non-planar surface and methods of making such memory cells |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2966636B1 (fr) | 2010-10-26 | 2012-12-14 | Centre Nat Rech Scient | Element magnetique inscriptible |
US9105830B2 (en) | 2012-08-26 | 2015-08-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and system for providing dual magnetic tunneling junctions using spin-orbit interaction-based switching and memories utilizing the dual magnetic tunneling junctions |
US9076537B2 (en) | 2012-08-26 | 2015-07-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and system for providing a magnetic tunneling junction using spin-orbit interaction based switching and memories utilizing the magnetic tunneling junction |
KR102022873B1 (ko) * | 2013-03-12 | 2019-11-04 | 삼성전자 주식회사 | 비휘발성 메모리 소자 및 이의 제조 방법 |
US10879503B2 (en) | 2014-07-21 | 2020-12-29 | Johnson & Johnson Vision Care, Inc. | Methods for the manufacture of flexible microbatteries |
JP6168578B2 (ja) | 2014-08-08 | 2017-07-26 | 国立大学法人東北大学 | 磁気抵抗効果素子、及び磁気メモリ装置 |
US9608039B1 (en) * | 2015-11-16 | 2017-03-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magnetic junctions programmable using spin-orbit interaction torque in the absence of an external magnetic field |
US9881660B2 (en) | 2015-12-14 | 2018-01-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic memory |
JP6270934B2 (ja) | 2015-12-14 | 2018-01-31 | 株式会社東芝 | 磁気メモリ |
US9997226B2 (en) | 2016-01-11 | 2018-06-12 | National University Of Singapore | Techniques to modulate spin orbit spin transfer torques for magnetization manipulation |
JP6907696B2 (ja) * | 2016-07-29 | 2021-07-21 | Tdk株式会社 | スピン流磁化反転素子、素子集合体及びスピン流磁化反転素子の製造方法 |
US10418545B2 (en) | 2016-07-29 | 2019-09-17 | Tdk Corporation | Spin current magnetization reversal element, element assembly, and method for producing spin current magnetization reversal element |
JP6271653B1 (ja) | 2016-08-04 | 2018-01-31 | 株式会社東芝 | 磁気記憶装置及びその製造方法 |
JP6275806B1 (ja) | 2016-12-02 | 2018-02-07 | 株式会社東芝 | 磁気記憶装置 |
JP6280195B1 (ja) | 2016-12-16 | 2018-02-14 | 株式会社東芝 | 磁気メモリ |
JP6291608B1 (ja) | 2017-03-17 | 2018-03-14 | 株式会社東芝 | 磁気記憶装置 |
JP6283437B1 (ja) | 2017-03-21 | 2018-02-21 | 株式会社東芝 | 磁気記憶装置 |
-
2018
- 2018-03-07 JP JP2018040445A patent/JP6553224B1/ja active Active
- 2018-08-21 US US16/106,694 patent/US10529399B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10529399B2 (en) | 2020-01-07 |
US20190279699A1 (en) | 2019-09-12 |
JP2019160821A (ja) | 2019-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10643682B2 (en) | Magnetic memory | |
JP6270934B2 (ja) | 磁気メモリ | |
KR102306223B1 (ko) | 제로 트랜지스터 횡전류 양방향 비트 셀 | |
JP6526860B1 (ja) | 磁気記憶装置 | |
JP6861996B2 (ja) | 磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ装置 | |
KR20030074469A (ko) | 자기 메모리 디바이스와 정보 저장 디바이스 | |
JP2007317895A (ja) | 磁気抵抗メモリ装置 | |
JP6553224B1 (ja) | 磁気記憶装置 | |
JP2004096116A (ja) | 1メモリセル当たり複数ビットを有する磁気記憶装置 | |
JP2004095162A (ja) | 抵抗性交点アレイ内のマルチビットメモリセルにおける読み出し動作 | |
US20150043272A1 (en) | Spin-Transfer Torque Magnetic Random Access Memory (STTMRAM) With Enhanced Write Current | |
JP4543901B2 (ja) | メモリ | |
US9620189B2 (en) | Magnetic memory | |
JP2020031085A (ja) | 磁気記憶装置 | |
JP5472832B2 (ja) | 磁気メモリ | |
JP2005526351A (ja) | 読み出し信号が最大で且つ電磁妨害を低減するmramセルおよびアレイ構造 | |
US7548449B2 (en) | Magnetic memory device and methods thereof | |
US20100135066A1 (en) | Bit line charge accumulation sensing for resistive changing memory | |
US10867649B2 (en) | Magnetic memory device | |
JP2006245310A (ja) | 磁気記憶装置 | |
US20040257869A1 (en) | Cross-point MRAM array with reduced voltage drop across MTJ's | |
JP2020092144A (ja) | 磁気記憶装置及びその製造方法 | |
KR100565113B1 (ko) | 자기저항 메모리(mrams)들 전류소스 및 드레인배치 | |
JP6883006B2 (ja) | 磁気記憶装置 | |
JP2023035644A (ja) | 磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180307 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190306 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190605 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190703 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6553224 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |