JP6548513B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
従来の装置では、液処理ユニットと熱処理ユニットが高密度に配置されている。例えば、液処理ユニットと熱処理ユニットは、同じブロック内に配置されている。例えば、液処理ユニットと熱処理ユニットは、搬送スペースを挟んで向かい合っている。したがって、液処理ユニットが、熱処理ユニットの影響を受けるおそれがある。具体的には、液処理ユニットにおける処理温度が、熱処理ユニットの影響によって、変動するおそれがある。また、熱処理ユニット内の雰囲気が搬送スペースに放出されることによって、液処理ユニット内の雰囲気の清浄度が低下するおそれがある。
すなわち、本発明は、基板処理装置であって、前部熱処理ブロックと、前部中継ブロックと、液処理ブロックと、を備え、前記前部熱処理ブロックは、基板に熱処理を行う熱処理ユニットと、前記前部熱処理ブロックの前記熱処理ユニットに基板を搬送する主搬送機構と、を備え、前記前部中継ブロックは、基板を載置する載置部と、前記前部中継ブロックの前記載置部に基板を搬送する搬送機構と、を備え、前記液処理ブロックは、基板に液処理を行う液処理ユニットと、前記液処理ユニットに基板を搬送する液処理用搬送機構と、を備え、前記前部熱処理ブロックと前記前部中継ブロックは、接続されて、相互に基板を搬送可能であり、前記前部中継ブロックと前記液処理ブロックは、接続されて、相互に基板を搬送可能であり、前記前部中継ブロックは、前記液処理ブロックと前記前部熱処理ブロックとの間に配置されている基板処理装置である。
なお、本明細書および特許請求の範囲では、前部熱処理ブロックの主搬送機構を適宜に前部主搬送機構と呼び、前部中継ブロックの搬送機構を適宜に前部搬送機構と呼ぶ。
なお、本明細書および特許請求の範囲では、前部熱処理ブロックの第1主搬送機構を適宜に前部第1主搬送機構と呼び、前部熱処理ブロックの第2主搬送機構を適宜に前部第2主搬送機構と呼び、前部中継ブロックの第1搬送機構を適宜に前部第1搬送機構と呼び、前部中継ブロックの第2搬送機構を適宜に前部第2搬送機構と呼ぶ。
なお、本明細書および特許請求の範囲では、前部熱処理ブロックの主搬送機構を適宜に前部主搬送機構と呼び、前部中継ブロックの搬送機構を適宜に前部搬送機構と呼ぶ。
なお、本明細書および特許請求の範囲では、後部熱処理ブロックの主搬送機構を適宜に後部主搬送機構と呼び、後部中継ブロックの搬送機構を適宜に後部搬送機構と呼ぶ。
なお、本明細書および特許請求の範囲では、前部熱処理ブロックの第1主搬送機構を適宜に前部第1主搬送機構と呼び、前部熱処理ブロックの第2主搬送機構を適宜に前部第2主搬送機構と呼び、前部中継ブロックの第1搬送機構を適宜に前部第1搬送機構と呼び、前部中継ブロックの第2搬送機構を適宜に前部第2搬送機構と呼び、後部中継ブロックの第1搬送機構を適宜に後部第1搬送機構と呼び、後部中継ブロックの第2搬送機構を適宜に後部第2搬送機構と呼び、後部熱処理ブロックの第1主搬送機構を適宜に後部第1主搬送機構と呼び、後部熱処理ブロックの第2主搬送機構を適宜に後部第2主搬送機構と呼ぶ。
図1は、実施例1に係る基板処理装置の概念図である。実施例1は、液処理および熱処理を含む一連の処理を基板(例えば、半導体ウエハ)Wに行う基板処理装置1である。
機能の配列:熱処理→中継→液処理→中継→熱処理
この機能の配列は、逆向きの(すなわち、ブロックBEからブロックBAまでの)機能の配列と同じである。
図2は、実施例1に係る基板処理装置1の平面図である。
各ブロックBA、BB、BC、BD、BEは、一列に並ぶ。各ブロックBA、BB、BC、BD、BEが並ぶ方向は水平である。
図2乃至4を参照する。図3は、図2における矢視a−aの側面図である。図4は、図2における矢視b−bの側面図である。
図2乃至6を参照する。図5は、搬送機構と載置部の関係を模式的に示す概念図である。矢印付の線は、搬送機構がアクセスする載置部を示す。なお、「アクセスする」とは、載置部/処理ユニットに基板Wを搬入したり、載置部/処理ユニットから基板Wを搬出する位置に搬送機構が移動することを言う。図6は、インデクサ部11から前部熱処理ブロックBAを見た正面図である。
図2−5、7を参照する。図7は、前部中継ブロックBBをインデクサ部11から見た正面図である。
図2−5、8を参照する。図8は、液処理ブロックBCをインデクサ部11から見た正面図である。
図2−5、9を参照する。図9は、後部中継ブロックBDをインデクサ部11から見た正面図である。
図2−5、10を参照する。図10は、後部熱処理ブロックBEをインデクサ部11から見た正面図である。
図2−5を参照する。載置部PA(載置部PARおよび載置部PAL)は、インデクサ部11(搬送スペース16)に対して開放されている。インデクサ用搬送機構13は、載置部PAにアクセスする。これにより、インデクサ用搬送機構13と主搬送機構TARは、載置部PARを介して基板Wを相互に搬送する。インデクサ用搬送機構13と主搬送機構TALは、載置部PALを介して基板Wを相互に搬送する。
主搬送機構TAと搬送機構TBは、前部熱処理ブロックBAの載置部PAを介して、基板Wを相互に搬送する。
インデクサ用搬送機構13と搬送機構TBは、主搬送機構TAを使用せずに、基板Wを相互に搬送可能である。
搬送スペースACと載置部PBは前後方向Xに並ぶ。
載置部PB1、PB2、PB3、PB4はそれぞれ、分割搬送スペースAC1、AC2、AC3、AC4と向かい合う位置に配置されている。
載置部PB1、PB2、PB3、PB4はそれぞれ、分割搬送スペースAC1、AC2、AC3、AC4に開放されている。各液処理用搬送機構TC1、TC2、TC3、TC4はそれぞれ、載置部PB1、PB2、PB3、PB4と向かい合う。
液処理ブロックBCと後部中継ブロックBDの関係は、前部中継ブロックBBと液処理ブロックBCとの関係と同じである。すなわち、液処理用搬送機構TCと搬送機構TDは、載置部PDを介して基板Wを相互に搬送する。具体的には、液処理用搬送機構TC1と搬送機構TDRは、載置部PD1を介して基板Wを相互に搬送する。液処理用搬送機構TC2と搬送機構TDLは、載置部PD2を介して基板Wを相互に搬送する。液処理用搬送機構TD3と搬送機構TDRは、載置部PD3を介して基板Wを相互に搬送する。液処理用搬送機構TC4と搬送機構TDLは、載置部PD4を介して基板Wを相互に搬送する。
後部中継ブロックBDと後部熱処理ブロックBEの関係は、前部中継ブロックBBと前部熱処理ブロックBAの関係と同じである。
液処理ブロックBCと後部中継ブロックBDと後部熱処理ブロックBEの関係は、液処理ブロックBCと前部中継ブロックBBと前部熱処理ブロックBAの関係と同じである。すなわち、液処理用搬送機構TCと主搬送機構TEとは、搬送機構TDを使用せずに、基板Wを相互に搬送可能である。
各載置部PEは、露光機EXPに開放されている。露光機EXPは、載置部PERと載置部PELにアクセスする。これにより、主搬送機構TERと露光機EXPとは、載置部PERを介して基板Wを相互に搬送する。主搬送機構TELと露光機EXPとは、載置部PELを介して基板Wを相互に搬送する。
なお、本明細書では、異なる要素が同じ構造を有する場合には、その構造に共通の符号を付すことで詳細な説明を省略する。
載置部PBは、載置部PAと略同じ構造を有する。すなわち、載置部PBは、棚27に取り付けられるプレート26を備えている。
液処理ユニットSC1、SC2は、塗布処理を基板Wに行う。液処理ユニットSC1、SC2は略同じ構造を有する。具体的には、液処理ユニットSC1、SC2はそれぞれ、回転保持部41とカップ42とノズル43とチャンバー44とシャッター45を備えている。回転保持部41は、基板Wを回転可能に保持する。カップ42は、回転保持部41の周囲に設けられ、飛散された処理液を回収する。ノズル43は、塗膜材料を処理液として基板Wに吐出する。塗膜材料は、例えば、レジスト膜材料である。ノズル43は、回転保持部41の上方の処理位置と、カップ42の上方から外れた退避位置との間にわたって移動可能に設けられる。チャンバー44は、回転保持部41とカップ42とノズル43を収容する。チャンバー44は、チャンバー44の表面に形成される基板搬送口44aを有する。基板搬送口44aは、液処理用搬送機構TC1又はTC2と向かい合う(換言すれば、分割搬送スペースAC1又はAC2と接する)位置に配置されている。シャッター45は、基板搬送口44aを開閉する。図8では、液処理ユニットSC1のチャンバー44は閉塞されており、液処理ユニットSC2のチャンバー44は開放されている。
載置部PDは、載置部PAと略同じ構造を有する。すなわち、載置部PDは、棚27に取り付けられるプレート26を備えている。
熱処理ユニットHEは、熱処理ユニットHAと略同じ構造を有する。すなわち、熱処理ユニットHEは、プレート21とチャンバー23とシャッター24とを備えている。
図2−4、図6−10を参照する。前部熱処理ブロックBAは、さらに、フレームFAを備える。フレームFAは、熱処理ユニットHAと主搬送機構TAと載置部PAを支持する。フレームFAは、略箱形状を有し、熱処理ユニットHAと載置部PAと主搬送機構TAとを収容する。フレームFAは、載置部PAをインデクサ部11および前部中継ブロックBBにそれぞれ開放するための開口(不図示)を有する。
図11は、基板処理装置1の制御ブロック図である。基板処理装置1は、さらに、制御部67を備えている。
図12は基板Wの搬送経路を模式的に示す図である。図12に示すように、処理部17内において基板Wが移動する経路は、2つある。便宜上、処理部17内の経路を、往路と復路に分ける。往路は、インデクサ部11から処理部17に入ってから、処理部17から露光機EXPに出るまでの基板Wの経路である。復路は、露光機EXPから処理部17に入ってから、処理部17からインデクサ部11に出るまでの基板Wの経路である。
往路の第1経路は、以下の各要素をこの順序で通る:
載置部PAR→載置部PB1→液処理ユニットSC1→載置部PD1→熱処理ユニットHER→載置部PER。
往路の第2経路は、以下の各要素をこの順序で通る:
載置部PAL→載置部PB2→液処理ユニットSC2→載置部PD2→熱処理ユニットHEL→載置部PEL。
復路の第1経路は、以下の各要素をこの順序で通る:
載置部PER→載置部PD3→液処理ユニットSC3→載置部PB3→熱処理ユニットHAR→載置部PAR。
復路の第2経路は、以下の各要素をこの順序で通る:
載置部PEL→載置部PD4→液処理ユニットSC4→載置部PB4→熱処理ユニットHAL→載置部PAL。
図12−15を参照して、基板処理装置1の動作例を説明する。図13は、基板に行う処理の手順を示すフローチャートである。図14は、第1の基板Wおよび第2の基板WがブロックBA−BEの間を移動する様子を模式的に示す概念図である。なお、図14では、便宜上、液処理ユニットSC1、SC2に塗布処理を意味する「COAT」を付記し、液処理ユニットSC3、SC4に現像処理を意味する「DEV」を付記する。図15は、各搬送機構が繰り返し行う動作例を模式的に示す図である。
インデクサ用搬送機構13は、キャリアCから1枚の基板Wを搬出し、その基板Wを載置部PAR上に載置する。続いて、インデクサ用搬送機構13は、キャリアCから1枚の基板Wを搬出し、その基板Wを載置部PAL上に載置する。その後、インデクサ用搬送機構13は、再び、キャリアCから載置部PARに基板Wを搬送する。このように、インデクサ用搬送機構13は、載置部PARと載置部PALに交互に、基板Wを1枚ずつ搬送する。
第1経路に関連する動作と第2経路に関連する動作は類似しているので、便宜上、第1経路に関連する動作を説明する。なお、第2経路に関連する動作は、以下の説明において、搬送機構TBR、TC1、TERをそれぞれ、搬送機構TBL、TC2、TELに読み替え、載置部PAR、PB1、PD1、PERをそれぞれ、載置部PAL、PB2、PD2、PELに読み替え、処理ユニットSC1、HERを、処理ユニットSC2、HELに読み替えたものに相当する。
載置部PERおよび載置部PEL上の基板Wは、露光機EXPに搬送される。露光機EXPは、基板Wに露光処理を行う(ステップS3)。露光処理が終了すると、露光機EXPから載置部PERおよび載置部PELに基板Wは搬送される。
第1経路に関連する動作と第2経路に関連する動作は類似しているので、便宜上、第1経路に関連する動作を説明する。なお、第2経路に関連する動作は、以下の説明において、搬送機構TAR、TC3、TDRをそれぞれ、搬送機構TAL、TC4、TDLに読み替え、載置部PAR、PB3、PD3、PERをそれぞれ、載置部PAL、PB4、PD4、PELに読み替え、処理ユニットSC3、HARを、処理ユニットSC4、HALに読み替えたものに相当する。
インデクサ用搬送機構13は、載置部PARからキャリアCに基板Wを搬送する。続いて、インデクサ用搬送機構13は、載置部PALからキャリアCに基板Wを搬送する。その後、インデクサ用搬送機構13は、再び、載置部PARからキャリアCに基板Wを搬送する。このように、インデクサ用搬送機構13は、載置部PARと載置部PALから交互に、基板Wを1枚ずつ搬出する。
上述したとおり、熱処理ユニットHAが液処理ユニットSCに及ぼす影響を低減できる。また、熱処理ユニットHEが液処理ユニットSCに及ぼす影響を低減できる。
図17は、実施例2に係る基板処理装置1の平面図である。実施例2に係る基板処理装置1は、基板Wに反射防止膜、レジスト膜および保護膜を形成し、かつ、基板Wを現像する装置である。
図17−20を参照する。図18は、図17における矢視a−aの側面図である。図19は、図17における矢視b−bの側面図である。図20は、前部熱処理ブロックBAをインデクサ部11から見た正面図である。
図17−19、21を参照する。図21は、前部中継ブロックBBをインデクサ部11から見た正面図である。
図17−19、22を参照する。図22は、液処理ブロックBCをインデクサ部11から見た正面図である。
図17−19、23を参照する。図23は、後部中継ブロックBDをインデクサ部11から見た正面図である。
図17−19、24を参照する。図24は、後部熱処理ブロックBEをインデクサ部11から見た正面図である。
図17−19、25、26を参照する。図25は、インターフェースブロックBFの前部をインデクサ部11から見た正面図である。図26は、インターフェースブロックBFの後部をインデクサ部11から見た正面図である。
図17−19を参照する。インデクサ用搬送機構13と主搬送機構TAは基板Wを相互に搬送する。具体的には、載置部SPA、RPAは、インデクサ部11(搬送スペース16)に対して開放されており、インデクサ用搬送機構13は載置部SPA、RPAにアクセス可能である。インデクサ用搬送機構13と主搬送機構TA1は、載置部SPA1R、SPA1L、RPA1R、RPA1Lを介して、基板Wを相互に搬送する。インデクサ用搬送機構13と主搬送機構TA2は、載置部SPA2R、SPA2L、RPA2R、RPA2Lを介して、基板Wを相互に搬送する。
主搬送機構TAと搬送機構TBは、基板Wを相互に搬送可能である。
インデクサ用搬送機構13と搬送機構TBは、主搬送機構TAを使用せずに、基板Wを相互に搬送可能である。
搬送機構TBと液処理用搬送機構TCとは、基板Wを相互に搬送可能である。
主搬送機構TAと液処理用搬送機構TCは、搬送機構TBを使用せずに、基板Wを相互に搬送可能である。例えば、主搬送機構TA1と液処理用搬送機構TC1は、要素RPB1、PCPB1を介して、基板Wを相互に搬送可能である。
液処理ブロックBCと後部中継ブロックBDの関係は、前部中継ブロックBBと液処理ブロックBCとの関係と同じである。すなわち、液処理用搬送機構TC1、TC2、…、TC8はそれぞれ、搬送機構TDR、TDLとの間で、基板Wを相互に搬送可能である。
後部中継ブロックBDと後部熱処理ブロックBEの関係は、前部中継ブロックBBと前部熱処理ブロックBAの関係と同じである。
液処理ブロックBCと後部中継ブロックBDと後部熱処理ブロックBEの関係は、液処理ブロックBCと前部中継ブロックBBと前部熱処理ブロックBAの関係と同じである。すなわち、液処理用搬送機構TCと主搬送機構TEとは、搬送機構TDを使用せずに、基板Wを相互に搬送可能である。
搬送機構BHUは、露光機EXPに基板Wを搬送し、露光機EXPから基板Wを受け取る。
図27は基板Wの往路の搬送経路を模式的に示す図である。図28は基板Wの復路の搬送経路を模式的に示す図である。図27、28に示すように、処理部17内において基板Wが移動する経路は、2つ(すなわち、第1経路と第2経路)ある。
図27−30を参照して、実施例2に係る基板処理装置1の動作例を説明する。図29は、基板に行う処理の手順を示すフローチャートである。図30は、各搬送機構が繰り返し行う動作例を模式的に示す図である。
インデクサ用搬送機構13は、キャリアCから載置部SPAに基板Wを搬送する。例えば、インデクサ用搬送機構13は、載置部SPA1R、SPA1L、SPA2R、SPA2Lに交互に基板Wを搬送する。
第1経路に関連する動作と第2経路に関連する動作は類似しているので、便宜上、第1経路に関連する動作を説明し、第2経路に関連する動作の説明は省略する。
搬送機構TFRは、露光前洗浄ユニットBSRに基板Wを搬送する。露光前洗浄ユニットBSRは、基板Wを洗浄する(ステップS19)。
搬送機構TDRは、載置部RPE1から冷却載置部PCPD7に基板Wを搬送する。冷却載置部PCPD7は、基板Wを冷却する(ステップS23)。
インデクサ用搬送機構13は、載置部RPA1R/RPA2RからキャリアCに基板Wを搬送する。
上述したとおり、実施例2に係る基板処理装置1によっても、実施例1と同じような効果を奏する。
前部中継ブロックBBは、アウトバッファ部Bf−outを備えている。よって、処理部17からインデクサ部11への基板Wの回収が停止した場合であっても、処理部17はアウトバッファ部Bf−outに基板Wを蓄積できる。よって、基板処理装置の生産能力が低下することを抑制できる。
1R … 基板処理装置
11 … インデクサ部
12 … キャリア載置部
13 … インデクサ用搬送機構
BA … 前部熱処理ブロック
BB … 前部中継ブロック
BB … 第1中継ブロック
BC … 液処理ブロック
BE … 後部熱処理ブロック
BF … インターフェースブロック
TA、TAR、TAL、TA1、TA2 … 前部熱処理ブロックの主搬送機構
TB、TBR、TBL … 前部中継ブロックの搬送機構
TC、TC1、TC2、TC3、TC4 … 液処理用搬送機構
TD、TDR、TDL … 後部中継ブロックの搬送機構
TE、TER、TEL、TE1、TE2 … 後部熱処理ブロックの主搬送機構
TFR、TFL、BHU … インターフェースブロックの搬送機構
AA … 前部熱処理ブロックの搬送スペース
AA1 … 前部熱処理ブロックの分割搬送スペース
AA2 … 前部熱処理ブロックの分割搬送スペース
ABR、ABL … 前部中継ブロックの搬送スペース
AC … 液処理ブロックの搬送スペース
AC1−AC8 … 液処理ブロックの分割搬送スペース
ADR、ADL … 後部中継ブロックの搬送スペース
AE … 後部熱処理ブロックの搬送スペース
AE1、AE2 … 後部熱処理ブロックの分割搬送スペース
HA、HAR、HAL … 前部熱処理ブロックの熱処理ユニット
HPaA、HPbA、HPcA … 前部熱処理ブロックの加熱ユニット
AHP … 前部熱処理ブロックの密着強化処理ユニット
PA、PAR、PAL、SPA、RPA … 前部熱処理ブロックの載置部
PB、PB1−PB4、SPB5ーSPB8、RPB1ーRPB8 … 前部中継ブロックの載置部
PCPB1−PCPB8 … 前部中継ブロックの冷却載置部
CPB1ーCPB8 … 前部中継ブロックの冷却ユニット
Bf−in … 前部中継ブロックのインバッファ部
Bf−out … 前部中継ブロックのアウトバッファ部
SC、SC1−SC8 … 液処理ユニット
K1ーK8 … 階層
PD、PD1ーPD4、SPD1−SPD8、RPD1−RPD4 … 後部中継ブロックの載置部
PCPD5−PCPD8 … 後部中継ブロックの冷却載置部
CPD1−CPD8 … 後部中継ブロックの冷却ユニット
HE、HER、HEL … 後部熱処理ブロックの熱処理ユニット
HPaE、HPbE … 後部熱処理ブロックの加熱ユニット
CPE … 後部熱処理ブロックの冷却ユニット
PE、PER、PEL、SPE、RPE … 後部熱処理ブロックの載置部
W … 基板
C … キャリア
EXP … 露光機
Claims (18)
- 基板処理装置であって、
前部熱処理ブロックと、
前部中継ブロックと、
液処理ブロックと、
後部中継ブロックと、
後部熱処理ブロックと、
を備え、
前記前部熱処理ブロックは、
基板に熱処理を行う熱処理ユニットと、
前記前部熱処理ブロックの前記熱処理ユニットに基板を搬送する前部主搬送機構と、
を備え、
前記前部中継ブロックは、
基板を載置する載置部と、
前記前部中継ブロックの前記載置部に基板を搬送する前部搬送機構と、
を備え、
前記液処理ブロックは、
基板に液処理を行う液処理ユニットと、
前記液処理ユニットに基板を搬送する液処理用搬送機構と、
を備え、
前記後部中継ブロックは、
基板を載置する載置部と、
前記後部中継ブロックの前記載置部に基板を搬送する後部搬送機構と、
を備え、
前記後部熱処理ブロックは、
基板に熱処理を行う熱処理ユニットと、
前記後部熱処理ブロックの前記熱処理ユニットに基板を搬送する後部主搬送機構と、
を備え、
前記前部熱処理ブロックと前記前部中継ブロックは、接続されて、相互に基板を搬送可能であり、
前記前部中継ブロックと前記液処理ブロックは、接続されて、相互に基板を搬送可能であり、
前記液処理ブロックと前記後部中継ブロックは、接続されて、相互に基板を搬送可能であり、
前記後部中継ブロックと前記後部熱処理ブロックは、接続されて、相互に基板を搬送可能であり、
前記前部中継ブロックは、前記液処理ブロックと前記前部熱処理ブロックとの間に配置され、
前記後部中継ブロックは、前記液処理ブロックと前記後部熱処理ブロックとの間に配置されている基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
平面視で、前記前部熱処理ブロックと前記前部中継ブロックと前記液処理ブロックと前記後部中継ブロックと前記後部熱処理ブロックは、この順番で一列に並ぶ基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置において、
前記前部熱処理ブロックは、前記前部熱処理ブロックの前記前部主搬送機構が設置される搬送スペースを有し、
前記液処理ブロックは、前記液処理用搬送機構が設置される搬送スペースを有し、
前記後部熱処理ブロックは、前記後部熱処理ブロックの前記後部主搬送機構が設置される搬送スペースを有し、
前記前部中継ブロックの前記載置部は、前記前部熱処理ブロックの前記搬送スペースと前記液処理ブロックの前記搬送スペースとの間に配置されており、
前記後部中継ブロックの前記載置部は、前記液処理ブロックの前記搬送スペースと前記後部熱処理ブロックの前記搬送スペースとの間に配置されている基板処理装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記前部熱処理ブロックの前記前部主搬送機構は、
前記前部熱処理ブロックの前記熱処理ユニットに基板を搬送する第1前部主搬送機構と、
前記前部熱処理ブロックの前記熱処理ユニットに基板を搬送する第2前部主搬送機構と、
を備え、
前記前部中継ブロックの前記前部搬送機構は、
前記前部中継ブロックの前記載置部に基板を搬送する第1前部搬送機構と、
前記前部中継ブロックの前記載置部に基板を搬送する第2前部搬送機構と、
を備え、
前記液処理ブロックの前記液処理用搬送機構は、
前記液処理ユニットに基板を搬送する第1液処理用搬送機構と、
前記液処理ユニットに基板を搬送する第2液処理用搬送機構と、
を備え、
前記後部中継ブロックの前記後部搬送機構は、
前記後部中継ブロックの前記載置部に基板を搬送する第1後部搬送機構と、
前記後部中継ブロックの前記載置部に基板を搬送する第2後部搬送機構と、
を備え、
前記後部熱処理ブロックの前記後部主搬送機構は、
前記後部熱処理ブロックの前記熱処理ユニットに基板を搬送する第1後部主搬送機構と、
前記後部熱処理ブロックの前記熱処理ユニットに基板を搬送する第2後部主搬送機構と、
を備え、
前記前部熱処理ブロックの前記第1前部主搬送機構と前記前部中継ブロックの前記第1前部搬送機構と前記液処理ブロックの前記第1液処理用搬送機構と前記後部中継ブロックの前記第1後部搬送機構と前記後部熱処理ブロックの前記第1後部主搬送機構は、第1の基板を搬送し、
前記前部熱処理ブロックの前記第2前部主搬送機構と前記前部中継ブロックの前記第2前部搬送機構と前記液処理ブロックの前記第2液処理用搬送機構と前記後部中継ブロックの前記第2後部搬送機構と前記後部熱処理ブロックの前記第2後部主搬送機構は、前記第1の基板とは異なる第2の基板を搬送する基板処理装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記前部熱処理ブロックの前記熱処理ユニットは、
第1の基板に熱処理を行う、複数の第1熱処理ユニットと、
第2の基板に熱処理を行う、複数の第2熱処理ユニットと、
を備え、
前記前部中継ブロックの前記載置部は、
前記第1の基板を載置する、1つ以上の第1載置部と、
前記第2の基板を載置する、1つ以上の第2載置部と、
を備え、
前記液処理ユニットは、
第1の基板に液処理を行う、複数の第1液処理ユニットと、
第2の基板に液処理を行う、複数の第2液処理ユニットと、
を備え、
前記後部中継ブロックの前記載置部は、
前記第1の基板を載置する、1つ以上の第1載置部と、
前記第2の基板を載置する、1つ以上の第2載置部と、
を備え、
前記後部熱処理ブロックの前記熱処理ユニットは、
第1の基板に熱処理を行う、複数の第1熱処理ユニットと、
第2の基板に熱処理を行う、複数の第2熱処理ユニットと、
を備える基板処理装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記前部中継ブロックの複数の前記載置部は、互いに上下方向に並び、
前記前部中継ブロックの複数の前記前部搬送機構は、前記前部中継ブロックの前記載置部の側方に配置され、
複数の前記液処理用搬送機構は、互いに上下方向に並び、
前記液処理用搬送機構のそれぞれが前記前部中継ブロックの少なくとも1つ以上の前記載置部と向かい合うように、前記前部中継ブロックの前記載置部は配置される基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
前部熱処理ブロックと、
前部中継ブロックと、
液処理ブロックと、
を備え、
前記前部熱処理ブロックは、
基板に熱処理を行う熱処理ユニットと、
前記前部熱処理ブロックの前記熱処理ユニットに基板を搬送する前部主搬送機構と、
を備え、
前記前部中継ブロックは、
基板を載置する載置部と、
前記前部中継ブロックの前記載置部に基板を搬送する前部搬送機構と、
を備え、
前記液処理ブロックは、
基板に液処理を行う液処理ユニットと、
前記液処理ユニットに基板を搬送する液処理用搬送機構と、
を備え、
前記前部熱処理ブロックと前記前部中継ブロックは、接続されて、相互に基板を搬送可能であり、
前記前部中継ブロックと前記液処理ブロックは、接続されて、相互に基板を搬送可能であり、
前記前部中継ブロックは、前記液処理ブロックと前記前部熱処理ブロックとの間に配置されており、
前記前部中継ブロックの複数の前記載置部は、互いに上下方向に並び、
前記前部中継ブロックの複数の前記前部搬送機構は、前記前部中継ブロックの前記載置部の側方に配置され、
複数の前記液処理用搬送機構は、互いに上下方向に並び、
前記液処理用搬送機構のそれぞれが前記前部中継ブロックの少なくとも1つ以上の前記載置部と向かい合うように、前記前部中継ブロックの前記載置部は配置される基板処理装置。 - 請求項6または7に記載の基板処理装置において、
前記前部熱処理ブロックの複数の前記前部主搬送機構は、上下方向および横方向のいずれかの方向に並び、
前記前部熱処理ブロックの前記前部主搬送機構のそれぞれが前記前部中継ブロックの少なくとも1つ以上の前記載置部と向かい合うように、前記前部中継ブロックの前記載置部は配置される基板処理装置。 - 請求項8に記載の基板処理装置において、
前記前部中継ブロックの少なくともいずれかの前記載置部は、前記前部熱処理ブロックの1つ以上の前記前部主搬送機構、および、前記液処理ブロックの1つ以上の前記液処理用搬送機構の両方と向かい合う位置に配置される基板処理装置。 - 請求項8または9に記載の基板処理装置において、
前記前部熱処理ブロックは、基板を載置する複数の載置部を備え、
前記前部熱処理ブロックの複数の前記載置部は、前記前部熱処理ブロックの前記前部主搬送機構の側方において、互いに上下方向に並び、
前記前部中継ブロックの前記前部搬送機構のそれぞれが前記前部熱処理ブロックの少なくとも1つ以上の前記載置部と向かい合うように、前記前部熱処理ブロックの前記載置部は配置される基板処理装置。 - 請求項10に記載の基板処理装置において、
前記前部熱処理ブロックの前記載置部は、前記前部熱処理ブロックに接続されるインデクサ部に開放されており、
前記前部熱処理ブロックの前記前部主搬送機構と前記インデクサ部は、前記前部熱処理ブロックの前記載置部を介して相互に基板を搬送する基板処理装置。 - 請求項10または11に記載の基板処理装置において、
前記前部熱処理ブロックの少なくともいずれかの前記載置部は、前記前部中継ブロックの1つ以上の前記前部搬送機構と向かい合い、かつ、前記前部熱処理ブロックに接続されるインデクサ部に開放されている基板処理装置。 - 請求項1から12のいずれかに記載の基板処理装置において、
平面視で、前記前部熱処理ブロックと前記前部中継ブロックと前記液処理ブロックは、この順番で一列に並ぶ基板処理装置。 - 請求項1から13のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記前部熱処理ブロックは、前記前部熱処理ブロックの前記前部主搬送機構が設置される搬送スペースを有し、
前記液処理ブロックは、前記液処理用搬送機構が設置される搬送スペースを有し、
前記前部中継ブロックの前記載置部は、前記前部熱処理ブロックの前記搬送スペースと前記液処理ブロックの前記搬送スペースとの間に配置されている基板処理装置。 - 請求項1から14のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記前部熱処理ブロックの前記前部主搬送機構は、
前記前部熱処理ブロックの前記熱処理ユニットに基板を搬送する第1前部主搬送機構と、
前記前部熱処理ブロックの前記熱処理ユニットに基板を搬送する第2前部主搬送機構と、
を備え、
前記前部中継ブロックの前記前部搬送機構は、
前記前部中継ブロックの前記載置部に基板を搬送する前部第1搬送機構と、
前記前部中継ブロックの前記載置部に基板を搬送する前部第2搬送機構と、
を備え、
前記液処理ブロックの前記液処理用搬送機構は、
前記液処理ユニットに基板を搬送する第1液処理用搬送機構と、
前記液処理ユニットに基板を搬送する第2液処理用搬送機構と、
を備え、
前記前部熱処理ブロックの前記前部第1主搬送機構と前記前部中継ブロックの前記前部第1搬送機構と前記液処理ブロックの前記第1液処理用搬送機構は、第1の基板を搬送し、
前記前部熱処理ブロックの前記第2前部主搬送機構と前記前部中継ブロックの前記第2前部搬送機構と前記液処理ブロックの前記第2液処理用搬送機構は、前記第1の基板とは異なる第2の基板を搬送する基板処理装置。 - 請求項1から15のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記前部熱処理ブロックの前記熱処理ユニットは、
第1の基板に熱処理を行う、複数の第1熱処理ユニットと、
前記第1の基板とは異なる第2の基板に熱処理を行う、複数の第2熱処理ユニットと、
を備え、
前記前部中継ブロックの前記載置部は、
前記第1の基板を載置する、1つ以上の第1載置部と、
前記第2の基板を載置する、1つ以上の第2載置部と、
を備え
前記液処理ユニットは、
前記第1の基板に液処理を行う、複数の第1液処理ユニットと、
前記第2の基板に液処理を行う、複数の第2液処理ユニットと、
を備える基板処理装置。 - 請求項1から16のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記液処理ユニットは、
基板に塗膜材料を塗布する塗布ユニットと、
基板に現像液を供給する現像ユニットと、
を備える基板処理装置。 - 請求項1から17のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記前部中継ブロックは、
前記基板処理装置内においていずれの処理も行われていない基板を蓄積するインバッファ部と、
前記基板処理装置内において一連の処理が行われた基板を蓄積するアウトバッファ部と、
を備えている基板処理装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015163614A JP6548513B2 (ja) | 2015-08-21 | 2015-08-21 | 基板処理装置 |
TW107119690A TWI677900B (zh) | 2015-08-21 | 2016-07-13 | 基板處理裝置 |
TW105122093A TWI631597B (zh) | 2015-08-21 | 2016-07-13 | 基板處理裝置 |
US15/226,460 US9956565B2 (en) | 2015-08-21 | 2016-08-02 | Substrate treating apparatus |
KR1020160105280A KR101938040B1 (ko) | 2015-08-21 | 2016-08-19 | 기판 처리 장치 |
US15/936,638 US10573546B2 (en) | 2015-08-21 | 2018-03-27 | Substrate treating apparatus |
KR1020190000780A KR102053567B1 (ko) | 2015-08-21 | 2019-01-03 | 기판 처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015163614A JP6548513B2 (ja) | 2015-08-21 | 2015-08-21 | 基板処理装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019117335A Division JP6811287B2 (ja) | 2019-06-25 | 2019-06-25 | 基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017041588A JP2017041588A (ja) | 2017-02-23 |
JP6548513B2 true JP6548513B2 (ja) | 2019-07-24 |
Family
ID=58158374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015163614A Active JP6548513B2 (ja) | 2015-08-21 | 2015-08-21 | 基板処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9956565B2 (ja) |
JP (1) | JP6548513B2 (ja) |
KR (2) | KR101938040B1 (ja) |
TW (2) | TWI677900B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5977728B2 (ja) * | 2013-11-14 | 2016-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム |
JP7178223B2 (ja) * | 2018-09-21 | 2022-11-25 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP7181068B2 (ja) | 2018-11-30 | 2022-11-30 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP7277137B2 (ja) * | 2018-12-28 | 2023-05-18 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、および搬送モジュール |
CN114200791B (zh) * | 2020-09-17 | 2023-12-08 | 株式会社斯库林集团 | 显影装置及显影方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60234319A (ja) * | 1984-05-07 | 1985-11-21 | Hitachi Ltd | レジスト処理装置 |
JP2000040731A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-08 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
JP3517121B2 (ja) * | 1998-08-12 | 2004-04-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置 |
JP2001168004A (ja) * | 1999-12-08 | 2001-06-22 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
US20020004358A1 (en) * | 2000-03-17 | 2002-01-10 | Krishna Vepa | Cluster tool systems and methods to eliminate wafer waviness during grinding |
JP3908916B2 (ja) * | 2000-09-13 | 2007-04-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP4342147B2 (ja) * | 2002-05-01 | 2009-10-14 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP2003347186A (ja) * | 2002-05-23 | 2003-12-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2004014966A (ja) * | 2002-06-11 | 2004-01-15 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2004282002A (ja) | 2003-02-27 | 2004-10-07 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP4079861B2 (ja) * | 2003-09-22 | 2008-04-23 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP5006122B2 (ja) | 2007-06-29 | 2012-08-22 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
TW200919117A (en) * | 2007-08-28 | 2009-05-01 | Tokyo Electron Ltd | Coating-developing apparatus, coating-developing method and storage medium |
JP5348083B2 (ja) * | 2010-07-16 | 2013-11-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 |
JP5212443B2 (ja) * | 2010-09-13 | 2013-06-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 |
-
2015
- 2015-08-21 JP JP2015163614A patent/JP6548513B2/ja active Active
-
2016
- 2016-07-13 TW TW107119690A patent/TWI677900B/zh active
- 2016-07-13 TW TW105122093A patent/TWI631597B/zh active
- 2016-08-02 US US15/226,460 patent/US9956565B2/en active Active
- 2016-08-19 KR KR1020160105280A patent/KR101938040B1/ko active IP Right Grant
-
2018
- 2018-03-27 US US15/936,638 patent/US10573546B2/en active Active
-
2019
- 2019-01-03 KR KR1020190000780A patent/KR102053567B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10573546B2 (en) | 2020-02-25 |
KR101938040B1 (ko) | 2019-01-14 |
US9956565B2 (en) | 2018-05-01 |
US20180207652A1 (en) | 2018-07-26 |
TW201835975A (zh) | 2018-10-01 |
KR20190006042A (ko) | 2019-01-16 |
KR20170022931A (ko) | 2017-03-02 |
KR102053567B1 (ko) | 2019-12-06 |
TWI631597B (zh) | 2018-08-01 |
TWI677900B (zh) | 2019-11-21 |
JP2017041588A (ja) | 2017-02-23 |
TW201717254A (zh) | 2017-05-16 |
US20170053817A1 (en) | 2017-02-23 |
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