JP6542071B2 - 塗工装置および塗工方法 - Google Patents
塗工装置および塗工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6542071B2 JP6542071B2 JP2015165640A JP2015165640A JP6542071B2 JP 6542071 B2 JP6542071 B2 JP 6542071B2 JP 2015165640 A JP2015165640 A JP 2015165640A JP 2015165640 A JP2015165640 A JP 2015165640A JP 6542071 B2 JP6542071 B2 JP 6542071B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drying
- unit
- substrate
- transport
- roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
- B05C9/08—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation
- B05C9/14—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation the auxiliary operation involving heating or cooling
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C13/00—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0208—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles
- B05C5/0212—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles only at particular parts of the articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0245—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to a moving work of indefinite length, e.g. to a moving web
- B05C5/025—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to a moving work of indefinite length, e.g. to a moving web only at particular part of the work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
- B05D3/02—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by baking
- B05D3/0209—Multistage baking
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
- B05D3/02—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by baking
- B05D3/0254—After-treatment
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—Specially adapted to detect a particular component
- G01N33/0047—Specially adapted to detect a particular component for organic compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M4/00—Electrodes
- H01M4/02—Electrodes composed of, or comprising, active material
- H01M4/04—Processes of manufacture in general
- H01M4/0402—Methods of deposition of the material
- H01M4/0404—Methods of deposition of the material by coating on electrode collectors
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Description
搬送部は、塗工膜が形成された基材を複数の乾燥室の配列順序で各乾燥室を通過させ、可動ローラは各乾燥室に設けられ、経路長変更部は各乾燥室内で可動ローラを独立して位置決めし、乾燥部は基材に加熱して乾燥させる乾燥領域を変更可能な加熱機構を乾燥室毎に設け、経路長変更部は各乾燥室内で可動ローラの位置に応じて乾燥領域を独立して変更することを特徴としている。
また、発明の第2態様は、塗工装置であって、長尺帯状の基材をその長手方向に搬送する搬送部と、搬送部により搬送される基材に塗工膜を塗布する塗布部と、搬送部により塗布部から搬送されてくる基材を加熱して塗工膜を乾燥させる乾燥部と、乾燥部内における基材の搬送経路の長さを変更する経路長変更部と、を備え、搬送部は、乾燥部内で基材の一方主面に対向して配置されて基材を搬送する第1搬送ローラと、乾燥部内で基材の他方主面に対向して配置されて基材を搬送する第2搬送ローラとを有し、経路長変更部は、第1搬送ローラおよび第2搬送ローラのうちの少なくとも1つを可動ローラとし、可動ローラを変位させることで基材の搬送経路の長さを変更し、乾燥部は複数の乾燥室に仕切られ、
搬送部は、塗工膜が形成された基材を複数の乾燥室の配列順序で各乾燥室を通過させ、可動ローラは各乾燥室に設けられ、経路長変更部は各乾燥室内で可動ローラを独立して位置決めし、乾燥部は、乾燥室を排気する排気機構と排気機構によって排気される気体に含まれる有機化合物の濃度を計測する濃度計とを乾燥室毎に設け、経路長変更部は、乾燥室毎に濃度計により計測される有機化合物の濃度値に応じて可動ローラを独立して位置決めすることを特徴としている。
また、この発明の第4態様は、長尺帯状の基材をその長手方向に搬送しながら塗布部で基材上に塗工膜を塗布するとともに乾燥部で塗工膜が形成された基材を加熱して塗工膜を乾燥させる塗工方法であって、乾燥部として、複数の乾燥室に仕切られるとともに基材に加熱して乾燥させる乾燥領域を変更可能な加熱機構を乾燥室毎に設けたものを用い、搬送部として、乾燥部内で基材の一方主面に対向して配置されて基材を搬送する第1搬送ローラと、乾燥部内で基材の他方主面に対向して配置されて基材を搬送する第2搬送ローラとを有し、塗工膜が形成された基材を複数の乾燥室の配列順序で各乾燥室を通過させるものを用い、各乾燥室において第1搬送ローラおよび第2搬送ローラのうちの少なくとも1つを可動ローラとし、各乾燥室内で可動ローラを独立して位置決めすることで乾燥部内における基材の搬送経路の長さを変更して乾燥時間を変化させるとともに各乾燥室内で可動ローラの位置に応じて乾燥領域を独立して変更させることを特徴としている。
10…塗布部
20…乾燥部
30…搬送部
34…(第2)搬送ローラ
35,351〜353…フローティングローラ(第1搬送ローラ)
40…基材
41…(基材の)表面
42…(基材の)裏面
50…制御部(経路長変更部)
60…塗工膜
90…表示入力部
221〜223…乾燥室
271〜273…濃度計
354…気体吐出孔
X…(基材の)長手方向
Vc…搬送速度
Claims (7)
- 長尺帯状の基材をその長手方向に搬送する搬送部と、
前記搬送部により搬送される基材に塗工膜を塗布する塗布部と、
前記搬送部により前記塗布部から搬送されてくる基材を加熱して前記塗工膜を乾燥させる乾燥部と、
前記乾燥部内における前記基材の搬送経路の長さを変更する経路長変更部と、を備え、
前記搬送部は、前記乾燥部内で前記基材の一方主面に対向して配置されて前記基材を搬送する第1搬送ローラと、前記乾燥部内で前記基材の他方主面に対向して配置されて前記基材を搬送する第2搬送ローラとを有し、
前記経路長変更部は、前記第1搬送ローラおよび前記第2搬送ローラのうちの少なくとも1つを可動ローラとし、前記可動ローラを変位させることで前記基材の搬送経路の長さを変更し、
前記乾燥部は複数の乾燥室に仕切られ、
前記搬送部は、前記塗工膜が形成された前記基材を前記複数の乾燥室の配列順序で各乾燥室を通過させ、
前記可動ローラは各乾燥室に設けられ、
前記経路長変更部は各乾燥室内で前記可動ローラを独立して位置決めし、
前記乾燥部は前記基材に加熱して乾燥させる乾燥領域を変更可能な加熱機構を前記乾燥室毎に設け、
前記経路長変更部は各乾燥室内で前記可動ローラの位置に応じて前記乾燥領域を独立して変更する
ことを特徴とする塗工装置。 - 長尺帯状の基材をその長手方向に搬送する搬送部と、
前記搬送部により搬送される基材に塗工膜を塗布する塗布部と、
前記搬送部により前記塗布部から搬送されてくる基材を加熱して前記塗工膜を乾燥させる乾燥部と、
前記乾燥部内における前記基材の搬送経路の長さを変更する経路長変更部と、を備え、
前記搬送部は、前記乾燥部内で前記基材の一方主面に対向して配置されて前記基材を搬送する第1搬送ローラと、前記乾燥部内で前記基材の他方主面に対向して配置されて前記基材を搬送する第2搬送ローラとを有し、
前記経路長変更部は、前記第1搬送ローラおよび前記第2搬送ローラのうちの少なくとも1つを可動ローラとし、前記可動ローラを変位させることで前記基材の搬送経路の長さを変更し、
前記乾燥部は複数の乾燥室に仕切られ、
前記搬送部は、前記塗工膜が形成された前記基材を前記複数の乾燥室の配列順序で各乾燥室を通過させ、
前記可動ローラは各乾燥室に設けられ、
前記経路長変更部は各乾燥室内で前記可動ローラを独立して位置決めし、
前記乾燥部は、前記乾燥室を排気する排気機構と前記排気機構によって排気される気体に含まれる有機化合物の濃度を計測する濃度計とを前記乾燥室毎に設け、
前記経路長変更部は、前記乾燥室毎に前記濃度計により計測される有機化合物の濃度値に応じて前記可動ローラを独立して位置決めする
ことを特徴とする塗工装置。 - 請求項1または2に記載の塗工装置であって、
前記塗布部は前記基材の一方主面に前記塗工膜を塗布し、
前記第1搬送ローラは、ローラ表面に形成される複数の気体吐出孔から気体を噴射して前記気体により前記基材の一方主面を前記ローラ表面から浮上させて前記基材を搬送する塗工装置。 - 請求項1ないし3のいずれか一項に記載の塗工装置であって、
前記塗布部は前記基材の他方主面に前記塗工膜を塗布し、
前記第2搬送ローラは、ローラ表面に形成される複数の気体吐出孔から気体を噴射して前記気体により前記基材の他方主面を前記ローラ表面から浮上させて前記基材を搬送する塗工装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の塗工装置であって、
前記塗工膜が形成された前記基材に対する乾燥時間が入力される入力部を備え、
前記経路長変更部は前記入力部に入力された乾燥時間に応じて前記可動ローラを位置決めする塗工装置。 - 長尺帯状の基材をその長手方向に搬送部により搬送しながら塗布部で前記基材上に塗工膜を塗布するとともに乾燥部で前記塗工膜が形成された前記基材を加熱して前記塗工膜を乾燥させる塗工方法であって、
前記乾燥部として、複数の乾燥室に仕切られるとともに前記基材に加熱して乾燥させる乾燥領域を変更可能な加熱機構を前記乾燥室毎に設けたものを用い、
前記搬送部として、前記乾燥部内で前記基材の一方主面に対向して配置されて前記基材を搬送する第1搬送ローラと、前記乾燥部内で前記基材の他方主面に対向して配置されて前記基材を搬送する第2搬送ローラとを有し、前記塗工膜が形成された前記基材を前記複数の乾燥室の配列順序で各乾燥室を通過させるものを用い、
各乾燥室において前記第1搬送ローラおよび前記第2搬送ローラのうちの少なくとも1つを可動ローラとし、各乾燥室内で前記可動ローラを独立して位置決めすることで前記乾燥部内における前記基材の搬送経路の長さを変更して乾燥時間を変化させるとともに各乾燥室内で前記可動ローラの位置に応じて前記乾燥領域を独立して変更させる
ことを特徴とする塗工方法。 - 長尺帯状の基材をその長手方向に搬送部により搬送しながら塗布部で前記基材上に塗工膜を塗布するとともに乾燥部で前記塗工膜が形成された前記基材を加熱して前記塗工膜を乾燥させる塗工方法であって、
前記乾燥部として、複数の乾燥室に仕切られるとともに前記乾燥室を排気する排気機構と前記排気機構によって排気される気体に含まれる有機化合物の濃度を計測する濃度計とを前記乾燥室毎に設けたものを用い、
前記搬送部として、前記乾燥部内で前記基材の一方主面に対向して配置されて前記基材を搬送する第1搬送ローラと、前記乾燥部内で前記基材の他方主面に対向して配置されて前記基材を搬送する第2搬送ローラとを有し、前記塗工膜が形成された前記基材を前記複数の乾燥室の配列順序で各乾燥室を通過させるものを用い、
各乾燥室において前記第1搬送ローラおよび前記第2搬送ローラのうちの少なくとも1つを可動ローラとし、前記乾燥室毎に前記濃度計により計測される有機化合物の濃度値に応じて前記可動ローラを独立して位置決めすることで前記乾燥部内における前記基材の搬送経路の長さを変更して乾燥時間を変化させることを特徴とする塗工方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015165640A JP6542071B2 (ja) | 2015-08-25 | 2015-08-25 | 塗工装置および塗工方法 |
KR1020160087537A KR101859278B1 (ko) | 2015-08-25 | 2016-07-11 | 도공 장치 및 도공 방법 |
CN201610621232.8A CN106475277B (zh) | 2015-08-25 | 2016-08-01 | 涂敷装置及涂敷方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015165640A JP6542071B2 (ja) | 2015-08-25 | 2015-08-25 | 塗工装置および塗工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017042704A JP2017042704A (ja) | 2017-03-02 |
JP6542071B2 true JP6542071B2 (ja) | 2019-07-10 |
Family
ID=58209162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015165640A Expired - Fee Related JP6542071B2 (ja) | 2015-08-25 | 2015-08-25 | 塗工装置および塗工方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6542071B2 (ja) |
KR (1) | KR101859278B1 (ja) |
CN (1) | CN106475277B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109059498B (zh) * | 2018-08-06 | 2020-08-21 | 成都创合丰生物科技有限公司 | 一种用于过滤膜的烘干装置及射流烘干方法 |
JP7446710B2 (ja) * | 2018-12-12 | 2024-03-11 | 日東電工株式会社 | 光学フィルムの通紙方法 |
CN109622314A (zh) * | 2019-01-10 | 2019-04-16 | 惠州市新鑫辉自动化设备有限公司 | 一种涂布机传动辊差速调整装置及其方法 |
CN110369240A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-10-25 | 宣城市泰宇电池有限公司 | 一种铜箔涂层烘干设备 |
CN215465733U (zh) * | 2021-07-30 | 2022-01-11 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 一种涂布设备 |
CN115161863A (zh) * | 2022-08-02 | 2022-10-11 | 红豆集团无锡红豆童装有限公司 | 一种零染色宝宝棉功能面料及其加工工艺 |
CN116475038A (zh) * | 2023-05-29 | 2023-07-25 | 海目星激光科技集团股份有限公司 | 烘干装置及极片制造生产线 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0531430A (ja) * | 1991-07-26 | 1993-02-09 | Konica Corp | ウエブ塗布装置 |
JP2001327907A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-27 | Konica Corp | 塗膜乾燥装置及び塗布方法 |
JP3716223B2 (ja) * | 2002-03-29 | 2005-11-16 | 三菱重工業株式会社 | ウェブ塗工装置 |
JP2005030682A (ja) * | 2003-07-14 | 2005-02-03 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 乾燥装置、熱現像感光材料製造装置及びこれらを用いた熱現像感光材料の製造方法 |
JP2005081558A (ja) * | 2003-09-04 | 2005-03-31 | Fuji Photo Film Co Ltd | インクジェット記録用紙の製造方法及び装置 |
TWI228462B (en) * | 2003-12-23 | 2005-03-01 | Asustek Comp Inc | Surface treating method |
JP2005347298A (ja) | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Satsuma Tsushin Kogyo Kk | フレキシブルプリント基板の被膜形成方法とそのシステム |
JPWO2007066524A1 (ja) * | 2005-12-06 | 2009-05-14 | コニカミノルタオプト株式会社 | 製造方法、搬送装置及びハードコート層を有する機能性フィルムと反射防止層を有する機能性フィルム |
JP5130779B2 (ja) * | 2007-04-26 | 2013-01-30 | Jfeスチール株式会社 | 連続塗装設備での溶剤排気処理方法及び排気ファン制御装置 |
JP5655769B2 (ja) | 2011-12-09 | 2015-01-21 | トヨタ自動車株式会社 | 電極の製造方法 |
KR101947828B1 (ko) * | 2012-05-16 | 2019-02-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | 건조 장치 |
-
2015
- 2015-08-25 JP JP2015165640A patent/JP6542071B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2016
- 2016-07-11 KR KR1020160087537A patent/KR101859278B1/ko active IP Right Grant
- 2016-08-01 CN CN201610621232.8A patent/CN106475277B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20170024528A (ko) | 2017-03-07 |
JP2017042704A (ja) | 2017-03-02 |
CN106475277B (zh) | 2019-03-15 |
CN106475277A (zh) | 2017-03-08 |
KR101859278B1 (ko) | 2018-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6542071B2 (ja) | 塗工装置および塗工方法 | |
JP5277218B2 (ja) | 薄膜塗工装置に設ける乾燥装置 | |
JP6283540B2 (ja) | 乾燥装置および処理膜形成システム | |
JP2012107792A (ja) | ウエブの塗工液乾燥装置 | |
KR102546381B1 (ko) | 감압 건조 장치, 기판 처리 장치 및 감압 건조 방법 | |
JP2014184364A (ja) | 乾燥ユニット、乾燥装置、および塗膜形成システム | |
JP2016186371A (ja) | 乾燥装置、塗膜形成システム、乾燥方法および塗膜形成方法 | |
JP5622701B2 (ja) | 減圧乾燥装置 | |
KR101572699B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 및 감압 건조 장치 | |
KR101558596B1 (ko) | 감압 건조 장치 및 감압 건조 방법 | |
KR20120052871A (ko) | 가열 처리장치 | |
KR20110031112A (ko) | 열처리장치 | |
KR20110139663A (ko) | 열처리 장치 및 열처리 방법 | |
JP2019163903A (ja) | 乾燥装置、塗工膜形成装置、および乾燥方法 | |
JP4859968B2 (ja) | 減圧乾燥装置及び減圧乾燥方法 | |
JP4967013B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及びこの基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 | |
TW201631285A (zh) | 減壓乾燥裝置及基板處理系統 | |
KR20200063075A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
KR20110133437A (ko) | 열처리장치, 열처리방법 및 기억매체 | |
KR20200044446A (ko) | 증발소스 | |
JP5233248B2 (ja) | 電極製造装置 | |
KR101431146B1 (ko) | 약액도포장치 | |
KR20230028151A (ko) | 감압 건조 장치, 감압 건조 방법 및 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체에 기억된 컴퓨터 프로그램 | |
JP3170799U (ja) | 減圧乾燥装置 | |
JP6145370B2 (ja) | 乾燥装置および処理膜形成システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170725 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190326 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190328 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190514 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190528 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190612 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6542071 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |