JP6531605B2 - 温度制御装置およびオートチューニング方法 - Google Patents

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Description

本発明は、温度制御装置およびオートチューニング方法に関する。
従来、リフロー炉や恒温槽などの被加熱体の温調を制御する技術が知られている。被加熱体は、種類によって熱容量が異なるが、1つの大きな定格のヒータを加熱体として用いて加熱されることが多い。これは、異なる熱容量の被加熱体に応じて様々な定格のヒータを導入すると、コストの観点から困難なためである。また、被加熱体の加熱は、オーバーシュートやハンチングが発生しないよう制御されることが好ましく、このような技術が特許文献1,2に開示されている。
具体的に、特許文献1には、ヒータに電力を供給する電力調整器に一定幅の操作量を出力するリミットサイクルを発生させてPIDパラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニング(AT)を実行する温度制御装置が開示されている。この温度制御装置は、予め登録された複数の操作量の上限値毎にリミットサイクル方式のATを実行し、複数の操作量の上限値毎に、AT実行時における制御対象の温度の振幅を記憶する。さらに、操作量上限値の条件が近い振幅同士で比率を計算する。その比率が閾値より小さくなったときの操作量の上限値以上でヒータが定格範囲外となったと判定し、そのときの操作量の上限値を通常のPID制御動作時の操作量上限値として設定するものである。一方、特許文献2には、恒温槽の筐体内の空気温度に基づいてヒータの発熱量の上限値を設定する技術が開示されている。
特開2011−90609号公報(2011年5月6日公開) 特開2014−211385号公報(2014年11月13日公開)
しかしながら、特許文献1の技術は、電力調整器とヒータの定格範囲とが合っていない場合でも積分ワインドアップの発生を回避できるように操作量上限値を設定するものであり、時間に対する所望の温度変化(温度軌跡)となるように操作量上限値を設定しているものではない。そのため、所望の温度軌跡となるように温度を制御することができないといった問題がある。
また、特許文献2には、筐体内外の空気温度差に基づいてヒータの発熱量の上限値を決定することが記載されているが、目標温度までの時間に対する温度変化については考慮されておらず、特許文献1と同様に、所望の温度軌跡となるように温度を制御することができないといった問題がある。
本発明は、前記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、所望の温度軌跡に近い状態で被加熱体の温度を制御することが可能な温度制御装置およびオートチューニング方法を実現することにある。
上記の課題を解決するために、本発明の温度制御装置は、加熱体を用いて被加熱体を加熱する加熱システムの前記被加熱体の温度を、制御パラメータに従って制御する温度制御装置であって、目標温度と、当該目標温度に到達するまでの間における、時間に対する温度の目標変化率とを設定する目標設定部と、前記加熱体の操作量の上限値を設定する上限値設定部と、前記被加熱体の温度が前記目標温度に到達するように、前記上限値設定部により設定された上限値で前記加熱体を操作する加熱処理部と、所定時間毎に、前記被加熱体の実測温度と前記目標変化率で示される温度軌跡とのずれを示すずれ量が所定範囲外であるか否かを判定する判定処理を行う判定部とを備え、前記上限値設定部は、前記加熱処理部が前記目標温度に向けた前記加熱体の操作を開始するときには、予め設定された初期値を前記上限値とし、前記被加熱体の温度が前記目標温度に到達するまでの間において、前記ずれ量が前記所定範囲外と判定された場合に、前記ずれ量が小さくなるように前記上限値を更新し、さらに、前記被加熱体の温度が前記目標温度に到達したときに前記上限値設定部により設定されている上限値を前記制御パラメータとして設定するパラメータ設定部を備える。
なお、予め設定された初期値とは、作業者が設定した値でもよく、温度制御装置自体が、制御パラメータの設定を行うオートチューニングに際して設定した値でもよい。
また、上記の課題を解決するために、本発明のオートチューニング方法は、加熱体を用いて被加熱体を加熱する加熱システムの前記被加熱体の温度を制御するための制御パラメータを設定するオートチューニング方法であって、目標温度と、当該目標温度に到達するまでの期間における、時間に対する温度の目標変化率とを設定する目標設定ステップと、前記加熱体の操作量の上限値を設定する上限値設定ステップと、前記被加熱体の温度が前記目標温度に到達するように、前記上限値設定ステップにて設定された上限値で前記加熱体を操作する加熱ステップと、所定時間毎に、前記被加熱体の実測温度と前記目標変化率で示される温度軌跡とのずれ示すずれ量が所定範囲外であるか否かを判定する判定ステップとを含み、前記上限値設定ステップでは、前記目標温度に向けて前記加熱体の操作を開始するときには、予め設定された初期値を前記上限値として設定し、前記被加熱体の温度が前記目標温度に到達するまでの間において、前記ずれ量が前記所定範囲外と判定された場合に、前記ずれ量が小さくなるように前記上限値を更新し、さらに、前記被加熱体の温度が前記目標温度に到達したときに設定されている上限値を、前記制御パラメータとして設定するパラメータ設定ステップを含む。
上記の構成によれば、上限値設定部は、被加熱体の温度が目標温度に到達するまでの間において、実測温度と目標変化率で示される温度軌跡とのずれが小さくなるように加熱体の操作量の上限値を更新する。そして、被加熱体の温度が目標温度に到達したときに上限値設定部により設定されている上限値が制御パラメータとして設定される。そのため、当該制御パラメータを用いて加熱体を操作することにより、所望の温度軌跡に近い状態で被加熱体の温度を制御することができる。
また、本発明の温度制御装置において、前記目標設定部は、前記目標温度および前記目標変化率として、1番目からN番目(Nは2以上の整数)までの目標温度と、初期状態から1番目の目標温度に到達するまでの期間における1番目の目標変化率と、(k−1)番目(kは2〜Nの整数)の目標温度からk番目の目標温度に到達するまでの間におけるk番目の目標変化率とを設定し、前記加熱処理部は、前記被加熱体の温度が(k−1)番目の目標温度に到達した後に、前記被加熱体の温度がk番目の目標温度に到達するように前記加熱体を操作させ、前記判定部は、前記判定処理として、前記加熱処理部がn番目(nは1〜Nの整数)の目標温度に向けて前記加熱体を操作させているとき、前記実測温度とn番目の目標変化率で示される温度軌跡とのずれを示すずれ量が所定範囲外であるか否かを判定する処理を行い、前記パラメータ設定部は、1番目からN番目までの目標温度ごとに、前記制御パラメータを設定することが好ましい。
上記の構成によれば、所望の温度軌跡を複数の目標温度を用いて細かく設定することができ、所望の温度軌跡により一層近い状態で被加熱体の温度を制御することができる。
また、本発明の温度制御装置において、前記判定部は、前記被加熱体の温度が(k−1)番目の目標温度に到達してから前記加熱処理部がk番目の目標温度に向けた前記加熱体の操作を開始するまでの期間、前記判定処理を行わないことが好ましい。
上記の構成によれば、被加熱体の温度が(k−1)番目の目標温度に到達してから加熱処理部がk番目の目標温度に向けた加熱体の操作を開始するまでの期間において、上限値設定部が不必要に上限値を更新することがない。
また、本発明の温度制御装置において、前記判定部は、前記加熱処理部がk番目の目標温度に向けた前記加熱体の操作を開始してから所定期間、前記判定処理を行わないことが好ましい。
目標温度が切り替わった直後は、被加熱体の温度の上昇速度が遅い。つまり、温度の立ち上がりに遅れが見られる。上記の構成によれば、加熱処理部がk番目の目標温度に向けた加熱体の操作を開始してから所定期間、判定処理が行われないため、操作量の上限値が更新されない。そのため、目標温度が切り替わった直後の温度の立ち上がりの遅れによって、操作量の上限値が必要以上に変更されることを抑制することができる。
また、本発明の温度制御装置において、前記被加熱体の温度が(k−1)番目の目標温度に到達した後に前記加熱処理部がk番目の目標温度に向けた前記加熱体の操作を開始したとき、前記上限値設定部は、前記パラメータ設定部が(k−1)番目の目標温度に対して前記制御パラメータとして設定した上限値を、k番目の目標温度に対する前記初期値とすることが好ましい。
通常、k番目の目標温度は、(k−1)番目の目標温度に近い温度が設定される。そのため、上記の構成によれば、k番目の目標温度に到達するまでの間に上限値設定部が上限値を更新する回数を抑制することができる。その結果、k番目の目標温度に対する上限値の設定を容易に行うことができる。
また、本発明の温度制御装置において、前記判定部は、前記加熱処理部が前記加熱体の操作を開始してから所定期間、前記判定処理を行わないことが好ましい。
加熱処理部が加熱体の操作を開始した直後は、被加熱体の温度の上昇速度が遅い。つまり、温度の立ち上がりに遅れが見られる。上記の構成によれば、加熱処理部が加熱体の操作を開始してから所定期間、判定処理が行われないため、操作量の上限値が更新されない。そのため、加熱処理部が加熱体の操作を開始した直後の温度の立ち上がりの遅れによって、操作量の上限値が必要以上に変更されることを抑制することができる。
なお、本発明の温度制御装置は、前記実測温度に基づいて、前記被加熱体の時間に対する温度の実測変化率を算出する実測変化率算出部を備え、前記判定部は、前記実測変化率と前記目標変化率との比較結果を前記ずれ量としてもよい。もしくは、前記判定部は、前記実測温度と前記目標変化率に基づき算出される値との比較結果を前記ずれ量としてもよい。ここで、比較結果とは、例えば、差や比などである。
前記実測変化率と前記目標変化率との比較結果を前記ずれ量とする場合、前記上限値設定部は、前記ずれ量が前記所定範囲外と判定されたとき、前記実測変化率が前記目標変化率よりも低い場合に前記上限値を所定量だけ上げ、前記実測変化率が前記目標変化率よりも高い場合に前記上限値を所定量だけ下げればよい。また、前記実測温度と前記目標変化率に基づき算出される値との比較結果を前記ずれ量とする場合、前記上限値設定部は、前記ずれ量が前記所定範囲外と判定されたとき、前記実測温度が前記目標変化率に基づき算出される理想温度よりも低い場合に前記上限値を所定量だけ上げ、前記実測温度が前記目標変化率に基づき算出される理想温度よりも高い場合に前記上限値を所定量だけ下げればよい。
上記の構成によれば、実測温度と目標変化率で示される温度軌跡とのずれが小さくなるように加熱体の操作量の上限値を設定することができる。
また、本発明の温度制御装置において、前記目標設定部は、前記目標温度と、当該目標温度までの目標時間とを入力装置から受け付け、当該目標温度と当該目標時間とに基づいて前記目標変化率を設定してもよい。もしくは、前記目標設定部は、前記目標温度と前記目標変化率とを入力装置から受け付けてもよい。
また、本発明の温度制御装置において、前記パラメータ設定部は、前記制御パラメータとして設定された前記上限値で前記加熱体を操作したときの前記被加熱体の温度変化に基づいてPIDパラメータを決定し、決定したPIDパラメータを前記制御パラメータとして設定してもよい。
上記の構成によれば、所望の温度軌跡に近くなるように設定された操作量の上限値を用いてPIDパラメータを設定しているため、固定の上限値を用いてPIDパラメータを設定した場合と比較して、所望の温度軌跡により一層近い状態で被加熱体の温度を制御することができる。
なお、前記パラメータ設定部は、リミットサイクル法、限界感度法およびステップ応答法の何れかに基づいて前記PIDパラメータを決定すればよい。
本発明は、所望の温度軌跡に近い状態で被加熱体の温度を制御することができるという効果を奏する。
本実施形態における加熱制御システムの全体構成の一例を示す図である。 所望の温度軌跡の一例を示す図である。 本実施形態における温度制御装置が備える構成の一例を示す機能ブロック図である。 本実施形態におけるリミットサイクル法によるATを示す図である。 本実施形態における限界感度法によるATを示す図である。 本実施形態におけるAT画面の一例を示す図である。 本実施形態におけるAT中の温度変化を示すグラフである。 本実施の形態におけるAT処理の流れの一例を示すフローチャートである。 本実施形態におけるステップ応答法によるATを示す図である。 操作量を変化させたときの温度変化を示す図である。
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
<加熱制御システムの全体構成>
図1は、本実施形態における加熱制御システムの全体構成の一例を示す図である。図1に示されるように、加熱制御システム(加熱システム)1は、被加熱体10と、被加熱体10を加熱するための加熱体としてのヒータ20と、制御パラメータに従ってヒータ20を操作することで被加熱体10の温度を制御する温度制御装置100と、温度制御装置100に電気的に接続され、被加熱体10の温度(実測温度)を検知する温度センサ30と、温度制御装置100に入力する各種パラメータを受け付ける入力装置40と、を含む。
入力装置40は、例えばパーソナルコンピュータ、プログラマブルターミナルなどであり、ユーザの操作により各種パラメータをAT画面において受け付ける。具体的に、入力装置40は、目標温度と、その目標温度に到達するまでの目標時間とを受け付ける。
また、入力装置40は、所望の温度軌跡を示すような、複数の目標温度と、各目標温度に到達するまでの目標時間とを受け付けてもよい。すなわち、入力装置40は、1番目からN番目(Nは2以上の整数)までの目標温度と、初期状態から1番目の目標温度に到達するまでの1番目の目標時間と、(k−1)番目(kは2〜Nの整数)の目標温度からk番目の目標温度に到達するまでのk番目の目標時間とを受け付けてもよい。
図2は、所望の温度軌跡の一例を示す図である。図2に示されるような温度軌跡で制御することを所望する場合、ユーザは、入力装置40に、1番目の目標温度:50℃、1番目の目標時間:90秒、2番目の目標温度:60℃、2番目の目標時間:90秒、3番目の目標温度:70℃、3番目の目標時間:90秒、4番目の目標温度:80℃、4番目の目標時間:90秒を入力すればよい。
<温度制御装置の構成>
温度制御装置100は、例えば一般的な温度調整器、プログラマブルコントローラを用いることができる。温度制御装置100は、温度センサ30の検出値に基づいて、被加熱体10の温度が目標温度に到達するよう、ヒータ20に供給する電力を制御することでヒータ20を操作する。
図3は、本実施の形態における温度制御装置が備える構成の一例を示す機能ブロック図である。図3に示されるように、温度制御装置100は、目標設定部110、目標温度記憶部111、初期操作量上限値記憶部113、目標変化率記憶部115、実測変化率算出部117、温度変化率比較部119、操作量上限値設定部(上限値設定部)121、AT実行部122、制御パラメータ記憶部125およびPID演算部127を含む。
目標設定部110は、入力装置40に入力された各種パラメータ(ここでは、目標温度および目標時間)を受け付ける。目標設定部110は、受け付けた目標温度を目標温度記憶部111に格納する。複数の目標温度を受け付けた場合、目標設定部110は、順番を示す番号とともに各目標温度を目標温度記憶部111に格納する。
また、目標設定部110は、初期状態の温度(例えば室温)と受け付けた目標温度との差分を目標時間で除算することにより、目標温度に到達するまでの間における、時間に対する温度の目標変化率を求める。目標設定部110は、求めた目標変化率を目標変化率記憶部115に格納する。当該目標変化率は、所望の温度軌跡を示すものとなる。
なお、複数の目標温度を受け付けた場合、目標設定部110は、1番目の目標温度と1番目の目標時間とに基づいて、上述した方法で1番目の目標変化率を求め、2番目以下の目標変化率については、以下のように求めればよい。すなわち、目標設定部110は、(k−1)番目(kは2以上の整数)の目標温度とk番目の目標温度との差分をk番目の目標時間で除算することにより、k番目の目標変化率を求め、各目標変化率とその順番を示す番号とを目標温度記憶部111に格納すればよい。
さらに、目標設定部110は、ヒータ20の操作量の上限値である初期操作量上限値として、デフォルトで設定された値(例えば5%や10%)を初期操作量上限値記憶部113に格納する。
AT実行部122は、ユーザからの指示に応じて、オートチューニング処理(AT処理)を実行し、ヒータ20を操作するための各種の制御パラメータを設定する。ここで、制御パラメータには、ヒータ20の操作量の上限値および下限値、ならびにPIDパラメータが含まれる。PIDパラメータは、比例動作のパラメータであるP値、積分動作のパラメータであるI値、微分動作のパラメータであるD値である。AT実行部122は、加熱処理部123およびパラメータ設定部124を備える。
加熱処理部123は、操作量上限値設定部121から出力される操作量の上限値と、予め定められた操作量の下限値(例えば0%)とを用いて、ヒータ20を操作させる。具体的には、加熱処理部123は、目標温度記憶部111に格納された目標温度と、温度センサ30から出力される実測温度とを比較する。加熱処理部123は、実測温度が目標温度より低い場合に上限値でヒータ20を操作し、実測温度が目標温度以上である場合に下限値でヒータ20を操作する。ここで、上限値でのヒータ20の操作とは、操作量の上限値に対応する電力をヒータ20に供給することを意味し、下限値でのヒータ20の操作とは、操作量の下限値に対応する電力(0Wもあり得る)をヒータ20に供給することを意味している。
加熱処理部123は、被加熱体10の温度が目標温度に到達すると、パラメータ設定部124がPIDパラメータを設定するために必要な時間(PIDパラメータ設定期間)だけ、PIDパラメータを設定するための条件でヒータ20を操作する。このとき、加熱処理部123は、被加熱体10の温度が目標温度に到達したときに操作量上限値設定部121が設定していた上限値と、予め定められた下限値とを用いて、ヒータ20を操作する。
なお、目標温度記憶部111が複数の目標温度を記憶している場合、加熱処理部123は、番号順に目標温度を読み出し、読み出した目標温度に到達するようにヒータ20を操作する。そして、目標温度に到達した後、PIDパラメータ設定期間が経過すると、加熱処理部123は、次番号の目標温度を目標温度記憶部111から読み出し、同様の処理を行う。
パラメータ設定部124は、ヒータ20を制御するための各種の制御パラメータを設定し、制御パラメータ記憶部125に格納する。目標温度記憶部111が複数の目標温度を記憶している場合、パラメータ設定部124は、目標温度ごとに制御パラメータを設定する。また、パラメータ設定部124は、設定した制御パラメータを入力装置40に出力し、入力装置40のAT画面に表示する。
まず、ヒータ20の操作量の上限値および下限値の設定について説明し、PIDパラメータの設定については後述する。本実施形態では、パラメータ設定部124は、ヒータ20の操作量の下限値について、予め定められた値(例えば0%)を制御パラメータ記憶部125に格納する。また、パラメータ設定部124は、目標温度に到達したときに操作量上限値設定部121により設定されている値を、ヒータ20の操作量の上限値として制御パラメータ記憶部125に格納する。
実測変化率算出部117は、AT実行部122がAT処理を実行している間において、温度センサ30により検出された実測温度に基づいて、時間に対する温度の変化率(実測変化率)を算出する。本実施形態では、加熱処理部123が目標温度に向けたヒータ20の操作を開始してから所定時間(例えば20秒、30秒、1分など)経過するごとに、実測変化率算出部117は、当該所定時間における実測変化率を算出する。実測変化率算出部117は、算出した実測変化率を温度変化率比較部119に出力する。
温度変化率比較部119は、被加熱体10の実測温度と目標変化率で示される温度軌跡とのずれを示すずれ量が所定範囲外であるか否かを判定する。本実施形態では、温度変化率比較部119は、当該ずれ量として、実測変化率算出部117により算出された実測変化率と目標変化率記憶部115に記憶された目標変化率との差を用いて、当該差が所定範囲外であるか否か判定する。例えば、実測変化率が目標変化率(例えば、10℃/分)に対して、±2℃の範囲外にあるか否かを判断する。範囲内にあれば、その旨を示す情報を操作量上限値設定部121に出力し、範囲外にあれば、その旨を示す情報を操作量上限値設定部121に出力する。
なお、温度変化率比較部119は、実測温度と目標変化率で示される温度軌跡とのずれを示すずれ量として、実測変化率と目標変化率との差ではなく、実測変化率と目標変化率との比を用いてもよい。
また、目標温度記憶部111が複数の目標温度を記憶している場合、温度変化率比較部119は、被加熱体10の温度が(k−1)番目の目標温度に到達してから加熱処理部123がk番目の目標温度に向けたヒータ20の操作を開始するまでの期間(つまり、上述したPIDパラメータ設定期間)、上述した比較する処理を行わない。
操作量上限値設定部121は、ヒータ20の操作量の上限値を設定する。操作量上限値設定部121には、前記ずれ量(本実施形態では、実測変化率と目標変化率との差)が所定範囲内または所定範囲外である旨の情報が温度変化率比較部119から入力される。
操作量上限値設定部121は、AT実行部122がAT処理を開始した時点では、初期操作量上限値記憶部113に記憶された値を操作量の上限値として設定する。
そして、操作量上限値設定部121は、前記ずれ量(本実施形態では、実測変化率と目標変化率との差)が所定範囲内である旨の情報が入力される場合、操作量の上限値を変更しない。
一方、操作量上限値設定部121は、前記ずれ量が所定範囲外である旨の情報が入力される場合、前記ずれ量が小さくなるように操作量の上限値を更新する。具体的には、操作量上限値設定部121は、実測変化率が目標変化率より高いか否かを判断する。実測変化率が目標変化率より低い場合、操作量上限値設定部121は、現在の上限値に所定量(例えば5%や10%)上げた値を操作量の新たな上限値として設定する。実測変化率が目標変化率より高い場合、操作量上限値設定部121は、現在の上限値に所定量(例えば5%や10%)下げた値を操作量の新たな上限値として設定する。
すなわち、操作量上限値設定部121は、目標温度に到達する過程において、実測変化率が目標変化率を含む所定範囲内にある限り、操作量の上限値の設定を変更しないが、実測変化率が目標変化率を含む所定範囲外になるごとに、操作量の上限値を所定量増加または減少させていく。
これにより、操作量上限値設定部121は、実測変化率が目標変化率に近づくように操作量の上限値を更新することができる。そして、操作量上限値設定部121は、設定した操作量の上限値をAT実行部122に出力する。つまり、AT実行部122は、操作量上限値設定部121により設定された最新の操作量の上限値を受けることになる。
なお、1からN番目(Nは2以上の整数)までの複数の目標温度が目標温度記憶部111に格納されている場合、操作量上限値設定部121は、k番目の目標温度に向けたヒータ20の操作を開始したとき、(k−1)番目の目標温度に到達したときに設定していた上限値を、k番目の目標温度に対する初期の上限値とする。
次に、パラメータ設定部124におけるPIDパラメータの設定処理について説明する。本実施形態では、パラメータ設定部124は、被加熱体10の温度が目標温度に到達した後、加熱処理部123が上述のPIDパラメータ設定期間だけ目標温度を維持するようにヒータ20を操作している間に、リミットサイクル法または限界感度法を用いて、PIDパラメータを設定する。具体的には、リミットサイクル法の場合、図4に示すように、パラメータ設定部124は、A点からON/OFF動作を開始繰り返してハンチングが発生するように加熱処理部123を制御し、発生したハンチングの周期(T)と振幅(D)の値よりPIDパラメータを算出する。限界感度法のATの場合、図5に示すように、パラメータ設定部124は、A点から比例動作を開始し、比例帯の幅を少しずつ狭めていき温度の振動を発生させるように加熱処理部123を制御し、比例帯の値と振幅の周期(T)よりPIDパラメータを算出する。パラメータ設定部124は、目標温度ごとに算出したPIDパラメータを制御パラメータとして制御パラメータ記憶部125に出力し、記憶させる。
PID演算部127は、実際の温度制御において、制御パラメータ記憶部125に格納されたPIDパラメータ、ならびに操作量の上限値および下限値を用いて、PID演算を実行し、被加熱体10の温度が目標温度記憶部111に格納された目標温度になるようにヒータ20への電力供給量を演算する。このとき、目標温度記憶部111が1からN番目の目標温度を記憶している場合、PID演算部127は、まず1番目の目標温度に対応する制御パラメータを用いて、当該1番目の目標温度に向けたヒータ20の操作を行う。そして、(k−1)番目(kは2〜Nの整数)の目標温度に到達したときに、PID演算部127は、目標温度をk番目の目標温度に切り替え、k番目の目標温度に対応する制御パラメータを用いて、当該k番目の目標温度に向けたヒータ20の操作を行う。
<オートチューニング処理の具体例>
図6は、本実施形態におけるAT画面の一例を示す図である。図6の(a)は、AT処理実行前のAT画面の一例を示し、図6の(b)は、AT処理実行後のAT画面の一例を示す。図6の(a),(b)に示されるように、AT画面には、目標温度の項目と、昇温時間の項目と、P(%),I(秒),D(秒)の項目と、操作量の上限値の項目と、操作量の下限値の項目とが含まれる。
AT実行前には、目標温度の項目には、ユーザにより入力された目標温度が設定され、昇温時間の項目には、ユーザにより入力された目標時間が設定される。例えば、図2に示されるような温度軌跡が所望される場合、図6の(a)に示されるように、目標温度の項目に、50,60,70,80℃の複数の目標温度が設定される。また、昇温時間の項目には、各目標温度に対して90秒が設定される。本実施形態において、操作量下限値の項目には、予め定められた値である0%が設定される。
その後、AT処理が実行され、制御パラメータが設定される。すなわち、被加熱体10の温度が目標温度に到達するように加熱処理部123がヒータ20を操作している間に、操作量上限値設定部121は、実測変化率が目標変化率に近づくように操作量の上限値を更新する処理を行う。そして、被加熱体10の温度が目標温度に到達したときに操作量上限値設定部121により設定されていた操作量の上限値が制御パラメータとして設定される。また、被加熱体10の温度が目標温度に到達した後のPIDパラメータ設定期間において、PIDパラメータが設定される。
図7は、本実施の形態におけるAT中の温度変化を示すグラフの一例を示す。図7において、波形210は、目標温度の変化を示し、波形220は、実測温度の変化を示し、波形230は、操作量を示す。ここでは、初期操作量上限値記憶部113が初期操作量上限値として5%を記憶しており、実測変化率が目標変化率を含む所定範囲外である場合に操作量上限値設定部121が上限値を5%だけ増加または減少させて更新するものとする。
図7は、図2に示される所望の温度軌跡に対応する波形であり、複数の目標温度50,60,70,80℃それぞれに対するATを示している。
まず、波形220および波形230は、初期状態から目標温度50℃の間で操作量の上限値が5%から10%に変更され、50℃の目標温度に対応する制御パラメータとして操作量の上限値10%が設定されたことを示している。そして、50℃の目標温度に維持された状態のPIDパラメータ設定期間において、パラメータ設定部124は、リミットサイクル法または限界感度法により算出されたPIDパラメータを50℃の目標温度に対応する制御パラメータとして設定する。
その後、波形220および波形230は、(a)50℃〜目標温度60℃の間で操作量上限値が10%から15%に変更され、60℃の目標温度に対応する制御パラメータとして操作量の上限値15%が設定されたこと、(b)60℃〜目標温度70℃の間で操作量上限値が15%から20%に変更され、70℃の目標温度に対応する制御パラメータとして操作量の上限値20%が設定されたこと、(c)70℃〜目標温度80℃の間で操作量上限値が20%から25%に変更され、80℃の目標温度に対応する制御パラメータとして操作量の上限値25%が設定されたことたことを示している。また、各目標温度に維持された状態のPIDパラメータ設定期間において、PIDパラメータが設定される。
このようにして設定された制御パラメータは、図6の(b)に示されるように、AT画面に表示される。すなわち、図6の(b)に示すAT画面では、P,I,Dの項目と、操作量上限値の項目にパラメータが新たに設定されている。
このように、ATが実行された結果を用いて、実際に温度制御すると、図10の(c)に示されるように、図6の(a)に示すAT画面において受け付けられた目標温度と昇温時間とで定められる、所望の温度変化(温度軌跡)と略同じ温度軌跡を得ることができる。
ここで、図10の(a)(b)は、操作量の上限値を100%としてPIDパラメータを設定したときの温度変化を示している。図10の(a)は、目標温度に対する制御応答性を高めるために、短い時間で大きな操作量が得られるようにPIDパラメータを設定した(具体的にはP値を小さく設定した)場合の温度変化を示している。この場合、操作量がハンチングして、大きなオーバーシュートが見られることがわかる。
一方、図10の(b)は、オーバーシュートやハンチングを抑制するために、より保守的なPIDパラメータを設定した(具体的にはP値を大きく設定した)場合の温度変化を示している。この場合、操作量の変動が小さく、所望の温度変化に対して追従性が悪く、立ち上がりの遅れが見られる。
図10の(a)(b)に示されるように、操作量の上限値を固定してPIDパラメータだけで温度制御する場合、所望の温度軌跡となるように温度制御することが困難となる。しかしながら、本実施形態によれば、実測変化率が目標変化率に近づくように操作量の上限値を設定したうえで、PIDパラメータを設定しているため、図10の(c)に示されるように、所望の温度軌跡となるように温度制御することができる。
<オートチューニング処理の流れ>
図8は、本実施の形態におけるAT処理の流れの一例を示すフローチャートである。図8に示されるように、温度制御装置100の目標設定部110は、入力装置40を介して目標温度および目標時間の入力を受け付ける(ステップS01)。そして、目標設定部110は、受け付けた目標温度を目標温度記憶部111に格納し、目標温度および目標時間から算出した目標変化率を目標変化率記憶部115に格納する。また、目標設定部110は、予め定められた値を初期操作量上限値として初期操作量上限値記憶部113に格納する。これにより、操作量上限値設定部121は、初期操作量上限値記憶部113に格納された値を初期の上限値として設定し、AT実行部122に出力する。
次のステップS02において、AT実行部122は、ATを起動する。つまり、加熱処理部123は、操作量上限値設定部121から出力された上限値と予め定められた下限値とに基づいて、被加熱体10の温度が目標温度に到達するようにヒータ20の操作を行う。そして、目標温度に到達したか否かを判断する(ステップS03)。具体的にステップS03においては、ステップS02において設定された目標温度に到達したか判断される。S02において設定された目標温度に到達したならば処理をステップS08に進めるが、そうでなければ処理をステップS04に進める。なお、複数の目標温度が目標変化率記憶部115に格納されている場合、AT起動直後には、S02において1番目の目標温度に到達するようにヒータ20が操作され、S03において1番目の目標温度に到達したか判断される。
ステップS04において、温度制御装置100は、所定時間(例えば20秒や1分)が経過したか否かを判断する。所定時間が経過したらならば処理をステップS05に進めるが、そうでなければ処理をステップS03に戻す。
ステップS05において、実測変化率算出部117は、上記所定時間において温度センサ30から出力された温度の変化量を当該所定時間で除算することにより実測変化率を計算する。そして、ステップS06において、温度変化率比較部119は、実測変化率が許容範囲内であるか否かを判断する。具体的に、温度変化率比較部119は、実測変化率が目標変化率を含む所定範囲内であるか否かを判断する。所定範囲内であるならば処理をステップS03に戻すが、そうでなければ処理をステップS07に進める。
ステップS07において、操作量上限値設定部121は、操作量の上限値を更新する。なお、ステップS02におけるAT起動時には、初期操作量上限値記憶部113に記憶された値が設定されているので、その設定から操作量の上限値を変更することになる。一方、既に初期操作量上限値記憶部113に記憶された値から更新されている場合には、前回の更新後の値から変更されることになる。具体的に、ステップS06において実測変化率が目標変化率より大きい場合、現在の上限値から所定量減少させることで、操作量の上限値を更新する。一方、ステップS06において実測変化率が目標変化率より小さい場合、現在の上限値から所定量増加させることで、操作量の上限値を更新する。
このようにして、目標温度に到達するまでの間、所定時間ごとに、S05〜S07の処理が繰り返される。これにより、実測変化率が目標変化率に近づくように、操作量上限値設定部121は、操作量の上限値を更新することができる。
ステップS08において、パラメータ設定部124は、ステップS03の目標温度について、リミットサイクル法または限界感度法によって算出されるPIDパラメータを設定する。そして、そのPIDパラメータと、目標温度に到達したときに設定されていた操作量の上限値とを制御パラメータとして制御パラメータ記憶部125に格納する(ステップS09)。
次のステップS10において、温度制御装置100は、次の目標温度があるか否かを判断する。次の目標温度があるならば処理をステップS11に進めるが、そうでなければAT処理を終了する。
ステップS11において、AT実行部122は、次の番号の目標温度に切り替える。このとき、操作量上限値設定部121は、現在設定中の操作量の上限値(つまり、前の目標温度について制御パラメータとして設定された操作量の上限値)を初期値とし、処理をステップS03に戻す。これにより、S03からの処理が繰り返され、目標温度ごとに、操作量の上限値、PIDパラメータが制御パラメータとして記憶される。
<変形例1>
上記の説明では、目標設定部110は、入力装置40から目標温度と目標時間とを受け付けるものとした。しかしながら、当該形態に限定されるものではなく、ユーザは、目標温度と、当該目標温度に到達するまでの間における時間に対する温度の目標変化率とを入力装置に入力してもよい。この場合、目標設定部110は、入力装置40に入力された目標変化率を目標変化率記憶部115に格納すればよい。
また、ユーザは、操作量上限値の初期値を入力装置40に入力してもよい。この場合、目標設定部110は、入力装置40に入力された初期値を初期操作量上限値記憶部113に格納すればよい。
また、温度制御装置100は、キーボードやマウスなどの入力部を備え、入力装置40の代わりに、当該入力部から目標温度や目標時間、目標変化率を受け付けてもよい。
<変形例2>
AT処理の起動直後は、ヒータ20の加熱による温度の上昇速度が一般に遅い。そこで、AT処理が起動してから所定期間(例えば40秒や2分)、実測変化率算出部117および温度変化率比較部119の処理を省略してもよい。具体的には、加熱処理部123が目標温度に向けたヒータ20の操作を開始してから所定時間(例えば20秒や1分)経過したときの、実測変化率算出部117および温度変化率比較部119における1回目の処理を省略すればよい。
これにより、起動直後の温度の立ち上がりの遅れにより、操作量の上限値が必要以上に増大することを避けることができる。
また、同様に、複数の目標温度が目標温度記憶部111に記憶されている場合、目標温度が切り替わった直後の温度の立ち上がりに遅れが見られる。そこで、(k−1)番目の目標温度に対する制御パラメータの設定が完了した後、加熱処理部123がk番目の目標温度に向けたヒータ20の操作を開始してから所定時間(例えば40秒や2分)、実測変化率算出部117および温度変化率比較部119の処理を省略してもよい。この場合も、加熱処理部123がk番目の目標温度に向けたヒータ20の操作を開始してから所定時間(例えば20秒や1分)経過したときの、実測変化率算出部117および温度変化率比較部119における1回目の処理を省略すればよい。
なお、AT起動直後または目標温度の切り替え直後における温度の立ち上がりの遅れは、操作量の上限値に依存する。そこで、AT起動直後または目標温度の切り替え直後に実測変化率算出部117および温度変化率比較部119の処理を省略する上記所定時間を、操作量上限値設定部121が設定している上限値に応じて変更してもよい。具体的には、上限値が大きいほど上記所定時間を短く設定すればよい。
<変形例3>
上記の説明では、パラメータ設定部124は、リミットサイクル法または限界感度法によりPIDパラメータを設定するものとした。しかしながら、パラメータ設定部124は、ステップ応答法によりPIDパラメータを設定してもよい。
パラメータ設定部124がステップ応答法でPIDパラメータを設定する場合、被加熱体10の温度が目標温度に到達し、当該目標温度に対する操作量の上限値が制御パラメータ記憶部125に設定された後、加熱処理部123は、前の目標温度(1番目の目標温度に到達した場合は初期状態)になるまで放置する。そして、加熱処理部123は、前の目標温度(1番目の目標温度に到達した場合は初期状態)から、設定された操作量上限値を利用して、被加熱体10の温度が同じ目標温度に到達するまで再度ヒータ20を操作する。パラメータ設定部124は、このときの温度カーブを用いて、ステップ応答法によりPIDパラメータを設定する。ステップ応答法の場合、図9に示されるように、最大温度傾斜(R)とむだ時間(L)を計測し、RとLの値よりPIDパラメータが算出される。
<変形例4>
上記の説明では、温度変化率比較部119は、実測温度と目標変化率で示される温度軌跡とのずれを示すずれ量として、実測変化率と目標変化率との比較結果を用いるものとした。しかしながら、温度変化率比較部119は、当該ずれ量として、別のパラメータを用いてもよい。例えば、温度変化率比較部119は、目標変化率と、目標温度に向けた加熱を開始してからの経過時間とを基に、現時点での理想温度を求め、当該理想温度と実測温度との比較結果(例えば、差や比など)を前記ずれ量として用いてもよい。
具体的には、図6に示される目標温度および目標時間が設定され、目標温度60℃から目標温度70℃に向けた加熱を開始してから45秒経過したとき、温度変化率比較部119は、以下の式
60+{(70−60)/90}×45=65
に従って、65℃を理想温度として算出する。そして、温度変化率比較部119は、実測温度と理想温度65℃との差が±1℃の範囲内か否かを判定する。
また、操作量上限値設定部121は、前記ずれ量が所定範囲外である旨の情報が入力される場合、実測温度が理想温度より高いか否かを判断すればよい。実測温度が理想温度よりより低い場合、操作量上限値設定部121は、現在の上限値に所定量(例えば5%や10%)上げた値を操作量の新たな上限値として設定する。実測温度が理想温度より高い場合、操作量上限値設定部121は、現在の上限値に所定量(例えば5%や10%)下げた値を操作量の新たな上限値として設定する。
<ソフトウェアによる実現例>
温度制御装置100の制御ブロック(特に目標設定部110、実測変化率算出部117、温度変化率比較部119、操作量上限値設定部121およびAT実行部122)は、集積回路(ICチップ)等に形成された論理回路(ハードウェア)によって実現してもよいし、CPU(Central Processing Unit)を用いてソフトウェアによって実現してもよい。
後者の場合、温度制御装置100は、各機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するCPU、上記プログラムおよび各種データがコンピュータ(またはCPU)で読み取り可能に記録されたROM(Read Only Memory)または記憶装置(これらを「記録媒体」と称する)、上記プログラムを展開するRAM(Random Access Memory)などを備えている。そして、コンピュータ(またはCPU)が上記プログラムを上記記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上記記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体(通信ネットワークや放送波等)を介して上記コンピュータに供給されてもよい。なお、本発明は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
1 加熱制御システム(加熱システム)
10 被加熱体
20 ヒータ
30 温度センサ
40 入力装置
100 温度制御装置
110 目標設定部
111 目標温度記憶部
113 初期操作量上限値記憶部
115 目標変化率記憶部
117 実測変化率算出部
119 温度変化率比較部(判定部)
121 操作量上限値設定部(上限値設定部)
122 AT実行部
123 加熱処理部
124 パラメータ設定部
125 制御パラメータ記憶部
127 PID演算部

Claims (15)

  1. 加熱体を用いて被加熱体を加熱する加熱システムの前記被加熱体の温度を、制御パラメータに従って制御する温度制御装置であって、
    目標温度と、当該目標温度に到達するまでの間における、時間に対する温度の目標変化率とを設定する目標設定部と、
    前記加熱体の操作量の上限値を設定する上限値設定部と、
    前記被加熱体の温度が前記目標温度に到達するように、前記上限値設定部により設定された上限値で前記加熱体を操作する加熱処理部と、
    所定時間毎に、前記被加熱体の実測温度と前記目標変化率で示される温度軌跡とのずれを示すずれ量が所定範囲外であるか否かを判定する判定処理を行う判定部とを備え、
    前記上限値設定部は、前記加熱処理部が前記目標温度に向けた前記加熱体の操作を開始するときには、予め設定された初期値を前記上限値とし、前記被加熱体の温度が前記目標温度に到達するまでの間において、前記ずれ量が前記所定範囲外と判定された場合に、前記ずれ量が小さくなるように前記上限値を更新し、
    さらに、前記被加熱体の温度が前記目標温度に到達したときに前記上限値設定部により設定されている上限値を前記制御パラメータとして設定するパラメータ設定部を備えることを特徴とする温度制御装置。
  2. 前記目標設定部は、前記目標温度および前記目標変化率として、1番目からN番目(Nは2以上の整数)までの目標温度と、初期状態から1番目の目標温度に到達するまでの期間における1番目の目標変化率と、(k−1)番目(kは2〜Nの整数)の目標温度からk番目の目標温度に到達するまでの間におけるk番目の目標変化率とを設定し、
    前記加熱処理部は、前記被加熱体の温度が(k−1)番目の目標温度に到達した後に、前記被加熱体の温度がk番目の目標温度に到達するように前記加熱体を操作させ、
    前記判定部は、前記判定処理として、前記加熱処理部がn番目(nは1〜Nの整数)の目標温度に向けて前記加熱体を操作させているとき、前記実測温度とn番目の目標変化率で示される温度軌跡とのずれを示すずれ量が所定範囲外であるか否かを判定する処理を行い、
    前記パラメータ設定部は、1番目からN番目までの目標温度ごとに、前記制御パラメータを設定することを特徴とする請求項1に記載の温度制御装置。
  3. 前記判定部は、前記被加熱体の温度が(k−1)番目の目標温度に到達してから前記加熱処理部がk番目の目標温度に向けた前記加熱体の操作を開始するまでの期間、前記判定処理を行わないことを特徴とする請求項2に記載の温度制御装置。
  4. 前記判定部は、前記加熱処理部がk番目の目標温度に向けた前記加熱体の操作を開始してから所定期間、前記判定処理を行わないことを特徴とする請求項2または3に記載の温度制御装置。
  5. 前記被加熱体の温度が(k−1)番目の目標温度に到達した後に前記加熱処理部がk番目の目標温度に向けた前記加熱体の操作を開始したとき、前記上限値設定部は、前記パラメータ設定部が(k−1)番目の目標温度に対して前記制御パラメータとして設定した上限値を、k番目の目標温度に対する前記初期値とすることを特徴とする請求項2から4の何れか1項に記載の温度制御装置。
  6. 前記判定部は、前記加熱処理部が前記加熱体の操作を開始してから所定期間、前記判定処理を行わないことを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の温度制御装置。
  7. 前記実測温度に基づいて、前記被加熱体の時間に対する温度の実測変化率を算出する実測変化率算出部を備え、
    前記判定部は、前記実測変化率と前記目標変化率との比較結果を前記ずれ量とすることを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載の温度制御装置。
  8. 前記上限値設定部は、前記ずれ量が前記所定範囲外と判定されたとき、前記実測変化率が前記目標変化率よりも低い場合に前記上限値を所定量だけ上げ、前記実測変化率が前記目標変化率よりも高い場合に前記上限値を所定量だけ下げることを特徴とする請求項7に記載の温度制御装置。
  9. 前記判定部は、前記実測温度と前記目標変化率に基づき算出される理想温度との比較結果を前記ずれ量とすることを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載の温度制御装置。
  10. 前記上限値設定部は、前記ずれ量が前記所定範囲外と判定されたとき、前記実測温度が前記目標変化率に基づき算出される理想温度よりも低い場合に前記上限値を所定量だけ上げ、前記実測温度が前記目標変化率に基づき算出される理想温度よりも高い場合に前記上限値を所定量だけ下げることを特徴とする請求項9に記載の温度制御装置。
  11. 前記目標設定部は、前記目標温度と、当該目標温度までの目標時間とを入力装置から受け付け、当該目標温度と当該目標時間とに基づいて前記目標変化率を設定することを特徴とする請求項1から10の何れか1項に記載の温度制御装置。
  12. 前記目標設定部は、前記目標温度と前記目標変化率とを入力装置から受け付けることを特徴とする請求項1から10の何れか1項に記載の温度制御装置。
  13. 前記パラメータ設定部は、前記制御パラメータとして設定された前記上限値で前記加熱体を操作したときの前記被加熱体の温度変化に基づいてPIDパラメータを決定し、決定したPIDパラメータを前記制御パラメータとして設定することを特徴とする請求項1から12の何れか1項に記載の温度制御装置。
  14. 前記パラメータ設定部は、リミットサイクル法、限界感度法およびステップ応答法の何れかに基づいて前記PIDパラメータを決定することを特徴とする請求項13に記載の温度制御装置。
  15. 加熱体を用いて被加熱体を加熱する加熱システムの前記被加熱体の温度を制御するための制御パラメータを設定するオートチューニング方法であって、
    目標温度と、当該目標温度に到達するまでの期間における、時間に対する温度の目標変化率とを設定する目標設定ステップと、
    前記加熱体の操作量の上限値を設定する上限値設定ステップと、
    前記被加熱体の温度が前記目標温度に到達するように、前記上限値設定ステップにて設定された上限値で前記加熱体を操作する加熱ステップと、
    所定時間毎に、前記被加熱体の実測温度と前記目標変化率で示される温度軌跡とのずれ示すずれ量が所定範囲外であるか否かを判定する判定ステップとを含み、
    前記上限値設定ステップでは、前記目標温度に向けて前記加熱体の操作を開始するときには、予め設定された初期値を前記上限値として設定し、前記被加熱体の温度が前記目標温度に到達するまでの間において、前記ずれ量が前記所定範囲外と判定された場合に、前記ずれ量が小さくなるように前記上限値を更新し、
    さらに、前記被加熱体の温度が前記目標温度に到達したときに設定されている上限値を、前記制御パラメータとして設定するパラメータ設定ステップを含むことを特徴とするオートチューニング方法。
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