JP6529210B2 - 研磨ディスクを用いる研磨方法およびこれに用いる物品 - Google Patents
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Description
Claims (6)
- 研磨機のシャフトに対し、パッドと共にナットにより固定されてパッドにより支持された研磨ディスクを用いる、研磨方法であって、
研磨ディスクは、可撓性基材と、可撓性基材の面上に均一に固着された研磨材とを備え、ナットにより固定された状態で平面をなし、
パッドが、
研磨ディスクと共に研磨機のシャフトに固定された状態において、
研磨ディスクと対向する支持面を備え、
径方向において支持面の外縁が研磨ディスクの外縁よりも内側に位置し、
支持面が、該支持面の外縁に近づくにつれて研磨ディスクから離れるように傾斜したテーパ部を含み、
研磨ディスクがテーパ部に固定されず、
ナットが研磨ディスクのなす平面から突出する、
研磨方法。 - 研磨機と、
可撓性基材と可撓性基材の面上に均一に固着された研磨材とを備える研磨ディスクと、
研磨ディスクと共に研磨機のシャフトに固定されることで該研磨ディスクを支持するパッドと、
研磨ディスクおよびパッドを研磨機に固定するナットと、
を備える装置であって、
研磨ディスクは、ナットにより固定された状態で平面をなし、
パッドが、
研磨ディスクと共に研磨機のシャフトに固定された状態において、
研磨ディスクと対向する支持面を備え、
径方向において支持面の外縁が研磨ディスクの外縁よりも内側に位置し、
支持面が、該支持面の外縁に近づくにつれて研磨ディスクから離れるように傾斜したテーパ部を含み、
研磨ディスクがテーパ部に固定されず、
ナットが研磨ディスクのなす平面から突出する、
装置。 - 可撓性基材と可撓性基材の面上に均一に固着された研磨材とを備える研磨ディスクと、
研磨ディスクと共に研磨機のシャフトにナットにより固定されることで該研磨ディスクを支持するパッドと、を含む物品であって、
パッドが、
研磨ディスクと共に研磨機のシャフトに固定された状態において、
研磨ディスクと対向する支持面を備え、
径方向において支持面の外縁が研磨ディスクの外縁よりも内側に位置し、
支持面が、該支持面の外縁に近づくにつれて研磨ディスクから離れるように傾斜したテーパ部を含み、
研磨ディスクがテーパ部に固定されず、
ナットによる固定時に、研磨ディスクが平面をなすと共に、ナットが研磨ディスクのなす平面から突出するように構成されている、
物品。 - 研磨ディスクと共に研磨機のシャフトに固定されることで該研磨ディスクを支持するパッドであって、
パッドが、
研磨ディスクと共に研磨機のシャフトに固定された状態において、
研磨ディスクと対向する支持面を備え、
径方向において支持面の外縁が研磨ディスクの外縁よりも内側に位置し、
支持面が、該支持面の外縁に近づくにつれて研磨ディスクから離れるように傾斜したテーパ部を含み、
テーパ部よりも内側の支持面が、研磨ディスクが平面をなすように研磨ディスクと接する部分を有する、
研磨ディスク用のパッド。 - 支持面の裏面に、研磨ディスクに接する平面を構成するリブを備える、
請求項4に記載のパッド。 - 研磨機のシャフトに対し、研磨ディスクをナットおよびパッドで支持および固定する際に第1の状態と第2の状態とを切り替えて研磨を行う方法であって、
研磨ディスクは、可撓性基材と、可撓性基材の面上に均一に固着された研磨材とを備え、
ナットによる固定時に、研磨ディスクが平面をなすと共に、ナットが研磨ディスクのなす平面から突出するものであり、
パッドが互いに反対側を向いた第1の支持面と第2の支持面とを備え、
第1の状態とは、
第1の支持面が研磨ディスクと対向し、
径方向において第1の支持面の外縁が研磨ディスクの外縁よりも内側に位置し、
第1の支持面が該支持面の外縁に近づくにつれて研磨ディスクから離れるように傾斜したテーパ部を含み、
研磨ディスクがテーパ部に固定されない状態をいい、
第2の状態とは、
第2の支持面が研磨ディスクと対向し、
第2の支持面が研磨ディスクに接する平面を構成する、
研磨方法。
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