JP6508211B2 - ガラス基板、その製造方法及びcigs太陽電池 - Google Patents
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Description
また、特許文献1では、ガラス基板における深さ方向のカリウム濃度分布曲線が、ガラス基板表面から深さ0.05μm以内において極小値を示すようなガラス基板が提案されている。上記特許文献1では、ガラス基板から化合物半導体層への効率的なナトリウム拡散の観点からカリウムの濃度分布曲線を規定することが提案されているが、ガラス基板から化合物半導体へのカリウムの拡散については考慮されていない。
本発明の一実施形態によるガラス基板としては、ガラス基板の第一面において(表面K比)/(表面Na比)が1.10〜2.50であり、ガラス基板の第一面に対向する第二面において表面Na比が0.50〜0.90であり、表面K比が1.10〜2.80であり、ガラス基板の第二面の表面Na比に対するガラス基板の第一面の表面Na比が1.10〜2.00であり、ガラス基板の第二面の表面K比に対するガラス基板の第一面の表面K比が0.40〜0.95であり、表面K比は、ガラス基板表面から深さ5000nmでのK量(原子%)に対する、ガラス基板表面から深さ30nmでのK量(原子%)の比であり、表面Na比は、ガラス基板表面から深さ5000nmでのNa量(原子%)に対する、ガラス基板表面から深さ30nmでのNa量(原子%)の比であることを特徴とする。
ガラス基板のT面の表面から深さ30nm及び5000nmのK量(原子%)は、X線光電子分光装置によって測定することができる。
ガラス基板のT面の表面から深さ30nmまでは、C60イオンビームによりスパッタエッチングして研削することができる。
ガラス基板のT面の表面から深さ5000nmまでは、4000nmまで酸化セリウムの水スラリーで研削した後、5000nmまでC60イオンビームによりスパッタエッチングして研削することができる。
ガラス基板のB面の表面K比は、ガラス基板のB面の表面から深さ5000nmでのK量(原子%)に対する、ガラス基板のB面の表面から深さ30nmでのK量(原子%)の比として表される。
ガラス基板のB面の表面Na比は、ガラス基板のB面の表面から深さ5000nmでのNa量(原子%)に対する、ガラス基板のB面の表面から深さ30nmでのNa量(原子%)の比として表される。
T面の表面Na比、B面の表面K比、及びB面の表面Na比は、それぞれ、上記したガラス基板のT面の表面K比と同様にして、測定することができる。
表面Na比及び表面K比が1に近いほど、それぞれ、ガラス基板表層部のNa原子量及びK原子量が、ガラス基板内部、言い換えれば、ガラス基板の全体組成に近づくことを表す。
また、表面Na比及び表面K比が0に近いほど、それぞれ、ガラス基板表層部のNa原子量及びK原子量が、少ないことを表す。
T面の(表面K比)/(表面Na比)が上記範囲であることで、ガラス基板から光電変換層へのNa拡散、K拡散の総量を増加させることができる。
この値は、より好ましくは1.30以上であり、さらに好ましくは1.50以上である。一方、この値は、より好ましくは2.20以下であり、さらに好ましくは1.80以下である。
B面の表面Na比は、0.50以上であることで、B面表層のガラス構造の変化を防ぐことができ、耐候性の低下を防止することができる。B面表層のNa原子量が過剰に欠乏していると、ガラスの構造がB面の表層部でSiリッチな構造に変化し、いわゆる青焼けが発生することがある。
この比は、より好ましくは0.55以上であり、さらに好ましくは0.60以上である。B面の表面Na比は、0.90以下であることで、B面表層のNa原子が炭酸塩や水酸化物として析出して脱離することを防ぐことができ、耐候性の低下を防止することができる。B面の表面に炭酸塩や水酸化物が析出すると、その表面のヘーズ値が変化し、いわゆる白焼けが発生することがある。
この比は、より好ましくは0.85以下であり、さらに好ましくは0.80以下である。
ガラス基板のB面では、Na原子量がガラス基板内部に対して表層部で減少している場合に、K原子が表層部に留まり、表面K比が大きくなる傾向がある。また、K原子は、Na原子に比べて、ガラス基板の表面から炭酸塩や水酸化物として析出しにくい傾向がある。
したがって、B面の表面K比は、1.10以上であることで、B面の表面からアルカリ成分が炭酸塩や水酸化物として析出することを防いで、耐候性を改善することができる。B面の表面K比が大きいことで、B面のNa原子量の減少を補足しながらも、炭酸塩や水酸化物の析出を防ぐことができる。
この比は、より好ましくは1.50以上であり、さらに好ましくは2.00以上である。B面の表面K比は、2.80以下であることで、B面の表層部でK原子量の過剰な供給を防いで、ガラスの構造の変化を防止し、耐候性を改善することができる。また、B面の表面K比が大きくなりすぎる場合、B面の表層部でNa原子量が不足する状態となり、上記したガラスの構造がSiリッチな構造に変化することがある。
この比は、より好ましくは2.70以下であり、さらに好ましくは2.50以下である。
ガラス基板の表層部のNa原子量は、T面とB面において、それぞれ異なる効果をもたらす。T面の表層部のNa原子量は、Na原子拡散量を促進させて、太陽電池の光電変換率を高めることができる。B面の表層部のNa原子量は、炭酸塩や水酸化物の析出により、耐候性の低下の原因となることがある。
したがって、表面Na比のT面/B面は、1.10以上であることで、表層部のNa原子量がT面側で多くなり、B面側で少なくなり、太陽電池の光電変換率を高めるとともに、耐候性を改善することができる。
この比は、より好ましくは1.20以上であり、さらに好ましくは1.40以上である。表面Na比のT面/B面は、2.00以下であることで、B面の表層部のNa原子量が少なくなりすぎることを防いで、Na原子量の不足によるガラスの構造の変化を防止し、耐候性を改善することができる。
この比は、より好ましくは1.90以下であり、さらに好ましくは1.80以下である。
ガラス基板の表層部のK原子量は、T面とB面において、それぞれ異なる効果をもたらす。T面の表層部では、Na原子の不足を補うようにK原子が存在する傾向があるため、太陽電池の光電変換率を高めるためにT面の表層部にNa原子が十分に存在すれば、K原子量が比較的少なくもよい。B面の表層部のK原子は、炭酸塩や水酸化物として脱離しにくいため、Na原子の不足を補って存在することで、耐候性の低下を防ぐことができる。
したがって、表面K比のT面/B面は、0.40以上であることで、T面のK原子拡散量及びNa原子拡散量を十分に得て太陽電池の光電変換率を高めることができる。また、B面からアルカリ成分が炭酸塩や水酸化物として析出することを防いで、耐候性を改善することができる。
この比は、より好ましくは0.50以上であり、さらに好ましくは0.55以上である。
表面K比のT面/B面は、0.95以下であることで、T面の表層部にK原子が過剰に供給されないようにしてNa原子量の不足を防止し、太陽電池の光電変換効率を高めることができる。また、B面の表層部のK原子量が少なくなりすぎることを防いで、K原子量の不足によるガラスのネットワーク構造の変化を防止し、耐候性を改善することができる。
この比は、より好ましくは0.90以下である。
T面の表面Na比が0.55以上であることで、太陽電池の光電変換層へのNa原子の拡散を促進させて、発電効率を高めることができる。この比は、より好ましくは、0.80以上であり、さらに好ましくは、1.00以上である。
T面の表面Na比が1.80以下であることで、太陽電池の光電変換層へNa原子が過剰に拡散することを防止して、Mo膜等のプラス電極がアルカリ成分で劣化することを防ぐことができる。この比は、より好ましくは、1.60以下であり、さらに好ましくは1.50以下である。
T面の表面K比が0.44以上であることで、太陽電池の光電変換層へのK原子の拡散を促進させて、発電効率を高めることができる。この比は、より好ましくは、1.00以上であり、さらに好ましくは、1.20以上である。
T面の表面K比が2.66超になると、光電変換層へのK拡散がかえって減少することがある。この比は、より好ましくは、2.50以下であり、さらに好ましくは2.00以下である。
SiO2を45〜75%、
Al2O3を0.1〜20%、
MgOを0〜15%、
CaOを0〜15%、
SrOを0〜18%、
BaOを0〜18%、
Na2Oを1〜20%、
K2Oを0.1〜15%含み、
Na2O+K2Oが1〜30%であり、
MgO+CaO+SrO+BaOが1〜40%であるガラス組成が挙げられる。
ここで、ガラス基板の第一面の表面から深さ5000nm以上とは、ガラス基板の第一面の表面から深さ5000nm以上、かつガラス基板の第二面の表面から深さ5000nm以上である。
好ましくは0.2%以上である。
ここで、ガラス母組成は、上記したSiO2、Al2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、Na2O、およびK2Oの総量であり、これらの成分の割合は、上述した通りである。
本実施形態によるガラス基板のガラス転移点温度(Tg)としては、580℃以上であることが好ましい。このTgは、600℃以上であるのがより好ましく、610℃以上であるのがより一層好ましく、620℃以上であるのがさらに好ましく、630℃以上であるのが特に好ましい。このTgは通常のソーダライムガラスのTgよりも高く、これによって、高温における光電変換層の形成を担保することができる。
本発明のTgの上限値は、750℃以下であることが好ましい。このTgは、より好ましくは720℃以下、さらに好ましくは700℃以下である。これによって、ガラス原料の溶融時の粘性を適度に低く抑えて製造しやすくできる。
さらに、太陽電池を組立てる際(具体的にはCIGSの光電変換層を有するガラス基板とカバーガラスとを加熱して貼りあわせる際)、ガラス基板が変形することを防止することができる。
ヘーズ率の変化及び色変化は、評価対象であるB面に対して反対側の面であるT面を保護フィルムでマスキングし、このガラス基板を60℃−95%RHで13日間、恒温恒湿槽内に静置した前後で、ヘーズ率及びB面のa*値及びb*値を測定し、その差から求めることができる。
このΔHzは、0.3%以下であることが好ましく、より好ましくは0.2%以下であり、さらに好ましくは0.1%以下である。なお、ΔHzは、試験前後で変化が少ないことが好ましく、0に近いほど耐候性に優れることを示す。
ΔEc=(Δa*2+Δb*2)1/2
このΔEcは、1.0以下であることが好ましく、より好ましくは0.6以下であり、さらに好ましくは0.3以下である。なお、ΔEcは、試験前後で変化が少ないことが好ましく、0に近いほど耐候性に優れることを示す。
また、被評価基板の全面にわたってΔHz、ΔEcに関する上記条件を満たすことが好ましい。たとえば、基板表面を30mm×30mmの複数の矩形領域に分割し、各領域の中央付近においてΔHz、ΔEcを測定し、基板全体にわたる各測定値の標準偏差が0.5以下であることが好ましく、0.3以下であることがより好ましく、0.15以下であることがさらに好ましい。分割領域の形状やサイズは、上記に限定されず、基板全体での測定値の分布がわかる程度に測定箇所を選定すればよい。
ガラス基板の任意の一辺は、500mm以上であることが好ましく、より好ましくは700mm以上であり、さらに好ましくは900mm以上である。
一方で、ガラス基板が大きくなりすぎると、太陽電池パネル設置の際に作業者のハンドリング性が低下することがある。それゆえ、ガラス基板のうち最長の一辺は、2500mm以下であることが好ましく、より好ましくは2000mm以下である。
また、ガラス基板のうち少なくとも1辺の長さが500mm以上であればよいが、ガラス基板の4辺のすべてが500mm以上であることが好ましい。
一般的な太陽電池用ガラス基板としては、900〜2000mm×500〜1000mmのサイズであり、本実施形態でも好ましく利用できる。
本発明の一実施形態であるガラス基板の製造方法について説明する。
なお、フュージョン法(ダウンドロー法)による板ガラス製造方法においては、縦方向、あるいは水平方向に進行する成形中の板状ガラス帯状体、すなわちガラスリボン(ガラス基板)の一方の面を第一面と称し、当該第一面と対向する面を第二面と称することができる。
すなわち、SO2ガスを吹き付ける面をB面とすると、B面は、SO2ガスの吹き付けによってNa原子が脱離して表面Na比が減少する。反対側のT面にはSO2ガスとの反応を抑制する操作を行うため、Na原子の脱離が抑制されて、表面Na比がB面よりも減少することを防止することができる。
また、B面にSO2ガスを吹き付けることで、B面表面からNa原子が脱離すると、B面表面にK原子が留まる傾向がある。K原子は、Na原子のように、ガラス基板から脱離しないで、ガラス基板表面に留まる傾向がある。反対側のT面でも同様に、T面表面からNa原子が脱離すると、T面表面にK原子が留まる傾向がある。
上記Sカウントとなるように、ガラス基板の第一面(T面)側からもSO2ガスを接触させてもよい。
これによって、表面Na比及び表面K比のT面/B面をそれぞれ好ましい範囲にすることができる。
本実施形態では、Sカウントは、蛍光X線測定方法を用いて日本標準試料委員会認定の「R−1ソーダ石灰ガラス」のSカウントが25kcpsとなる条件で測定することができる。例えば、蛍光X線測定装置を用いて、管電圧50kV、測定径30mmφの条件で測定することができる。
この比は、0.5以下であることが好ましく、より好ましくは0.4以下であり、さらに好ましくは0.3以下である。
一方、この比は、Na原子拡散量およびK原子拡散量を確保する観点から、0.1以上が好ましい。
また、ガラス基板のB面のSカウントとしては、特に制限されないが、20〜200kcpsの範囲で調整することができる。
SO2ガスの吹き付け量としては、総量で、0.01〜5l/m2とすることができ、より好ましくは0.05〜2l/m2である。
本実施形態によるガラス基板は、太陽電池用ガラス基板として好ましく用いることができ、具体的には、太陽電池用ガラス基板及び太陽電池用カバーガラスとして用いることができる。
ガラス基板の第1面の表面及び/または表層のK2O量(質量%)、また、第1面の表面及び/または表層のK原子濃度(原子%)は、CIGS太陽電池用ガラス基板の全域において均一であることが好ましい。好ましくは、ガラス基板内で変動の範囲が目標の値の30%以内、より好ましくは20%以内、さらに好ましくは10%以内、特に好ましくは5%以内である。これによって、発電効率が低い部分が発生することを防止して、その部分に影響されて、太陽電池の発電効率が低下することを防ぐことができる。
次に、本発明の一実施形態である太陽電池について説明する。
CIGS膜の厚さは、1〜5μmであることが好ましい。
例2〜5は、本発明に係る実施例であり、例1、例6〜8は、比較例である。各例のガラス基板は、下記したガラス基板に作製方法によって表1および表2に記載の通りに作製した。
以下の例では、ガラス原料を溶融し、フロート法によって溶融ガラスをガラスリボンに成形し、徐冷工程において徐冷炉内でガラスリボンのボトム面(B面)側からSO2ガスを吹き付け、ガラス基板を得た。次いで、ガラス基板を洗浄し、その後、ガラス基板のT面及びB面の表面Na比及び表面K比を評価した。
各例のSO2処理条件を表2に併せて示す。
SO2処理後に、ガラス基板を炭酸カルシウムと水の混合物および中性洗剤と水の混合物で洗浄し、ガラス基板両面に付着した硫酸塩の保護層を除去した。
上記して得られた例1〜8のガラス基板について、以下の評価を行った。結果を表2に併せて示す。
ガラス基板のT面のSカウント(単位:kcps)は、それぞれ、SO2処理後に硫酸塩による保護層が付着した状態で測定した。
Sカウントは、蛍光X線測定装置(リガク社製、ZSX100e)を用い、管電圧50kV、測定径30mmφの条件で測定した。
このSカウントの測定条件は、日本標準試料委員会認定の「R−1ソーダ石灰ガラス」を測定する際に25kcpsとなる条件である。
ガラス転移温度(Tg:単位は℃)は、示差熱膨張計(TMA)を用いて測定し、JISR3103−3(2001年度)により求めた。
50〜350℃の平均熱膨張係数(α:単位は×10−7/K)を示差熱膨張計(TMA)を用いて測定し、JISR3102(1995年度)より求めた。
ガラス基板のT面の表面から深さ30nm、5000nmでのNa原子量(原子%)及びK原子量(原子%)を、それぞれX線光電子分光装置(アルバック・ファイ社製、ESCA5500)により測定した。
ガラス基板表面から30nmまでの研削は、C60イオンビームによりスパッタエッチングした。ガラス基板表面から5000nmまでの研削は、4000nmまで酸化セリウムの水スラリーで研削した後、C60イオンビームによりスパッタエッチングした。
測定結果から、深さ5000nmでのNa原子濃度(Na5000)に対する、深さ30nmでのNa原子濃度(Na30)の比(Na30/Na5000)を、表面Na比とした。
また、深さ5000nmでのK原子濃度(K5000)に対する、深さ30nmでのK原子濃度(K30)の比(K30/K5000)を、表面K比とした。
得られた結果から、T面の(表面K比)/(表面Na比))を計算して求めた。
ガラス基板のB面の表面Na比及び表面K比は、それぞれ上記したT面での測定方法と同様にして測定した。
得られた結果から、B面の(表面K比)/(表面Na比)を計算して求めた。
表面Na比のT面/B面は、B面の表面Na比(NaB)に対する、T面の表面Na比(NaT)の比(NaT/NaB)として求めた。
表面K比のT面/B面は、B面の表面K比(KB)に対する、T面の表面K比(KT)の比(KT/KB)として求めた。
T面のNa拡散量は、上記して得られたガラス基板上にプラス電極としてMo電極を形成し、次いでCIGS層を形成し、その後、CIGS層中のNa量を測定し求めた。
Mo膜上にスパッタ装置にて、CuGa合金ターゲットでCuGa合金層を成膜し、続いてInターゲットを使用してIn層を成膜することで、In−CuGaのプリカーサ膜を成膜した。成膜は、室温にて実施した。蛍光X線によって測定したプリカーサ膜の組成が、Cu/(Ga+In)比が0.8、またGa/(Ga+In)比が0.25となるように各層の厚みを調整し、厚み650nmのプリカーサ膜を得た。
T面のK拡散量は、上記したT面のNa拡散量と同様にして測定した。
具体的には、上記RTA装置による加熱処理の第2段階終了後、試料を二次イオン質量分析法(SIMS)にてCIGS層中の39Kの積分強度を測定した。表2に示す値は、例1で用いたガラス基板の39Kの積分強度を1としたときの相対量である。
評価対象であるB面に対して反対側の面であるT面を保護フィルム(日東電工DH)でマスキングし、このガラス基板を60℃−95%RHで13日間、恒温恒湿槽内に静置した。試験前後でB面側から光を入射した試料のヘーズ率をC光源ヘーズメータ(スガ試験機株式会社製「HZ−2」)で測定し、試験前のヘーズ率(%)と試験後のヘーズ率(%)の差からヘーズ率の変化(ΔHz(%))を求めた。
同様にして、試験前後のB面のa*値及びb*値を分光測色計(コニカミノルタ株式会社製「CM−2500d」)で反射モードによって測定した。色変化(ΔEc)は、試験前のB面のa*値及びb*値と試験後のB面のa*値及びb*値から、以下の式により求めた。a*値及びb*値はCIEの色座標である。
ΔEc=(Δa*2+Δb*2)1/2
また、例2〜5では、ΔHzが小さいことから、B面に炭酸塩や水酸化物等が析出して白焼けが発生することが抑制されて、耐侯性が優れることがわかる。
また、例2〜5では、ΔEcが小さいことから、構造変化による青焼けが抑制されて、耐侯性が優れることがわかる。
例6では、T面の表層部でK原子量が増加しているが、T面の(表面K比)/(表面Na比)が大きいため、Na拡散量とともにK拡散量が低下したと考えられる。例6では、Na拡散量及びK拡散量が十分に得られなかった。また、例6では、ΔEcが大きく、耐候性が低下した。
比較例である例8は、ガラス組成Cを用いたガラス基板であり、表面KのT面/B面が0.95超過であり、T面のNa拡散量及びK拡散量が十分に得られなかった。
また、例7及び例8のガラス基板は、ガラス転移点が低く、光電変換層を成膜するために、Se化処理やS化処理で、高温熱処理を施すことが難しいことがわかる。
なお、2014年9月19日に出願された日本特許出願2014−191187号の明細書、特許請求の範囲、図面および要約書の全内容をここに引用し、本発明の開示として取り入れるものである。
Claims (10)
- ガラス基板の第一面において表面Na比に対する表面K比の割合が1.10〜2.50であり、
ガラス基板の第一面に対向する第二面において表面Na比が0.50〜0.90であり、表面K比が1.10〜2.80であり、
ガラス基板の第二面の表面Na比に対するガラス基板の第一面の表面Na比が1.10〜2.00であり、
ガラス基板の第二面の表面K比に対するガラス基板の第一面の表面K比が0.40〜0.95であり、
前記表面K比は、ガラス基板表面から深さ5000nmでのK量(原子%)に対する、ガラス基板表面から深さ30nmでのK量(原子%)の比であり、
前記表面Na比は、ガラス基板表面から深さ5000nmでのNa量(原子%)に対する、ガラス基板表面から深さ30nmでのNa量(原子%)の比である、ガラス基板。 - ガラス基板の第一面において、表面Na比が0.55〜1.80であり、表面K比が0.44〜2.66である、請求項1に記載のガラス基板。
- ガラス基板の第一面を保護フィルムで覆い、ガラス基板を60℃−95%RHで13日間、恒温恒湿槽内に静置した前後において、ガラス基板のヘーズ率の差(ΔHz)が0.3%以下、ガラス基板の第二面において色変化(ΔEc)が1.0以下である、請求項1または2に記載のガラス基板。
- ガラス基板の第一面の表面から深さ5000nm以上において、そのガラス組成が、下記酸化物基準の質量百分率表示で、
SiO2を45〜75%、
Al2O3を0.1〜20%、
MgOを0〜15%、
CaOを0〜15%、
SrOを0〜18%、
BaOを0〜18%、
Na2Oを1〜20%、
K2Oを0.1〜15%含み、
Na2O+K2Oが1〜30%であり、
MgO+CaO+SrO+BaOが1〜40%である、請求項1から3のいずれか1項に記載のガラス基板。 - BaOが2%以下である、請求項4に記載のガラス基板。
- ガラス転移温度が580℃以上である、請求項1から5のいずれか1項に記載のガラス基板。
- 太陽電池用ガラス基板である、請求項1から6のいずれか1項に記載のガラス基板。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載のガラス基板を製造する方法であって、
フロート板ガラス製造方法によりフロートバスにおいて溶融ガラスをガラス基板に成形する工程と、前記ガラス基板を徐冷する工程と、前記ガラス基板の少なくとも第二面側にSO2ガスを接触させるSO2処理工程とを有し、
前記SO2処理工程は、SO2処理後のガラス基板表面を蛍光X線方法を用いてR−1ソーダ石灰ガラスのSカウントが25kcpsとなる条件で測定する際に、前記ガラス基板の第二面のSカウント(kcps)に対する、前記ガラス基板の第一面のSカウント(kcps)の比が0.6以下となるように、ガラス基板の少なくとも第二面側にSO2ガスを接触させる、ガラス基板の製造方法。 - 前記SO2処理工程は、前記SO2ガスを前記ガラス基板の第二面側から吹き付け、前記ガラス基板の徐冷炉内において、ガラスリボンの上部空間の前記SO2ガスのガス濃度が0.01〜1000ppmである、請求項8に記載のガラス基板の製造方法。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載のガラス基板、及び前記ガラス基板の第一面に形成されCIGS系化合物を含む光電変換層を有する、CIGS太陽電池。
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