JP6505474B2 - ハンドシャワーガンおよびウォーターハンマー低減機構 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態の基板処理装置(基板研磨装置)の全体構成を示す平面図である。図1に示すように、この基板処理装置は、略矩形状のハウジング1を備えており、ハウジング1の内部は隔壁1a,1bによってロード/アンロード部2と研磨部3と洗浄部4とに区画されている。これらのロード/アンロード部2、研磨部3、および洗浄部4は、それぞれ独立に組み立てられ、独立に排気される。また、基板処理装置は、基板処理動作を制御する制御部5を有している。
図8には、第1の実施の形態の変形例が示される。図8に示すように、第1の実施の形態のウォーターハンマー低減機構は、アトマイザ34に適用することもできる。すなわち、アトマイザ34の本体43の内部に形成される流路44は、液体供給口41とバルブ45との間に形成される第1の流路44Aと、バルブ45と液体放射口42との間に形成される第2の流路44Bと、バルブ45を介さずに第1の流路44Aと第2の流路44Bとを接続する第3の流路44Cとで構成されており、第3の流路44Cには、圧力逃がし弁48が設けられる。圧力逃がし弁48は、バルブ45が閉状態になったときに、第1の流路44Aの内部で上昇した液体圧により開状態になり、第1の流路44Aと第2の流路44Bとが開通する。
次に、本発明の第2の実施の形態のハンドシャワーガン40について説明する。ここでは、第2の実施の形態のハンドシャワーガン40が、第1の実施の形態と相違する点を中心に説明する。ここで特に言及しない限り、本実施の形態の構成および動作は、第1の実施の形態と同様である。
図12には、第2の実施の形態の変形例が示される。図12に示すように、第2の実施の形態のウォーターハンマー低減機構は、アトマイザ34に適用することもできる。すなわち、アトマイザ34は、バルブ45の開閉動作に連動してスライド移動するピストン51と、ピストン51が収納されるシリンダ室52を備えており、アトマイザ34の本体43の内部に形成される流路44は、液体供給口41とバルブ45との間に形成される第1の流路44Aと、バルブ45と液体放射口42との間に形成される第2の流路44Bと、第1の流路44Aとシリンダ室52とを接続する第4の流路44Dとで構成されている。そして、ウォーターハンマー低減機構として、第4の流路44Dの流体抵抗が第1の流路44Aの流体抵抗より大きい、という構成が採用されている。
次に、本発明の第3の実施の形態のハンドシャワーガン40について説明する。ここでは、第3の実施の形態のハンドシャワーガン40が、第2の実施の形態と相違する点を中心に説明する。ここで特に言及しない限り、本実施の形態の構成および動作は、第2の実施の形態と同様である。
図16には、第3の実施の形態の変形例が示される。図16に示すように、第3の実施の形態のウォーターハンマー低減機構は、アトマイザ34に適用することもできる。すなわち、アトマイザ34は、バルブ45の開閉動作に連動してスライド移動するピストン51と、ピストン51が収納されるシリンダ室52を備えており、ハンドシャワーガン40の本体43の内部に形成される流路44は、液体供給口41とバルブ45との間に形成される第1の流路44Aと、バルブ45と液体放射口42との間に形成される第2の流路44Bと、第1の流路44Aとシリンダ室52とを接続する第4の流路44Dとで構成されている。この場合も、ピストン51の外周とシリンダ室52の内周との間に、隙間が設けられており、この隙間により、第4の流路44Dが形成されている。そして、ウォーターハンマー低減機構として、第4の流路44Dの流体抵抗が第1の流路44Aの流体抵抗より大きい、という構成が採用されている。
3 研磨部
4 洗浄部
5 制御部
34 アトマイザ
40 ハンドシャワーガン
41 液体供給口
42 液体放射口
43 本体
44 流路
44A 第1の流路
44B 第2の流路
44C 第3の流路
44D 第4の流路
44E 第5の流路
45 バルブ
46 操作ハンドル
47 液体供給チューブ
48 圧力逃がし弁
51 ピストン
52 シリンダ室
52A 第1のエリア
52B 第2のエリア
54 絞り機構(流体抵抗調整部)
55 調整ねじ
56 チェッキ弁
Claims (7)
- 液体供給口と液体放射口とを有する本体と、
前記本体の内部において、前記液体供給口と前記液体放射口との間に形成される流路と、
前記流路に設けられるバルブと、
前記バルブの開閉操作を行う操作ハンドルと、
を備え、
前記操作ハンドルが開操作されて前記バルブが開状態になると、前記流路が開通して前記液体放射口からの液体の放射が行われ、前記操作ハンドルが閉操作されて前記バルブが閉状態になると、前記流路が閉塞して前記液体放射口からの液体の放射が停止されるハンドシャワーガンにおいて、
前記本体の内部の前記流路には、前記操作ハンドルが閉操作されて前記バルブが閉状態になるときに作動するウォーターハンマー低減機構が設けられており、
前記流路は、前記液体供給口と前記バルブとの間に形成される第1の流路と、前記バルブと前記液体放射口との間に形成される第2の流路と、前記バルブを介さずに前記第1の流路と前記第2の流路とを接続する第3の流路とを含み、
前記ウォーターハンマー低減機構は、前記第3の流路に設けられる圧力逃がし弁であり、
前記圧力逃がし弁は、前記操作ハンドルが閉操作されて前記バルブが閉状態になったときに、前記第1の流路の内部で上昇した液体圧により開状態になり、前記第1の流路と前記第2の流路とが開通することを特徴とするハンドシャワーガン。 - 前記圧力逃がし弁は、付勢部材により閉状態を保持するように構成されており、
前記付勢部材による付勢圧力は、前記第1の流路の内部の通常時の液体圧より高く、前記流路にウォーターハンマー現象による破損が発生する破損発生圧より低い、請求項1に記載のハンドシャワーガン。 - 前記ハンドシャワーガンは、
前記バルブに設けられ、前記バルブの開閉動作に連動してスライド移動するピストンと、
前記ピストンが収納されるシリンダ室と、
を備え、
前記流路は、前記液体供給口と前記バルブとの間に形成される第1の流路と、前記バルブと前記液体放射口との間に形成される第2の流路と、前記第1の流路と前記シリンダ室とを接続する第4の流路とを含み、
前記第4の流路の流体抵抗は、前記第1の流路の流体抵抗より大きい、請求項1に記載のハンドシャワーガン。 - 前記第4の流路には、前記第4の流路の流体抵抗を調整する流体抵抗調整部が設けられている、請求項3に記載のハンドシャワーガン。
- 前記シリンダ室は、前記操作ハンドルが開操作されて前記バルブが開状態になるときに前記ピストンがスライド移動するためのエリアである第1のエリアと、前記ピストンを挟んで前記第1エリアの反対側のエリアである第2のエリアとを含み、
前記シリンダ室には、前記第1のエリアと前記第2のエリアを接続する第5の流路が備えられ、
前記第5の流路には、チェッキ弁が設けられており、
前記チェッキ弁は、前記操作ハンドルが開操作されて前記バルブが開状態になるときに、前記第1のエリアの内部で上昇した液体圧により開状態になり、前記第1のエリアと前記第2のエリアとが開通する、請求項3または請求項4に記載のハンドシャワーガン。 - 液体供給口と前記液体放射口との間に流路が形成され、前記流路に設けられたバルブが閉状態になるときに作動するウォーターハンマー低減機構であって、
前記流路は、前記液体供給口と前記バルブとの間に形成される第1の流路と、前記バルブと前記液体放射口との間に形成される第2の流路と、前記バルブを介さずに前記第1の流路と前記第2の流路とを接続する第3の流路とを含み、
前記ウォーターハンマー低減機構は、前記第3の流路に設けられる圧力逃がし弁であり、
前記圧力逃がし弁は、前記バルブが閉状態になったときに、前記第1の流路の内部で上昇した液体圧により開状態になり、前記第1の流路と前記第2の流路とが開通することを特徴とするウォーターハンマー低減機構。 - 液体供給口と前記液体放射口との間に流路が形成され、前記流路に設けられたバルブが閉状態になるときに作動するウォーターハンマー低減機構であって、
前記バルブには、シリンダ室に収納され、前記バルブの開閉動作に連動してスライド移動するピストンが設けられ、
前記流路は、前記液体供給口と前記バルブとの間に形成される第1の流路と、前記バルブと前記液体放射口との間に形成される第2の流路と、前記第1の流路と前記シリンダ室とを接続する第4の流路とを含み、
前記第4の流路の流体抵抗は、前記第1の流路の流体抵抗より大きいことを特徴とするウォーターハンマー低減機構。
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