JP6505009B2 - 照明用レーザ装置 - Google Patents

照明用レーザ装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6505009B2
JP6505009B2 JP2015241133A JP2015241133A JP6505009B2 JP 6505009 B2 JP6505009 B2 JP 6505009B2 JP 2015241133 A JP2015241133 A JP 2015241133A JP 2015241133 A JP2015241133 A JP 2015241133A JP 6505009 B2 JP6505009 B2 JP 6505009B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
light
laser light
illumination
output
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015241133A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017108009A (ja
Inventor
ゆかり 高田
ゆかり 高田
史生 正田
史生 正田
柳澤 隆行
隆行 柳澤
渡辺 憲一
憲一 渡辺
菅野 哲生
哲生 菅野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd, Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd
Priority to JP2015241133A priority Critical patent/JP6505009B2/ja
Publication of JP2017108009A publication Critical patent/JP2017108009A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6505009B2 publication Critical patent/JP6505009B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Lasers (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Description

この発明は、互いに異なる波長のレーザ光を出力する複数のレーザ光源を有する照明用レーザ装置に関するものである。
互いに異なる波長(色)のレーザ光を出力する複数のレーザ光源を有するレーザ装置では、各レーザ光源を制御する制御回路を有している(例えば特許文献1参照)。また、複数のレーザ光源を有するレーザ装置には、各レーザ光源から出力されるレーザ光を外部へ結合する1本の光ファイバが設けられている。
一方、レーザ光を人体に照射する照明用レーザ装置では、一定の安定した出力が望まれる。そこで、従来のレーザ装置(例えば特許文献1参照)では、光ファイバの後段にセンサを設け、レーザ光の出力強度が規定値以下の場合には、そのレーザ光源を故障とみなして動作を停止させている。
また、このレーザ装置では、複数のレーザ光源からのレーザ光を1本の光ファイバに入射するため、レーザ光源毎に光学部品及び光ファイバが必要となる。
特開2004−207420号公報
しかしながら、上記のような従来のレーザ装置では、各レーザ光源を所望の出力となるように制御することはできないという課題があった。
また、レーザ光源毎に光学部品及び光ファイバを設けているため、部品点数が増え、装置が複雑化するという課題があった。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、互いに異なる波長のレーザ光を出力する複数のレーザ光源を有する照明用レーザ装置において、従来構成に対して部品点数を削減し、且つ、各波長のレーザ光の出力制御が可能である照明用レーザ装置を提供することを目的としている。
この発明に係る照明用レーザ装置は、人体に照射する照明用のレーザ光を出力する照明用レーザ装置であって、互いに異なる波長のレーザ光を出力する複数のレーザ光源と、レーザ光源毎に設けられ、対応するレーザ光源を駆動する駆動回路と、各々のレーザ光源により出力されたレーザ光を集光する単一の光学素子と、光学素子により集光されたレーザ光の一部を反射して残りを透過する光分離素子と、光分離素子を透過したレーザ光を外部へ導光する導光部と、光分離素子により反射されたレーザ光の強度を測定する単一の光検出器と、各々の駆動回路を制御する制御回路とを備え、制御回路は、駆動回路を制御してレーザ光を出力させる際に、まず、互いに異なるタイミングで各々のレーザ光源からパルス波を出力させ、光検出器により測定された強度が規定範囲内となるように各々のレーザ光源の出力強度を調整するものである。
この発明によれば、上記のように構成したので、互いに異なる波長のレーザ光を出力する複数のレーザ光源を有する照明用レーザ装置において、従来構成に対して部品点数を削減し、且つ、各波長のレーザ光の出力制御が可能である。
実施の形態1に係る照明用レーザ装置の構成例を示す図である。 実施の形態1に係る照明用レーザ装置の動作例を示すフローチャートである。 実施の形態1に係る照明用レーザ装置の校正モードでの出力時間特性の一例を示す図である。 実施の形態2に係る照明用レーザ装置の構成例を示す図である。 実施の形態3に係る照明用レーザ装置の構成例を示す図である。 実施の形態4に係る照明用レーザ装置の構成例を示す図である。 実施の形態5に係る照明用レーザ装置の構成例を示す図である。 実施の形態6に係る照明用レーザ装置の構成例を示す図である。
以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1に係る照明用レーザ装置の構成例を示す図である。
照明用レーザ装置は、例えば人体にレーザ光を照射する装置である。この照明用レーザ装置は、図1に示すように、複数のレーザ光源1、複数の駆動回路2、単一の集光用レンズ(光学素子)3、光分離素子4、導光部5、単一の光検出器6及び制御回路7を備えている。
複数のレーザ光源1は、互いに異なる波長(色)のレーザ光を出力するものである。なお図では、4台のレーザ光源1(1a〜1d)を設けた場合を示している。このレーザ光源1としては、例えば半導体レーザ又は固体レーザが用いられる。この複数のレーザ光源1により出力されたレーザ光は集光用レンズ3に入射される。
駆動回路2は、レーザ光源1毎に設けられ、対応するレーザ光源1を駆動するものである。なお図では、4台の駆動回路2(2a〜2d)を設けた場合を示している。
集光用レンズ3は、各レーザ光源1により出力されたレーザ光を空間伝搬で集光するものである。この集光用レンズ3により集光されたレーザ光は光分離素子4に入射される。
光分離素子4は、集光用レンズ3により集光されたレーザ光の一部を反射して残りを透過するものである。この光分離素子4を透過したレーザ光は導光部5に入射され、光分離素子4により反射されたレーザ光は光検出器6に入射される。
導光部5は、光分離素子4を透過したレーザ光を照明用レーザ装置の外部へ導光するものである。この導光部5としては、例えば光ファイバが用いられる。そして、後述する点灯モードで導光部5により導光されたレーザ光は、照明用レーザ装置の本来の用途(例えば人体への照射)に用いられる。
光検出器6は、光分離素子4により反射されたレーザ光の強度を測定するものである。この光検出器6としては、例えばフォトダイオードが用いられる。この光検出器6による測定結果を示す信号は制御回路7に出力される。
制御回路7は、各駆動回路2を制御するものである。制御回路7は、所望の明るさを設定する回路と、光検出器6の測定結果を検出する回路と、光強度検出結果と明るさの設定値よりレーザ光源1を駆動する設定電流値を演算する回路、等を備える。この制御回路7は、レーザ光の出力制御を行う校正モード(レーザ光の劣化特性評価)と、レーザ光を通常に点灯させる点灯モードとを有している。校正モードでは、制御回路7は、互いに異なるタイミングで各レーザ光源1からパルス波を出力させ、光検出器6により測定された強度が規定範囲内(所望の出力値との誤差が許容範囲内)となるように各レーザ光源1の出力強度を調整する。なお、上記出力値は、レーザ光源1毎に設定される。そして、制御回路7は、光検出器6により測定された強度が全て規定範囲内である場合に、校正モードを終了し、各レーザ光源1から出力させるレーザ光をパルス波から連続波(CW波)へ切替えて、点灯モードとなる。この制御回路7は、ソフトウェアに基づくCPUを用いたプログラム処理によって実行される。
次に、上記のように構成された照明用レーザ装置の動作例について、図2を用いて説明する。
照明用レーザ装置の動作例では、まず、制御回路7は、校正モードで動作する。この校正モードでは、制御回路7は、各駆動回路2を制御して、互いに異なるタイミングで各レーザ光源1からパルス状のレーザ光を出力させる(ステップST201)。なお初回では、制御回路7は、各レーザ光源1への印加電流を定格電流値に設定する。
その後、各レーザ光源1から出力されたレーザ光は、集光用レンズ3により集光され、光分離素子4により一部が反射されて残りは透過する。そして、光分離素子4を透過したレーザ光は導光部5により照明用レーザ装置の外部へ導光され、光分離素子4により反射されたレーザ光は光検出器6に入射される。
次いで、光検出器6は、光分離素子4により反射されたレーザ光の強度を測定する(ステップST202)。すなわち、光検出器6は、異なるタイミングで入射されるレーザ光の強度をそれぞれ測定する。これにより、1台の光検出器6で、パルス列の各波長の強度を測定することができる。
次いで、制御回路7は、光検出器6により測定された強度(パルス列の各波長の強度)が全て規定範囲内(所望の出力値との誤差が許容範囲内)であるかを判定する(ステップST203)。
このステップST203において、制御回路7は、規定範囲外である強度が存在すると判定した場合には、該当する駆動回路2を制御して、当該強度が規定範囲内となるように該当するレーザ光源1に対する印加電流を増減させる(ステップST204)。その後、シーケンスは、ステップST201に戻り、上記の動作を繰り返す。
一方、ステップST203において、制御回路7は、光検出器6により測定された強度が全て規定範囲内であると判定した場合には、校正モードを終了し、各レーザ光源1から出力させるレーザ光をパルス波から連続波(CW波)へ切替えて、点灯モードとなる(ステップST205)。
なお、レーザ光源1を同一電流でパルス動作させた場合とCW動作させた場合での出力強度は異なる。そのため、制御回路7は、点灯モードへ切替える際に、レーザ光源1から同一電流で出力されるパルス波と連続波の出力強度の差に基づいて、その差を見積もって所望の出力を得るように、レーザ光源1の出力強度を調整する。
図3は実施の形態1に係る照明用レーザ装置の校正モードでの出力時間特性の一例を示す図である。図3において、横軸は時間を示し、縦軸は図1に示すレーザ光源1a〜1dからのレーザ光の出力強度を示している。また、図3に示す実線301は各レーザ光に対する所望の出力値を示し、矢印302はレーザ光の強度の所望の出力値301との誤差を示し、破線で挟まれた範囲303は誤差302の許容範囲を示している。
校正モードでは、各レーザ光源1は、互いに異なるタイミングでパルス波を出力する。図3の例では、レーザ光源1a、レーザ光源1b、レーザ光源1c、レーザ光源1dの順でパルス動作を行う。またこの際、1つのレーザ光源1のパルス動作が終了した後に、次のレーザ光源1のパルス動作を開始する。
図3の例では、校正モードの開始後、まず、レーザ光源1aのパルス動作を開始し、光検出器6はその出力強度の測定を行う。1順目304aで、レーザ光源1aに関し、光検出器6により測定されたレーザ光の強度と所望の出力値301との誤差302は、許容範囲303内である。よって、制御回路7はレーザ光源1aに対する出力制御は行わない。
レーザ光源1aのパルス動作の終了後、レーザ光源1bのパルス動作を開始し、光検出器6はその出力強度の測定を行う。1順目304aでは、レーザ光源1bに関し、光検出器6により測定されたレーザ光の強度と所望の出力値301との誤差302は、許容範囲303外である。よって、制御回路7はレーザ光源1bに印加する電流値の増減を行う。
レーザ光源1bのパルス動作の終了後、レーザ光源1cのパルス動作を開始し、光検出器6はその出力強度の測定を行う。1順目304aで、レーザ光源1cに関し、光検出器6により測定されたレーザ光の強度と所望の出力値301との誤差302は、許容範囲303内である。よって、制御回路7はレーザ光源1cに対する出力制御は行わない。
レーザ光源1cのパルス動作の終了後、レーザ光源1dのパルス動作を開始し、光検出器6はその出力強度の測定を行う。1順目304aでは、レーザ光源1dに関し、光検出器6により測定されたレーザ光の強度と所望の出力値301との誤差302は、許容範囲303外である。よって、制御回路7はレーザ光源1cに印加する電流値の増減を行う。
その後、全てのレーザ光源1に対し、光検出器6により測定されたレーザ光の強度と所望の出力値301との誤差302が許容範囲303内となるまで、上記の動作を繰り返す。図3の例では、2順目304bでレーザ光源1dからのレーザ光の出力強度と所望の出力値301との誤差302が許容範囲303内となる。また、3順目304cでレーザ光源1bからのレーザ光の出力強度と所望の出力値301との誤差302が許容範囲303内となる。その後、制御回路7は校正モードを終了して点灯モードに移行し、レーザ光源1をCW動作させる。
以上のように、この実施の形態1によれば、互いに異なる波長のレーザ光を出力する複数のレーザ光源1と、レーザ光源1毎に設けられ、対応するレーザ光源1を駆動する駆動回路2と、各レーザ光源1により出力されたレーザ光を集光する単一の集光用レンズ3と、集光用レンズ3により集光されたレーザ光の一部を反射して残りを透過する光分離素子4と、光分離素子4を透過した光を外部へ導光する導光部5と、光分離素子4により反射されたレーザ光の強度を測定する単一の光検出器6と、各駆動回路2を制御する制御回路7とを備え、制御回路7は、互いに異なるタイミングで各レーザ光源1からパルス波を出力させ、光検出器6により測定された強度が規定範囲内となるように各レーザ光源1の出力強度を調整するように構成したので、各波長のレーザ光の出力制御が可能である。
また、本願発明の照明用レーザ装置では、単一の集光用レンズ3を用いて、各レーザ光源1により出力されたレーザ光を空間伝搬で集光している。よって、複数のレーザ光源1からのレーザ光を1本の導光部5に入射するために、従来の照明用レーザ装置のようにレーザ光源毎に光学部品及び光ファイバを設ける必要がない。そのため、従来構成に対して、部品点数を削減でき、装置の簡易化が可能である。
なお図1では、4台のレーザ光源1を用いた場合を示したが、レーザ光源1の台数は複数であればよい。また、レーザ光源1の設置箇所は、レーザ光源1から出力されたレーザ光が導光部5に入射する位置であればどこに設置してもよい。
実施の形態2.
実施の形態1では、光分離素子4により反射されたレーザ光を光検出器6に直接入射させる場合を示した。それに対して、実施の形態2では、光分離素子4と光検出器6との間に拡散板8を配置した場合を示す。
図4はこの発明の実施の形態2に係る照明用レーザ装置の構成例を示す図である。この図4に示す実施の形態2に係る照明用レーザ装置は、図1に示す実施の形態1に係る照明用レーザ装置に拡散板8を追加したものである。その他の構成は同様であり、同一の符号を付して異なる部分についてのみ説明を行う。
拡散板8は、光分離素子4と光検出器6との間に配置され、光分離素子4により反射されたレーザ光を拡散するものである。この拡散板8は、片面(光分離素子4と対向する面)が均一面ではなく、微小でランダムな突起部分(例えばマイクロレンズアレイ)がある光学素子である。この拡散板8により拡散されたレーザ光は光検出器6に入射される。
なお、実施の形態2における光検出器6は、拡散板8により拡散されたレーザ光の強度を測定する。
ここで、光検出器6では、一般的に、入射された光のパワー密度が非常に高いと、飽和が起こり、正確な強度を測定することができなくなる。光検出器6の飽和とは、入射する光の単位面積当たりの強度が光検出器6の最大受光量以上となり、正確な光の強度が測定値に反映されない現象である。特に、光の強度が局所的に強い場合に飽和が起こりやすい。よって、光検出器6で強度を正確に測定するためには、局所的に強度が強い光を均一化して、光検出器6の飽和を解消する必要がある。
そこで、拡散板8を用いて、光分離素子4により反射されたレーザ光を、ある決まった拡散角の中で乱反射させて均一化して、光検出器6に入射させる。これにより、光検出器6での飽和を回避することができ、強度を正確に測定することができる。
以上のように、この実施の形態2によれは、光分離素子4と光検出器6との間に拡散板8を配置したので、実施の形態1における効果に加え、光検出器6に入射されるレーザ光を拡散板8により均一化できるため、強度測定の正確性を向上させることができる。
実施の形態3.
実施の形態1では、光分離素子4により反射されたレーザ光を光検出器6に直接入射させる場合を示した。それに対して、実施の形態3では、光分離素子4と光検出器6との間に光学フィルタ9を配置した場合を示す。
図5はこの発明の実施の形態3に係る照明用レーザ装置の構成例を示す図である。この図5に示す実施の形態3に係る照明用レーザ装置は、図1に示す実施の形態1に係る照明用レーザ装置に光学フィルタ9を追加したものである。その他の構成は同様であり、同一の符号を付して異なる部分についてのみ説明を行う。
光学フィルタ9は、光分離素子4と光検出器6との間に配置され、光分離素子4により反射されたレーザ光のうち、特定の性質のレーザ光を透過して当該特定の性質以外のレーザ光を反射又は吸収するものである。この光学フィルタ9は、基板材料に光を吸収する物質を混ぜた光学素子又は基板の表面に光学薄膜を成膜した光学素子である。なお、上記性質としては例えば波長又は偏光がある。
なお、実施の形態3における光検出器6は、光学フィルタ9を透過したレーザ光の強度を測定する。
ここで、光学フィルタ9として、特定の波長のレーザ光を透過して当該特定の波長以外のレーザ光を反射又は吸収するフィルタを用いると、光分離素子4により反射されたレーザ光の中から、ある特定の波長のレーザ光のみを抽出して光検出器6でその強度を測定することができる。
この際、特定の波長として、人体に照射すると活性酸素を発生させる波長を用いることで、制御回路7で人体に影響の強い波長の出力制御が可能となり、安全性を確保することができる。また、特定の波長として、各レーザ光源1の波長を含む波長帯を用いることで各レーザ光源1の出力光のみ透過し、外光が光検出器6に入射されることを防ぐことができる。
以上のように、この実施の形態3によれば、光分離素子4と光検出器6との間に光学フィルタ9を配置したので、実施の形態1における効果に加え、特定の性質のレーザ光のみを抽出して光検出器6でその強度を測定することができる。
なお上記では、実施の形態1の構成に光学フィルタ9を設けた場合について示した。しかしながら、これに限るものではなく、実施の形態2の構成に光学フィルタ9を設けてもよく、同様の効果を得ることができる。
実施の形態4.
実施の形態4では、導光部5での動作不良を検出する場合を示す。
図6はこの発明の実施の形態4に係る照明用レーザ装置の構成例を示す図である。この図6に示す実施の形態4に係る照明用レーザ装置は、図1に示す実施の形態1に係る照明用レーザ装置に光検出器(出力光検出器)10を追加したものである。その他の構成は同様であり、同一の符号を付して異なる部分についてのみ説明を行う。
光検出器10は、導光部5により照明用レーザ装置の外部へ導光されたレーザ光の強度を測定するものである。
なお、実施の形態4における制御回路7は、実施の形態1で示した機能に加え、光検出器6による測定結果と光検出器10による測定結果との比から、導光部5での動作不良を検出する。
ここで、光検出器6では、集光用レンズ3により集光されたレーザ光のうち、光分離素子4により反射されたレーザ光の強度を測定している。光分離素子4の反射率及び透過率と光検出器6の測定値より、光分離素子4を透過するレーザ光の強度を見積もることができる。一方、光検出器10では、導光部5により照明用レーザ装置の外部へ導光されたレーザ光の強度を測定している。したがって、制御回路7において、光検出器6と光検出器10によりそれぞれ測定された強度の比を算出することで、導光部5での動作不良を検出することができる。なお、動作不良としては例えば光ファイバの断線又は劣化がある。
以上のように、この実施の形態4によれば、導光部5により外部へ導光されたレーザ光の強度を測定する光検出器10を設けたので、実施の形態1における効果に加え、光検出器6による測定結果と光検出器10による測定結果との比から、導光部5での動作不良を検出することができる。
なお上記では、実施の形態1の構成に光検出器10を設けた場合について示した。しかしながら、これに限るものではなく、実施の形態2,3の構成に光検出器10を設けてもよく、同様の効果を得ることができる。
実施の形態5.
実施の形態5では、導光部5の後段に光学フィルタ11を配置した場合を示す。
図7はこの発明の実施の形態5に係る照明用レーザ装置の構成例を示す図である。この図7に示す実施の形態5に係る照明用レーザ装置は、図1に示す実施の形態1に係る照明用レーザ装置に光学フィルタ11を追加したものである。その他の構成は同様であり、同一の符号を付して異なる部分についてのみ説明を行う。
光学フィルタ11は、導光部5により導光されたレーザ光のうち、特定の波長のレーザ光を反射又は吸収して当該特定の波長以外のレーザ光を透過するものである。この光学フィルタ11は、基板材料に光を吸収する物質を混ぜた光学素子又は基板の表面に光学薄膜を成膜した光学素子である。
ここで、導光部5の後段に光学フィルタ9を配置することで、導光部5により導光されたレーザ光の中から、特定の波長のレーザ光は反射又は吸収し、当該特定の波長以外のレーザ光のみを照明として出力することができる。この際、特定の波長として、人体に照射すると活性酸素を発生させる波長を用いることで、人体に影響の強い波長のレーザ光の照射を防ぐことができ、安全性を確保することができる。
以上のように、この実施の形態5によれば、導光部5の後段に光学フィルタ11を配置したので、実施の形態1における効果に加え、特定の波長のレーザ光の照明を防止することができる。
なお上記では、実施の形態1の構成に光学フィルタ11を設けた場合について示した。しかしながら、これに限るものではなく、実施の形態2〜4の構成に光学フィルタ11を設けてもよく、同様の効果を得ることができる。
実施の形態6.
実施の形態6では、導光部5の後段に拡散板12を配置した場合を示す。
図8はこの発明の実施の形態6に係る照明用レーザ装置の構成例を示す図である。この図8に示す実施の形態6に係る照明用レーザ装置は、図1に示す実施の形態1に係る照明用レーザ装置に拡散板12を追加したものである。その他の構成は同様であり、同一の符号を付して異なる部分についてのみ説明を行う。
拡散板12は、導光部5により導光されたレーザ光を拡散するものである。この拡散板12は、片面(導光部5と対向する面)が均一面ではなく、微小でランダムな突起部分(例えばマイクロレンズアレイ)がある光学素子である。
ここで、導光部5により照明用レーザ装置の外部へ導光されて出力されるレーザ光には、色収差等により照度にムラがある場合がある。そこで、拡散板12を用いて、導光部5により導光されたレーザ光の照度分布を拡散させて照度を均一化させる。これにより、出力光の照度にムラがある場合にも、照度を均一化することができる。
以上のように、この実施の形態6によれば、導光部5の後段に拡散板12を配置したので、実施の形態1における効果に加え、出力光の照度にムラがある場合にも照度を均一化することができる。
なお上記では、拡散板12を設けることにより照度の均一化を行ったが、拡散板12の代わりにロッドインテグレータを用いても同様の効果を得ることができる。
ロッドインテグレータは、入射した光を内部で全反射させ、光強度分布を混ぜ合わせることで、照度の均一化をするものである。このロッドインテグレータは四角柱状のガラス素子である。
また、導光部5の後段に拡散板12とロッドインテグレータを両方設けることにより、さらに照度を均一化できる効果を得る。
なお上記では、実施の形態1の構成に拡散板12とロッドインテグレータのうちの少なくとも一方を設けた場合について示した。しかしながら、これに限るものではなく、実施の形態2〜5の構成に拡散板12とロッドインテグレータのうちの少なくとも一方を設けてもよく、同様の効果を得ることができる。
また、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
1 レーザ光源、2 駆動回路、3 集光用レンズ(光学素子)、4 光分離素子、5 導光部、6 光検出器、7 制御回路、8 拡散板、9 光学フィルタ、10 光検出器(出力光検出器)、11 光学フィルタ、12 拡散板。

Claims (12)

  1. 人体に照射する照明用のレーザ光を出力する照明用レーザ装置であって、
    互いに異なる波長のレーザ光を出力する複数のレーザ光源と、
    前記レーザ光源毎に設けられ、対応する前記レーザ光源を駆動する駆動回路と、
    各々の前記レーザ光源により出力されたレーザ光を集光する単一の光学素子と、
    前記光学素子により集光されたレーザ光の一部を反射して残りを透過する光分離素子と、
    前記光分離素子を透過したレーザ光を外部へ導光する導光部と、
    前記光分離素子により反射されたレーザ光の強度を測定する単一の光検出器と、
    各々の前記駆動回路を制御する制御回路とを備え、
    前記制御回路は、前記駆動回路を制御してレーザ光を出力させる際に、まず、互いに異なるタイミングで各々の前記レーザ光源からパルス波を出力させ、前記光検出器により測定された強度が規定範囲内となるように各々の前記レーザ光源の出力強度を調整する
    ことを特徴とする照明用レーザ装置。
  2. 前記レーザ光源は半導体レーザ又は固体レーザである
    ことを特徴とする請求項1記載の照明用レーザ装置。
  3. 前記制御回路は、前記光検出器により測定された強度が全て規定範囲内である場合に、各々の前記レーザ光源から出力させるレーザ光をパルス波から連続波へ切替える
    ことを特徴とする請求項1記載の照明用レーザ装置。
  4. 前記制御回路は、前記レーザ光源から同一電流で出力されるパルス波と連続波の強度の差に基づいて、前記レーザ光源の出力強度を調整する
    ことを特徴とする請求項3記載の照明用レーザ装置。
  5. 前記光学素子は、各々の前記レーザ光源により出力されたレーザ光を空間伝搬で集光する
    ことを特徴とする請求項1記載の照明用レーザ装置。
  6. 前記光分離素子と前記光検出器との間に配置され、当該光分離素子により反射されたレーザ光を拡散する拡散板を備えた
    ことを特徴とする請求項1記載の照明用レーザ装置。
  7. 前記光分離素子と前記光検出器との間に配置され、当該光分離素子により反射されたレーザ光のうち、特定の性質のレーザ光を透過して当該特定の性質以外のレーザ光を反射又は吸収する光学フィルタを備えた
    ことを特徴とする請求項1記載の照明用レーザ装置。
  8. 前記特定の性質は、人体に照射すると活性酸素を発生させる波長である
    ことを特徴とする請求項7記載の照明用レーザ装置。
  9. 前記導光部により導光されたレーザ光の強度を測定する出力光検出器を備え、
    前記制御回路は、前記光検出器による測定結果と前記出力光検出器による測定結果との比から、前記導光部での動作不良を検出する
    ことを特徴とする請求項1記載の照明レーザ装置。
  10. 前記導光部により導光されたレーザ光のうち、特定の波長のレーザ光を反射又は吸収して当該特定の波長以外のレーザ光を透過する光学フィルタを備えた
    ことを特徴とする請求項1記載の照明用レーザ装置。
  11. 前記特定の波長は、人体に照射すると活性酸素を発生させる波長である
    ことを特徴とする請求項10記載の照明用レーザ装置。
  12. 前記導光部により導光されたレーザ光を拡散する拡散板を備えた
    ことを特徴とする請求項1記載の照明用レーザ装置。
JP2015241133A 2015-12-10 2015-12-10 照明用レーザ装置 Active JP6505009B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015241133A JP6505009B2 (ja) 2015-12-10 2015-12-10 照明用レーザ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015241133A JP6505009B2 (ja) 2015-12-10 2015-12-10 照明用レーザ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017108009A JP2017108009A (ja) 2017-06-15
JP6505009B2 true JP6505009B2 (ja) 2019-04-24

Family

ID=59061010

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015241133A Active JP6505009B2 (ja) 2015-12-10 2015-12-10 照明用レーザ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6505009B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11402078B2 (en) 2020-09-29 2022-08-02 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Light source device with sensor for detecting anomaly in wavelength converting member

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6513306B1 (ja) 2018-05-07 2019-05-15 三菱電機株式会社 レーザ装置、レーザ加工機およびレーザ装置の出力制御方法
JP2020047874A (ja) * 2018-09-21 2020-03-26 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 光源駆動装置および発光装置
US20240106544A1 (en) * 2021-01-07 2024-03-28 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Optical Transmitter and Method of Calculating an Optical Power

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH031554U (ja) * 1989-05-24 1991-01-09
JPH0813308B2 (ja) * 1989-05-29 1996-02-14 株式会社トプコン レーザ手術装置
JPH0515546A (ja) * 1991-07-15 1993-01-26 Nidek Co Ltd 光凝固装置
JP3165186B2 (ja) * 1991-07-31 2001-05-14 株式会社ニデック 光治療装置
JPH06233778A (ja) * 1993-02-12 1994-08-23 Terumo Corp レーザ診断治療用レーザ装置
JP3071360B2 (ja) * 1993-04-30 2000-07-31 新日本製鐵株式会社 リニアアレイレーザダイオードに用いる光路変換器及びそれを用いたレーザ装置及びその製造方法
JP2003084221A (ja) * 2001-09-10 2003-03-19 Fuji Photo Film Co Ltd 合波レーザー光源および露光装置
JP4213402B2 (ja) * 2002-05-23 2009-01-21 富士フイルム株式会社 集光レンズ、合波レーザー光源および露光装置
JP2004207420A (ja) * 2002-12-25 2004-07-22 Toshiba Corp レーザ装置および映像表示装置
US20070195850A1 (en) * 2004-06-01 2007-08-23 Trumpf Photonics Inc. Diode laser array stack
JP4704213B2 (ja) * 2005-01-11 2011-06-15 パナソニック株式会社 光線治療器
JP4367779B2 (ja) * 2005-03-31 2009-11-18 富士フイルム株式会社 合波モジュール
JP4253027B2 (ja) * 2006-11-21 2009-04-08 古河電気工業株式会社 光モジュール
JP2010125270A (ja) * 2008-12-01 2010-06-10 Hoya Corp 内視鏡装置
JP5122542B2 (ja) * 2009-09-15 2013-01-16 シャープ株式会社 発光装置、照明装置および光検知器
JP5364520B2 (ja) * 2009-09-24 2013-12-11 富士フイルム株式会社 内視鏡装置及び内視鏡装置の作動方法
JP2011228457A (ja) * 2010-04-19 2011-11-10 Mitsubishi Electric Corp 画像表示装置およびレーザ光源装置
WO2014167829A1 (ja) * 2013-04-10 2014-10-16 パナソニックヘルスケア株式会社 レーザ治療装置
JP2015077335A (ja) * 2013-10-18 2015-04-23 三菱電機エンジニアリング株式会社 光源装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11402078B2 (en) 2020-09-29 2022-08-02 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Light source device with sensor for detecting anomaly in wavelength converting member

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017108009A (ja) 2017-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6505009B2 (ja) 照明用レーザ装置
KR102220081B1 (ko) 레이저의 대역폭 감소를 위한 시스템 및 방법과 레이저를 이용한 검사 시스템 및 방법
JP5806540B2 (ja) 波長分布測定装置
JP2017509923A5 (ja)
KR20190032643A (ko) 웨이퍼 조사 툴들을 위한 다이오드 레이저 기반 광대역 광원들
TWI687662B (zh) 度量衡系統、用於量測光束之光譜特徵的方法、及深紫外線光源
TW201807765A (zh) 具有大粒子監測及雷射功率控制之表面缺陷檢測
KR102125483B1 (ko) 공초점 계측 장치
KR20150014370A (ko) 고강도의 광빔을 측정하는 시스템 및 방법
KR101568980B1 (ko) 자동초점 조절장치 및 자동초점 조절방법
KR101620594B1 (ko) 다기능 분광장치
JP2018018879A (ja) 照明用レーザ装置
JP5286512B2 (ja) レーザアニール方法及びレーザアニール装置
JP2007292577A (ja) 光源装置
JPWO2017081723A1 (ja) 減光率測定方法および光強度測定装置
US11287375B2 (en) Inspection device
WO2022264521A1 (ja) 測定装置
KR101374479B1 (ko) 다크 필드 조명 장치
WO2022264520A1 (ja) 測定装置
JP7206736B2 (ja) 計測装置および計測方法
WO2023112452A1 (ja) 計測装置及び計測方法
WO2020136800A1 (ja) 波面計測装置及び波面計測方法
CN115541618A (zh) 一种检测设备和检测方法
KR20110123946A (ko) 백색광 주사방식 웨이퍼 두께측정방법
CN117288757A (zh) 一种缺陷检测装置及缺陷检测方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170929

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180731

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180731

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180928

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190226

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190326

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6505009

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250