JP6485327B2 - サセプタ、気相成長装置および気相成長方法 - Google Patents
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Description
このような気相成長装置で製造されるエピタキシャルウェーハの用途として、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transister)に代表されるパワーデバイスがある。パワーデバイス向けのエピタキシャルウェーハは、エピタキシャル膜の膜厚が厚く、100μm程度に達することも少なくない。このような厚膜形成では、サセプタ上のウェーハが凹部内に収容されているにもかかわらず、凹部の内周面とウェーハ外周面との間が、ブリッジと呼ばれる両者に跨がった析出物によりスティックする現象(以下、スティッキングという)が発生しやすい。このスティッキングが発生すると、エピタキシャル膜の成長後にサセプタからウェーハを取り出すとき、スティック部分のエピタキシャル膜を剥がさなければならず、その際にウェーハの外周部分に相当の力が付加されるために、しばしばウェーハにクラックが発生し、割れに至ることもある。
そこで、スティッキングの発生を抑制するための様々な検討がなされている(例えば、特許文献1〜3参照)。
また、特許文献2のような構成では、サセプタの垂直軸回り回転機構を傾けているため、サセプタの回転に伴い凹部が回転軸に対し傾斜方向の下側に位置すると、凹部の傾斜方向と遠心力の方向とが一致して、ウェーハが傾斜方向の下側に移動してしまう。その結果、ウェーハと凹部内周面とが接触し、スティッキングが発生するおそれがある。
さらに、特許文献3のような構成では、凹部内でのウェーハの移動についての対策が考慮されていないため、サセプタの回転に伴う遠心力でウェーハと凹部内周面とが接触し、スティッキングが発生するおそれがある。
ここで、サセプタの中央が外縁に対して当該サセプタの下面側に凹むとは、サセプタの上面における外縁を基準とした高さ位置が、外縁から中央に向かうにしたがって低くなる形状を意味する。すなわち、本発明のサセプタは、いわゆる、サセプタ全体が下凸状に凹んだお椀状に形成されたサセプタである。サセプタの直径とは、平面視(上面側から見たとき)におけるサセプタ上面の直径を意味する。また、凹み量を規定するサセプタの中央とは、回転軸が挿入される貫通孔がサセプタの中央に設けられている場合、当該貫通孔の外縁を意味し、上記貫通孔がサセプタの中央に設けられていない場合、サセプタの中心を意味する。
ここで、表面粗さRaとは、JIS B 0601(2011)で規定する中心線平均粗さ(Ra値)である。
本発明の気相成長方法は、上述の気相成長装置を用いた気相成長方法であって、前記サセプタの前記複数の凹部にそれぞれウェーハを収容し、前記サセプタを回転させながら前記ウェーハの表面にエピタキシャル膜を成長させることを特徴とする。
図1(A),(B)に示すように、気相成長装置1は、チャンバ2内に水平に設置された横型の反応管3を有している。反応管3内には、略円板状のサセプタ4が長手方向の中央部に位置して設けられる。また、反応管3内には、サセプタ4を長手方向の前後から挟むようにして水平な仕切り板5が設けられている。
具体的には、サセプタ4は、平面視における上面41の直径をD1、上面41における外縁に対する中央の凹み量をD2とし、D2/D1(反り率)が0%より大きく0.3%未満となるように形成されている。
サセプタ4における傾斜部分49の断面形状は、図2(A)に示すように円弧状であってもよいし、直線状であってもよい。また、サセプタ4の外縁から中心に向かって、「漸次、凹む」ように形成するのが好ましい。さらに、遠心力とバランスを取るため、中心から「外縁に向かうしたがい変化量が多くなる」ように形成することもできる。凹みの形成方法は、前記カーボンを加工してもよいし、表面と裏面の応力差で反らしてもよい。
また、サセプタ4の厚さは均一である、すなわち上面41の曲率と下面42の曲率とが等しいことが好ましい。サセプタ4の厚さが均一でない場合、サセプタ4を介して加熱されるウェーハW面内の温度分布が不均一になりスリップ転位が発生するおそれがあるからである。
次に、気相成長装置1の作用について説明する。
気相成長装置1を用いたエピタキシャルウェーハの製造では、1000℃〜1190℃まで昇温し、ベーキング工程の後、1000℃〜1190℃の温度でエピタキシャル膜成長工程が開始される。エピタキシャル膜成長工程では、反応管3内が所定温度に加熱されるとともに、その管内の仕切り板5より上側の空間に、原料ガスが反応管3の一端部から他端部へ流通される。また、複数枚のウェーハWを凹部43内に収容するサセプタ4が、周方向に所定速度で回転する。このような操作により、各ウェーハWの表面にエピタキシャル膜が形成される。エピタキシャル膜の成長速度は0.4μm〜4μm/分であり、50μm以上の厚いエピタキシャル膜を高速で成長させる。
また、サセプタ4が回転したとき、ウェーハWにサセプタ4の外縁側への遠心力が作用するが、ウェーハWの傾きによるサセプタ4の中心側への力により、ウェーハWが凹部43内で移動することを抑制することができる。したがって、エピタキシャル膜の成長中に、ウェーハWと凹部43の内周面43Bとの接触を抑制することができ、50μm以上の厚膜形成を行う場合にあっても、両者間のブリッジによるスティッキングの発生を抑制することができる。
しかし、D2/D1が0.3%未満であるため、エピタキシャル膜を成長させるとき、サセプタ4の外縁および中央における誘導コイル7との距離の差を小さくすることができ、ウェーハW面内の温度分布を略均一にすることができ、スリップ転位の発生を抑制することができる。なお、加熱手段がサセプタ4の上方に設けられている場合でも、凹み量D2が大きいとウェーハW面内の温度分布が不均一になるおそれがあるが、D2/D1を0.3%未満にすることで、スリップ転位の発生を抑制することができる。
しかし、底面43Aの表面粗さRaが16μm未満であるため、ウェーハWにおける底面43Aとの点接触部分同士の距離を、ウェーハW面内の温度分布が悪化しない長さにすることができ、SFQRの悪化を抑制することができる。
なお、SFQRとは、SEMI規格にかかる、所定サイト内の平坦度を示す指標である。このSFQRは、設定されたサイト内で最小二乗法により求められた基準面からの+側(すなわち、ウェーハの主表面を上に向け水平に置いた場合の上側)および−側(同下側)のそれぞれの最大変位量の絶対値の和で表した、サイトごとに評価された値である。
シリコン粒界付着領域Gは、エピタキシャルシリコンウェーハWEの面取り部WE1におけるサセプタ4の回転中心Cに最も近い位置を基準位置SPとした場合、基準位置SPからサセプタ4の回転方向T(例えば、時計回り方向)に120°移動した位置と180°移動した位置との間に存在している。このような位置にシリコン粒界付着領域Gが発生する理由は、サセプタ4の回転が影響しているためと推定される。
また、シリコン粒界付着領域Gは、図3(B)に示すように、面取り部WE1における裏面側(凹部43側)の1箇所に存在している。図3(B)の右側の図に示すように、シリコン粒界付着領域GのエピタキシャルシリコンウェーハWEの周方向に沿う長さは、30mm以下である。このようにシリコン粒界付着領域Gが面取り部WE1の裏面側のみに発生する理由は、上述のようにエピタキシャル膜の成長中にウェーハWと凹部43の内周面43Bとの接触が抑制され、すなわちウェーハWの全周にわたって内周面43Bとの間に隙間が設けられ、かつ、裏面側におけるガスの流れ、ガス回りこみの滞留、熱の分布などが、表面側(エピタキシャル膜側)と異なるためと推定される。
スティッキングの発生が抑制されたエピタキシャルシリコンウェーハWEには、上述のような特徴を有するシリコン粒界付着領域Gが存在し、当該シリコン粒界付着領域Gを制御することで、スティッキングの発生を抑制することができると推定することができる。
なお、本発明は上記実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の改良ならびに設計の変更などが可能である。
例えば、D2/D1は、0.3%以上であってもよい。
また、凹部43の底面43Aにおける表面粗さRaは、0.5μm以下であってもよいし、16μm以上であってもよい。
さらに、本発明のサセプタを、パンケーキ型などの縦型気相成長装置に適用してもよい。
サセプタとして、サセプタの直径が650mm、凹部の内径が203mm、凹部底面の表面粗さRaが5μm、サセプタの反り率が以下の表1に示す仕様のものを準備した。なお、凹み方向が下面側のサセプタは、図2(A)に示すように形成され、凹み方向が上面側のサセプタは、上面における外縁を基準とした高さ位置が、外縁から中央に向かうにしたがって高くなるように形成されている。また、反り率は、水平な面にサセプタを上面が上を向くように載置し、レーザを用いてサセプタ上面の高低差を測定し、外縁に対する中央の凹み量をサセプタの直径で除することで求めた。
このことから、下面側に凹んだサセプタを用いることで、スティッキングの発生が抑制されたエピタキシャルウェーハを製造できることが確認できた。
このことから、下面側に凹み、かつ、反り率が0%より大きく0.3%未満のサセプタを用いることで、スティッキングおよびスリップ転位の発生が抑制されたエピタキシャルウェーハを製造できることが確認できた。
サセプタとして、サセプタの直径が650mm、凹部の内径が203mm、サセプタの反り率および凹部の底面の表面粗さRaが以下の表2に示す仕様のものを準備した。そして、直径200mmのウェーハを凹部の定位置(同心位置)に収容し、サセプタの回転速度が4rpm、エピタキシャル膜の膜厚が70μmの条件でエピタキシャル膜を形成した後、凹部内でのウェーハの滑りの有無と、凹部内周面とウェーハとの接触の有無とを目視で確認した。また、エピタキシャルウェーハを凹部から取り出し、ウェーハ外周端から2mmの領域内において、22mm×22mmのサイトを、ADE社製平坦度測定器(UltraScan9800)によりSFQRを測定した。それらの結果を表2に示す。
なお、ウェーハの滑りは、0.5mm以上の場合に「有り」、0.1mm以上0.5mm未満の場合に「軽微」、0mmの場合に「無し」と判定した。また、SFQRは、0.5μm以上の場合に「悪化」、0.5μm未満の場合に「良好」と判定した。
このことから、凹部底面の表面粗さRaが0.5μmより大きいサセプタを用いることで、凹部内周面とウェーハとの接触が無く、スティッキングの発生が抑制されたエピタキシャルウェーハを製造できることが確認できた。
また、実験例6では、凹部内周面とウェーハとの接触が無いものの、SFQRが悪化していることが確認できた。
このことから、凹部底面の表面粗さRaが16μm未満のサセプタを用いることで、SFQRが良好なエピタキシャルウェーハを製造できることが確認できた。
以下の特性を有するサセプタおよびp+型のシリコンウェーハを準備した。
<サセプタ>
反り率:0%より大きく0.3%未満
凹み方向:下面側
凹部の個数:5個
凹部底面の表面粗さRa:0.5μmより大きく16μm未満
凹部の内径:203mm
<シリコンウェーハ>
直径:200mm
ドーパント:ホウ素
抵抗率:0.03Ω・cm以下
<1層目(シリコンウェーハ上)のエピタキシャル膜(n+型)>
ドーパント:リン
膜厚:10μm
抵抗率:0.3Ω・cm
<2層目(1層目のエピタキシャル膜上)のエピタキシャル膜(n型)>
ドーパント:リン
膜厚:60μm
抵抗率:50Ω・cm
次に、エピタキシャルウェーハの外周面をデジタルマイクロスコープ(株式会社キーエンス社製、VHX−100F)を用いて観察し、シリコン粒界付着領域の存在位置および長さを確認した。
シリコン粒界付着領域の存在位置の度数分布を図5に、断面視の模式図および側面からの観察写真を図6に示す。
なお、図5の横軸は、図3(A)の基準位置SPを0°とした場合のサセプタの回転方向(例えば、時計回り方向)の角度である。また、横軸の項目を30°ごとに設定し、この30°ごとの角度のいずれかの位置にシリコン粒界付着領域の一部が存在する場合、当該位置を存在位置としてカウントした。さらに、30°ごとの角度の全ての位置にシリコン粒界付着領域の一部が存在しない場合、シリコン粒界付着領域に最も近い位置を存在位置としてカウントした。
また、図6に示すように、シリコン粒界付着領域は、面取り部における裏面側に存在していることが確認できた。なお、図6中「730μm以下」は、エピタキシャルシリコンウェーハの厚さを表す。
さらに、1枚のエピタキシャルシリコンウェーハにおいてシリコン粒界付着領域は、1箇所のみに存在することも確認できた。
サセプタとして、以下の表3に示す仕様のものを準備した。なお、実施例6〜9,11、比較例3,4のサセプタは、試験1の実施例1〜5、比較例1,2のサセプタと同じであり、実施例10,12のサセプタは、反り率以外は実施例6のサセプタと同じである。
また、試験3と同じp+型のシリコンウェーハを準備した。すなわち、凹部の内径が203mmのサセプタと、直径が200mmのシリコンウェーハとを準備した。
そして、5枚のエピタキシャルシリコンウェーハに対し、試験1と同様の方法でスティッキングの発生率、スリップ転位の発生状況を評価し、試験2と同様の方法でSFQRを評価し、試験3と同様の方法でシリコン粒界付着領域の周方向の長さを測定した。また、実施例7〜12、比較例3〜4のそれぞれについて、実施例6と同様のエピタキシャルウェーハの製造および評価を行った。その結果を表3に示す。
なお、スリップ転位は、目視検査によるスリップ積算長が0mmの場合に「無し」、0mmより長く100mm以下の場合に「軽微」、100mmより長い場合に「悪化」と判定した。ここで、スリップ積算長とは、スリップ転位が1本の場合には、その長さであり、複数本の場合は、それらの積算値のことである。
また、表3中、シリコン粒界付着領域の長さは5枚の平均値であり、スリップ転位およびSFQRは5枚全て同じ結果であった。
また、スティッキングが発生しない実施例6〜12では、凹み量が大きくなると、シリコン粒界付着領域が短くなることが確認できた。
さらに、凹み方向および凹み量によらず、SFQRが良好であった。
また、反り率が0.3%未満の実施例6〜10ではスリップ転位が発生していないが、0.3%以上の実施例11,12ではスリップ転位が発生していることが確認できた。また、実施例および比較例ともに、反り率が大きい方がスリップ転位が発生し易いことが確認できた。
以上のことから、下面側に凹み、かつ、反り率が0%より大きく0.3%未満のサセプタを用いることで、シリコン粒界付着領域の長さを30mm以下とし、スティッキングおよびスリップ転位の発生を抑制することができ、SFQRが良好なエピタキシャルウェーハを製造できることが確認できた。
サセプタおよびシリコンウェーハとして、試験3と同じものを準備した。
次に、気相成長装置にサセプタを取り付け、p+型のシリコンウェーハを凹部の定位置(同心位置)に収容し、サセプタの回転速度が4rpmの条件で、以下の特性を有する2層のエピタキシャル膜を表4に示す膜厚で形成して、実験例7〜12のそれぞれで5枚(1バッチ)ずつのエピタキシャルシリコンウェーハを製造した。
<1層目(シリコンウェーハ上)のエピタキシャル膜(n+型)>
ドーパント:リン
抵抗率:0.3Ω・cm
<2層目(1層目のエピタキシャル膜上)のエピタキシャル膜(n型)>
ドーパント:リン
抵抗率:50Ω・cm
また、シリコン粒界付着領域が30mm以下(エピタキシャル膜の合計膜厚が150μm以下)のエピタキシャルシリコンウェーハでは、スティッキングが発生していなかったが、30mmを超えるエピタキシャルシリコンウェーハでは、シリコン粒界付着領域が存在しているにもかかわらずスティッキングが発生し、サセプタの凹部から取り出すときに割れてしまうことが確認できた。
以上のことから、シリコン粒界付着領域の長さを30mm以下にすることで、エピタキシャル膜の合計膜厚(膜厚)が50μm以上150μm以下と厚い場合でも、エピタキシャルシリコンウェーハにスティッキングが発生せず、割れの発生を抑制できることが確認できた。
また、シリコンウェーハやエピタキシャル膜のドーパントや抵抗値が試験3〜5と異なる場合でも、試験3〜5と同様の評価結果が得られると考えられる。
4,8…サセプタ
41…上面
42…下面
43,83…凹部
43A…底面
84A…表面(底面)
W…ウェーハ
Claims (5)
- 気相成長装置内でウェーハを載置するための円板状のサセプタであって、
前記サセプタの上面には、前記ウェーハが収容される複数の凹部が当該サセプタの周方向に並んで設けられ、
常温時およびエピタキシャル膜の形成時に、前記サセプタの中央が外縁に対して当該サセプタの下面側に凹むように形成され、
前記サセプタの直径をD1、前記上面における前記サセプタの前記外縁に対する前記中央の凹み量をD2とし、D2/D1が0%より大きく0.3%未満となるように形成されていることを特徴とするサセプタ。 - 前記凹部の底面における表面粗さRaが0.5μmより大きいことを特徴とする請求項1に記載のサセプタ。
- 前記凹部の底面における表面粗さRaが16μm未満であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のサセプタ。
- 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のサセプタを備えることを特徴とする気相成長装置。
- 請求項4に記載の気相成長装置を用いた気相成長方法であって、
前記サセプタの前記複数の凹部にそれぞれウェーハを収容し、
前記サセプタを回転させながら前記ウェーハの表面にエピタキシャル膜を成長させることを特徴とする気相成長方法。
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