JP6477213B2 - 加工方法及び加工装置 - Google Patents
加工方法及び加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6477213B2 JP6477213B2 JP2015093886A JP2015093886A JP6477213B2 JP 6477213 B2 JP6477213 B2 JP 6477213B2 JP 2015093886 A JP2015093886 A JP 2015093886A JP 2015093886 A JP2015093886 A JP 2015093886A JP 6477213 B2 JP6477213 B2 JP 6477213B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- temperature
- grinding fluid
- grinding
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
Description
以下、図面を参照して、本発明の第1実施形態に係る加工装置及び加工方法について説明する。
まず、ワークWを治具30に固定する。具体的には、ワークWを治具30の支持面31cで支持した状態で、ワーク固定ブロック33でワークWをその4つの側面Wcから押さえ、ワーク固定ブロック33をボルト33aで固定する。その後、ワークWを取り付けた治具30をテーブル20に固定する。
次に、主制御装置60の制御下で駆動制御装置50等を動作させ、ワークWの加工位置を調整する。この際、オペレーターによって主制御装置60に設けられたコントローラーパネル等が操作され、ワークWの加工条件が設定される。
次に、主制御装置60の制御下で研削液供給部40及び駆動制御装置50を動作させ、ワークWの上面Wa及び下面Wbから研削液を吐出させながら、ワークWの平面研削加工を行う。研削液供給部40の詳細な動作については、後述する。
以下、研削液供給部40のうち第1供給部41の動作について説明する。第1供給部41は、加工の有無にかかわらず、制御部43を介してポンプP1を動作させ、研削液を第1タンク41aから汲み出し、第1ノズル41cから吐出させている。第1供給部41は、図6に示す処理によって研削液の温調を行う。
以下、研削液供給部40のうち第2供給部42の動作について説明する。第2供給部42は、加工の有無にかかわらず、制御部43を介してポンプP2を動作させ、研削液を第2タンク42aから汲み出し、第2ノズル42cから吐出させている。第2供給部42は、図7に示す処理によって研削液の温調を行う。
以下、第2実施形態に係る加工装置等について説明する。なお、第2実施形態の加工装置等は第1実施形態の加工装置等を変形したものであり、特に説明しない部分は第1実施形態と同様である。
Claims (8)
- 複数の半球状の凸部、及び隣接する前記凸部間に設けられる凹部を有し、上面及び下面を有する板状の被加工物のうち前記下面を局所的に支持する支持面を有する凹凸構造と、前記凹凸構造の前記凹部から前記支持面以外の箇所まで繋がり研削液を流通させる流路部とを有する平面研削用の治具を用いて、被加工物の上面及び下面から研削液を吐出させながら平面研削することを特徴とする加工方法。
- 個別に温調された研削液を、被加工物の前記上面及び前記下面のそれぞれに吐出させ、被加工物の前記上面の温度及び前記下面の温度がそれぞれ所定の値になるように調整することを特徴とする請求項1に記載の加工方法。
- 上面及び下面を有する板状の被加工物のうち前記下面を局所的に支持する支持面を有する凹凸構造と、前記凹凸構造の凹部から前記支持面以外の箇所まで繋がり研削液を流通させる流路部とを有する平面研削用の治具を用いて、被加工物の上面及び下面から研削液を吐出させながら平面研削し、
被加工物の前記上面及び前記下面の温度をモニタリングし、被加工物の前記上面側及び前記下面側からそれぞれ吐出させる研削液を温調することを特徴とする加工方法。 - 被加工物の前記上面及び前記下面の温度差が所定値以下となるように研削液を温調することを特徴とする請求項3に記載の加工方法。
- 複数の半球状の凸部、及び隣接する前記凸部間に設けられる凹部を有し、上面及び下面を有する板状の被加工物のうち前記下面を局所的に支持する支持面を有する凹凸構造と、前記凹凸構造の前記凹部から前記支持面以外の箇所まで繋がり研削液を流通させる流路部とを有する平面研削用の治具と、
前記研削液を前記治具に支持された被加工物の前記上面及び前記下面に供給する研削液供給部と、
を備える加工装置。 - 被加工物の前記上面に研削液を供給する第1供給部と、被加工物の前記下面に研削液を供給する第2供給部とを備えることを特徴とする請求項5に記載の加工装置。
- 上面及び下面を有する板状の被加工物のうち前記下面を局所的に支持する支持面を有する凹凸構造と、前記凹凸構造の凹部から前記支持面以外の箇所まで繋がり研削液を流通させる流路部とを有する平面研削用の治具と、
前記研削液を前記治具に支持された被加工物の前記上面及び前記下面に供給する研削液供給部と、
を備え、
被加工物の前記上面に研削液を供給する第1供給部と、被加工物の前記下面に研削液を供給する第2供給部とを備え、
被加工物の前記上面及び前記下面の温度をモニタリングする制御部と、前記第1供給部を温調する第1温調部と、前記第2供給部を温調する第2温調部とを備えることを特徴とする加工装置。 - 前記治具は、金属積層造形法によって製作されることを特徴とする請求項5から7までのいずれか一項に記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015093886A JP6477213B2 (ja) | 2015-05-01 | 2015-05-01 | 加工方法及び加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015093886A JP6477213B2 (ja) | 2015-05-01 | 2015-05-01 | 加工方法及び加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016209945A JP2016209945A (ja) | 2016-12-15 |
JP6477213B2 true JP6477213B2 (ja) | 2019-03-06 |
Family
ID=57549260
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015093886A Expired - Fee Related JP6477213B2 (ja) | 2015-05-01 | 2015-05-01 | 加工方法及び加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6477213B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG11201801163RA (en) * | 2017-01-04 | 2018-08-30 | Univ Qingdao Technological | Supersonic Nozzle Vortex Tube Refrigeration And Nano-Fluid Minimal Quantity Lubrication Coupling Supply System |
KR101915962B1 (ko) * | 2018-02-26 | 2018-11-07 | 주식회사 인성이엔지 | 금형모재의 수평 기준면 연마장치 |
CN110497269A (zh) * | 2019-08-22 | 2019-11-26 | 李志聪 | 一种具有除尘功能的加工精度高的平面磨床 |
CN112338664B (zh) * | 2020-11-03 | 2021-10-22 | 湖南昕泰装饰材料有限公司 | 一种幕墙用铝单板的加工工艺 |
CN112775716B (zh) * | 2021-01-25 | 2022-05-10 | 常州森源科技有限公司 | 一种具有清洁效果的加工机床 |
CN114378674A (zh) * | 2022-01-13 | 2022-04-22 | 江苏中昇电子科技有限公司 | 一种光学玻璃磨削加工装置 |
CN114888645B (zh) * | 2022-05-16 | 2024-04-02 | 中国人民解放军第六四零九工厂 | 一种平面磨削工装以及摩擦片加工方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4519026Y1 (ja) * | 1966-06-02 | 1970-08-03 | ||
JP4851095B2 (ja) * | 2005-01-11 | 2012-01-11 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 非磁性体製ワ−ク用治具 |
JP2010153585A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Ebara Corp | 基板保持具および基板保持方法 |
JP2012166317A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 長尺状ワークピースの研削方法 |
-
2015
- 2015-05-01 JP JP2015093886A patent/JP6477213B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016209945A (ja) | 2016-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6477213B2 (ja) | 加工方法及び加工装置 | |
KR100607188B1 (ko) | 와이어 톱및 절단방법 | |
JP6603288B2 (ja) | 工作機械の切削液供給装置 | |
CN1997575B (zh) | 一种用于接受工件的平台以及在这种平台上加工工件的方法 | |
TWI609442B (zh) | 藉由改變內部阻流板傳導性之可變噴淋頭流 | |
KR102116380B1 (ko) | 멀티홀 가공장치 | |
JP5492239B2 (ja) | 加工物からウェハをスライスする方法 | |
US9502208B2 (en) | Charged particle beam apparatus, stage controlling method, and stage system | |
KR20180117139A (ko) | 피가공재의 스케일 제거 장치 및 그 방법 | |
JP2007296610A (ja) | 工作機械における主軸装置の変位及び振れ測定装置 | |
US20100150674A1 (en) | System, apparatus and method for providing cooling | |
EP3442774A1 (en) | Print head for three-dimensional printing and the print head assembly | |
CN103302752A (zh) | 切削方法 | |
US11161303B2 (en) | Platform carrier and an assembly for additive manufacturing | |
TWI678262B (zh) | 薄板狀工件的製造方法以及雙頭平面磨削裝置 | |
JP6782161B2 (ja) | 工作機械 | |
TWI721855B (zh) | 線放電加工機 | |
JP6834377B2 (ja) | 多軸工作機械 | |
KR101176821B1 (ko) | 온도조절형 웨이퍼용 진공척 제조장치 | |
JP2019051725A (ja) | 印刷装置用の印刷バーユニットの製造方法、および印刷バーユニット | |
KR20110025361A (ko) | 곡면 가공장치 | |
DE102006001935A1 (de) | Bearbeiten von Wafern in einer Aufspannung | |
JP4775367B2 (ja) | 表面加工装置の平板状被加工物の垂直保持装置、および表面加工装置 | |
JP5617331B2 (ja) | 加工装置 | |
JP4924226B2 (ja) | 表面加工方法及び表面加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180814 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180815 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181012 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6477213 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |