JP6469747B2 - 連続熱処理装置 - Google Patents
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Description
本発明は、前記問題点に鑑みてなされたものであり、ガスの使用量を抑制しながら不活性雰囲気下で被処理物の熱処理を行うことができる連続熱処理装置を提供することを目的とする。
この場合、搬送ベルトの往路部分にマッフル及びヒータを配置するとともに、搬送ベルトの復路部分にベルト冷却部を配置したので、ヒータ及びベルト冷却部を搬送ベルトの往路部分に沿って直列に配置する場合に比べて、処理室を搬送ベルトの搬送方向に対してコンパクトに形成することができる。
すなわち、被処理物は、処理室2Bで熱処理された後に、処理室2Bから搬出され、搬出室2Cに搬入される。さらに被処理物は、搬出室2Cから搬出されると、第2ロードロック装置5へ搬入される。
第1真空部21には搬入口21aが形成され、第3真空部23には搬出口23aが形成されている。第2真空部22の長手方向両端部には、第1フランジ部22b及び第2フランジ部22cがそれぞれ形成されている。第1フランジ部22bには、第1真空部21に形成されたフランジ部21bが連結されている。また、第2フランジ部22cには、第3真空部23に形成されたフランジ部23bが連結されている。
また、搬入室2Aにおいて、第1ローラ34と第4ローラ37との間には、搬送ベルト31を案内支持するガイドローラ33が配置されている。ガイドローラ33の軸方向両端部には、搬送ベルト31がその幅方向(図2の紙面垂直方向)に移動するのを規制する環状の鍔部33aが設けられている。
図5は、ベルト冷却部13を示す拡大断面図である。図5に示すように、ベルト冷却部13は、搬送ベルト31に近接して配置された冷却本体部14と、冷却本体部14に取り付けられたベルトスライダ15とを有する。冷却本体部14は、搬送ベルト31の幅方向に沿って並列に配置された複数(ここでは4個)の断面四角筒状の配管14a〜14dを一体化したものである。これら複数の配管14a〜14dは、内部に冷却液が流れる流路として構成されている。
以上のように、マッフル6、ヒータ7及びベルト冷却部13等を予め一体化したユニットを真空容器2内に装着することによって連続熱処理装置1を組み立てることができるので、装置の組み立て作業が煩雑になるのを防止することができる。
また、マッフル6の軸線6aが第2真空部22の軸線22aに対して偏心しているため、この偏心により広くなった処理室2B内のスペースに、ヒータ7に電力供給する電源ケーブル等の配線スペースを確保することができる。また、搬送ベルト31の復路部分31A、ベルト冷却部13等を設置するスペースを確保することができる。したがって、マッフル6の軸線6aが第2真空部22の軸線22a上にある場合に比べて、第2真空部22を小型化することができる。
また、マッフル6、ヒータ7及びベルト冷却部13が一つのユニットとして一体化されているため、マッフル6、ヒータ7及びベルト冷却部13を処理室2B内に容易に組み込むことができる。
また、搬送手段3は、ガイドローラ33の鍔部33aによって搬送ベルト31が蛇行するのを抑制することができるため、前記蛇行を抑制するために搬送ベルト31の駆動機構を調整する作業が不要となる。
2 真空容器
2A 搬入室
2B 処理室
2C 搬出室
3 搬送手段
4 第1ロードロック装置
5 第2ロードロック装置
6 マッフル
7 ヒータ
13 ベルト冷却部
14 冷却本体部
15 ベルトスライダ
22 第2真空部(真空部)
31 搬送ベルト
31A 往路部分
31B 復路部分
33 ガイドローラ
33a 鍔部
41a 第1ロードロック室
51a 第2ロードロック室
Claims (5)
- 被処理物が搬入される搬入室、前記搬入室より搬入された被処理物を熱処理する処理室、及び前記処理室で熱処理された被処理物が搬入される搬出室がこの順に形成された真空容器と、
前記真空容器内に配置され、被処理物を前記搬入室から前記処理室を通過して前記搬出室に搬送する搬送手段と、
前記真空容器の搬入室に連結された第1ロードロック室を有し、前記第1ロードロック室を不活性ガス雰囲気に置換した状態で当該第1ロードロック室と前記搬入室との間で被処理物を受け渡しする第1ロードロック装置と、
前記真空容器の搬出室に連結された第2ロードロック室を有し、前記第2ロードロック室を不活性ガス雰囲気に置換した状態で当該第2ロードロック室と前記搬出室との間で被処理物を受け渡しする第2ロードロック装置と、を備え、
前記搬送手段は無端の搬送ベルトを備えると共に、その全てが前記真空容器内に配置され、
前記搬送手段の少なくとも一部を覆う筒状のマッフルも前記真空容器内に配置され、
前記搬送手段により搬送される被処理物を前記マッフルの外側から加熱するヒータが、前記真空容器内に配置されていることを特徴とする連続熱処理装置。 - 前記真空容器には、前記搬送手段の搬送方向に沿って第1真空部、第2真空部および第3真空部がこの順に設けられ、
前記ヒータが、前記処理室の長手方向全体に亘って延びて配置され、
前記搬送方向に沿って延びるマッフルが、前記第2真空部を構成する容器の前記一方の端部および前記他方の端部から外側に延出するように配置され、
前記第1真空部を構成する容器および前記第3真空部を構成する容器は、各々前記マッフルの一方の端部と他方の端部、および前記搬送ベルトの一方の端部と他方の端部を各々囲むように、前記第2真空部を構成する容器の一方側と他方側に配置されている請求項1に記載の連続熱処理装置。 - 前記真空容器は、内部に前記処理室が形成された断面円筒状の真空部を有し、
前記マッフルの軸線が前記真空部の軸線に対して偏心している請求項1もしくは2に記載の連続熱処理装置。 - 前記ヒータの外側に備えられる断熱材が、前記真空容器内に配置されている請求項1ないし3のいずれか一項に記載の連続熱処理装置。
- 前記マッフル、前記ヒータ及び搬送ベルトを冷却するベルト冷却部が一つのユニットとして一体化されている請求項1ないし4のいずれかに記載の連続熱処理装置。
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